JP2020016606A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
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図12(A)から次式1が成り立つ。
Claims (6)
- 干渉性を有する光を出射する光源と、
前記光を透過させることによって検査対象に照射する照明光を生成する複数の要素レンズを2次元的に配列して構成されたレンズアレイと、
前記照明光を前記検査対象に照明することによって前記検査対象の光学画像を撮像する撮像部とを備え、
前記レンズアレイは、前記検査対象の走査方向に配列された複数の前記要素レンズからなる複数のレンズ列を、該走査方向に対して垂直方向に配列して構成され、
前記要素レンズは、前記垂直方向に隣接する複数の前記レンズ列間において前記走査方向にずれている、検査装置。 - 前記要素レンズは、前記垂直方向に隣接する複数の前記レンズ列において前記走査方向にほぼ一定幅ずつずれている、請求項1に記載の検査装置。
- 前記垂直方向に隣接する複数の前記レンズ列における前記要素レンズの前記走査方向へのずれ幅Δxは、前記光源からの光の波長をλとし、前記レンズアレイからの透過光を前記検査対象に集光させるレンズの焦点距離をfとし、前記検査対象の照射面上の前記走査方向における検査視野の幅をDとし、nを正数とすると、
Δx=n×f×λ/D (式5)
式5で表される、請求項1または請求項2に記載の検査装置。 - 前記複数のレンズ列は、前記垂直方向にほぼ等ピッチで配列し、
前記レンズ列において、前記複数の要素レンズは、前記走査方向にほぼ等ピッチで配列されている、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記複数のレンズ列は、前記走査方向に略平行に延伸している、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の検査装置。
- 前記検査対象の照射面上の干渉縞のうち、前記走査方向に対して傾斜する干渉縞は、前記検査対象の照射面上の前記走査方向における検査視野の幅に対して、ほぼnピッチだけ前記垂直方向へずれる、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の検査装置。
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2018
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