JP2020100136A - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射システム - Google Patents

Abstract

【課題】圧力室を大容量化すると共に、流路基板が大型化するのを抑制した液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射システムを提供する。【解決手段】流路が形成された流路基板と、前記流路の液体に圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子と、を備え、前記流路は、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、前記第１共通液室１０１と前記第２共通液室１０２とに連通する個別流路２００と、を含み、前記個別流路２００は、外部と連通するノズル２１と、前記エネルギー発生素子により圧力変化が生じる圧力室１２と、を備え、複数の個別流路のうち、前記ノズル２１の並設方向において隣接する３つの前記個別流路２００は、それぞれ前記第１共通液室１０１および前記第２共通液室１０２に連通し、前記ノズル２１の並設方向において隣接する２つの前記個別流路２００は、前記第１共通液室１０１から前記第２共通液室１０２に向かう液体の流れる方向において、前記圧力室１２と前記ノズル２１との並び順が異なる。【選択図】図４

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射システムに関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置及びインクジェット式記録システムに関する。

液体を噴射する液体噴射ヘッドとして、被印刷媒体に液体としてインクを吐出して印刷を行うインクジェット式記録ヘッドが知られている。

インクジェット式記録ヘッドは、ノズルに連通する圧力室を有する個別流路と、複数の個別流路に共通して連通する共通液室と、圧力室内のインクに圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター等のエネルギー発生素子と、を具備し、エネルギー発生素子が圧力室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を吐出する。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧力室内に気泡が滞留すると、エネルギー発生素子による圧力変化を気泡が吸収し、ノズルからインク滴を正常に吐出することができなくなってしまう。

このため個別流路に共通する共通液室として第１共通液室と第２共通液室とを設け、第１共通液室から個別流路を通って第２共通液室にインクを流す、いわゆる循環するようにした構成のインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１３−１８４３７２号公報

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧力室を大容量化して、圧力室のエネルギー発生素子による排除体積を大きくし、ノズルから吐出されるインク滴の吐出特性、特にインク重量を向上したいという要望がある。しかしながら、圧力室を大容量化して排除体積を大きくするために圧力室の並設方向の幅を大きくすると、流路基板が大型化してしまうという問題がある。特に特許文献１のように第１共通液室から個別流路を通って第２共通液室にインクを循環させる場合、個別流路に設けられた圧力室の配置に制約があるため圧力室を大容量化すると、流路基板が大型化してしまう。

このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、圧力室を大容量化し、また、流路基板の大型化を抑制した液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射システムを提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、流路が形成された流路基板と、前記流路の液体に圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子と、を備え、前記流路は、第１共通液室と、第２共通液室と、前記第１共通液室および前記第２共通液室に連通して前記第１共通液室から前記第２共通液室に向かって液体が流れる個別流路と、を含み、前記個別流路は、外部と連通するノズルと、前記エネルギー発生素子により圧力変化が生じる圧力室と、を備え、前記複数の個別流路のうち、前記ノズルの並設方向において隣接する３つの前記個別流路は、それぞれ、前記第１共通液室および前記第２共通液室に連通し、前記並設方向において隣接する２つの前記個別流路は、前記第１共通液室から前記第２共通液室に向かう液体の流れる方向において、前記圧力室と前記ノズルとの並び順が異なることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

また、本発明の他の態様は、流路が形成された流路基板と、前記流路の液体に圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子と、を備え、前記流路は、第１共通液室と、第２共通液室と、前記第１共通液室および前記第２共通液室に連通して前記第１共通液室から前記第２共通液室に向かって液体が流れる個別流路と、を含み、前記個別流路は、外部と連通するノズルと、前記エネルギー発生素子により圧力変化が生じる圧力室と、を備え、前記流路基板は、第１流路基板と第２流路基板と第３流路基板とを備え、前記第１流路基板と前記第２流路基板との間に、前記並設方向に第１の解像度で流路が形成され、前記第２流路基板と前記第３流路基板との間に、前記並設方向に前記第１の解像度よりも大きな解像度の第２の解像度で流路が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。

また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドと、前記第１及び第２の共通液室の何れか一方の共通液室に液体を供給すると共に、他方の共通液室から液体を回収して前記個別流路内に循環流を生じさせる循環系と、を具備する液体噴射システムにある。

本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態１に係る流路を模式的に表した図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す平面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。 本発明の実施形態４に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の実施形態４に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の実施形態４に係る流路を表す斜視図である。 本発明の実施形態４に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る流路を模式的に表した図である。 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。 本発明の一実施形態に係る記録システムを説明するブロック図である。 本発明の一実施形態に係る記録システムの電気的構成を表すブロック図である。 本発明の一実施形態に係る駆動信号を示す駆動波形である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドについて図１〜図４を参照して説明する。なお、図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドのノズル面側から見た平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ′線断面図である。図３は、図１のＢ−Ｂ′線断面図である。図４は、流路を模式的に表した図である。

図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）は、流路基板として流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、ケース部材４０及びコンプライアンス基板４９等の複数の部材を備える。

流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には振動板５０が形成されている。振動板５０は、二酸化シリコン層や酸化ジルコニウム層から選択される単一層又は積層であってもよい。

流路形成基板１０には、個別流路２００を構成する圧力室１２が、複数の隔壁によって区画されて複数設けられている。複数の圧力室１２は、インクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って所定のピッチで並設されている。以降、この方向を、ノズル２１の並設方向、又は圧力室１２の並設方向、又は第１の方向Ｘと称する。また、流路形成基板１０には、圧力室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力室１２の列が複数列設された列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。なお、本実施形態では、流路形成基板１０の第１の方向Ｘに並設された圧力室１２の間の部分を隔壁と称する。この隔壁は、第２の方向Ｙに沿って形成されている。すなわち、隔壁は、流路形成基板１０の第２の方向Ｙにおける圧力室１２に重なる部分のことをいう。本実施形態では、流路形成基板１０が特許請求の範囲に記載の第１流路基板に相当する。

また、本実施形態では、２列の圧力室１２において、一方の列の圧力室１２を第１圧力室１２Ａと称し、他方の列の圧力室１２を第２圧力室１２Ｂと称する。第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは、第１の方向Ｘからの平面視において、互いに重ならない位置に配置されている。また、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは、第１の方向Ｘにずらした、いわゆる千鳥配置となっている。本実施形態では、第１圧力室１２Ａが第１の方向Ｘに並設された列と、第２圧力室１２Ｂが第１の方向Ｘに並設された列とは、第１の方向Ｘに互いに半ピッチずれた位置に配置されている。なお、第１圧力室１２Ａの一部と第２圧力室１２Ｂの一部とが、第１の方向Ｘからの平面視において、互いに重なる位置に配置されていてもよい。

また、本実施形態では、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの両方に直交する方向を第３の方向Ｚと称し、詳しくは後述するノズルプレート２０に対するケース部材４０側をＺ１側、ケース部材４０に対するノズルプレート２０側をＺ２側と称する。なお、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚは、互いにそれぞれ直交する方向としたが、特にこれに限定されず、直交以外の角度で交差する方向であってもよい。

なお、本実施形態では、流路形成基板１０に圧力室１２のみを設けるようにしたが、圧力室１２に供給されるインクに流路抵抗を付与するように圧力室１２よりも流路を横断する断面積を絞った流路抵抗付与部を設けるようにしてもよい。

このような流路形成基板１０の第３の方向Ｚの一方面側であるＺ１側には、上述のように振動板５０が形成され、この振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが成膜及びリソグラフィー法によって積層されて圧電アクチュエーター３００を構成している。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせるエネルギー発生素子となっている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、圧電素子とも言い、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分を言う。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、振動板５０、第１電極６０が、振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。

また、このような各圧電アクチュエーター３００の第２電極８０には、リード電極９０がそれぞれ接続され、このリード電極９０を介して各圧電アクチュエーター３００に選択的に電圧が印加されるようになっている。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、保護基板３０が接合されている。

保護基板３０の圧電アクチュエーター３００に対向する領域には、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電アクチュエーター保持部３１が設けられている。圧電アクチュエーター保持部３１は、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。また、圧電アクチュエーター保持部３１は、本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された複数の圧電アクチュエーター３００の列毎にそれぞれ独立して設けられている。すなわち、圧電アクチュエーター保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された複数の圧電アクチュエーター３００の列を一体的に覆う大きさで形成されている。もちろん、圧電アクチュエーター保持部３１は、特にこれに限定されず、圧電アクチュエーター３００を個別に覆うものであってもよく、第１の方向Ｘで並設された２以上の圧電アクチュエーター３００で構成される群毎に覆うものであってもよい。

このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。

また、保護基板３０には、保護基板３０を第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。そして、各圧電アクチュエーター３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３２内に露出するよう延設されており、貫通孔３２内でフレキシブルケーブル１２０と電気的に接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。なお、フレキシブルケーブル１２０を介さずに、リード電極９０と駆動回路１２１とを電気的に接続してもよい。また、保護基板３０に流路を設けてもよい。

また、保護基板３０のＺ１側には、ケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、保護基板３０の流路形成基板１０とは反対面側が接合されると共に、後述する連通板１５にも接合して設けられている。

このようなケース部材４０には、第１共通液室１０１の一部を構成する第１液室部４１と、第２共通液室１０２の一部を構成する第２液室部４２とが設けられている。第１液室部４１と第２液室部４２とは、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力室１２を挟んだ両側にそれぞれ設けられている。

第１液室部４１及び第２液室部４２のそれぞれは、ケース部材４０のＺ２側の面に開口する凹形状を有し、第１の方向Ｘに並設された複数の圧力室１２に亘って連続して設けられている。

また、ケース部材４０のＺ１側の面には、第１液室部４１に連通する導入口４３と、第２液室部４２に連通する排出口４４とが開口して設けられている。

さらに、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して、フレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口４５が設けられている。

一方、流路形成基板１０の保護基板３０とは反対面側であるＺ２側には、連通板１５とノズルプレート２０とコンプライアンス基板４９とが設けられている。

連通板１５は、本実施形態では、第１連通板１５１と第２連通板１５２とが第３の方向Ｚに積層されて構成されている。第１連通板１５１は、流路形成基板１０側、すなわち、第３の方向ＺのＺ１側に設けられており、第２連通板１５２は、ノズルプレート２０側、すなわち、第３の方向ＺのＺ２側に設けられている。

このような連通板１５を構成する第１連通板１５１及び第２連通板１５２は、ステンレス鋼等の金属、ガラス、セラミック材料等によって製造することができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と熱膨張率が略同一の材料を用いるのが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。

連通板１５には、詳しくは後述するが、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のそれぞれの一部を構成する第１連通部１６及び第２連通部１７が設けられている。また、連通板１５には、詳しくは後述するが、第１共通液室１０１と圧力室１２とを連通する流路と、圧力室１２とノズル２１とを連通する流路と、ノズル２１と第２共通液室１０２とを連通する流路と、が設けられている。連通板１５に設けられたこれらの流路は、個別流路２００の一部を構成する。本実施形態では、連通板１５が特許請求の範囲に記載の第２流路基板に相当する。

ノズルプレート２０には、外部に連通すると共に圧力室１２に連通するノズル２１が複数形成されている。本実施形態では、図１に示すように、複数のノズル２１を第１の方向Ｘに並設した第１ノズル列２２Ａと、複数のノズル２１を第１の方向Ｘに並設した第２ノズル列２２Ｂと、を第２の方向Ｙに並設し、第１ノズル列２２Ａと第２ノズル列２２Ｂとを第２の方向Ｙで同じ位置とならないように第１の方向Ｘにずらした、いわゆる千鳥配置となっている。本実施形態では、第１ノズル列２２Ａのノズル２１を第１ノズル２１Ａと称し、第２ノズル列２２Ｂのノズル２１を第２ノズル２１Ｂと称する。第１ノズル列２２Ａの第１ノズル２１Ａは、第１圧力室１２Ａに連通する。また、第２ノズル列２２Ｂの第２ノズル２１Ｂは、第２圧力室１２Ｂに連通する。そして、これら第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂからは同じ種類のインクが吐出される。本実施形態では、ノズルプレート２０が特許請求の範囲に記載の第３流路基板に相当する。なお、第１ノズル列２２Ａと第２ノズル列２２Ｂとが、第１の方向Ｘの一直線上に並んでもよい。

また、連通板１５は、第１共通液室１０１の一部を構成する第１連通部１６と、第２共通液室１０２の一部を構成する第２連通部１７と、を有する。

第１連通部１６は、第３の方向Ｚにおいて、ケース部材４０の第１液室部４１に重なる位置に設けられており、連通板１５のＺ１側及びＺ２側の両面に開口して設けられている。第１連通部１６は、Ｚ１側において第１液室部４１と連通することで第１共通液室１０１を構成する。すなわち、第１共通液室１０１は、ケース部材４０の第１液室部４１と連通板１５の第１連通部１６とによって構成されている。また、第１連通部１６は、Ｚ２側において圧力室１２に第３の方向Ｚで重なる位置まで第２の方向Ｙに延設されている。なお、連通板１５に第１連通部１６を設けずに、第１共通液室１０１をケース部材４０の第１液室部４１によって構成してもよい。

第２連通部１７は、第３の方向Ｚにおいて、ケース部材４０の第２液室部４２に重なる位置に設けられており、連通板１５のＺ１側及びＺ２側の両面に開口して設けられている。第２連通部１７は、Ｚ１側において第２液室部４２と連通することで第２共通液室１０２を構成する。すなわち、第２共通液室１０２は、ケース部材４０の第２液室部４２と連通板１５の第２連通部１７とによって構成されている。また、第２連通部１７は、Ｚ２側において圧力室１２に第３の方向Ｚで重なる位置まで第２の方向Ｙに延設されている。なお、連通板１５に第２連通部１７を設けずに、第２共通液室１０２をケース部材４０の第２液室部４２によって構成してもよい。

連通板１５の第１連通部１６及び第２連通部１７が開口するＺ２側の面には、コンプライアンス部４９４を有するコンプライアンス基板４９が設けられている。このコンプライアンス基板４９が、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のノズル面２０ａ側の開口を封止している。

このようなコンプライアンス基板４９は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４９１と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４９２と、を具備する。固定基板４９２の第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４９３となっているため、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の壁面の一部は可撓性を有する封止膜４９１のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９４となっている。本実施形態では、第１共通液室１０１に設けられたコンプライアンス部４９４を第１コンプライアンス部４９４Ａと称し、第２共通液室１０２に設けられたコンプライアンス部４９４を第２コンプライアンス部４９４Ｂと称する。このように第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とのそれぞれの壁面の一部にコンプライアンス部４９４を設けることで、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４が変形することによって吸収することができる。

ちなみに、第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けずに第１コンプライアンス部４９４Ａのみを設けた場合、圧力室１２とノズル２１が設けられた個別流路においてインク滴を吐出させた際の圧力変動が、第２共通液室１０２を介して他の個別流路に伝わり、他の個別流路から吐出されるインク滴の吐出特性が安定せず、複数のノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう虞がある。同様に、第１コンプライアンス部４９４Ａを設けずに、第２コンプライアンス部４９４Ｂのみを設けた場合、第１共通液室１０１を介して個別流路の圧力変動が伝わり、インク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう虞がある。本実施形態では、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の両方にコンプライアンス部４９４を設けることで、個別流路２００の圧力変動が第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２を介して他の個別流路２００に伝わり難く、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けずに、第１コンプライアンス部４９４Ａのみを設けた場合、少数のノズル２１からインク滴を吐出させた場合には、第１コンプライアンス部４９４Ａの変形によって圧力室１２へのインクの供給が十分に間に合うものの、多数のノズル２１から同時にインク滴を吐出させた際に第１コンプライアンス部４９４Ａの変形だけでは圧力室１２へのインクの供給が十分に行われず、同時に吐出するノズル２１の数によってインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量にばらつきが生じてしまう虞がある。本実施形態では、第１コンプライアンス部４９４Ａと第２コンプライアンス部４９４Ｂとの両方を設けることで、同時にインク滴を吐出するノズル２１の数によって圧力室１２へのインクの供給不足が生じるのを抑制して、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、このように第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の両方にコンプライアンス部４９４を設ける場合、本実施形態では、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２をノズル２１が開口するＺ２側に開口するように設けることで、ノズルプレート２０とコンプライアンス部４９４とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて圧力室１２及びノズル２１を有する個別流路２００に対して同じ側であるＺ２側に配置されている。このように、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に対してノズル２１と同じ側に配置することで、ノズル２１が設けられていない領域にコンプライアンス部４９４を設けることができ、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で設けることができる。また、コンプライアンス部４９４とノズル２１とを個別流路２００に対して同じ側に配置することで、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に近い位置に配置して、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収させることができる。

なお、コンプライアンス部４９４の位置は、特にこれに限定されず、第３の方向Ｚにおいて個別流路２００に対してノズル２１とは反対側に配置するようにしてもよい。すなわち、コンプライアンス部４９４をケース部材４０のＺ１側の面や、ケース部材４０及び連通板１５の側面等に設けることも可能である。ただし、上述のように、コンプライアンス部４９４をノズル２１と同じＺ２側に配置した方が、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に近い位置に配置して、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収することができると共に、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で形成することができる。

また、本実施形態の２つのコンプライアンス部４９４は、図１に示すように、１つのコンプライアンス基板４９に設けられている。もちろん、コンプライアンス基板４９は、これに限定されず、コンプライアンス部４９４毎に独立したコンプライアンス基板４９を設けるようにしてもよい。

また、流路基板を構成する流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９等には、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とに連通して、第１共通液室１０１のインクを第２共通液室１０２に送る複数の個別流路２００が設けられている。ここで、本実施形態の個別流路２００は、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とに連通して、ノズル２１毎に設けられたものであり、ノズル２１を含むものである。このようなノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する３つの個別流路２００は、それぞれ第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通して設けられている。すなわち、ノズル２１毎に設けられた複数の個別流路２００は、それぞれ第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のみで連通して設けられており、複数の個別流路２００は、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２以外で互いに連通することがない。つまり、本実施形態では、１つのノズル２１及び１つの圧力室１２が設けられた流路を個別流路２００と称し、各個別流路２００同士は、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のみで連通するように設けられている。

また、本実施形態では、個別流路２００のうち、ノズル２１よりも第１共通液室１０１側の流路を上流流路と称し、個別流路２００のノズル２１よりも第２共通液室１０２側の流路を下流流路と称する。

さらに、本実施形態では、第１の方向Ｘに並設された複数の個別流路２００は、第１ノズル２１Ａを有する第１個別流路２００Ａと、第２ノズル２１Ｂを有する第２個別流路２００Ｂとを具備する。そして、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが、第１の方向Ｘに交互に配置されている。

ここで、第１個別流路２００Ａは、第１流路２０１と第１圧力室１２Ａと第２流路２０２と第１ノズル２１Ａと第３流路２０３と第４流路２０４と第５流路２０５とを具備する。

第１流路２０１は、第１圧力室１２Ａと第１共通液室１０１とを連通するものであり、Ｚ２側の一端が第１共通液室１０１を構成する第１連通部１６に連通し、Ｚ１側の他端が圧力室１２の第２の方向Ｙの一端側に連通するように第１連通板１５１を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。

第１圧力室１２Ａは、上述のように流路形成基板１０に設けられたものであり、第１圧力室１２ＡのＺ１側の開口は振動板５０によって封止され、第１圧力室１２ＡのＺ２側の開口の一部は連通板１５によって覆われている。このような第１圧力室１２Ａは、流路の並ぶ方向、すなわち、第１の方向Ｘに第１の解像度で形成されている。すなわち、第１流路基板である流路形成基板１０と第２流路基板である連通板１５との間に設けられた流路とは、圧力室１２のことである。また、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは、第２の方向Ｙに異なる位置に配置されているため、第１の解像度とは、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂのそれぞれの解像度のことである。また、第１の解像度とは、流路が並ぶ方向である第１の方向Ｘにおける流路のピッチのことである。

第２流路２０２は、第１圧力室１２Ａと第１ノズル２１Ａとを連通するものであり、Ｚ１側の一端が第１圧力室１２Ａの第２の方向Ｙの他端側に連通し、Ｚ２側の他端がノズルプレート２０に設けられた第１ノズル２１Ａと連通するように連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。すなわち、第２流路２０２は、ノズル２１から第１共通液室１０１までの間にノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられており、この第２流路２０２が特許請求の範囲に記載の上流連通路に相当する。また、第２流路２０２は、第１個別流路２００Ａにおいて、第１圧力室１２Ａから第１ノズル２１Ａまでの間に、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられており、この第２流路２０２が特許請求の範囲に記載の第１連通路に相当する。

