JP6772110B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
レンズアレイ60は、例えば、図3に示すように円盤形状である。レンズアレイ60の直径は、例えば、100mmであるが、設計事項であるためこれに限られない。尚、レンズアレイ60は、円盤形状に限られず、円筒形状であってもよい。
例えば、シフト量が0.5の整数倍である場合、レンズアレイ60の回転によって、境界線Bの放射方向への移動距離が1ピッチの整数倍となる。これにより、瞳面64全体の光量が均一になるため、光量ムラは0になる。
光学画像取得工程では、検査装置100は、マスク1の光学画像(測定データ)を取得する。
記憶部109は、マスク1のパターン形成時に用いた設計パターンデータを記憶する。
展開工程では、図1の展開回路111は、記憶部109から制御計算機110を通して設計パターンデータを読み出す。
フィルタ処理工程では、参照回路112は、展開回路111から送られた図形のイメージデータである設計画像データに適切なフィルタ処理を施す。これにより、光学画像と比較する参照画像を作成する。
上述した通り、センサ回路106は、得られた光学画像データを比較回路108へ送る。また、参照回路112は、参照画像データを比較回路108へ送る。
Claims (5)
- 検査対象にレーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光の径を拡大させるエキスパンダレンズと、
前記エキスパンダレンズを通過した前記レーザ光を透過させる複数の要素レンズを有する回転可能なレンズアレイとを備え、
前記複数の要素レンズは、前記レンズアレイ上において該レンズアレイの回転軸の周囲に配置され、前記複数の要素レンズの配置の略中心からの放射線に沿って、かつ、前記略中心に対する複数の同心円に沿って設けられ、
前記レンズアレイの回転軸は、前記略中心からずれている、検査装置。 - 前記レンズアレイの回転軸は、前記略中心から、前記放射線の方向における前記要素レンズのピッチの半分以上ずれている、請求項1に記載の検査装置。
- 前記レンズアレイの回転軸は、前記略中心から、前記放射線の方向における前記要素レンズのピッチの半分の整数倍ずれている、請求項1に記載の検査装置。
- 前記検査対象からの光を受けて該検査対象の画像を取得する撮像部をさらに備え、
前記撮像部の画像取得時間は、前記レンズアレイの回転周期以上である、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の検査装置。 - 前記検査対象からの光を受けて該検査対象の画像を取得する撮像部をさらに備え、
前記撮像部の画像取得時間は、前記レンズアレイの回転周期の整数倍である、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017146953A JP6772110B2 (ja) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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JP2019027893A JP2019027893A (ja) | 2019-02-21 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6772110B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7056306B2 (ja) * | 2018-03-28 | 2022-04-19 | 横河電機株式会社 | 照射光学装置 |
CN113924440B (zh) * | 2019-03-25 | 2023-11-07 | 朗美通经营有限责任公司 | 用于多区域照射的具有表面发射激光器的透镜阵列的空间复用 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004212132A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Univ Osaka | 試料の多点同時計測方法、及び多点同時計測用顕微鏡 |
US7202466B2 (en) * | 2003-08-25 | 2007-04-10 | Cadent Ltd. | Apparatus and method for providing high intensity non-coherent light and for speckle reduction |
JP5135066B2 (ja) * | 2008-06-03 | 2013-01-30 | ナノフォトン株式会社 | 光学顕微鏡、及び観察方法 |
JP5831901B2 (ja) * | 2011-11-28 | 2015-12-09 | 国立大学法人大阪大学 | 誘導ラマン散乱顕微鏡 |
JP6318358B2 (ja) * | 2013-04-08 | 2018-05-09 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 照明装置および検査装置 |
US10352860B2 (en) * | 2014-04-24 | 2019-07-16 | Bruker Nano, Inc. | Super resolution microscopy |
WO2017082357A1 (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-18 | オリンパス株式会社 | 超解像顕微鏡 |
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2017
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Publication number | Publication date |
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JP2019027893A (ja) | 2019-02-21 |
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