第１ノズル２１Ａは、第２流路２０２のＺ２側の他端に連通すると共に、ノズルプレート２０のＺ２側のノズル面２０ａに開口することで外部と連通して設けられている。

第３流路２０３は、第２連通板１５２とノズルプレート２０との間に、一端が第２流路２０２に連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。第３流路２０３は、第２連通板１５２に凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第３流路２０３は特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を第２連通板１５２によって蓋をするようにしてもよく、第２連通板１５２とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。この第３流路２０３が、特許請求の範囲に記載の第２流路基板である連通板１５と第３流路基板であるノズルプレート２０との間に設けられた流路の一部を構成する。

第４流路２０４は、Ｚ２側の一端が第３流路２０３に連通すると共に、第２連通板１５２を第３の方向に貫通して設けられている。

第５流路２０５は、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に、一端が第４流路２０４に連通し、他端が第２共通液室１０２に連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。本実施形態の第５流路２０５は、第２連通板１５２に凹部を設け、凹部を第１連通板１５１によって蓋をすることで形成されている。もちろん、第５流路２０５は、第１連通板１５１に凹部を設け、第２連通板１５２によって蓋をすることで形成してもよく、第１連通板１５１と第２連通板１５２との両方に凹部を設けるようにしてもよい。

このように第１個別流路２００Ａは、第１共通液室１０１に連通する上流側から第２共通液室１０２に連通する下流側に向かって順に第１流路２０１、圧力室１２、第２流路２０２、第１ノズル２１Ａ、第３流路２０３、第４流路２０４及び第５流路２０５を有する。つまり、本実施形態では、図４に示すように、第１個別流路２００Ａは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流側から下流側に向かって圧力室１２と第１ノズル２１Ａとがこの順番に配置されている。

そして、このような第１個別流路２００Ａでは、第１共通液室１０１から第１個別流路２００Ａを通り第２共通液室１０２にインクが流れる。また、圧電アクチュエーター３００を駆動することによって第１圧力室１２Ａ内のインクに圧力変化を生じさせて、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力を上昇させることで第１ノズル２１Ａから外部にインク滴が吐出される。第１共通液室１０１から第１個別流路２００Ａを通り第２共通液室１０２にインクが流れる時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよいし、第１共通液室１０１から第１個別流路２００Ａを通り第２共通液室１０２にインクが流れない時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよい。また、圧電アクチュエーター３００の駆動による圧力変化により、第２共通液室１０２から第１共通液室１０１へのインクの流れが一時的に生じてもよい。

なお、本実施形態では、第１個別流路２００Ａのうち、第１ノズル２１Ａよりも上流側、すなわち、第１共通液室１０１に連通する第２流路２０２と第１圧力室１２Ａと第１流路２０１とを第１上流流路と称する。また、第１個別流路２００Ａのうち、第１ノズル２１Ａよりも下流側、すなわち第２共通液室１０２に連通する第３流路２０３と第４流路２０４と第５流路２０５とを第１下流流路と称する。

第２個別流路２００Ｂは、第６流路２０６と第７流路２０７と第８流路２０８と第２ノズル２１Ｂと第９流路２０９と第２圧力室１２Ｂと第１０流路２１０とを具備する。

第６流路２０６は、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に、一端が第１共通液室１０１に連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。本実施形態の第６流路２０６は、第２連通板１５２に凹部を設け、凹部を第１連通板１５１によって蓋をすることで形成されている。もちろん、第６流路２０６は、第１連通板１５１に凹部を設け、第２連通板１５２によって蓋をすることで形成してもよく、第１連通板１５１と第２連通板１５２との両方に凹部を設けるようにしてもよい。

このような第６流路２０６と第１個別流路２００Ａの第１圧力室１２Ａとは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて異なる位置に配置されている。具体的には、第１圧力室１２Ａは、第１連通板１５１のＺ１側に設けられ、第６流路２０６は、第１連通板１５１のＺ２側に設けられており、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とは、第３の方向Ｚに異なる位置に配置されている。このため、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とを第１の方向Ｘに近接して配置しても、第１圧力室１２Ａを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制して、第１圧力室１２Ａの隔壁が変形することで第１圧力室１２Ａ内のインクの圧力を吸収するのを抑制し、吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。また、詳しくは後述するが、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とを第３の方向Ｚからの平面視において少なくとも一部が重なるように配置したとしても、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とが第３の方向Ｚに異なる位置に配置されているので、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とが連通することがない。なお、本実施形態では、第６流路２０６は、第３の方向Ｚからの平面視において第１圧力室１２Ａと重ならない位置に配置されている。

第７流路２０７は、Ｚ１側の一端が第６流路２０６に連通すると共に、第２連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。すなわち、第７流路２０７は、ノズル２１から第１共通液室１０１までの間にノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられており、この第７流路２０７が特許請求の範囲に記載の上流連通路に相当する。

第８流路２０８は、第２連通板１５２とノズルプレート２０との間に、一端が第７流路２０７に連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。本実施形態の第８流路２０８は、第２連通板１５２に凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第８流路２０８は特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を第２連通板１５２によって蓋をするようにしてもよく、第２連通板１５２とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。この第８流路２０８が、特許請求の範囲に記載の第２流路基板である連通板１５と第３流路基板であるノズルプレート２０との間に設けられた流路の一部を構成する。すなわち、第２流路基板である連通板１５と第３流路基板であるノズルプレート２０との間には、第３流路２０３と第８流路２０８とが第１の方向Ｘに交互に配置されている。この第３流路２０３と第８流路２０８とが第１の方向Ｘに交互に配置された解像度を第２の解像度と称する。そして、第３流路２０３と第８流路２０８との第２の解像度は、第１圧力室１２Ａ又は第２圧力室１２Ｂの第１の解像度よりも大きい。例えば、第１圧力室１２Ａが３００ｄｐｉ、第２圧力室１２Ｂが３００ｄｐｉの第１の解像度で形成されていると、第３流路２０３と第８流路２０８とは、６００ｄｐｉの第２の解像度で形成されることになる。したがって、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂのそれぞれの第１の解像度を、第３流路２０３と第８流路２０８との第２の解像度よりも小さくして、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂの第１の方向Ｘの開口幅を広げることができ、圧力室１２の排除体積を増大させることができる。

第９流路２０９は、Ｚ２側の一端が第２ノズル２１Ｂに連通し、Ｚ１側の他端が第２圧力室１２Ｂの第２の方向Ｙの一端側に連通するように連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。すなわち、第９流路２０９は、第２圧力室１２Ｂと第２ノズル２１Ｂとの間に、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられている。本実施形態では、第９流路２０９が、特許請求の範囲に記載の第２連通路に相当する。

第２圧力室１２Ｂは、上述のように流路形成基板１０に設けられたものであり、第２圧力室１２ＢのＺ１側の開口は振動板５０によって封止され、第２圧力室１２ＢのＺ２側の開口の一部は連通板１５によって覆われている。このような第２圧力室１２Ｂは、第１個別流路２００Ａの第１圧力室１２Ａと第２の方向Ｙに異なる位置に配置されており、第１の方向Ｘから平面視した際に、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは互いに重ならない位置に設けられている。このような第２圧力室１２Ｂは、第１圧力室１２Ａと同様に第１の方向Ｘに第１の解像度で形成されている。

また、第２圧力室１２Ｂと第１個別流路２００Ａの第５流路２０５とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて異なる位置に配置されている。具体的には、第２圧力室１２Ｂは、第１連通板１５１のＺ１側に設けられ、第５流路２０５は、第１連通板１５１のＺ２側に設けられており、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とは、第３の方向Ｚに異なる位置に配置されている。このため、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とを第１の方向Ｘに近接して配置しても、第２圧力室１２Ｂを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制して、第２圧力室１２Ｂの隔壁が変形して圧力吸収することによる吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。また、詳しくは後述するが、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とを第３の方向Ｚからの平面視において少なくとも一部が重なるように配置したとしても、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とが第３の方向Ｚに異なる位置に配置されているので、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とが連通することがない。なお、本実施形態では、第５流路２０５は、第３の方向Ｚからの平面視において第２圧力室１２Ｂと重ならない位置に配置されている。

第２ノズル２１Ｂは、第９流路２０９のＺ２側の端部に連通すると共に、ノズルプレート２０のＺ２側のノズル面２０ａに開口することで外部と連通して設けられている。

第１０流路２１０は、第２圧力室１２Ｂと第２共通液室１０２とを連通するものであり、Ｚ１側の一端が第２圧力室１２Ｂの第２の方向Ｙの他端側に連通し、Ｚ２側の他端が第２共通液室１０２を構成する第２連通部１７に連通するように第１連通板１５１を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。

このように第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１に連通する上流側から第２共通液室１０２に連通する下流側に向かって順に第６流路２０６、第７流路２０７、第８流路２０８、第２ノズル２１Ｂ、第９流路２０９、第２圧力室１２Ｂ及び第１０流路２１０を具備する。つまり、本実施形態では、図４に示すように、第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流側から下流側に向かって第２ノズル２１Ｂと第２圧力室１２Ｂとがこの順番に配置されている。すなわち、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとでは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して圧力室１２とノズル２１との順番が異なるように配置されている。本実施形態では、各個別流路２００に圧力室１２とノズル２１とが１つずつ設けられているため、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとは、圧力室１２とノズル２１との順番が、逆転して配置されている。

そして、このような第２個別流路２００Ｂでは、第１共通液室１０１から第２個別流路２００Ｂを通り第２共通液室１０２にインクが流れる。また、圧電アクチュエーター３００を駆動することによって第２圧力室１２Ｂ内のインクに圧力変化を生じさせて、第２ノズル２１Ｂ内の圧力を上昇させることで第２ノズル２１Ｂから外部にインク滴が吐出される。第１共通液室１０１から第２個別流路２００Ｂを通り第２共通液室１０２にインクが流れる時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよいし、第１共通液室１０１から第２個別流路２００Ｂを通り第２共通液室１０２にインクが流れない時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよい。また、圧電アクチュエーター３００の駆動による圧力変化により、第２共通液室１０２から第１共通液室１０１へのインクの流れが一時的に生じてもよい。ちなみに、第２ノズル２１Ｂからのインク滴の吐出は、第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力によって決定される。第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力は、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かって流れるインクの圧力、所謂、循環の圧力と、圧電アクチュエーター３００の駆動によって第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かう圧力とによって決定される。

例えば、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、第２圧力室１２Ｂ内のインクの圧力変動によって第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かってインクが逆流して第２ノズル２１Ｂからインク滴が吐出されてもよい。このように、第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かってインクが逆流するということは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かう循環の圧力が小さいことになるため、循環の圧力を比較的小さくすることで、個別流路２００の圧力損失を小さくすることができる。そして、個別流路２００の圧力損失を小さくすることで、各個別流路２００間での圧力損失の差を減少させることができるため、各ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを低減することができる。

また、例えば、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、第２圧力室１２Ｂ内のインクの圧力変動によって第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かってインクが逆流することなく第２ノズル２１Ｂからインクが吐出されてもよい。この場合、第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かうインクの流れが発生しないため、第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂに向かって気泡が逆流し難く、気泡によって第２ノズル２１Ｂからのインク滴の吐出不良が生じ難い。

なお、本実施形態では、第２個別流路２００Ｂのうち、第２ノズル２１Ｂよりも上流側、すなわち、第１共通液室１０１に連通する第６流路２０６と第７流路２０７と第８流路２０８とを第２上流流路と称する。また、第２個別流路２００Ｂのうち、第２ノズル２１Ｂよりも下流側、すなわち第２共通液室１０２に連通する、第９流路２０９と第２圧力室１２Ｂと第１０流路２１０とを第２下流流路と称する。

このような第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが、図４に示すように、第１の方向Ｘに交互に配設されている。すなわち、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、圧力室１２とノズル２１との位置に関係なく、圧力室１２内の圧力変動によってノズル２１からインク滴を吐出することができる。つまり、第１個別流路２００Ａのように第１圧力室１２Ａが上流、第１ノズル２１Ａが下流に配置されていても、また、第２個別流路２００Ｂのように第２ノズル２１Ｂが上流、第２圧力室１２Ｂが下流に配置されていても、圧力室１２内のインクの圧力変動によって第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂの両者から選択的にインク滴を吐出することができる。このため、上述のように第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、圧力室１２とノズル２１との順番が異なる第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを第１の方向Ｘに交互に配置することで、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとで圧力室１２の位置を変更、すなわち、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとを第２の方向Ｙに異なる位置に配置することができる。したがって、各個別流路２００の圧力室１２を第１の方向Ｘに幅広に形成することや、圧力室１２を第１の方向Ｘに高密度に配置することができる。つまり、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとを第２の方向Ｙに異なる位置に配置することで、第１の方向Ｘに並設された第１圧力室１２Ａの間の隔壁を厚くすることができると共に、第１の方向Ｘに並設された第２圧力室１２Ｂの隔壁を厚くすることができる。したがって、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂを第１の方向Ｘに幅広に形成しても、隔壁の剛性が低下するのを抑制することができ、排除体積を向上してインク滴の吐出特性、すなわち、インク滴の重量を増大させることができると共に、隔壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。また、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂのそれぞれを第１の方向Ｘに高密度に配置しても、隔壁の剛性が低下するのを抑制することができ、隔壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。

ちなみに、例えば、第２個別流路２００Ｂを設けずに、第１個別流路２００Ａのみを第１の方向Ｘに並設した場合、第１の方向Ｘに第１圧力室１２Ａを高密度に配置すると、第１の方向Ｘで隣接する第１圧力室１２Ａの間の隔壁の厚さが薄くなり、隔壁の剛性が低下する。このように隔壁の剛性が低下すると、隔壁の変形によるクロストークが発生する。すなわち、インク滴を吐出するノズル２１の両側のノズル２１からインク滴を同時に吐出する場合には、隣接する第１圧力室１２Ａの間の隔壁には両側から同じタイミングで圧力が印加される。この場合には、隔壁の剛性にかかわらず隔壁には両側から圧力が印加されるため、隔壁は変形し難い。これに対して、インク滴を吐出するノズル２１の両側のノズル２１からインク滴を吐出しない場合には、隣接する第１圧力室１２Ａの間の隔壁には片側のみに圧力が印加される。このとき、隔壁の剛性が低いと、隔壁が変形して圧力変動が吸収され、インク滴の吐出特性が低下する。このため、複数のノズル２１の何れかからインク滴を吐出させるかの条件の違いによって、インク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう。したがって、第１圧力室１２Ａのみを設けた場合には、第１圧力室１２Ａを第１の方向Ｘに幅広に形成することができず、また、第１圧力室１２Ａを第１の方向Ｘに高密度に配置することができない。

本実施形態では、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとは、第２の方向Ｙに異なる位置に配置されているため、第１の方向Ｘで隣接する第１圧力室１２Ａの間の隔壁の厚さを比較的厚くすると共に、第１の方向Ｘで隣接する第２圧力室１２Ｂの間の隔壁の厚さを比較的厚くすることができる。このため第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂをそれぞれ第１の方向Ｘに幅広に形成しても、第１圧力室１２Ａの間の隔壁及び第２圧力室１２Ｂの間の隔壁の剛性が低下するのを抑制することができる。したがって、流路基板が第１の方向Ｘに大型化するのを抑制して、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂの容積を大きくすることができ、圧電アクチュエーター３００の駆動による排除体積を大きくして、インク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を向上することができると共に、隔壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。

また、第１の方向Ｘにおいて第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとの間隔を短くしても、第１圧力室１２Ａの間の隔壁及び第２圧力室１２Ｂの間の隔壁の剛性が低下するのを抑制することができるため、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂを第１の方向Ｘに高密度に配置することが可能である。したがって、流路基板の第１の方向Ｘの小型化を図ると共に圧力室１２の排除体積を向上してインク滴吐出特性を向上することや、圧力室１２を第１の方向Ｘに高密度に配置してノズル２１を高密度に配置することができると共に、隔壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。

また、本実施形態では、第１ノズル２１Ａを、一端が第１圧力室１２Ａに連通する第３の方向Ｚに沿った第１連通路である第２流路２０２の他端に連通する位置に配置している。このため、第１圧力室１２Ａから第１ノズル２１Ａまでの第２流路２０２の横断面積を比較的大きくして、第２流路２０２の流路抵抗を小さくして、第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴の重量を大きくすることができる。

同様に、本実施形態では、第２ノズル２１Ｂを、一端が第２圧力室１２Ｂに連通する第３の方向Ｚに沿った第２連通路である第９流路２０９の他端に連通する位置に配置している。このため、第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂまでの第９流路２０９の横断面積を比較的大きくして、第８流路２０８の流路抵抗を小さくして、第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量を大きくすることができる。

すなわち、本実施形態では、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとがそれぞれ第２流路２０２及び第９流路２０９に直接連通するように、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙで異なる位置に配置し、ノズル２１を第１の方向Ｘに所謂、千鳥配置とすることで、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量を大きくすることができる。

もちろん、第１ノズル２１Ａを第３流路２０３の途中に連通するように配置し、第２ノズル２１Ｂを第８流路２０８の途中に連通するように配置してもよいが、第３流路２０３及び第８流路２０８は、連通板１５の第３の方向Ｚの厚さによって流路の横断面積、特に第３の方向Ｚの高さを大きくすることに制限があるため、第２流路２０２及び第９流路２０９に比べて第３流路２０３及び第８流路２０８は、流路抵抗が大きくなり易い。したがって、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量が比較的小さくなる虞がある。

また、本実施形態では、個別流路２００のノズル２１よりも第１共通液室１０１側の上流流路の流路抵抗と、ノズル２１よりも第２共通液室１０２側の下流流路の流路抵抗とは、同じとなるように設けられている。

すなわち、第１個別流路２００Ａの第１上流流路の流路抵抗と第１下流流路の流路抵抗とは、同じとなっている。つまり、第１上流流路を構成する第１流路２０１、第１圧力室１２Ａ及び第２流路２０２の合計の流路抵抗と、第１下流流路を構成する第３流路２０３、第４流路２０４及び第５流路２０５の合計の流路抵抗とは、同じ流路抵抗となるように形成されている。ここで、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗とは、流路を横断する断面積、流路長、及び形状によって決定されるものである。

また、第２個別流路２００Ｂの第２上流流路と第２下流流路とは同じ流路抵抗となっている。すなわち、第２上流流路を構成する第６流路２０６、第７流路２０７、第８流路２０８の合計の流路抵抗と、第９流路２０９、第２圧力室１２Ｂ、第１０流路２１０の合計の流路抵抗とは、同じ流路抵抗となるように形成されている。

そして、本実施形態では、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状となっている。すなわち、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第２個別流路２００Ｂの第２下流流路とは同じ形状で且つ同じ流路抵抗となるように設けられており、第１個別流路２００Ａの第１下流流路と第２個別流路２００Ｂの第２上流流路とは同じ形状で且つ同じ流路抵抗となるように設けられている。

このように、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路とを同じ流路抵抗とし、第２個別流路２００Ｂの第２上流流路と第２下流流路とを同じ流路抵抗とすることで、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状としても、第１共通液室からノズル２１までの第１上流流路と第２上流流路との流路抵抗を揃えることができる。したがって、第１個別流路２００Ａの第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴と、第２個別流路２００Ｂの第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができると共に、流路の構造を簡略化することができる。

また、第１個別流路２００Ａの第１下流流路と第２個別流路２００Ｂの第２下流流路との流路抵抗を揃えることで、ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性を揃えることができる。つまり、複数のノズル２１から同時にインク滴を吐出する場合、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との両方から圧力室１２にインクが供給されるため、第１下流流路と第２下流流路とを同じ流路抵抗とすることで、インクの供給量にばらつきが生じるのを抑制して、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

ちなみに、例えば、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗が異なる場合、第１個別流路２００Ａを反転させて第２個別流路２００Ｂとした際に、第１個別流路２００Ａの第１下流流路が第２個別流路２００Ｂの第２上流流路となるため、第１共通液室１０１からノズル２１までの第１上流流路と第２上流流路とで異なる流路抵抗になってしまう。このため、第１個別流路２００Ａの第１ノズル２１Ａと第２個別流路２００Ｂの第２ノズル２１Ｂとから吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう。また、第１上流流路と第２上流流路とを同じ流路抵抗にするためには、第２上流流路を第１下流流路とは異なる断面積、流路長、形状等で形成しなくてはならず煩雑である。

以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例である記録ヘッド１では、流路が形成された流路基板と、流路の液体であるインクに圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、流路は、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、第１共通液室１０１および第２共通液室１０２に連通して第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かってインクが流れる個別流路２００と、を含み、個別流路２００は、外部と連通するノズル２１と、圧電アクチュエーター３００により圧力変化が生じる圧力室１２と、を備え、複数の前記個別流路のうち、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する３つの個別流路２００は、それぞれ、第１共通液室１０１および第２共通液室１０２に連通し、並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する２つの個別流路２００である第１個別流路２００Ａ及び第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向において、圧力室とノズル２１との並び順が異なる。

このように、圧力室１２とノズル２１との並び順が異なる個別流路２００である第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを第１の方向Ｘに隣接するように配置することで、隣接する個別流路２００の圧力室１２を第２の方向Ｙで異なる位置に配置することができる。したがって、圧力室１２とノズル２１との順番が同じ個別流路を並設する場合に比べて、圧力室１２の並設方向の幅を広く設けて、圧力室１２の圧電アクチュエーター３００による排除体積を大きくして、インク滴の吐出重量を大きくすることや、圧力室１２を第１の方向Ｘに高密度に並設して、流路基板を小型化することができる。また、隣接する個別流路２００の圧力室１２を第２の方向Ｙにずらした位置に配置することができるため、第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００の圧力室１２の配設密度を向上して、ノズル２１を高密度に配置することができる。

また、個別流路２００同士を途中で合流させることなく、個別流路２００をそれぞれ独立して第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通させることで、各個別流路２００の間での圧力変動の影響によるクロストークの発生を抑制することができる。つまり、個別流路２００同士を第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通する前に合流してしまうと、一方の個別流路２００内のインクの圧力変化が他方の個別流路２００に大きく影響し、インク吐出特性にばらつきが生じてしまう。本実施形態では、複数の個別流路２００は、比較的大きな容積を有する第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のみに連通しているため、複数の個別流路２００の間で互いに圧力変動の影響を小さくすることができ、インク吐出特性のばらつきを抑制することができる。

さらに、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とが個別流路２００だけで連通しているため、インクが第１共通液室１０１内を個別流路２００の並設方向である第１の方向Ｘに流れることがなく、複数の個別流路２００に供給するインクの圧力差が生じ難く、ノズル２１から吐出されるインクの吐出特性にばらつきが生じ難い。ちなみに、第１共通液室１０１内をインクが第１の方向Ｘに流れると、第１共通液室１０１の上流側に連通する個別流路２００へ供給するインクの圧力に比べて、下流側に連通する個別流路２００へ供給するインクの圧力が低下し、各個別流路２００へ供給するインクの圧力のばらつきによってインク吐出特性のばらつきが生じ易くなってしまう。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、個別流路２００のうち、ノズル２１から第１共通液室１０１までの上流流路の流路抵抗と、ノズル２１から第２共通液室１０２までの下流流路の流路抵抗とは、同じであることが好ましい。このように第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００の上流流路の流路抵抗と下流流路の流路抵抗とを同じにすることで、第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００を第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状としても、隣接する個別流路２００の上流流路を同じ流路抵抗とすることができる。したがって、隣接する個別流路２００から吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができると共に、流路の構造を簡略化することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１共通液室１０１から個別流路２００を介して第２共通液室１０２に液体であるインクを流した状態で、ノズル２１からインクを吐出しない非吐出時において、２つの個別流路２００のノズル２１内のインクの圧力差は、−２％以上、＋２％以下である。

このように非吐出時において、第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００のノズル２１内のインクの圧力差を−２％以上、＋２％以下と比較的小さくすることで、隣接する個別流路２００の各ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、２つの個別流路２００のそれぞれのエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００に印加される電圧を異ならせるようにしてもよい。このように、第１個別流路２００Ａに対応する圧電アクチュエーター３００と第２個別流路２００Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００とに印加する電圧を異ならせることで、例えば、第１個別流路２００Ａの第１ノズル２１Ａから第１共通液室１０１までの第１上流流路と、第２個別流路２００Ｂの第２ノズル２１Ｂから第１共通液室１０１までの第２上流流路との流路抵抗が異なる場合であっても、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴のインク重量の誤差を低減することができる。同様に、第１個別流路２００Ａに対応する圧電アクチュエーター３００と第２個別流路２００Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００とに印加する電圧を異ならせることで、非吐出時において第１ノズル２１Ａ内のインクと第２ノズル２１Ｂ内のインクとの圧力差が−２％より小さく、＋２％よりも大きい場合であっても、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴のインク重量の誤差を低減することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、複数の個別流路２００は、ノズル２１が圧力室１２よりも下流側に設けられた第１個別流路２００Ａと、ノズル２１が圧力室１２よりも上流側に設けられた第２個別流路２００Ｂと、を有し、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが並設方向である第１の方向Ｘで隣接する位置に配置されており、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて、第１個別流路２００Ａの圧力室１２と、第２個別流路２００Ｂのうちノズル２１よりも第１共通液室１０１側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第６流路２０６とは、異なる位置に配置されている。

このように、第１個別流路２００Ａの第１圧力室１２Ａと第２個別流路２００Ｂの第６流路２０６とを、第３の方向Ｚで異なる位置に配置することで、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とを第１の方向Ｘに近接して配置しても、第１圧力室１２Ａを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制することができ、第１圧力室１２Ａを第１の方向Ｘに幅広に形成して、第１圧力室１２Ａの排除体積を増大させて、インク滴の吐出特性を向上することができる。また、第１圧力室１２Ａの隔壁の剛性が低下するのを抑制して、隔壁が変形することによる圧力吸収を抑制し、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

もちろん、第１個別流路２００Ａの第１圧力室１２Ａと第２個別流路２００Ｂの第６流路２０６とを第３の方向Ｚで同じ位置に配置してもよい。

また、本実施形態では、第２個別流路２００Ｂの第２圧力室１２Ｂと、第１個別流路２００Ａのノズル２１よりも第２共通液室１０２側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向の延びる流路である第５流路２０５とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚで異なる位置に配置されている。

これにより、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とを第１の方向Ｘに近接して配置しても、第２圧力室１２Ｂを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制することができ、第２圧力室１２Ｂを第１の方向Ｘに幅広に形成して、第２圧力室１２Ｂの排除体積を増大させて、インク滴の吐出特性を向上することができる。また、第２圧力室１２Ｂの隔壁の剛性が低下するのを抑制して、隔壁が変形することによる圧力吸収を抑制し、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

もちろん、第２個別流路２００Ｂの第２圧力室１２Ｂと第１個別流路２００Ａの第５流路２０５とを第３の方向Ｚで同じ位置に配置してもよい。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とのそれぞれの壁面の一部には、液体であるインクの圧力を吸収可能なコンプライアンス部４９４が設けられている。このように、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とのそれぞれにコンプライアンス部４９４を設けることで、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４が変形することによって吸収することができ、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッドでは、液体であるインクの圧力変動を吸収可能なコンプライアンス部４９４と、ノズル２１が設けられたノズルプレート２０と、を含み、コンプライアンス部４９４とノズルプレート２０とは、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて、個別流路に対して同じ側に配置されている。

このように、コンプライアンス部４９４をノズル２１と同じ側に配置することで、ノズル２１が設けられていない領域にコンプライアンス部４９４を設けることができ、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で設けることができる。また、コンプライアンス部４９４とノズル２１とを同じ側に配置することで、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に近い位置に配置して、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収させることができる。

また、本実施形態の記録ヘッドでは、コンプライアンス部４９４は、ノズルプレート２０とは異なる部材であるコンプライアンス基板４９に形成されている。

このようにコンプライアンス部４９４をノズルプレート２０とは別部材であるコンプライアンス基板４９に設けることで、コンプライアンス部４９４の変形による振動がノズルプレート２０のノズル２１に伝わり難く、コンプライアンス部４９４の振動によってノズル２１から吐出されるインク滴の飛翔方向にばらつきが生じるのを抑制することができる。また、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることで、コストの低減を図ることができる。

また、本実施形態の記録ヘッドでは、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚから平面視した際に、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との間にノズル２１が配置されている。

このように第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との間にノズル２１を配置することで、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とノズル２１とに連通する流路の構造を簡略化することができ、流路抵抗を低減してノズル２１から吐出されるインク滴の重量が減少するのを抑制することができる。ちなみに、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との間の外側にノズル２１を配置すると、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とノズル２１とに連通する流路の構造が複雑化し、流路長が長くなることによって流路抵抗が増大し、ノズル２１から吐出されるインク滴の重量が減少してしまう。

なお、上述した構成では、第１個別流路２００Ａの第１ノズル２１Ａと、第２個別流路２００Ｂの第２ノズル２１Ｂとは、第２の方向Ｙにずれた位置に配置することでノズル２１が第１の方向Ｘに千鳥配置となるようにしたが、特にこれに限定されない。

ここで、変形例を図５〜図７に示す。なお、図５は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの変形例を示すノズル面側の平面図である。図６は、インクジェット式記録ヘッドの変形例を示す図５のＣ−Ｃ′線断面図である。図７は、インクジェット式記録ヘッドの変形例を示す図５のＤ−Ｄ′線に準じた断面図である。

図６に示すように、第１ノズル２１Ａは、第１個別流路２００Ａの第３流路２０３の途中に連通する位置に設けられている。

また、図７に示すように、第２ノズル２１Ｂは、第２個別流路２００Ｂの第８流路２０８の途中に連通する位置に設けられている。すなわち、ノズル２１は、流路基板のノズル２１が開口するノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第３流路２０３及び第８流路２０８の途中に連通して配置されている。

これにより、図５に示すように、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙで同じ位置に配置することができ、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第１の方向Ｘに沿った直線上に１列に配置することができる。すなわち、ノズル２１をノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第３流路２０３及び第８流路２０８の途中に連通するように配置することで、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとが第２の方向Ｙに異なる位置に配置されていても、ノズル２１の位置を第２の方向Ｙに容易に調整することができるため、複数のノズル２１を第１の方向Ｘに沿った直線上に１列に容易に配置することができる。

このような構成では、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘから平面視した際に、第１の方向Ｘで隣接する２つの個別流路、すなわち、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとにおいて、ノズル２１の間隔、すなわち、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとの間隔は、圧力室１２の間隔、すなわち第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとの間隔よりも小さくなっている。

このように、第２の方向Ｙにおいて、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとの間隔を第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂとの間隔よりも小さくすることで、複数のノズル２１を近接させて高密度に配置することができると共に、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂを第２の方向Ｙで離れた位置に配置することができ、第１圧力室１２Ａの列、及び、第２圧力室１２Ｂの列のそれぞれをノズル２１に比べて低密度に配置することができる。したがって、各圧力室１２の排除体積を大きくすることや高密度に配置して流路基板の小型化を図ることができる。

また、第２の方向Ｙで複数のノズル２１を同じ位置に配置することで、各ノズル２１からインク滴を吐出させるタイミングをずらすように調整する必要がなく、圧電アクチュエーター３００の駆動制御を簡略化することができる。ちなみに、記録ヘッド１を第２の方向Ｙに移動させてインク滴を吐出させる際に、第２の方向Ｙに異なる位置に配置されたノズル２１から同じタイミングでインク滴を吐出させると、被噴射媒体へのインク滴の着弾位置が第２の方向Ｙにずれてしまうため、第２の方向Ｙで同じ位置にインク滴が着弾するように、圧電アクチュエーター３００の駆動タイミングを調整する必要があるからである。

また、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが第２の方向Ｙに比較的離れた位置に配置されていると、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂのそれぞれから吐出されたインク滴により発生した乱流が互いに影響し、インク滴の飛翔方向にずれが生じる虞がある。本実施形態のように、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを比較的近い位置に配置することで、互いのノズル２１から吐出されるインク滴の乱流による影響を抑制して、インク滴の飛翔方向のばらつきを抑制し、インク滴の被噴射媒体への着弾位置ずれを抑制することができる。

また、図５に示す例では、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが第１の方向Ｘに沿った直線上に配置されるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、第２の方向Ｙにおいて第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを異なる位置に配置すると共に、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘから平面視した際に、第１の方向Ｘで隣接する第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとにおいて、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとの間隔は、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとの間隔よりも小さくするようにしてもよい。すなわち、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが第１の方向Ｘに沿って千鳥状に配置されると共に、第１ノズル２１Ａは第３流路２０３に連通し、第２ノズル２１Ｂが第８流路２０８に連通するようにしてもよい。このように第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを比較的近い位置に配置することで、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂのそれぞれから吐出されたインク滴によって発生した乱流の影響を抑制し、インク滴の飛翔方向のばらつきを抑制して、インク滴の被噴射媒体への着弾位置ずれを抑制することができる。また、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙに延設された流路である第３流路２０３及び第８流路２０８に連通させることで、ノズル２１によって乾燥することによって増粘したインクや、ノズル２１から侵入した気泡が、連通板１５とノズルプレート２０との境界の角部、すなわち、第２流路２０２及び第９流路２０９のノズルプレート２０側の端部の角部に滞留するのを抑制して、ノズル２１による増粘したインクや気泡を下流側の第２共通液室１０２に排出することができる。また、ノズル２１から侵入した気泡は、浮力によって圧力室１２側に移動するのを抑制することができ、下流側の第２共通液室１０２に排出することができる。したがって、増粘したインクや気泡によって吐出不良が発生するのを抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１個別流路２００Ａの圧力室である第１圧力室１２Ａと、第２個別流路２００Ｂのうちノズル２１よりも第１共通液室１０１側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第６流路２０６とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚから平面視した際に互いに重ならない位置に配置するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とは、第３の方向Ｚからの平面視において少なくとも一部が互いに重なる位置に配置されていてもよい。このような構成を図８に示す。なお、図８は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの流路構成を示す平面図である。

図８に示すように、第１個別流路２００Ａの第１圧力室１２Ａと、第２個別流路２００Ｂの第６流路２０６とは、第３の方向Ｚからの平面視において一部が互いに重なる位置に配置されている。このように第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とが第３の方向Ｚにおいて一部が互いに重なる位置に配置された構成は、本実施形態のように、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とが、第３の方向Ｚにおいて異なる位置に配置されていることで可能となる。このように、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とが第３の方向Ｚにおいて一部が互いに重なる位置に配置することで、第１圧力室１２Ａの第１の方向Ｘの幅を比較的広く形成することができ、第１圧力室１２Ａの排除体積を大きくしてインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を増大させることができる。

また、第２個別流路２００Ｂの第２圧力室１２Ｂと、第１個別流路２００Ａの第５流路２０５についても同様に、第３の方向Ｚからの平面視において少なくとも一部が互いに重なる位置に配置されている。このように、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とが第３の方向Ｚにおいて一部が互いに重なる位置に配置することで、第２圧力室１２Ｂの第１の方向Ｘの幅を比較的広く形成することができ、第２圧力室１２Ｂの排除体積を大きくしてインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を増大させることができる。

なお、本実施形態では、第１圧力室１２Ａと第２個別流路２００Ｂの第２ノズル２１Ｂよりも第１共通液室１０１側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第６流路２０６とを第３の方向Ｚで異なる位置に配置するようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、本実施形態の記録ヘッドの変形例を図９及び図１０を参照して説明する。なお、図９は、実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図であって図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図１０は、実施形態１の記録ヘッドの変形例を示す断面図であって図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。

図９及び図１０に示すように、連通板１５は、１枚の基板で形成されている。そして、図９に示すように、第１個別流路２００Ａは、第１流路２０１と第１圧力室１２Ａと第２流路２０２と第１ノズル２１Ａと第３流路２０３と第４流路２０４と第１１流路２１１と第１２流路２１２とを具備する。

第１１流路２１１は、第１個別流路２００Ａの第１ノズル２１Ａよりも第２共通液室１０２側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向である第２の方向Ｙに延びて設けられている。本実施形態の第１１流路２１１は、圧力室１２と第３の方向Ｚで同じ位置に配置されている。すなわち、第１１流路２１１は、流路形成基板１０にＺ２側に開口する凹部を設け、凹部を連通板１５によって覆うことで形成されている。

また、第１２流路２１２は、一端が第１１流路２１１と連通し、他端が第２共通液室１０２に連通するように第３の方向Ｚに沿って設けられている。

また、図１０に示すように、第２個別流路２００Ｂは、第１３流路２１３と第１４流路２１４と第７流路２０７と第８流路２０８と第２ノズル２１Ｂと第９流路２０９と第２圧力室１２Ｂと第１０流路２１０とを具備する。

第１３流路２１３は、一端が第１４流路２１４と連通し、他端が第１共通液室１０１に連通するように第３の方向Ｚに沿って設けられている。

第１４流路２１４は、第２個別流路２００Ｂの第２ノズル２１Ｂよりも第１共通液室１０１側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向である第２の方向Ｙに延びて設けられている。本実施形態では、第１４流路２１４は、圧力室１２と第３の方向Ｚで同じ位置に配置されている。すなわち、第１４流路２１４は、流路形成基板１０にＺ２側に開口する凹部を設け、凹部を連通板１５によって覆うことで形成されている。

以上説明したように、図９及び図１０に示す記録ヘッド１では、複数の個別流路２００は、ノズル２１が圧力室１２よりも下流側に設けられた第１個別流路２００Ａと、ノズル２１が圧力室１２よりも上流側に設けられた第２個別流路２００Ｂと、を有し、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが並設方向である第１の方向Ｘで隣接する位置に配置されており、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて、第１個別流路２００Ａの圧力室である第１圧力室１２Ａと、第２個別流路２００Ｂのうちノズル２１よりも第１共通液室１０１側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第１４流路２１４とは、同じ位置に配置されている。

このように、第１圧力室１２Ａと第１４流路２１４とを第３の方向Ｚで同じ位置に配置することで、連通板１５を１枚の基板で形成することができ、記録ヘッド１の構造を簡略化して部品点数を減少させて、コストを低減することができる。

また、本実施形態では、第３の方向Ｚにおいて、第２個別流路２００Ｂの圧力室である第２圧力室１２Ｂと、第１個別流路２００Ａのうちノズル２１よりも第２共通液室１０２側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第１１流路２１１とは、同じ位置に配置されている。これによっても、連通板１５を１枚の基板で形成することができ、記録ヘッド１の構造を簡略化して部品点数を減少させて、コストを低減することができる。

なお、図９及び図１０に示す例では、第１１流路２１１と第１４流路２１４とを第３の方向Ｚにおいて圧力室１２と同じ位置、すなわち、流路形成基板１０に形成するようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、記録ヘッド１の変形例を図１１及び図１２に示す。なお、図１１は、記録ヘッドの変形例を示す断面図であって図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図１２は、記録ヘッドの変形例を示す断面図であって図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。

図１１に示すように、第１個別流路２００Ａは、第１流路２０１と第１圧力室１２Ａと第２流路２０２と第１ノズル２１Ａと第３流路２０３と第４流路２０４と第１１流路２１１とを具備する。

第１１流路２１１は、連通板１５に流路形成基板１０側に開口する凹部を形成し、この凹部の開口を流路形成基板１０で蓋をすることで形成されている。

また、図１２に示すように、第２個別流路２００Ｂは、第１４流路２１４と第７流路２０７と第８流路２０８と第２ノズル２１Ｂと第９流路２０９と第２圧力室１２Ｂと第１０流路２１０とを具備する。

第１４流路２１４は、連通板１５に流路形成基板１０側に開口する凹部を形成し、この凹部の開口を流路形成基板１０で蓋をすることで形成されている。

このような構成によっても連通板１５を１枚の基板で形成することができ、部品点数を減少させてコストを低減することができる。

また、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例である記録ヘッド１では、流路が形成された流路基板と、流路の液体であるインクに圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、流路は、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、第１共通液室１０１および第２共通液室１０２に連通して第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かってインクが流れる個別流路２００と、を含み、個別流路２００は、外部と連通するノズル２１と、圧電アクチュエーター３００により圧力変化が生じる圧力室１２と、を備え、流路基板は、第１流路基板である流路形成基板１０と第２流路基板である連通板１５と第３流路基板であるノズルプレート２０とを備え、流路形成基板１０と連通板１５との間に、並設方向である第１の方向Ｘに第１の解像度で流路である第１圧力室１２Ａ又は第２圧力室１２Ｂが形成され、連通板１５とノズルプレート２０との間に、第１の方向Ｘに第１の解像度よりも大きな解像度の第２の解像度で流路である第３流路２０３及び第８流路２０８が形成されている。

このように、第３流路２０３と第８流路２０８との第２の解像度を、第１圧力室１２Ａ又は第２圧力室１２Ｂの第１の解像度よりも大きくすることで、第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂ第１の方向Ｘの開口幅を広げることができ、圧力室１２の排除体積を増大させることができる。

なお、このような各階層の流路の第１の解像度及び第２の解像度の違いは、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する２つの個別流路２００の圧力室１２とノズル２１との並び順が同じ場合であっても適用することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第３流路基板が、ノズル２１が形成されたノズルプレート２０を含む。このように第３流路基板がノズルプレート２０を含むことで、第２流路基板である連通板１５とノズルプレート２０との間のノズル２１に連通する流路を高解像度で配置することができ、ノズル２１を高解像度で配置することが可能となる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１の解像度は、流路が並ぶ方向における流路のピッチである。

（実施形態２）
図１３は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図１４は、本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図であって、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

本実施形態の記録ヘッド１は、ノズルプレート２０とコンプライアンス基板４９とが一体となったものである。

具体的には、図１３及び図１４に示すように、ノズルプレート２０は、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の開口を覆う大きさで設けられている。このようなノズルプレート２０の第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のそれぞれの壁の一部を構成する部分には、コンプライアンス部４９４が設けられている。すなわち、ノズルプレート２０の第１共通液室１０１に対応する部分には、第１コンプライアンス部４９４Ａが設けられており、第２共通液室１０２に対応する部分には、第２コンプライアンス部４９４Ｂが設けられている。

本実施形態では、ノズルプレート２０を、ポリイミド等の樹脂材料で製造されたフィルムで形成することで、ノズルプレート２０の第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２を画成する壁のそれぞれをコンプライアンス部４９４として機能するようにした。

このように、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とのそれぞれの壁面の一部に、インクの圧力を吸収可能なコンプライアンス部４９４を設けることで、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４が変形することによって吸収することができ、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、本実施形態では、ノズルプレート２０の一部にコンプライアンス部４９４を設けたため、ノズルプレート２０とコンプライアンス部４９４とは、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて、個別流路２００に対して同じ側であるＺ２側に配置されている。

このようにコンプライアンス部４９４をノズル２１と同じ側に配置することで、ノズル２１が設けられていない領域にコンプライアンス部４９４を設けることができ、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で設けることができる。また、コンプライアンス部４９４とノズル２１とを同じ側に配置することで、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に近い位置に配置して、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収させることができる。

また、ノズルプレート２０が第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の開口を覆うため、連通板１５のＺ２側の第１共通液室１０１とノズル２１との間、及び、第２共通液室１０２とノズル２１との間は、ノズルプレート２０で覆われている。このため、ノズルプレート２０と連通板１５との接合界面に第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通する個別流路２００を形成することができる。このため、本実施形態の連通板１５は、複数の基板を積層して構成する必要がなく、１枚の基板で構成されている。

ここで、本実施形態の流路基板である流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、ケース部材４０等には、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かってインクを流す個別流路２００と、が設けられている。

個別流路２００は、第１ノズル２１Ａに連通する第１個別流路２００Ａと、第２ノズル２１Ｂに連通する第２個別流路２００Ｂと、を具備する。

図１３に示すように、第１個別流路２００Ａは、第１流路２０１と第１圧力室１２Ａと第２流路２０２と第１ノズル２１Ａと第１５流路２１５とを具備する。

本実施形態の第１流路２０１と第１圧力室１２Ａと第２流路２０２と第１ノズル２１Ａとは、上述した実施形態１と同様であるため重複する説明は省略する。

第１５流路２１５は、一端が第２流路２０２と連通し、他端が第２共通液室１０２を構成する第２連通部１７に連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。本実施形態の第１５流路２１５は、連通板１５にＺ２側に開口する凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第１５流路２１５は特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を連通板１５によって蓋をするようにしてもよく、連通板１５とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。

このように第１個別流路２００Ａは、第１共通液室１０１に連通する上流側から第２共通液室１０２に連通する下流側に向かって順に第１流路２０１、第１圧力室１２Ａ、第２流路２０２、第１ノズル２１Ａ、第１５流路２１５を有する。つまり、本実施形態では、第１個別流路２００Ａは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流側から下流側に向かって第１圧力室１２Ａと第１ノズル２１Ａとがこの順番に配置されている。

そしてこのような第１個別流路２００Ａによれば、インク滴を吐出しない場合には、第１共通液室１０１から第１個別流路２００Ａを通り第２共通液室１０２にインクが流れる。また、インク滴を吐出する際には、圧電アクチュエーター３００を駆動することによって第１圧力室１２Ａ内のインクに圧力変化を生じさせて、第１ノズル２１Ａ内の圧力を上昇させることで第１ノズル２１Ａから外部にインク滴として吐出される。

なお、本実施形態では、第１個別流路２００Ａのうち、第１ノズル２１Ａよりも上流側、すなわち、第１共通液室１０１に連通する第２流路２０２と第１圧力室１２Ａと第１流路２０１とを第１上流流路と称する。また、第１個別流路２００Ａのうち、第１ノズル２１Ａよりも下流側、すなわち第２共通液室１０２に連通する第１５流路２１５とを第１下流流路と称する。

第２個別流路２００Ｂは、第１６流路２１６と第２ノズル２１Ｂと第９流路２０９と第２圧力室１２Ｂと第１０流路２１０とを具備する。

本実施形態の第２ノズル２１Ｂと第９流路２０９と第２圧力室１２Ｂと第１０流路２１０とは、上述した実施形態１と同様であるため重複する説明は省略する。

第１６流路２１６は、一端が第１共通液室１０１を構成する第１連通部１６に連通するようにノズル面２０ａの面内方向において第２の方向Ｙに沿って延設されている。本実施形態の第１６流路２１６は、連通板１５にＺ２側に開口する凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第１６流路２１６は特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を連通板１５によって蓋をするようにしてもよく、連通板１５とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。

このような第１６流路２１６と第１個別流路２００Ａの第１圧力室１２Ａとは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて異なる位置に配置されている。具体的には、第１圧力室１２Ａは、連通板１５のＺ１側に設けられ、第１６流路２１６は、連通板１５のＺ２側に設けられており、第１圧力室１２Ａと第１６流路２１６とは、第３の方向Ｚに異なる位置に配置されている。このように第１個別流路２００Ａの第１圧力室１２Ａと第２個別流路２００Ｂの第１６流路２１６とを、第３の方向Ｚで異なる位置に配置することで、第１圧力室１２Ａと第１６流路２１６とを第１の方向Ｘに近接して配置しても、第１圧力室１２Ａを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制することができ、第１圧力室１２Ａを第１の方向Ｘに幅広に形成して、第１圧力室１２Ａの排除体積を増大させて、インク滴の吐出特性を向上することができる。また、第１圧力室１２Ａの隔壁の剛性が低下するのを抑制して、隔壁が変形することによる圧力吸収を抑制し、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１個別流路２００Ａの圧力室である第１圧力室１２Ａと、第２個別流路２００Ｂのうちノズル２１よりも第１共通液室１０１側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第１６流路２１６とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚから平面視した際に互いに重ならない位置に配置されている。もちろん、上述した実施形態１の図８と同様に、第１圧力室１２Ａと第１６流路２１６とは、第３の方向Ｚからの平面視において少なくとも一部が互いに重なるように配置してもよい。

また、第２圧力室１２Ｂと第１個別流路２００Ａの第１５流路２１５とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて異なる位置に配置されている。具体的には、第２圧力室１２Ｂは、連通板１５のＺ１側に設けられ、第１５流路２１５は、連通板１５のＺ２側に設けられており、第２圧力室１２Ｂと第１５流路２１５とは、第３の方向Ｚに異なる位置に配置されている。このように第２個別流路２００Ｂの第２圧力室１２Ｂと第２個別流路２００Ｂの第１５流路２１５とを、第３の方向Ｚで異なる位置に配置することで、第１圧力室１２Ａと第１５流路２１５とを第１の方向Ｘに近接して配置しても、第２圧力室１２Ｂを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制することができ、第２圧力室１２Ｂを第１の方向Ｘに幅広に形成して、第２圧力室１２Ｂの排除体積を増大させて、インク滴の吐出特性を向上することができる。また、第２圧力室１２Ｂの隔壁の剛性が低下するのを抑制して、隔壁が変形することによる圧力吸収を抑制し、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第２個別流路２００Ｂの第２圧力室１２Ｂと、第１個別流路２００Ａのうちノズル２１よりも第２共通液室１０２側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第１５流路２１５とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚから平面視した際に互いに重ならない位置に配置されている。もちろん、上述した実施形態１の図８と同様に、第２圧力室１２Ｂと第１５流路２１５とは、第３の方向Ｚからの平面視において少なくとも一部が互いに重なるように配置してもよい。

このように第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１に連通する上流側から第２共通液室１０２に連通する下流側に向かって順に第１６流路２１６、第２ノズル２１Ｂ、第９流路２０９、第２圧力室１２Ｂ、第１０流路２１０を具備する。つまり、本実施形態では、第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流側から下流側に向かって第２ノズル２１Ｂと第２圧力室１２Ｂとがこの順番に配置されている。すなわち、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとでは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して圧力室１２とノズル２１との順番が異なるように配置されている。本実施形態では、各個別流路２００に圧力室１２とノズル２１とが１つずつ設けられているため、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとは、圧力室１２とノズル２１との順番が、逆転して配置されている。

そして、このような第２個別流路２００Ｂによれば、インク滴を吐出しない場合には、第１共通液室１０１から第２個別流路２００Ｂを通り第２共通液室１０２にインクが流れる。また、インク滴を吐出する際には、圧電アクチュエーター３００を駆動することによって第２圧力室１２Ｂ内のインクに圧力変化を生じさせて、第２ノズル２１Ｂ内の圧力を上昇させることで第２ノズル２１Ｂから外部にインク滴として吐出される。

このように、ノズルプレート２０で第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の開口を覆い、ノズルプレート２０にコンプライアンス部４９４を設けることで、個別流路２００として、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２とノズル２１とを接続する流路、すなわち、第１５流路２１５及び第１６流路２１６をノズルプレート２０と連通板１５との接合界面に設けることができる。したがって、個別流路２００の構成を簡略化することができ圧力損失を低減することができる。また、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２とノズル２１とを連通する流路である第１５流路２１５及び第１６流路２１６をノズルプレート２０と連通板１５との間に設けることで、連通板１５を複数の基板を積層して構成する必要がなく、１枚の基板で製造することができるため、連通板１５の第３の方向Ｚの厚さを比較的薄くして、圧力室１２とノズル２１とを接続する流路長を短くすることができる。これにより、圧力室１２からノズル２１までの流路の流路抵抗を小さくして、ノズル２１から吐出されるインク滴の重量が低下するのを抑制することができる。

また、連通板１５を複数の基板を積層して構成する必要がなく、また、上述した実施形態１のようにコンプライアンス基板４９をノズルプレート２０と別途設ける必要がないため、部品点数を減少させてコストを低減することができる。

また、本実施形態においても、個別流路２００のノズル２１よりも第１共通液室１０１側の上流流路と、ノズル２１よりも第２共通液室１０２側の下流流路とは、同じ流路抵抗となるように設けられている。

すなわち、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路とは、同じ流路抵抗となっている。つまり、第１上流流路を構成する第１流路２０１、第１圧力室１２Ａ及び第２流路２０２の合計の流路抵抗と、第１下流流路を構成する第１５流路２１５の流路抵抗とは、同じ流路抵抗となるように形成されている。ここで、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗とは、流路を横断する断面積、流路長、及び形状によって決定されるものである。

同様に、第２個別流路２００Ｂの第２上流流路と第２下流流路とは同じ流路抵抗となっている。すなわち、第２上流流路を構成する第１６流路２１６の流路抵抗と、第２下流流路を構成する第９流路２０９、第２圧力室１２Ｂ及び第１０流路２１０の合計の流路抵抗とは、同じ流路抵抗となるように形成されている。

そして、本実施形態では、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状となっている。すなわち、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第２個別流路２００Ｂの第２下流流路とは同じ形状で且つ同じ流路抵抗となるように設けられており、第１個別流路２００Ａの第１下流流路と第２個別流路２００Ｂの第２上流流路とは同じ形状で且つ同じ流路抵抗となるように設けられている。

このように、第１個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路とを同じ流路抵抗とし、第２個別流路２００Ｂの第２上流流路と第２下流流路とを同じ流路抵抗とすることで、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状としても、第１共通液室１０１からノズル２１までの第１上流流路と第２上流流路との流路抵抗を揃えることができる。したがって、第１個別流路２００Ａの第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴と、第２個別流路２００Ｂの第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができると共に、流路の構造を簡略化することができる。

また、第１個別流路２００Ａの第１下流流路と第２個別流路２００Ｂの第２下流流路との流路抵抗を揃えることで、ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性を揃えることができる。つまり、複数のノズル２１から同時にインク滴を吐出する場合、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との両方から圧力室１２にインクが供給されるため、第１下流流路と第２下流流路とのを同じ流路抵抗とすることで、インクの供給量にばらつきが生じるのを抑制して、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

また、第１共通液室１０１から個別流路２００を介して第２共通液室１０２にインクを流した状態で、ノズル２１からインク滴を吐出しない非吐出時において、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００のノズル２１内の大気圧を基準としたインクの圧力差は、−２％以上、＋２％以上であることが好ましい。例えば、大気圧を１０１３ｈＰａとした場合、ノズル２１内の圧力は約１０００ｈＰａ程度である。したがって、第１の方向Ｘで隣接するノズル２１内のインクの圧力差は、最大で約２０ｈＰａ程度である。

このように非吐出時において、第１の方向Ｘで隣接する第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と、第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力との差を、−２％以上、＋２％以下と比較的小さくすることで、第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴と第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。

なお、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗、及び、第２上流流路と第２下流流路との流路抵抗や、第１の方向Ｘで隣接する２つのノズル２１内のインクの圧力差は、上述したものに限定されるものではない。例えば、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗、及び、第２上流流路と第２下流流路との流路抵抗のそれぞれが異なる場合や、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力とが−２％より小さい、又は、＋２％よりも大きくてもよい。このような場合には、ノズル２１の並設方向で隣接する個別流路のそれぞれの圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を異ならせるようにすればよい。

以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例である記録ヘッド１では、流路が形成された流路基板と、流路の液体であるインクに圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、流路は、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、第１共通液室１０１および第２共通液室１０２に連通して第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かってインクが流れる個別流路２００と、を含み、個別流路２００は、外部と連通するノズル２１と、圧電アクチュエーター３００により圧力変化が生じる圧力室１２と、を備え、複数の個別流路２００のうち、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する３つの個別流路２００は、それぞれ、第１共通液室１０１および第２共通液室１０２に連通し、並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する２つの個別流路２００である第１個別流路２００Ａ及び第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向において、圧力室とノズル２１との並び順が異なる。

このように、圧力室１２とノズル２１との並び順が異なる個別流路２００である第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを第１の方向Ｘに隣接するように配置することで、隣接する個別流路２００の圧力室１２を第２の方向Ｙで異なる位置に配置することができる。したがって、圧力室１２とノズル２１との順番が同じ個別流路を並設する場合に比べて、圧力室１２の並設方向の幅を広く設けて、圧力室１２の圧電アクチュエーター３００による排除体積を大きくして、インク滴の吐出重量を大きくすることや、圧力室１２を第１の方向Ｘに高密度に並設して、流路基板を小型化することができる。また、隣接する個別流路２００の圧力室１２を第２の方向Ｙにずらした位置に配置することができるため、第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００の圧力室１２の配設密度を向上して、ノズル２１を高密度に配置することができる。

また、個別流路２００同士を途中で合流させることなく、個別流路２００をそれぞれ独立して第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通させることで、各個別流路２００の間での圧力変動の影響によるクロストークの発生を抑制することができる。つまり、個別流路２００同士を第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通する前に合流してしまうと、一方の個別流路２００内のインクの圧力変化が他方の個別流路２００に大きく影響し、インク吐出特性にばらつきが生じてしまう。本実施形態では、複数の個別流路２００は、比較的大きな容積を有する第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のみに連通しているため、複数の個別流路２００の間で互いに圧力変動の影響を小さくすることができ、インク吐出特性のばらつきを抑制することができる。

さらに、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とが個別流路２００だけで連通しているため、インクが第１共通液室１０１内を個別流路２００の並設方向である第１の方向Ｘに流れることがなく、複数の個別流路２００に供給するインクの圧力差が生じ難く、ノズル２１から吐出されるインクの吐出特性にばらつきが生じ難い。ちなみに、第１共通液室１０１をインクが第１の方向Ｘに流れると、第１共通液室１０１の上流側に連通する個別流路２００へ供給するインクの圧力に比べて、下流側に連通する個別流路２００へ供給するインクの圧力が低下し、各個別流路２００へ供給するインクの圧力のばらつきによってインク吐出特性のばらつきが生じ易くなってしまう。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、コンプライアンス部４９４は、ノズルプレート２０に形成されている。このように、コンプライアンス部４９４をノズルプレート２０に形成することで、部品点数を減少させてコストを低減することができる。また、ノズルプレート２０にコンプライアンス部４９４を設けることで、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて、個別流路２００に対して同じ側であるＺ２側に配置することができる。したがって、ノズル２１が設けられていない領域にコンプライアンス部４９４を設けることができ、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で設けることができる。また、コンプライアンス部４９４とノズル２１とを同じ側に配置することで、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に近い位置に配置して、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収させることができる。

なお、本実施形態では、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙに異なる位置に設けることで、第１ノズル２１Ａが第１の方向Ｘに並設された第１ノズル列２２Ａと、第２ノズル２１Ｂが第１の方向Ｘに並設された第２ノズル列２２Ｂとの２列が第２の方向Ｙに並設された構成、所謂、ノズル２１が第１の方向Ｘに向かって千鳥状に配置された構成を例示したが、特にこれに限定されず、上述した実施形態１の図５と同様に、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙで同じ位置に設け、ノズル２１が第１の方向Ｘに沿った直線上に配置するようにしてもよい。このような構成の場合、特に図示していないが、第１ノズル２１Ａは、第１５流路２１５の途中に連通する位置に設け、第２ノズル２１Ｂは、第１６流路２１６の途中に連通するように設ければよい。すなわち、ノズル２１は、流路基板のノズル２１が開口するノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第１５流路２１５及び第１６流路２１６の途中に連通して配置されていてもよい。もちろん、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとをそれぞれ第１５流路２１５及び第１６流路２１６の途中に連通する位置に設けると共に、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが第２の方向Ｙで異なる位置に配置されていてもよい。

また、上述した例では、ノズルプレート２０をポリイミド等の樹脂材料で製造するようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、ノズルプレートの変形例を図１５及び図１６を参照して説明する。なお、図１５は、実施形態２の記録ヘッドの変形例を示す断面図であり、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図１６は、実施形態２の記録ヘッドの変形例を示す断面図であり、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。

図１５及び図１６に示すように、ノズルプレート２０を樹脂フィルムに比べて剛性が高いステンレス鋼等の金属材料で製造し、ノズルプレート２０の第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の壁を形成する部分の厚みを他の部分に比べて薄くすることでノズルプレート２０にコンプライアンス部４９４が形成されている。すなわち、ノズルプレート２０の第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に対応する領域を、ノズル２１が形成される領域に比べて薄くする。これにより、ノズルプレート２０の第１共通液室１０１に対応する部分にはノズル２１が形成された領域に比べて剛性が低い第１コンプライアンス部４９４Ａが形成され、第２共通液室１０２に対応する部分にはノズル２１が形成された領域に比べて剛性が低い第２コンプライアンス部４９４Ｂが形成されている。このように、ノズルプレート２０を比較的高い剛性の材料で形成しても、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２を塞ぐ部分の厚さを薄くすることで変形し易くして、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の壁の一部に容易にコンプライアンス部４９４を形成することができる。

また、連通板１５とノズルプレート２０との間に、封止膜４９１を設けるようにしてもよい。このような例を図１７及び図１８を参照して説明する。なお、図１７は、実施形態２の記録ヘッドの変形例を示す断面図であり、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図１８は、実施形態２の記録ヘッドの変形例を示す断面図であり、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。

図１７及び図１８に示すように、ノズルプレート２０は、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の開口を覆わない大きさで設けられており、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２が開口するＺ２側の面は、封止膜４９１で封止されている。すなわち、連通板１５のＺ２側の面には、封止膜４９１とノズルプレート２０とがこの順番に積層されている。そして、ノズルプレート２０を第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の開口を覆わない大きさで設けることで、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の開口は、封止膜４９１のみで封止されたコンプライアンス部４９４、すなわち、第１コンプライアンス部４９４Ａ及び第２コンプライアンス部４９４Ｂとなっている。ちなみに、図１７に示すように、第１ノズル２１Ａと第２流路２０２とを連通する部分には、第１ノズル２１Ａよりも大きな第１開口４９５Ａが設けられており、第２流路２０２から第１ノズル２１Ａに向かうインクの流れを阻害しないようになっている。なお、第１開口４９５Ａは、第１ノズル２１Ａよりも大きい開口面積で設けられていれば、第２流路２０２よりも大きくてもよく、また、第２流路２０２よりも小さくてもよい。同様に、図１８に示すように、第２ノズル２１Ｂと第９流路２０９とを連通する部分には、第２ノズル２１Ｂよりも大きな第２開口４９５Ｂが設けられており、第９流路２０９から第２ノズル２１Ｂに向かうインクの流れを阻害しないようになっている。なお、第２開口４９５Ｂは、第２ノズル２１Ｂよりも大きい開口面積で設けられていれば、第９流路２０９よりも大きくてもよく、また、第９流路２０９よりも小さくてもよい。

このような構成であっても、封止膜４９１と連通板１５との間に個別流路２００、すなわち、第１５流路２１５及び第１６流路２１６を形成することができるため、個別流路２００の構造を簡略化して、複数の基板を積層して連通板１５を製造する必要がなく、連通板１５を１枚の基板で製造することができる。また、ノズルプレート２０の面積を小さくすることができるため、コストを低減することができる。

（実施形態３）
図１９は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図２０は、実施形態３に係るインクジェット式記録ヘッドの図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１９及び図２０に示すように、流路基板である流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９、ケース部材４０等には、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、第１共通液室１０１からのインクを第２共通液室１０２に流す複数の個別流路２００と、が設けられている。

第１共通液室１０１を構成する第１連通部１６は、第３の方向Ｚにおいて圧力室１２側であるＺ１側に設けられた第１幅狭部１６ａと、ノズル２１側に設けられた第１幅広部１６ｂと、を具備する。

第１幅狭部１６ａは、第１連通板１５１及び第２連通板１５２の第１連通板１５１側に設けられており、第１幅広部１６ｂは、第２連通板１５２に設けられている。

また、第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂとは、第１の方向Ｘにおいて同じ幅で設けられており、第２の方向Ｙにおいて第１幅広部１６ｂの方が第１幅狭部１６ａよりも広い幅で形成されている。また、第１幅広部１６ｂは、第１幅狭部１６ａよりもノズル２１側に拡幅して設けられている。つまり、第１幅広部１６ｂの第２の方向Ｙのノズル２１とは反対側の端部は、第１幅狭部１６ａと同じ位置に設けられており、第１幅広部１６ｂの第２の方向Ｙのノズル２１側の端部は、第１幅狭部１６ａよりも外側に配置されている。

第２共通液室１０２を構成する第２連通部１７は、第３の方向Ｚにおいて圧力室１２側であるＺ１側に設けられた第２幅狭部１７ａと、ノズル２１側に設けられた第２幅広部１７ｂと、を具備する。

第２幅狭部１７ａは、第１連通板１５１及び第２連通板１５２の第１連通板１５１側に設けられており、第２幅広部１７ｂは、第２連通板１５２に設けられている。

また、第２幅狭部１７ａと第２幅広部１７ｂとは、第１の方向Ｘにおいて同じ幅で設けられており、第２の方向Ｙにおいて第２幅広部１７ｂの方が第２幅狭部１７ａよりも広い幅で形成されている。また、第２幅広部１７ｂは、第２幅狭部１７ａよりもノズル２１側に拡幅して設けられている。つまり、第２幅広部１７ｂの第２の方向Ｙのノズル２１とは反対側の端部は、第２幅狭部１７ａと同じ位置に設けられており、第２幅広部１７ｂの第２の方向Ｙのノズル２１側の端部は、第２幅狭部１７ａよりも外側に配置されている。

このような第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のＺ２側の開口は、コンプライアンス基板４９によって覆われている。ここで、コンプライアンス基板４９が覆う第１共通液室１０１の第１幅広部１６ｂの開口面積は、第１幅狭部１６ａの開口面積よりも大きい。したがって、第１幅狭部１６ａの開口面積に対して第１コンプライアンス部４９４Ａを設けた場合に比べて、第１幅広部１６ｂの比較的広い開口面積に対して第１コンプライアンス部４９４Ａを設けることで、第１コンプライアンス部４９４Ａの面積を大きくすることができる。

同様に、コンプライアンス基板４９が覆う第２共通液室１０２の第２幅広部１７ｂの開口面積は、第２幅狭部１７ａの開口面積よりも大きい。したがって、第２幅狭部１７ａの開口面積に対して第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けた場合に比べて、第２幅広部１７ｂの比較的広い開口面積に対して第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けることで、第２コンプライアンス部４９４Ｂの面積を大きくすることができる。

このように第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２の開口を覆うコンプライアンス部４９４の面積を比較的大きくすることで、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２内のインクの圧力変動に対応するコンプライアンス部４９４の変形の反応性を向上することができ、インク滴の吐出周期を短くして、高速印刷を実現することができる。

また、流路基板を構成する流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９には、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とに連通する個別流路２００が設けられている。

本実施形態では、個別流路は、第１ノズル２１Ａに連通する第１個別流路２００Ａと、第２ノズル２１Ｂに連通する第２個別流路２００Ｂとを有する。

第１個別流路２００Ａは、第１流路２０１と第１圧力室１２Ａと第２流路２０２と第１ノズル２１Ａと第３流路２０３と第４流路２０４と第５流路２０５とを具備する。

本実施形態の第１流路２０１、第１圧力室１２Ａ、第１ノズル２１Ａ、第３流路２０３、第４流路２０４、第５流路２０５は、上述した実施形態１と同様であるため重複する説明は省略する。

第２流路２０２は、第１個別流路２００Ａにおいて、第１圧力室１２Ａから第１ノズル２１Ａまでの間に、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられており、この第２流路２０２が特許請求の範囲に記載の第１連通路に相当する。

第２流路２０２は、第１ノズル２１Ａ側の開口が、第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２共通液室１０２側となるように形成されている。ここで、第２流路２０２の第１ノズル２１Ａ側の開口が、第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２共通液室１０２側となるように形成されているとは、第３の方向Ｚから平面視した際に、第２流路２０２の第１ノズル２１Ａ側の開口が、第２流路２０２の第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２の方向Ｙにおいて第２共通液室１０２側にずれた位置に配置されていることを言う。ちなみに、第３の方向Ｚから平面視した際に、第２流路２０２の第１ノズル２１Ａ側の開口と、第１圧力室１２Ａ側の開口との一部が重なっていてもよいが、第２流路２０２の第１ノズル２１Ａ側の開口と第１圧力室１２Ａ側の開口との何れか一方が、他方に完全に重なったものは含まれない。

具体的には、第２流路２０２は、一端が第１圧力室１２Ａに連通して第１連通板１５１を第３の方向Ｚに貫通して設けられた第１７流路２１７と、第１７流路２１７の他端に連通して、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に第２の方向Ｙに沿って延設された第１８流路２１８と、第１８流路２１８に連通して第２連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けられた第１９流路２１９と、を具備する。

第１８流路２１８は、本実施形態では、第２連通板１５２に凹部を形成し、第２連通板１５２の凹部の開口を第１連通板１５１で覆うことで形成されている。もちろん、第１８流路２１８は特にこれに限定されず、第１連通板１５１に凹部を形成するようにしてもよく、第１連通板１５１及び第２連通板１５２の両方に凹部を形成するようにしてもよい。

このように第２流路２０２の途中に水平流路である第１８流路２１８を設けることで、第１９流路２１９を第２の方向Ｙにおいて第２共通液室１０２側に移動することができる。そして、第１９流路２１９を第２共通液室１０２側に移動することで、第１共通液室１０１の第１幅広部１６ｂを第１幅狭部１６ａよりも第２共通液室１０２側に拡幅することができる。ちなみに、第１コンプライアンス部４９４Ａの面積を広くするために、第１共通液室１０１のＺ２側の面の開口を第２の方向Ｙにおいて第２共通液室１０２とは反対側に広げると、連通板１５が第２の方向Ｙに大型化してしまう。本実施形態では、第２流路２０２の第１ノズル２１Ａ側の開口を、第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第２共通液室１０２側となるように形成することで、第１共通液室１０１のＺ２側の開口を第２共通液室１０２側に広げることができるため、連通板１５が第２の方向Ｙに大型化するのを抑制して、第１コンプライアンス部４９４Ａの面積を広げることができる。

第２個別流路２００Ｂは、第６流路２０６と第７流路２０７と第８流路２０８と第２ノズル２１Ｂと第９流路２０９と第２圧力室１２Ｂと第１０流路２１０とを有する。

本実施形態の第６流路２０６、第７流路２０７、第８流路２０８、第２ノズル２１Ｂ、第２圧力室１２Ｂ、第１０流路２１０は上述した実施形態１と同様であるため重複する説明は省略する。

第９流路２０９は、第２個別流路２００Ｂにおいて、第２圧力室１２Ｂから第２ノズル２１Ｂまでの間に、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられており、この第９流路２０９が特許請求の範囲に記載の第２連通路に相当する。

第９流路２０９は、第２ノズル２１Ｂ側の開口が第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第１共通液室１０１側となるように形成されている。ここで、第９流路２０９の第２ノズル２１Ｂ側の開口が、第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第１共通液室１０１側となるように形成されているとは、第３の方向Ｚから平面視した際に、第９流路２０９の第２ノズル２１Ｂ側の開口が、第９流路２０９の第２圧力室１２Ｂ側の開口よりも第２の方向Ｙにおいて第１共通液室１０１側にずれた位置に配置されていることを言う。ちなみに、第３の方向Ｚから平面視した際に、第９流路２０９の第２ノズル２１Ｂ側の開口と、第２圧力室１２Ｂ側の開口との一部が重なっていてもよいが、第９流路２０９の第２ノズル２１Ｂ側の開口と第２圧力室１２Ｂ側の開口との何れか一方が、他方に完全に重なったものは含まれない。

具体的には、第９流路２０９は、第２ノズル２１Ｂ一端が開口して第２連通板１５２を第３の方向Ｚに貫通して設けられた第２０流路２２０と、第２０流路２２０の他端に連通すると共に第２の方向Ｙに沿って第２共通液室１０２側に向かって延設された第２１流路２２１と、第２１流路２２１に連通すると共に第２圧力室１２Ｂに連通するように第１連通板１５１を第３の方向Ｚに貫通して設けられた第２２流路２２２と、を具備する。

第２１流路２２１は、本実施形態では、第２連通板１５２に凹部を形成し、第２連通板１５２の凹部の開口を第１連通板で覆うことで形成されている。もちろん、第２１流路２２１は特にこれに限定されず、第１連通板１５１に凹部を形成するようにしてもよく、第１連通板１５１及び第２連通板１５２の両方に凹部を形成するようにしてもよい。

このように第９流路２０９の途中に水平流路である第２１流路２２１を設けることで、第２２流路２２２を第２の方向Ｙにおいて第１共通液室１０１側に移動することができる。そして、第２２流路２２２を第１共通液室１０１側に移動させることで、第２共通液室１０２の第２幅広部１７ｂを第２幅狭部１７ａよりも第１共通液室１０１側に拡幅することができる。ちなみに、第２コンプライアンス部４９４Ｂの面積を広くするために、第２共通液室１０２のＺ２側の面の開口を第２の方向Ｙにおいて第１共通液室１０１とは反対側に広げると、連通板１５が第２の方向Ｙに大型化してしまう。本実施形態では、第９流路２０９の第１ノズル２１Ａ側の開口を、第１圧力室１２Ａ側の開口よりも第１共通液室１０１側となるように形成することで、第２共通液室１０２のＺ２側の開口を第１共通液室１０１側に広げることができるため、連通板１５が第２の方向Ｙに大型化するのを抑制して、第２コンプライアンス部４９４Ｂの面積を広げることができる。

また、図１９に示すように、第１共通液室１０１には、第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂとによって段差が設けられているため、この段差に気泡が滞留し易い。しかしながら、本実施形態では、図２０に示すように、段差部分には、第２個別流路２００Ｂの第６流路２０６が開口しているため、段差によって滞留した気泡は第２個別流路２００Ｂを介して第２共通液室１０２側に移動される。したがって、第１共通液室１０１内に気泡が滞留するのを抑制して、第１共通液室１０１の気泡が成長し、圧力室１２へのインクの供給不良や、気泡が予期せぬタイミングで圧力室１２に流れ込むことによるインク滴の吐出不良等を抑制することができる。

また、第２共通液室１０２にも第２幅狭部１７ａと第２幅広部１７ｂとによって段差が設けられているが、段差の気泡は、第２共通液室１０２内のインクの流れによって排出口４４側に移動するため、気泡が第２共通液室１０２内で成長することや、圧力室１２内に流れ込むのを抑制することができる。

このように、圧力室１２とノズル２１とを連通する連通路である第２流路２０２及び第９流路２０９を第２の方向Ｙにおいて互いに内側、すなわち、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との間の中心側に配置することで、連通板１５が第２の方向Ｙに大型化することなく、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のＺ２側の開口面積が広くなるように拡幅することができ、コンプライアンス部４９４を広い面積で形成して、個別流路２００内のインクの圧力変動を第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のコンプライアンス部４９４で吸収することができる。したがって、インク滴の吐出特性のばらつきを低減して、インク滴の吐出を安定させることができる。

以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例である記録ヘッド１では、流路が形成された流路基板と、流路の液体であるインクに圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、流路は、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、第１共通液室１０１および第２共通液室１０２に連通して第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かってインクが流れる個別流路２００と、を含み、個別流路２００は、外部と連通するノズル２１と、圧電アクチュエーター３００により圧力変化が生じる圧力室１２と、を備え、複数の個別流路２００のうち、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する３つの個別流路２００は、それぞれ、第１共通液室１０１および第２共通液室１０２に連通し、並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する２つの個別流路２００である第１個別流路２００Ａ及び第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向において、圧力室とノズル２１との並び順が異なる。

このように、圧力室１２とノズル２１との並び順が異なる個別流路２００である第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを第１の方向Ｘに隣接するように配置することで、隣接する個別流路２００の圧力室１２を第２の方向Ｙで異なる位置に配置することができる。したがって、圧力室１２とノズル２１との順番が同じ個別流路を並設する場合に比べて、圧力室１２の並設方向の幅を広く設けて、圧力室１２の圧電アクチュエーター３００による排除体積を大きくして、インク滴の吐出重量を大きくすることや、圧力室１２を第１の方向Ｘに高密度に並設して、流路基板を小型化することができる。また、隣接する個別流路２００の圧力室１２を第２の方向Ｙにずらした位置に配置することができるため、第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００の圧力室１２の配設密度を向上して、ノズル２１を高密度に配置することができる。

また、個別流路２００同士を途中で合流させることなく、個別流路２００をそれぞれ独立して第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通させることで、各個別流路２００の間での圧力変動の影響によるクロストークの発生を抑制することができる。つまり、個別流路２００同士を第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通する前に合流してしまうと、一方の個別流路２００内のインクの圧力変化が他方の個別流路２００に大きく影響し、インク吐出特性にばらつきが生じてしまう。本実施形態では、複数の個別流路２００は、比較的大きな容積を有する第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のみに連通しているため、複数の個別流路２００の間で互いに圧力変動の影響を小さくすることができ、インク吐出特性のばらつきを抑制することができる。

さらに、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とが個別流路２００だけで連通しているため、インクが第１共通液室１０１内を個別流路２００の並設方向である第１の方向Ｘに流れることがなく、複数の個別流路２００に供給するインクの圧力差が生じ難く、ノズル２１から吐出されるインクの吐出特性にばらつきが生じ難い。ちなみに、第１共通液室１０１をインクが第１の方向Ｘに流れると、第１共通液室１０１の上流側に連通する個別流路２００へ供給するインクの圧力に比べて、下流側に連通する個別流路２００へ供給するインクの圧力が低下し、各個別流路２００へ供給するインクの圧力のばらつきによってインク吐出特性のばらつきが生じ易くなってしまう。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、複数の個別流路２００は、ノズル２１が前記圧力室１２よりも下流側に設けられた第１個別流路２００Ａと、ノズル２１が圧力室１２よりも上流側に設けられた第２個別流路２００Ｂと、を有し、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとが並設方向である第１の方向Ｘで隣接する位置に配置されており、第１個別流路２００Ａは、圧力室１２からノズル２１までの間に、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びる第１連通路である第２流路２０２を有し、第２個別流路２００Ｂは、圧力室１２からノズル２１までの間に、第３の方向Ｚに延びる第２連通路である第９流路２０９を有し、第２流路２０２は、ノズル２１側の開口が圧力室１２側の開口よりも第２共通液室１０２側に位置し、第９流路２０９は、ノズル２１側の開口が圧力室１２側の開口よりも第１共通液室１０１側に位置する。

このように第１連通路である第２流路２０２のノズル２１側の開口及び第２連通路である第９流路２０９の開口をずらすことで、第１共通液室１０１のノズル２１側の開口を第２共通液室１０２側に拡幅することができると共に第２共通液室１０２のノズル２１側の開口を第１共通液室１０１側に拡幅することができる。したがって、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で形成することができ、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって吸収することができる。

また、本実施形態では、第１共通液室１０１の第１連通部１６に第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂを設けることで、第１共通液室１０１のノズル２１側の開口面積を流路形成基板１０側の開口面積よりも広げるようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との変形例を図２１及び図２２を参照して説明する。なお、図２１は、実施形態３の記録ヘッドの変形例を示す断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図２２は、実施形態３の記録ヘッドの変形例であって、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。

図２１及び図２２に示すように、第１共通液室１０１の第１連通部１６の第２共通液室１０２側の側面は、第２の方向Ｙにおいてノズル２１側が拡幅するように傾斜して設けられている。

同様に、第２共通液室１０２の第２連通部１７の第１共通液室１０１側の側面は、第２の方向Ｙにおいてノズル２１側が拡幅するように傾斜して設けられている。

このような構成であっても、上述したように第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のノズル２１側であるＺ２側の開口面積を広げて、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で形成することができる。また、第１共通液室１０１の側面に段差を設けることなく、側面を傾斜させることで、段差に気泡が滞留するのを抑制することができる。もちろん、このような傾斜した側面は、図１９、２０に示す第１幅広部１６ｂ及び第２幅広部１７ｂの側面のみに適用してもよい。

また、本実施形態では、第２流路２０２と第９流路２０９との途中に水平流路である第１８流路２１８及び第２１流路２２１を設けることで、第２流路２０２及び第９流路２０９のノズル２１側の開口を圧力室１２側の開口よりも第２の方向Ｙにおいて内側に移動するようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、第２流路２０２及び第９流路２０９の変形例を図２３及び図２４を参照して説明する。なお、図２３は、実施形態３の記録ヘッドの変形例を示す断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図２４は、実施形態３の記録ヘッドの変形例を示す断面図であって、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。

図２３に示すように、第２流路２０２は、第３の方向Ｚに対して傾斜して設けられている。具体的には、第２流路２０２は、第１圧力室１２Ａに連通する端部が第１共通液室１０１側であり、第１ノズル２１Ａに連通する端部が第２共通液室１０２側となるように、第２の方向Ｙに傾斜して設けられている。これにより、第１共通液室１０１のノズル２１側であるＺ２側の開口を第２共通液室１０２側に拡幅して、第１コンプライアンス部４９４Ａを比較的広い面積で形成することができる。

また、図２４に示すように、第９流路２０９は、第３の方向Ｚに対して傾斜して設けられている。具体的には、第９流路２０９は、第２圧力室１２Ｂに連通する端部が第２共通液室１０２側であり、第２ノズル２１Ｂに連通する端部が第１共通液室１０１側となるように、第２の方向Ｙに傾斜して設けられている。これにより、第２共通液室１０２のノズル２１側であるＺ２側の開口を第１共通液室１０１側に拡幅して、第２コンプライアンス部４９４Ｂを比較的広い面積で形成することができる。

なお、図２３及び図２４に示す傾斜した第２流路２０２及び第９流路２０９と、図２１及び図２２に示す第１幅広部１６ｂ及び第２幅広部１７ｂの傾斜した壁面とを組み合わせてもよい。

なお、本実施形態では、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙに異なる位置に設けることで、第１ノズル２１Ａが第１の方向Ｘに並設された第１ノズル列２２Ａと、第２ノズル２１Ｂが第１の方向Ｘに並設された第２ノズル列２２Ｂとの２列が第２の方向Ｙに並設された構成、所謂、ノズル２１が第１の方向Ｘに向かって千鳥状に配置された構成を例示したが、特にこれに限定されず、上述した実施形態１の図５と同様に、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙで同じ位置に設け、ノズル２１が第１の方向Ｘに沿った直線上に配置するようにしてもよい。このような構成の場合、特に図示していないが、第１ノズル２１Ａは、第１５流路２１５の途中に連通する位置に設け、第２ノズル２１Ｂは、第１６流路２１６の途中に連通するように設ければよい。すなわち、ノズル２１は、流路基板のノズル２１が開口するノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第１５流路２１５及び第１６流路２１６の途中に連通して配置されていてもよい。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、第１個別流路２００Ａの圧力室である第１圧力室１２Ａと、第２個別流路２００Ｂのうちノズル２１よりも第１共通液室１０１側の流路であって、ノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第６流路２０６とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚから平面視した際に互いに重ならない位置に配置する。もちろん、これに限定されず、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とは、第３の方向Ｚからの平面視において少なくとも一部が互いに重なる位置に配置してもよい。このように、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とが第３の方向Ｚにおいて一部が互いに重なる位置に配置することで、第１圧力室１２Ａの第１の方向Ｘの幅を比較的広く形成することができ、第１圧力室１２Ａの排除体積を大きくしてインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を増大させることができる。

また、第２個別流路２００Ｂの第２圧力室１２Ｂと、第１個別流路２００Ａの第５流路２０５についても同様に、第３の方向Ｚからの平面視において少なくとも一部が互いに重なる位置に配置してもよい。このように、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とが第３の方向Ｚにおいて一部が互いに重なる位置に配置することで、第２圧力室１２Ｂの第１の方向Ｘの幅を比較的広く形成することができ、第２圧力室１２Ｂの排除体積を大きくしてインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を増大させることができる。

（実施形態４）
図２５は、本発明の実施形態４に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であって図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図２６は、実施形態４に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図であって図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。図２７は、流路を表すＺ２側からの斜視図である。図２８は、実施形態４に係る記録ヘッドの断面図であって、図２５のＥ−Ｅ′線断面図、Ｆ−Ｆ′線断面図、Ｇ−Ｇ′線断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図２５及び図２６に示すように、流路基板を構成する流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９、ケース部材４０等には、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、第１共通液室１０１からのインクを第２共通液室１０２に流す複数の個別流路２００と、が設けられている。

個別流路は、第１ノズル２１Ａを有する第１個別流路２００Ａと、第２ノズル２１Ｂを有する第２個別流路２００Ｂとを有する。

図２５に示すように、第１個別流路２００Ａは、第１流路２０１と第１圧力室１２Ａと第２流路２０２と第１ノズル２１Ａと第３流路２０３と第４流路２０４と第５流路２０５とを具備する。

本実施形態では、第２流路２０２は、ノズル２１から第１共通液室１０１までの間にノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられており、この第２流路２０２が特許請求の範囲に記載の上流連通路に相当する。

また、本実施形態では、第５流路２０５は、ノズル２１から第２共通液室１０２までの間にノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられており、この第５流路２０５が下流連通路に相当する。

図２６に示すように、第２個別流路２００Ｂは、第６流路２０６と第７流路２０７と第８流路２０８と第２ノズル２１Ｂと第９流路２０９と第２圧力室１２Ｂと第１０流路２１０とを有する。

本実施形態では、第７流路２０７は、ノズル２１から第１共通液室１０１までの間にノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられており、この第７流路２０７が特許請求の範囲に記載の上流連通路に相当する。

また、第９流路２０９は、ノズル２１から第２共通液室１０２までの間にノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びて設けられており、この第９流路２０９が下流連通路に相当する。

そして、個別流路２００は、図２７及び図２８に示すように、ノズル２１から第１共通液室１０１までの間に、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びる上流連通路である第２流路２０２及び第７流路２０７を有し、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する個別流路の上流連通路同士、すなわち、第１個別流路２００Ａの第２流路２０２と第２個別流路２００Ｂの第７流路２０７とは、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘから見た場合に、互いに重なっていない部分を有する。本実施形態では、第２流路２０２と第７流路２０７とは、第２の方向Ｙにおいて完全に重ならない位置に配置されている。もちろん、第２流路２０２と第７流路２０７とは、第１の方向Ｘから平面視した際に、完全に重なっていなければ、一部が重なっていてもよい。このように、第２流路２０２と第７流路２０７とは、第２の方向Ｙにおいて異なる位置に配置されることで、第１の方向Ｘに沿って所謂、千鳥状に配置されている。

このような構成では、第１の方向Ｘで隣接する第２流路２０２の間の壁の剛性を向上することができ、インク滴を吐出する際の圧力変動によって第２流路２０２の壁が変形するのを抑制して、第２流路２０２の壁が変形することによる圧力吸収を抑制して、壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。

同様に、第１の方向Ｘで隣接する第７流路２０７の間の壁の剛性を向上することができ、インク滴を吐出する際の圧力変動によって第７流路２０７の壁が変形することによる圧力吸収を抑制して、壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。ちなみに、第２流路２０２と第７流路２０７とが、第１の方向Ｘからの平面視において完全に重なっている位置に配置されていると、第２流路２０２と第７流路２０７との間の壁が第３の方向Ｚに亘って薄く形成されることになり、第２流路２０２及び第７流路２０７内のインクの圧力変動によって壁が変形して、クロストークが発生してしまう。また、第２流路２０２と第７流路２０７との壁の剛性を高めるために、第２流路２０２と第７流路２０７とを第１の方向Ｘに離れた位置に配置すると、ノズル２１が第１の方向Ｘに低密度に配置されると共に、流路基板が第１の方向Ｘに大型化してしまう。本実施形態のように、第２流路２０２と第７流路２０７とを第１の方向Ｘからの平面視において少なくとも一部が重ならないように配置することで、第２流路２０２と第７流路２０７とを第１の方向Ｘに比較的近く配置しても壁の剛性が低下するのを抑制することができ、ノズル２１の低密度化及び流路基板の大型化を抑制することができる。

また、本実施形態では、個別流路２００は、ノズル２１から第２共通液室１０２までの間に、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びる下流連通路である第５流路２０５及び第９流路２０９を有し、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する個別流路の下流連通路同士、すなわち、第１個別流路２００Ａの第５流路２０５と第２個別流路２００Ｂの第９流路２０９とは、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘから見た場合に、互いに重なっていない部分を有する。本実施形態では、第５流路２０５と第９流路２０９とは、第２の方向Ｙにおいて完全に重ならない位置に配置されている。もちろん、第５流路２０５と第９流路２０９とは、第１の方向Ｘから平面視した際に、完全に重なっていなければ、一部が重なっていてもよい。このように、第５流路２０５と第９流路２０９とは、第２の方向Ｙにおいて異なる位置に配置されることで、第１の方向Ｘに沿って所謂、千鳥状に配置されている。

このような構成では、第１の方向Ｘで隣接する第５流路２０５の間の壁の剛性を向上することができ、インク滴を吐出する際の圧力変動によって第５流路２０５の壁が変形するのを抑制して、圧力吸収を抑制してクロストークを低減することができる。同様に、第１の方向Ｘで隣接する第９流路２０９の間の壁の剛性を向上することができ、インク滴を吐出する際の圧力変動によって第９流路２０９の壁が変形するのを抑制して、圧力吸収を抑制してクロストークを低減することができる。

ちなみに、第５流路２０５と第９流路２０９とが、第１の方向Ｘからの平面視において完全に重なっている位置に配置されていると、第５流路２０５と第９流路２０９との間の壁が第３の方向Ｚに亘って薄く形成されることになり、第５流路２０５及び第９流路２０９内のインクの圧力変動によって壁が変形して、クロストークが発生してしまう。また、第５流路２０５と第９流路２０９との壁の剛性を高めるために、第５流路２０５と第９流路２０９とを第１の方向Ｘに離れた位置に配置すると、ノズル２１が第１の方向Ｘに低密度に配置されると共に、流路基板が第１の方向Ｘに大型化してしまう。本実施形態のように、第５流路２０５と第９流路２０９とを第１の方向Ｘからの平面視において少なくとも一部が重ならないように配置することで、第５流路２０５と第９流路２０９とを第１の方向Ｘに比較的近く配置しても壁の剛性が低下するのを抑制することができ、ノズル２１の低密度化及び流路基板の大型化を抑制することができる。

なお、本実施形態においても、第６流路２０６と第１個別流路２００Ａの第１圧力室１２Ａとは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて異なる位置に配置されている。具体的には、第１圧力室１２Ａは、第１連通板１５１のＺ１側に設けられ、第６流路２０６は、第１連通板１５１のＺ２側に設けられており、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とは、第３の方向Ｚに異なる位置に配置されている。このため、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とを第１の方向Ｘに近接して配置しても、第１圧力室１２Ａを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制して、第１圧力室１２Ａの隔壁が変形することで第１圧力室１２Ａ内のインクの圧力を吸収するのを抑制し、吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。また、本実施形態では、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とは、第３の方向Ｚからの平面視において重ならない位置に配置されているが、上述した実施形態１の図８と同様に、第１圧力室１２Ａと第６流路２０６とは、互いに少なくとも一部が重なるように配置してもよい。

また、第２圧力室１２Ｂと第１個別流路２００Ａの第５流路２０５とは、ノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚにおいて異なる位置に配置されている。具体的には、第２圧力室１２Ｂは、第１連通板１５１のＺ１側に設けられ、第５流路２０５は、第１連通板１５１のＺ２側に設けられており、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とは、第３の方向Ｚに異なる位置に配置されている。このため、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とを第１の方向Ｘに近接して配置しても、第２圧力室１２Ｂを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制して、第２圧力室１２Ｂの隔壁が変形して圧力吸収することによる吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。また、本実施形態では、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とを第３の方向Ｚからの平面視において重ならない位置に配置されているが、第２圧力室１２Ｂと第５流路２０５とは、互いに少なくとも一部が重なるように配置してもよい。

以上説明したように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例である記録ヘッド１では、流路が形成された流路基板と、流路の液体であるインクに圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００と、を備え、流路は、第１共通液室１０１と、第２共通液室１０２と、第１共通液室１０１および第２共通液室１０２に連通して第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かってインクが流れる個別流路２００と、を含み、個別流路２００は、外部と連通するノズル２１と、圧電アクチュエーター３００により圧力変化が生じる圧力室１２と、を備え、複数の個別流路２００のうち、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する３つの個別流路２００は、それぞれ、第１共通液室１０１および第２共通液室１０２に連通し、並設方向である第１の方向Ｘにおいて隣接する２つの個別流路２００である第１個別流路２００Ａ及び第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向において、圧力室とノズル２１との並び順が異なる。

このように、圧力室１２とノズル２１との並び順が異なる個別流路２００である第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを第１の方向Ｘに隣接するように配置することで、隣接する個別流路２００の圧力室１２を第２の方向Ｙで異なる位置に配置することができる。したがって、圧力室１２とノズル２１との順番が同じ個別流路を並設する場合に比べて、圧力室１２の並設方向の幅を広く設けて、圧力室１２の圧電アクチュエーター３００による排除体積を大きくして、インク滴の吐出重量を大きくすることや、圧力室１２を第１の方向Ｘに高密度に並設して、流路基板を小型化することができる。また、隣接する個別流路２００の圧力室１２を第２の方向Ｙにずらした位置に配置することができるため、第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００の圧力室１２の配設密度を向上して、ノズル２１を高密度に配置することができる。

また、個別流路２００同士を途中で合流させることなく、個別流路２００をそれぞれ独立して第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通させることで、各個別流路２００の間での圧力変動の影響によるクロストークの発生を抑制することができる。つまり、個別流路２００同士を第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２に連通する前に合流してしまうと、一方の個別流路２００内のインクの圧力変化が他方の個別流路２００に大きく影響し、インク吐出特性にばらつきが生じてしまう。本実施形態では、複数の個別流路２００は、比較的大きな容積を有する第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２のみに連通しているため、複数の個別流路２００の間で互いに圧力変動の影響を小さくすることができ、インク吐出特性のばらつきを抑制することができる。

さらに、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とが個別流路２００だけで連通しているため、インクが第１共通液室１０１内を個別流路２００の並設方向である第１の方向Ｘに流れることがなく、複数の個別流路２００に供給するインクの圧力差が生じ難く、ノズル２１から吐出されるインクの吐出特性にばらつきが生じ難い。ちなみに、第１共通液室１０１をインクが第１の方向Ｘに流れると、第１共通液室１０１の上流側に連通する個別流路２００へ供給するインクの圧力に比べて、下流側に連通する個別流路２００へ供給するインクの圧力が低下し、各個別流路２００へ供給するインクの圧力のばらつきによってインク吐出特性のばらつきが生じ易くなってしまう。

また、本実施形態の記録ヘッド１では、個別流路２００は、ノズル２１から第１共通液室１０１までの間に、ノズル２１が開口するノズル面２０ａの垂線方向である第３の方向Ｚに延びる上流連通路である第２流路２０２、第７流路２０７を有し、２つの個別流路２００である第１個別流路２００Ａ及び第２個別流路２００Ｂの上流流路同士、すなわち、第２流路２０２及び第７流路２０７は、並設方向である第１の方向Ｘから見た場合に、互いに重なっていない部分を有する。

このように、第２流路２０２と第７流路２０７とが第１の方向Ｘからの平面視において互いに重ならない部分を有する配置とすることで、第１の方向Ｘで隣接する第２流路２０２の間の壁の剛性を向上することができ、インク滴を吐出する際の圧力変動によって第２流路２０２の壁が変形するのを抑制して、第２流路２０２の壁が変形することによる圧力吸収を抑制して、壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。同様に、第１の方向Ｘで隣接する第７流路２０７の間の壁の剛性を向上することができ、インク滴を吐出する際の圧力変動によって第７流路２０７の壁が変形することによる圧力吸収を抑制して、壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。

ちなみに、第２流路２０２と第７流路２０７とが、第１の方向Ｘからの平面視において完全に重なっている位置に配置されていると、第２流路２０２と第７流路２０７との間の壁が第３の方向Ｚに亘って薄く形成されることになり、第２流路２０２及び第７流路２０７内のインクの圧力変動によって壁が変形して、クロストークが発生してしまう。また、第２流路２０２と第７流路２０７との壁の剛性を高めるために、第２流路２０２と第７流路２０７とを第１の方向Ｘに離れた位置に配置すると、ノズル２１が第１の方向Ｘに低密度に配置されると共に、流路基板が第１の方向Ｘに大型化してしまう。本実施形態のように、第２流路２０２と第７流路２０７とを第１の方向Ｘからの平面視において少なくとも一部が重ならないように配置することで、第２流路２０２と第７流路２０７とを第１の方向Ｘに比較的近く配置しても壁の剛性が低下するのを抑制することができ、ノズル２１の低密度化及び流路基板の大型化を抑制することができる。

なお、本実施形態では、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙに異なる位置に設けることで、第１ノズル２１Ａが第１の方向Ｘに並設された第１ノズル列２２Ａと、第２ノズル２１Ｂが第１の方向Ｘに並設された第２ノズル列２２Ｂとの２列が第２の方向Ｙに並設された構成、所謂、ノズル２１が第１の方向Ｘに向かって千鳥状に配置された構成を例示したが、特にこれに限定されず、上述した実施形態１の図５と同様に、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを第２の方向Ｙで同じ位置に設け、ノズル２１が第１の方向Ｘに沿った直線上に配置するようにしてもよい。このような構成の場合、特に図示していないが、第１ノズル２１Ａは、第３流路２０３の途中に連通する位置に設け、第２ノズル２１Ｂは、第８流路２０８の途中に連通するように設ければよい。すなわち、ノズル２１は、流路基板のノズル２１が開口するノズル面２０ａの面内方向に延びる流路である第３流路２０３及び第８流路２０８の途中に連通して配置されていてもよい。もちろん、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとをそれぞれ第３流路２０３及び第８流路２０８の途中に連通する位置に設けると共に、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが第２の方向Ｙで異なる位置に配置されていてもよい。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した各実施形態では、１つの流路基板に第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とが１つずつ設けられた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではない。

ここで、記録ヘッド１の変形例について図２９及び図３０を参照して説明する。なお、図２９は、流路構成を説明する概略断面図であって図１のＡ−Ａ′線に準じた概略断面図である。図３０は、流路構成を説明する概略断面図であって図１のＢ−Ｂ′線に準じた概略断面図である。

図２９及び図３０に示すように、流路基板４００には、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とが第２の方向Ｙに交互に繰り返し配置されている。また、第１共通液室１０１からのインクを第２共通液室１０２に供給する複数の個別流路２００が設けられている。個別流路２００は、１つの第１共通液室１０１と１つの第２共通液室１０２とで構成される１組に対して、第１の方向Ｘに沿って複数設けられている。第２の方向Ｙにおいて、個別流路２００は、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との間に位置している。

個別流路２００は、第１ノズル２１Ａを有する第１個別流路２００Ａと、第２ノズル２１Ｂを有する第２個別流路２００Ｂとを有する。

図２９に示すように、第１個別流路２００Ａは、第１流路２０１と第１圧力室１２Ａと第２流路２０２と第１ノズル２１Ａと第１５流路２１５とを有する。

このように第１個別流路２００Ａは、第１共通液室１０１に連通する上流側から第２共通液室１０２に連通する下流側に向かって順に第１流路２０１、圧力室１２、第２流路２０２、第１ノズル２１Ａ、第１５流路２１５を有する。すなわち、本実施形態では、第１個別流路２００Ａは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流側から下流側に向かって第１圧力室１２Ａと第１ノズル２１Ａとがこの順番に配置されている。

図３０に示すように、第２個別流路２００Ｂは、第１６流路２１６と第２ノズル２１Ｂと第９流路２０９と第２圧力室１２Ｂと第１０流路２１０とを有する。

このように第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１に連通する上流側から第２共通液室１０２に連通する下流側に向かって順に第１６流路２１６、第２ノズル２１Ｂ、第９流路２０９、第２圧力室１２Ｂ、第１０流路２１０を具備する。つまり、本実施形態では、第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流側から下流側に向かって第２ノズル２１Ｂと第２圧力室１２Ｂとがこの順番に配置されている。すなわち、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとでは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して圧力室１２とノズル２１との順番が異なるように配置されている。本実施形態では、各個別流路２００に圧力室１２とノズル２１とが１つずつ設けられているため、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとは、圧力室１２とノズル２１との順番が、逆転して配置されている。

そして、本実施形態では、第１の方向Ｘの一直線上に第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが並んでいる。ちなみに、第１の方向Ｘの一直線上に第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとが並んでいなくてもよい。また、図２９及び図３０には、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との組が２組のみ示したが、第２の方向Ｙに３組以上設けられていてもよく、いわゆるマトリックス状に配置されていてもよい。また、３組以上の第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との組に対応する圧電アクチュエーター３００に対して、共通のフレキシブルケーブル１２０を接続してもよい。

また、図２９及び図３０の記録ヘッド１の変形例を図３１及び図３２に示す。なお、図３１は、流路構成を説明する概略断面図であって図１のＡ−Ａ′線に準じた概略断面図である。図３２は、流路構成を説明する概略断面図であって図１のＢ−Ｂ′線に準じた概略断面図である。

図３１及び図３２に示すように、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とは、第２の方向Ｙに交互に配置されている。

また、１つの第１共通液室１０１からは、２列の個別流路２００によって第２の方向Ｙの両側の第２共通液室１０２にインクが送られる。また、１つの第２共通液室１０２には、２列の個別流路２００によって第２の方向Ｙの両側の第１共通液室１０１からインクが送られる。すなわち、第１共通液室１０１と２列の個別流路２００とを連通し、１つの第２共通液室１０２と２列の個別流路２００とを連通するようにした。このように、第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２を個別流路２００の２列に対して兼用させることで、ノズル２１を高密度に配置して流路基板４００の小型化を図ることができる。

また、上述した各実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との間に個別流路２００が設けられた構成を例示したが、特にこれに限定されない。ここで、記録ヘッド１の変形例を図３３〜図３５を参照して説明する。なお、図３３は、流路構成を説明する概略断面図であって図１のＡ−Ａ′線に準じた概略断面図である。図３４は、流路構成を説明する概略断面図であって図１のＢ−Ｂ′線に準じた概略断面図である。図３５は、流路を模式的に表した図である。

図３３及び図３４に示すように、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とが第２の方向Ｙに並設されている。また、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２にインクを送る個別流路２００の各ノズル２１は、第２の方向Ｙにおいて、第１共通液室１０１の第２共通液室１０２とは反対側に配置されている。

具体的には、個別流路２００は、第１ノズル２１Ａを有する第１個別流路２００Ａと第２ノズル２１Ｂを有する第２個別流路２００Ｂとを有する。

図３３に示すように、第１個別流路２００Ａは、第２３流路２２３と第１圧力室１２Ａと第２４流路２２４と第１ノズル２１Ａと第２５流路２２５とを有する。

第２３流路２２３は、第１共通液室１０１から第２の方向Ｙの第２共通液室１０２とは反対側に向かって第２の方向Ｙに沿って延設されている。
第１圧力室１２Ａは、流路基板４００のＺ１側に配置されている。
第２４流路２２４は、第３の方向Ｚに沿って形成されており、第１圧力室１２Ａと第１ノズル２１Ａとを連通する。
第２５流路２２５は、第２の方向Ｙに沿って形成されており、第２４流路２２４と第２共通液室１０２とを連通する。

すなわち、第１個別流路２００Ａは、第１共通液室１０１から第２の方向Ｙの第２共通液室１０２とは反対側に向かって延設されて、第２共通液室１０２と連通して設けられている。

このような第１個別流路２００Ａには、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して第１圧力室１２Ａと第１ノズル２１Ａとがこの順番に配置されている。

図３４に示すように、第２個別流路２００Ｂは、第２６流路２２６と第２７流路２２７と第２ノズル２１Ｂと第２８流路２２８と第２圧力室１２Ｂと第２９流路２２９とを具備する。

第２６流路２２６は、第１共通液室１０１から第３の方向ＺのＺ２側に向かって延設されている。
第２７流路２２７は、第２６流路２２６から第２の方向Ｙにおいて第２共通液室１０２とは反対側に向かって延設されている。
第２８流路２２８は、第２ノズル２１Ｂに連通する位置に第３の方向Ｚに沿って延設されている。
第２圧力室１２Ｂは、第１圧力室１２Ａとは第２の方向Ｙに異なる位置に配置されている。
第２９流路２２９は、第２圧力室１２Ｂと第２共通液室１０２とを連通するように第２の方向Ｙに沿って延設されている。

すなわち、第２個別流路２００Ｂは、第１共通液室１０１から第２の方向Ｙの第２共通液室１０２とは反対側に向かって延設されて、第２共通液室１０２と連通して設けられている。

このような第２個別流路２００Ｂには、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して第２ノズル２１Ｂと第２圧力室１２Ｂとがこの順番に配置されている。すなわち、図３５に示すように、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとでは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れに対して圧力室１２とノズル２１との順番が異なるように配置されている。本実施形態では、各個別流路２００に圧力室１２とノズル２１とが１つずつ設けられているため、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとは、圧力室１２とノズル２１との順番が、逆転して配置されている。

このような構成では、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとで、圧力室１２とノズル２１との順番を異ならせることで、第１圧力室１２Ａと第２圧力室１２Ｂとを第２の方向Ｙで異なる位置に配置することができ、圧力室１２の並設方向である第１の方向Ｘの幅を広げて、排除体積を大きくすることや、圧力室１２を高密度に配置することができる。

また、図３３及び図３４の記録ヘッド１では、第２の方向Ｙにおいて、第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とに対して、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとを一方側に配置したが、両側に配置してもよい。すなわち、１つの第１共通液室１０１に対して、第２の方向Ｙにおける両側に個別流路２００を設け、１つの第２共通液室１０２に対して、第２の方向Ｙにおける両側に個別流路２００を設けてもよい。

なお、上述した図３３及び図３４に示すように、第３の方向Ｚからの平面視において第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との間にノズル２１が設けられていない構成に比べて、上述した各実施形態のように第３の方向Ｚからの平面視において第１共通液室１０１と第２共通液室１０２との間にノズル２１が設けられている構成では、個別流路２００の構成を簡略化することができ、連通板１５の多層化を抑制することができる。

また、上述した各実施形態では、各個別流路２００にノズル２１と圧力室１２とが１つずつ設けられた構成を例示したが、ノズル２１と圧力室１２との数は特に限定されず、１つの圧力室１２に対して２以上の複数のノズル２１が設けられていてもよく、また、１つのノズル２１に対して２以上の圧力室１２が設けられていてもよい。ただし、１つの個別流路２００に設けられたノズル２１からは、１吐出周期で同時にインク滴が吐出されるものである。つまり、１つの個別流路２００に複数のノズル２１が設けられていても、複数のノズル２１からは同時にインク滴を吐出するか、同時にインク滴を吐出しない非吐出かの何れかのみが行われればよい。すなわち、１つの個別流路２００に複数のノズル２１を設けた構成では、複数のノズル２１からのインク滴の吐出、非吐出が同時に行われればよい。

また、上述した各実施形態では、流路基板は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９、ケース部材４０等を有するものとしたが、特にこれに限定されるものではなく、流路基板は１枚の基板であっても、また、２枚以上の複数の基板が積層されたものであってもよい。例えば、流路基板は、流路形成基板１０、と、ノズルプレート２０とを含んでいてもよく、連通板１５と、コンプライアンス基板４９と、ケース部材４０とを含んでいなくてもよい。また、複数の流路形成基板１０により１つの圧力室１２を形成してもよいし、流路形成基板１０に圧力室１２と第１共通液室１０１と第２共通液室１０２とを形成してもよい。

また、上述した各実施形態では、圧力室１２に圧力変化を生じさせるエネルギー発生素子として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、エネルギー発生素子として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

ここで、本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の一例について図３６を参照して説明する。なお、図３６は、本発明のインクジェット式記録装置の概略構成を示す図である。

図３６に示すように、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置Ｉでは、複数の記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されている。記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。本実施形態では、キャリッジ３の移動方向が第２の方向Ｙとなっている。

また、装置本体４には、液体としてインクが貯留された貯留手段であるタンク２が設けられている。タンク２は、チューブ等の供給管２ａを介して記録ヘッド１と接続されており、タンク２からのインクは供給管２ａを介して記録ヘッド１に供給される。また、記録ヘッド１とタンク２とはチューブ等の排出管２ｂを介して接続されており、記録ヘッド１から排出されたインクは排出管２ｂを介してタンク２に戻される、所謂、循環が行われる。なお、タンク２は、複数で構成されていてもよい。

そして、駆動モーター７の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７ａを介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の被噴射媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラー８に限られずベルトやドラム等であってもよい。本実施形態では、記録シートＳの搬送方向が第１の方向Ｘとなっている。

なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

ここで、本実施形態の液体循環システムの一例について図３７を参照して説明する。なお、図３７は、本発明の液体噴射システムであるインクジェット式記録システムを説明するブロック図である。

図３７に示すように、液体循環システムであるインクジェット式記録システム（以下、略して記録システムとも言う）は、メインタンク５００と、上述した各実施形態の記録ヘッド１と、第１タンク５０１と、第２タンク５０２と、コンプレッサー５０３と、真空ポンプ５０４と、第１送液ポンプ５０５と、第２送液ポンプ５０６と、を具備する。

第１タンク５０１には、記録ヘッド１及びコンプレッサー５０３が接続されており、コンプレッサー５０３によって第１タンク５０１のインクは所定の正圧で記録ヘッド１に供給される。

第２タンク５０２は、第１送液ポンプ５０５を介して第１タンク５０１と接続されており、第１送液ポンプ５０５によって第２タンク５０２のインクが第１タンク５０１に送液される。

また、第２タンク５０２には、記録ヘッド１と真空ポンプ５０４とが接続されており、真空ポンプ５０４によって記録ヘッド１のインクは所定の負圧で第２タンク５０２に排出される。

すなわち、第１タンク５０１から記録ヘッド１にインクが供給され、記録ヘッド１から第２タンク５０２にインクが排出される。そして、第１送液ポンプ５０５によって第２タンク５０２から第１タンク５０１へインクが送液されることでインクが循環する。

また、第２タンク５０２には、第２送液ポンプ５０６を介してメインタンク５００が接続されており、記録ヘッド１によって消費された分のインクが、メインタンク５００から第２タンク５０２に補充される。なお、メインタンク５００から第２タンク５０２へのインクの補充は、例えば、第２タンク５０２内のインクの液面が所定の高さよりも低くなった場合などのタイミングで行えばよい。

なお、本実施形態では、第１共通液室１０１にインクを供給し、第２共通液室１０２からインクを回収するようにしたが、特にこれに限定されず、第２共通液室１０２にインクを供給し、第１共通液室１０１からインクを回収するようにしてもよい。すなわち個別流路２００の循環流の向きが変わった場合であっても、上述の記録ヘッド１では、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとは、第１共通液室１０１から第２共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状となっているため、ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性が変化することがない。

また、第１共通液室１０１から個別流路２００を介して第２共通液室１０２にインクを流した状態で、ノズル２１からインク滴を吐出しない非吐出時において、ノズル２１の並設方向である第１の方向Ｘで隣接する個別流路２００のノズル２１内の大気圧を基準としたインクの圧力差は、±２％以内、つまり−２％以上、＋２％以下であることが好ましい。例えば、大気圧を１０１３ｈＰａとした場合、ノズル２１内の圧力は約１０００ｈＰａ程度である。したがって、第１の方向Ｘで隣接するノズル２１内のインクの圧力差は、最大で約２０ｈＰａ程度である。

このように非吐出時において、第１の方向Ｘで隣接する第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と、第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力との差を、−２％以上、＋２％以下と比較的小さくすることで、第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴と第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。このように、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と、第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力との差を比較的小さくするには、第１共通液室１０１から第１ノズル２１Ａまでの流路抵抗と、第１共通液室１０１から第２ノズル２１Ｂまでの流路抵抗とを、ノズル２１内のインクの圧力差が、−２％以上、＋２％以下となるように揃える必要がある。そして、第１共通液室１０１から第１ノズル２１Ａまでの流路抵抗と、第１共通液室１０１から第２ノズル２１Ｂまでの流路抵抗とをノズル２１内のインクの圧力差が、−２％以上、＋２％以下となるように形成する場合、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを同じ形状で且つインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状とすることで、個別流路２００の構造を簡略化して第１圧力室１２Ａ及び第２圧力室１２Ｂを第２の方向Ｙで異なる位置に配置することができる。

また、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗、及び、第２上流流路と第２下流流路との流路抵抗や、第１の方向Ｘで隣接する２つのノズル２１内のインクの圧力差は、上述したものに限定されるものではない。例えば、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗、及び、第２上流流路と第２下流流路との流路抵抗のそれぞれが異なる場合や、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力とが−２％より小さい、又は、＋２％よりも大きくてもよい。このような場合には、ノズル２１の並設方向で隣接する個別流路２００のそれぞれの圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を異ならせるようにすればよい。

ここで、本実施形態の記録システムについて説明する。なお、図３８は、本発明の液体噴射システムの一例であるインクジェット式記録システムの電気的構成を説明する図である。

本実施形態の記録システムは、エネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００に駆動パルスを供給する制御部６００を備える。

制御部６００は、外部インターフェース６０１（以下、略して外部Ｉ／Ｆ６０１という）と、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ６０２と、制御プログラム等を記憶したＲＯＭ６０３と、ＣＰＵ等を含んで構成した制御処理部６０４と、クロック信号（ＣＫ）を発生する発振回路６０５と、記録ヘッド１へ供給するための駆動信号を発生する駆動信号発生部６０６と、駆動信号や印刷データに基づいて展開されたドットパターンデータ（ビットマップデータ）等を記録ヘッド１に送信する内部インターフェース６０７（以下、略して内部Ｉ／Ｆ６０７という）と、を備えている。

外部Ｉ／Ｆ６０１は、例えば、キャラクタコード、グラフィック関数、イメージデータ等によって構成される印刷データを、図示しないホストコンピューター等から受信する。また、この外部Ｉ／Ｆ６０１を通じてビジー信号（ＢＵＳＹ）やアクノレッジ信号（ＡＣＫ）が、ホストコンピューター等の外部装置に対して出力される。ＲＡＭ６０２は、受信バッファー６０２Ａ、中間バッファー６０２Ｂ、出力バッファー６０２Ｃ、及び、図示しないワークメモリーとして機能する。そして、受信バッファー６０２Ａは外部Ｉ／Ｆ６０１によって受信された印刷データを一時的に記憶し、中間バッファー６０２Ｂは制御処理部６０４が変換した中間コードデータを記憶し、出力バッファー６０２Ｃはドットパターンデータを記憶する。なお、このドットパターンデータは、階調データをデコード（翻訳）することにより得られる記録データ（ＳＩ）によって構成してある。

駆動信号発生部６０６は、第１駆動信号ＣＯＭ１を発生可能な第１駆動信号発生手段である第１駆動信号発生部６０６Ａと、第２駆動信号ＣＯＭ２を発生可能な第２駆動信号発生手段である第２駆動信号発生部６０６Ｂと、を具備する。

ここで、第１駆動信号発生部６０６Ａが生成する第１駆動信号ＣＯＭ１は、ノズル２１からインク滴を吐出させるように圧電アクチュエーター３００を駆動する第１吐出パルスＤＰ１を１記録周期Ｔ内に有する信号であり、記録周期Ｔ毎に繰り返し発生される。

また、第２駆動信号発生部６０６Ｂが生成する第２駆動信号ＣＯＭ２は、詳しくは後述するが、ノズルからインク滴を吐出させるように圧電アクチュエーター３００を駆動する第２吐出パルスＤＰ２を１記録周期Ｔ内に有する信号であり、記録周期Ｔ毎に繰り返し発生される。なお、第２吐出パルスＤＰ２は、第１吐出パルスＤＰ１と同じ記録周期Ｔ内で同じタイミングで生成されるものである。なお、記録周期Ｔは、駆動信号ＣＯＭの繰り返し単位であり、本発明における吐出周期の一種であり、記録シートＳに印刷する画像の１画素分に対応する。なお、第１駆動信号ＣＯＭ１、第２駆動信号ＣＯＭ２の詳細については後述する。

ＲＯＭ６０３には、各種データ処理を行わせるための制御プログラム（制御ルーチン）の他に、フォントデータ、グラフィック関数等を記憶させてある。制御処理部６０４は、受信バッファー６０２Ａ内の印刷データを読み出すと共に、この印刷データを変換して得た中間コードデータを中間バッファー６０２Ｂに記憶させる。また、中間バッファー６０２Ｂから読み出した中間コードデータを解析し、ＲＯＭ６０３に記憶させているフォントデータ及びグラフィック関数等を参照して、中間コードデータをドットパターンデータに展開する。そして、制御処理部６０４は、必要な装飾処理を施した後に、この展開したドットパターンデータを出力バッファー６０２Ｃに記憶させる。

そして、記録ヘッド１の１行分に相当するドットパターンデータが得られたならば、この１行分のドットパターンデータは、内部Ｉ／Ｆ６０７を通じて記録ヘッド１に出力される。また、出力バッファー６０２Ｃから１行分のドットパターンデータが出力されると、展開済みの中間コードデータは中間バッファー６０２Ｂから消去され、次の中間コードデータについての展開処理が行われる。

なお、詳しくは後述するが、制御部６００の制御処理部６０４は、外部装置から外部Ｉ／Ｆ６０１を介して受信した印刷データ等に基づいてドットパターンデータ等の記録データを生成する際に、１行のドットパターンデータにおいて、インク滴が吐出される隣接する連続したノズル２１でノズル群を構成し、ノズル群を構成するノズル２１のうち、端部のノズル２１から吐出されるインク滴の吐出タイミングを、端部以外のノズル２１から吐出されるインク滴の吐出タイミングに対してずらす機能を実現する。このような制御プログラムは、外部Ｉ／Ｆ６０１を介して直接接続された、又はホストコンピューターを介して接続されたフロッピィディスクやＣＤＲＯＭ、ＤＶＤＲＯＭ、ＵＳＢメモリー等の記録媒体から読み込まれる。もちろん、制御プログラムはホストコンピューターにプリンタードライバーとして備えられていてもよい。このように制御プログラムがホストコンピューターに備えられた場合には、特許請求の範囲に記載の制御部は、制御プログラムを具備するホストコンピューターとなる。

一方、記録ヘッド１は、第１シフトレジスタ１２２Ａ及び第２シフトレジスタ１２２Ｂからなるシフトレジスタ回路と、第１ラッチ回路１２３Ａ及び第２ラッチ回路１２３Ｂからなるラッチ回路と、デコーダー１２４と、制御ロジック１２５と、第１レベルシフター１２６Ａ及び第２レベルシフター１２６Ｂからなるレベルシフター回路と、第１スイッチ１２７Ａ及び第２スイッチ１２７Ｂからなるスイッチ回路と、圧電アクチュエーター３００とを具備する。そして、各シフトレジスタ１２２Ａ、１２２Ｂ、各ラッチ回路１２３Ａ、１３３Ｂ、各レベルシフター１２６Ａ、１２６Ｂ、スイッチ１２７Ａ、１２７Ｂ及び圧電アクチュエーター３００は、それぞれノズル２１の各々に対応して設けられている。

この記録ヘッド１は、制御部６００からの記録データ（ＳＩ）に基づいてインク滴を吐出させる。本実施形態では、記録データの上位ビット群、記録データの下位ビット群の順に記録ヘッド１へ送られてくるので、まず、記録データの上位ビット群が第２シフトレジスタ１２２Ｂにセットされる。全てのノズル２１について記録データの上位ビット群が第２シフトレジスタ１２２Ｂにセットされると、これらの上位ビット群が第１シフトレジスタ１２２Ａにシフトする。これと同時に、記録データの下位ビット群が第２シフトレジスタ１２２Ｂにセットされる。

第１シフトレジスタ１２２Ａの後段には、第１ラッチ回路１２３Ａが電気的に接続され、第２シフトレジスタ１２２Ｂの後段には、第２ラッチ回路１２３Ｂが電気的に接続されている。そして、制御部６００からのラッチ信号（ＬＡＴ）が各ラッチ回路１２３Ａ、１２３Ｂに入力されると、第１ラッチ回路１２３Ａは記録データの上位ビット群をラッチし、第２ラッチ回路１２３Ｂは記録データの下位ビット群をラッチする。各ラッチ回路１２３Ａ、１２３Ｂでラッチされた記録データ（上位ビット群、下位ビット群）は、それぞれデコーダー１２４に出力される。このデコーダー１２４は、記録データの上位ビット群及び下位ビット群に基づいて、第１駆動信号ＣＯＭ１、第２駆動信号ＣＯＭ２を構成する第１吐出パルスＤＰ１、第２吐出パルスＤＰ２を選択するためのパルス選択データを生成する。

パルス選択データは、第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２毎に生成される。すなわち、第１駆動信号ＣＯＭ１に対応する第１パルス選択データは、１ビットのデータによって構成されている。また、第２駆動信号ＣＯＭ２に対応する第２パルス選択データは、１ビットのデータによって構成されている。

また、デコーダー１２４には、制御ロジック１２５からのタイミング信号も入力される。この制御ロジック１２５は、ラッチ信号やチャンネル信号の入力に同期してタイミング信号を発生する。このタイミング信号も第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２毎に生成される。デコーダー１２４によって生成された各パルス選択データは、タイミング信号によって規定されるタイミングで上位ビット側から順次各レベルシフター１２６Ａ、１２６Ｂに入力される。これらレベルシフター１２６Ａ、１２６Ｂは、電圧増幅器として機能し、パルス選択データが「１」の場合には、対応するスイッチ１２７Ａ、１２７Ｂが駆動可能な電圧値、例えば、数十ボルトに昇圧した電気信号を出力する。すなわち、第１パルス選択データが「１」の場合には、第１スイッチ１２７Ａに電気信号が出力され、第２パルス選択データが「１」の場合には、第２スイッチ１２７Ｂに電気信号が出力されて接続状態となる。

第１スイッチ１２７Ａの入力側には第１駆動信号発生部６０６Ａからの第１駆動信号ＣＯＭ１が供給されており、第２スイッチ１２７Ｂの入力側には第２駆動信号発生部６０６Ｂからの第２駆動信号ＣＯＭ２が供給されている。また、各スイッチ１２７Ａ、１２７Ｂの出力側には、圧電アクチュエーター３００が電気的に接続されている。そして、これら第１スイッチ１２７Ａ及び第２スイッチ１２７Ｂは、発生される駆動信号の種類毎に設けられており、駆動信号発生部６０６と圧電アクチュエーター３００との間に介在して第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２を圧電アクチュエーター３００に選択的に供給する。なお、第１スイッチ１２７Ａ及び第２スイッチ１２７Ｂが共に切断状態となると、圧電アクチュエーター３００には第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２が供給されない。

このようなパルス選択データは、各スイッチ１２７Ａ、１２７Ｂの動作を制御する。すなわち、第１スイッチ１２７Ａに入力されたパルス選択データが「１」である期間中は、この第１スイッチ１２７Ａが接続された導通状態となり、第１駆動信号ＣＯＭ１が圧電アクチュエーター３００に供給される。同様に、第２スイッチ１２７Ｂに入力されたパルス選択データが「１」である期間中は、この第２スイッチ１２７Ｂが接続された導通状態となり、第２駆動信号ＣＯＭ２が圧電アクチュエーター３００に供給される。そして、供給された第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２に応じて圧電アクチュエーター３００に印加される駆動信号が変化する。一方、各スイッチ１２７Ａ、１２７Ｂに入力されたパルス選択データが共に「０」の期間中は、各スイッチ１２７Ａ、１２７Ｂが切断状態となり、圧電アクチュエーター３００には第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２が供給されない。要するにパルス選択データとして「１」が設定された期間のパルスが選択的に圧電アクチュエーター３００に供給される。なお、パルス選択データが共に「０」の期間において、各圧電アクチュエーター３００は直前の電位を保持するので、直前の変位状態が維持される。

このように、本実施形態では、デコーダー１２４、制御ロジック１２５、各レベルシフター１２６Ａ、１２５Ｂ及び各スイッチ１２７Ａ、１２７Ｂは、駆動素子制御手段として機能し、記録データ（階調データ）に応じて第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２の供給を制御することにより圧電アクチュエーター３００の挙動を制御する。

次に、駆動信号発生部６０６が発生する第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２と、これら第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２の圧電アクチュエーター３００への供給制御について説明する。なお、図３９は、駆動信号を示す駆動波形である。

図３９に示した駆動信号を示す駆動波形は、第１駆動信号ＣＯＭ１と第２駆動信号ＣＯＭ２とからなる。

第１駆動信号ＣＯＭ１は、発振回路６０５から発信されるクロック信号により規定される単位周期Ｔ（吐出周期Ｔであって、記録周期Ｔともいう）毎に駆動信号発生部６０６の第１駆動信号発生部６０６Ａから繰り返し生成される。単位周期Ｔは、記録シートＳに印刷する画像等の１画素分に対応する。本実施形態では、単位周期Ｔにおいて駆動パルスである第１吐出パルスＤＰ１が生成される。

同様に、第２駆動信号ＣＯＭ２は、第１駆動信号ＣＯＭ１と同じ単位周期Ｔ毎に駆動信号発生部６０６の第２駆動信号発生部６０６Ｂから繰り返し生成される。本実施形態では、単位周期Ｔにおいて駆動パルスである第２吐出パルスＤＰ２が生成される。そして、印刷中において記録シートＳの記録領域に１行分（１ラスター分）のドットパターンを形成するとき、各ノズル２１に対応する圧電アクチュエーター３００には、第１吐出パルスＤＰ１及び第２吐出パルスＤＰ２の何れか一方が選択的に供給される。なお、本実施形態では、第１駆動信号ＣＯＭ１、第２駆動信号ＣＯＭ２は、圧電アクチュエーター３００の共通電極である第１電極６０を基準電位（ｖｂｓ）として、個別電極である第２電極８０に供給される。すなわち、駆動信号によって第２電極８０に印加される電圧は、基準電位（ｖｂｓ）を基準としての電位として表される。

具体的には、第１駆動信号ＣＯＭ１の第１吐出パルスＤＰ１は、中間電位Ｖｍが印加された状態から第１電位Ｖ_１まで印加して圧力室１２の容積を基準容積から膨張させる第１膨張要素Ｐ０１と、第１膨張要素Ｐ０１によって膨張した圧力室１２の容積を一定時間維持する第１膨張維持要素Ｐ０２と、第１電位Ｖ_１から第２電位Ｖ_２まで印加して圧力室１２の容積を収縮させる第１収縮要素Ｐ０３と、第１収縮要素Ｐ０３によって収縮した圧力室１２の容積を一定時間維持する第１収縮維持要素Ｐ０４と、第２電位Ｖ_２の収縮状態から中間電位Ｖｍの基準容積まで圧力室１２を復帰させる第１膨張復帰要素Ｐ０５と、を具備する。

このような第１吐出パルスＤＰ１が圧電アクチュエーター３００に供給されると、第１膨張要素Ｐ０１によって圧電アクチュエーター３００が圧力室１２の容積を膨張させる方向に変形して、ノズル２１内のメニスカスが圧力室１２側に引き込まれると共に、圧力室１２には第１共通液室１０１及び第２共通液室１０２からインクが供給される。そして、圧力室１２の膨張状態は、第１膨張維持要素Ｐ０２で維持される。その後、第１収縮要素Ｐ０３が供給されて圧力室１２は膨張容積から第２電位Ｖ_２に対応する収縮容積まで急激に収縮され、圧力室１２内のインクが加圧されてノズル２１からインク滴が吐出される。圧力室１２の収縮状態は、第１収縮維持要素Ｐ０４で維持され、この間にインク滴の吐出によって減少した圧力室１２内のインク圧力は、その固有振動によって再び上昇する。この上昇タイミングに合わせて第１膨張復帰要素Ｐ０５が供給されて、圧力室１２が基準容積まで復帰し、圧力室１２内の圧力変動が吸収される。

これに対して、第２駆動信号ＣＯＭ２の第２吐出パルスＤＰ２は、中間電位Ｖｍが印加された状態から第１電位Ｖ_１まで印加して圧力室１２の容積を基準容積から膨張させる第２膨張要素Ｐ１１と、第２膨張要素Ｐ１１によって膨張した圧力室１２の容積を一定時間維持する第２膨張維持要素Ｐ１２と、第１電位Ｖ_１から第３電位Ｖ_３まで印加して圧力室１２の容積を収縮させる第２収縮要素Ｐ１３と、第２収縮要素Ｐ１３によって収縮した圧力室１２の容積を一定時間維持する第２収縮維持要素Ｐ１４と、第３電位Ｖ_３の収縮状態から中間電位Ｖｍの基準容積まで圧力室１２を復帰させる第２膨張復帰要素Ｐ１５と、を具備する。

これら第２駆動信号ＣＯＭ２の第２収縮要素Ｐ１３の第１電位Ｖ_１から第３電位Ｖ_３までに印加される第２印加電圧ΔＶ_Ｂは、第１駆動信号ＣＯＭ１の第１収縮要素Ｐ０３の第１電位Ｖ_１から第２電位Ｖ_２までに印加される第１印加電位ΔＶ_Ａよりも小さい。本実施形態では、第２収縮要素Ｐ１３の終点電位である第３電位Ｖ_３を第１収縮要素Ｐ０３の終点電位である第２電位Ｖ_２よりも小さくすることで、第２印加電圧ΔＶ_Ｂを第１印加電位ΔＶ_Ａよりも小さくしている。もちろん、第２吐出パルスＤＰ２の第２収縮要素Ｐ１３の始点電位である第１電位Ｖ_１を、第１吐出パルスＤＰ１の第１収縮要素Ｐ０３の始点電位である第１電位Ｖ_１よりも大きくすることで、第２印加電圧ΔＶ_Ｂを第１印加電位ΔＶ_Ａよりも小さくしてもよく、始点電位と終点電位の両方の電位を変更するようにしてもよい。

このように第２吐出パルスＤＰ２の第２印加電位ΔＶ_Ｂは、第１吐出パルスＤＰ１の第１印加電位ΔＶ_Ａよりも小さい、第２吐出パルスＤＰ２で吐出させたインク滴の方が、第１吐出パルスＤＰ１で吐出させたインク滴に比べて重量が小さくなる。

ここで、例えば、第１個別流路２００Ａの第１上流流路の流路抵抗が第１下流流路よりも大きい場合、第１個別流路２００Ａと第２個別流路２００Ｂとを反転させた構造とすると、第２個別流路２００Ｂの第２上流流路の流路抵抗は、第２下流流路の流路抵抗よりも小さくなる。このため、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力は、第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力に比べて小さくなり、第１ノズル２１Ａから吐出されるインク滴の重量は第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量に比べて小さくなる。

このため、本実施形態の記録システムの制御部６００によって、第１個別流路２００Ａ及び第２個別流路２００Ｂのそれぞれに対応する圧電アクチュエーター３００に異なる駆動パルスを供給する。具体的には、インク滴の重量が小さくなる第１個別流路２００Ａに対応する圧電アクチュエーター３００には、第１駆動信号ＣＯＭ１の第１吐出パルスＤＰ１を印加し、インク滴の重量が大きくなる第２個別流路２００Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００には、第２駆動信号ＣＯＭ２の第２吐出パルスＤＰ２を印加する。これにより、第１ノズル２１Ａ内のインクの圧力と第２ノズル２１Ｂ内のインクの圧力とに比較的大きな差が生じたとしても、圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を調整することで、第１ノズル２１Ａ及び第２ノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量のばらつきを低減して、印刷品質を向上することができる。

なお、本実施形態では、第１吐出パルスＤＰ１の第１収縮要素Ｐ０３の第１印加電位ΔＶ_Ａと、第２吐出パルスＤＰ２の第２収縮要素Ｐ１３の第２印加電圧ΔＶ_Ｂとを変更することで、ノズル２１から吐出されるインク滴の重量を変更するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、第１吐出パルスＤＰ１の第１膨張要素Ｐ０１と、第２吐出パルスＤＰ２の第２膨張要素Ｐ１１との印加電位及び傾きの少なくとも一方を変更することによっても吐出されるインク滴の重量を変更することができる。また、第１吐出パルスＤＰ１の第１膨張維持要素Ｐ０２と第２吐出パルスＤＰ２の第２膨張維持要素Ｐ１２との時間成分を変更することでも吐出されるインク滴の重量を変更することができる。さらに、第１吐出パルスＤＰ１の第１収縮要素Ｐ０３と第２吐出パルスＤＰ２の第２収縮要素Ｐ１３との傾きを変更することでもインク滴の重量を変更することができる。なお、これらは２以上を組み合わせて変更するようにしてもよい。

すなわち、第１吐出パルスＤＰ１と第２吐出パルスＤＰ２とで、インク滴の重量に関わる印加電位、傾き、時間の少なくとも一つを変更することで、インク滴の重量を変更して、第１ノズル２１Ａと第２ノズル２１Ｂとのそれぞれから吐出されるインク滴の重量のばらつきを低減することができ、印刷品質を向上することができる。

なお、各実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置、液体噴射システムにも適用できる。

Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…タンク、２ａ…供給管、２ｂ…排出管、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、７…駆動モーター、７ａ…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板、１２…圧力室、１２Ａ…第１圧力室、１２Ｂ…第２圧力室、１５…連通板、１５１…第１連通板、１５２…第２連通板、１６…第１連通部、１６ａ…第１幅狭部、１６ｂ…第１幅広部、１７…第２連通部、１７ａ…第２幅狭部、１７ｂ…第２幅広部、２０…ノズルプレート、２０ａ…ノズル面、２１…ノズル、２１Ａ…第１ノズル、２１Ｂ…第２ノズル、２２Ａ…第１ノズル列、２２Ｂ…第２ノズル列、３０…保護基板、３１…圧電アクチュエーター保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…第１液室部、４２…第２液室部、４３…導入口、４４…排出口、４５…接続口、４９…コンプライアンス基板、４９１…封止膜、４９２…固定基板、４９３…開口部、４９４…コンプライアンス部、４９４Ａ…第１コンプライアンス部、４９４Ｂ…第２コンプライアンス部、４９５Ａ…第１開口、４９５Ｂ…第２開口、５０…振動板、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９０…リード電極、１０１…第１共通液室、１０２…第２共通液室、１２０…フレキシブルケーブル、１２１…駆動回路、１２２Ａ…第１シフトレジスタ、１２２Ｂ…第２シフトレジスタ、１２３Ａ…第１ラッチ回路、１２３Ｂ…第２ラッチ回路、１２４…デコーダー、１２５…制御ロジック、１２６Ａ…第１レベルシフター、１２６Ｂ…第２レベルシフター、１２７Ａ…第１スイッチ、１２７Ｂ…第２スイッチ、２００…個別流路、２００Ａ…第１個別流路、２００Ｂ…第２個別流路、２０１…第１流路、２０２…第２流路、２０３…第３流路、２０４…第４流路、２０５…第５流路、２０６…第６流路、２０７…第７流路、２０８…第８流路、２０９…第９流路、２１０…第１０流路、２１１…第１１流路、２１２…第１２流路、２１３…第１３流路、２１４…第１４流路、２１５…第１５流路、２１６…第１６流路、２１７…第１７流路、２１８…第１８流路、２１９…第１９流路、２２０…第２０流路、２２１…第２１流路、２２２…第２２流路、２２３…第２３流路、２２４…第２４流路、２２５…第２５流路、２２６…第２６流路、２２７…第２７流路、２２８…第２８流路、２２９…第２９流路、３００…圧電アクチュエーター、４００…流路基板、５００…メインタンク、５０１…第１タンク、５０２…第２タンク、５０３…コンプレッサー、５０４…真空ポンプ、５０５…第１送液ポンプ、５０６…第２送液ポンプ、６００…制御部、６０１…外部インターフェース（外部Ｉ／Ｆ）、６０２Ａ…受信バッファー、６０２Ｂ…中間バッファー、６０２Ｃ…出力バッファー、６０４…制御処理部、６０５…発振回路、６０６…駆動信号発生部、６０６Ａ…第１駆動信号発生部、６０６Ｂ…第２駆動信号発生部、６０７…内部インターフェース（内部Ｉ／Ｆ）、ＣＯＭ…駆動信号、ＣＯＭ１…第１駆動信号、ＣＯＭ２…第２駆動信号、ＤＰ１…第１吐出パルス、ＤＰ２…第２吐出パルス、Ｐ０１…第１膨張要素、Ｐ０２…第１膨張維持要素、Ｐ０３…第１収縮要素、Ｐ０４…第１収縮維持要素、Ｐ０５…第１膨張復帰要素、Ｐ１１…第２膨張要素、Ｐ１２…第２膨張維持要素、Ｐ１３…第２収縮要素、Ｐ１４…第２収縮維持要素、Ｐ１５…第２膨張復帰要素、Ｓ…記録シート、Ｔ…記録周期（単位周期、吐出周期）、Ｖｍ…中間電位、Ｖ_１…第１電位、Ｖ_２…第２電位、Ｖ_３…第３電位、Ｘ…第１の方向、Ｙ…第２の方向、Ｚ…第３の方向

Claims (21)

1. 流路が形成された流路基板と、
   前記流路の液体に圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子と、を備え、
   前記流路は、第１共通液室と、第２共通液室と、前記第１共通液室および前記第２共通液室に連通して前記第１共通液室から前記第２共通液室に向かって液体が流れる個別流路と、を含み、
   前記個別流路は、外部と連通するノズルと、前記エネルギー発生素子により圧力変化が生じる圧力室と、を備え、
   複数の前記個別流路のうち、前記ノズルの並設方向において隣接する３つの前記個別流路は、それぞれ、前記第１共通液室および前記第２共通液室に連通し、
   前記並設方向において隣接する２つの前記個別流路は、前記第１共通液室から前記第２共通液室に向かう液体の流れる方向において、前記圧力室と前記ノズルとの並び順が異なることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記個別流路のうち、前記ノズルから前記第１共通液室までの上流流路の流路抵抗と、前記ノズルから前記第２共通液室までの下流流路の流路抵抗とは、同じであることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記ノズルは、前記流路基板の前記ノズルが開口するノズル面の面内方向に延びる流路の途中に連通して配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記並設方向から平面視した際に、前記２つの前記個別流路において、前記ノズルの間隔は、前記圧力室の間隔よりも小さいことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 複数の前記個別流路は、
   前記ノズルが前記圧力室よりも下流側に設けられた第１個別流路と、
   前記ノズルが前記圧力室よりも上流側に設けられた第２個別流路と、
   を有し、
   前記第１個別流路と前記第２個別流路とが前記並設方向で隣接する位置に配置されており、
   前記ノズルが開口するノズル面の垂線方向において、前記第１個別流路の前記圧力室と、前記第２個別流路のうち前記ノズルよりも前記第１共通液室側の流路であって、前記ノズル面の面内方向に延びる流路とは、異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記ノズル面の垂線方向から平面視した際に、前記第１個別流路の前記圧力室と、前記第２個別流路のうち前記ノズルよりも前記第１共通液室側の流路であって、前記ノズル面の面内方向に延びる流路とは、少なくとも一部が重なる位置に配置されていることを特徴とする請求項５記載の液体噴射ヘッド。
7. 複数の前記個別流路は、
   前記ノズルが前記圧力室よりも下流側に設けられた第１個別流路と、
   前記ノズルが前記圧力室よりも上流側に設けられた第２個別流路と、
   を有し、
   前記第１個別流路と前記第２個別流路とが前記並設方向で隣接する位置に配置されており、
   前記ノズルが開口するノズル面の垂線方向において、前記第１個別流路の前記圧力室と、前記第２個別流路のうち前記ノズルよりも前記第１共通液室側の流路であって、前記ノズル面の面内方向に延びる流路とは、同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記第１共通液室と前記第２共通液室とのそれぞれの壁面の一部には、液体の圧力を吸収可能なコンプライアンス部が設けられていることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記流路基板は、液体の圧力変動を吸収可能なコンプライアンス部と、前記ノズルが設けられたノズルプレートと、を含み、
   前記コンプライアンス部と前記ノズルプレートとは、前記ノズルが開口するノズル面の垂線方向において、前記個別流路に対して同じ側に配置されていることを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
10. 前記コンプライアンス部は、前記ノズルプレートに形成されていることを特徴とする請求項９記載の液体噴射ヘッド。
11. 前記コンプライアンス部は、前記ノズルプレートとは異なる部材に形成されていることを特徴とする請求項９記載の液体噴射ヘッド。
12. 前記個別流路は、前記ノズルから前記第１共通液室までの間に、前記ノズルが開口するノズル面の垂線方向に延びる上流連通路を有し、
    前記２つの前記個別流路の前記上流連通路同士は、前記並設方向から見た場合に、互いに重なっていない部分を有することを特徴とする請求項１〜１１の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
13. 前記ノズルが開口するノズル面の垂線方向から平面視した際に、前記第１共通液室と前記第２共通液室との間に前記ノズルが配置されていることを特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
14. 複数の前記個別流路は、
    前記ノズルが前記圧力室よりも下流側に設けられた第１個別流路と、
    前記ノズルが前記圧力室よりも上流側に設けられた第２個別流路と、
    を有し、
    前記第１個別流路と前記第２個別流路とが前記並設方向で隣接する位置に配置されており、
    前記第１個別流路は、前記圧力室から前記ノズルまでの間に、前記ノズルが開口するノズル面の垂線方向に延びる第１連通路を有し、
    前記第２個別流路は、前記圧力室から前記ノズルまでの間に、前記ノズル面の垂線方向に延びる第２連通路を有し、
    前記第１連通路は、前記ノズル側の開口が前記圧力室側の開口よりも前記第２共通液室側に位置し、
    前記第２連通路は、前記ノズル側の開口が前記圧力室側の開口よりも前記第１共通液室側に位置する
    ことを特徴とする請求項１〜１３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
15. 流路が形成された流路基板と、
    前記流路の液体に圧力変化を生じさせるためのエネルギー発生素子と、を備え、
    前記流路は、第１共通液室と、第２共通液室と、前記第１共通液室および前記第２共通液室に連通して前記第１共通液室から前記第２共通液室に向かって液体が流れる個別流路と、を含み、
    前記個別流路は、外部と連通するノズルと、前記エネルギー発生素子により圧力変化が生じる圧力室と、を備え、
    前記流路基板は、第１流路基板と第２流路基板と第３流路基板とを備え、
    前記第１流路基板と前記第２流路基板との間に、並設方向に第１の解像度で流路が形成され、
    前記第２流路基板と前記第３流路基板との間に、前記並設方向に前記第１の解像度よりも大きな解像度の第２の解像度で流路が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
16. 前記第３流路基板が、前記ノズルが形成されたノズルプレートを含むことを特徴とする請求項１５記載の液体噴射ヘッド。
17. 前記第１の解像度は、流路が並ぶ方向における流路のピッチであることを特徴とする請求項１５又は１６記載の液体噴射ヘッド。
18. 請求項１〜１７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
19. 請求項１〜１７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記第１及び第２の共通液室の何れか一方の共通液室に液体を供給すると共に、他方の共通液室から液体を回収して前記個別流路内に循環流を生じさせる循環系と、
    を具備する液体噴射システム。
20. 前記個別流路内に循環流が生じている状態で、前記ノズルから液体を吐出させない非吐出時の前記ノズル内の圧力は、当該ノズル間で±２％以内の差であることを特徴とする請求項１９記載に液体噴射システム。
21. 前記エネルギー発生素子に駆動パルスを供給する制御部を備えており、前記制御部は、前記２つの前記個別流路のそれぞれに対応するエネルギー発生素子に異なる駆動パルスを供給することを特徴とする請求項１９又は２０記載の液体噴射システム。