JP2019021804A5 - - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 98
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- 238000004642 transportation engineering Methods 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
したがって、本発明は、複数の検査ユニットを高さ方向および横方向に複数配置した検査システムにおいて、一つの検査ユニットあたりのフットプリントを小さくすることができる技術を提供する。
上記課題を解決するため、本発明の第1の観点は、被検査体の電気的検査を行うためのテスタと、前記テスタと被検査体の間に設けられるプローブカードとを有し、被検査体の電気的検査を行う、複数の検査ユニットを有する検査部を備えた検査領域と、
被検査体の収容容器が配置される配置部と、前記収容容器と前記検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域と
を備え、
前記検査部は、前記検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、
前記配置部は、前記検査部の前記一方向の端部側に設けられ、
前記検査領域は、前記検査部の前記検査ユニット列の各段に隣接して設けられ、前記一方向に延びる複数の搬送路と、前記各搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記ローダから搬入された被検査体を前記検査ユニットとの間で受け渡す複数の搬送機構とをさらに有し、前記ローダ領域の前記配置部は、前記検査ユニットの配列方向に直交する方向に前記収容容器が複数配列されることを特徴とする検査システムを提供する。
被検査体の収容容器が配置される配置部と、前記収容容器と前記検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域と
を備え、
前記検査部は、前記検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、
前記配置部は、前記検査部の前記一方向の端部側に設けられ、
前記検査領域は、前記検査部の前記検査ユニット列の各段に隣接して設けられ、前記一方向に延びる複数の搬送路と、前記各搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記ローダから搬入された被検査体を前記検査ユニットとの間で受け渡す複数の搬送機構とをさらに有し、前記ローダ領域の前記配置部は、前記検査ユニットの配列方向に直交する方向に前記収容容器が複数配列されることを特徴とする検査システムを提供する。
本発明の第2の観点は、被検査体の電気的検査を行うためのテスタと、前記テスタと被検査体の間に設けられるプローブカードとを有し、被検査体の電気的検査を行う、複数の検査ユニットを有し、前記検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、それぞれが間隔を空けて対向するように設けられた2つの検査部と、前記2つの検査部の各段の前記検査ユニット列の間に設けられ、前記一方向に延びる複数の搬送路と、前記各搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記各段の前記検査ユニット列の前記検査ユニットとの間で被検査体を受け渡す複数の搬送機構と、を有し、前記2つの検査部と、前記搬送路と、前記搬送機構とは、検査領域を構成し、被検査収容容器が配置される配置部と、前記収容容器と前記検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域をさらに有し、前記配置部は、前記2つの検査部の前記一方向の端部側に設けられ、前記ローダ領域の前記配置部は、前記検査ユニットの配列方向に直交する方向に前記収容容器が複数配列されることを特徴とする検査システムを提供する。
本発明によれば、複数の検査ユニットを高さ方向および横方向に複数配置した検査システムにおいて、空きスペースを減少させる等により、一つの検査ユニットあたりのフットプリントを小さくすることができる。
すなわち、従来は、図11に示すように、ローダ領域13を検査領域12と対向して設けていたため、検査ユニット30の横方向の数を増加させると、ローダ領域13では必要なFOUP18の数に対応する領域に加え、FOUP18を置く必要がない空きスペース80が生じてしまう。このため、検査ユニット30の数を増加させても検査ユニット30の1個当たりのフットプリントがほとんど減少しない。これに対して、本実施形態では、ローダ領域13を検査領域12における検査ユニット配列方向の一方の端部に設けたので、このような空きスペースが生じない。このため、横方向の検査ユニット30の数を増やすことにより、従来よりも、一つの検査ユニット30あたりのフットプリントを小さくすることができる。
Claims (10)
- 被検査体の電気的検査を行うためのテスタと、前記テスタと被検査体の間に設けられるプローブカードとを有し、被検査体の電気的検査を行う、複数の検査ユニットを有する検査部を備えた検査領域と、
被検査体の収容容器が配置される配置部と、前記収容容器と前記検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域と
を備え、
前記検査部は、前記検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、
前記配置部は、前記検査部の前記一方向の端部側に設けられ、
前記検査領域は、前記検査部の前記検査ユニット列の各段に隣接して設けられ、前記一方向に延びる複数の搬送路と、前記各搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記ローダから搬入された被検査体を前記検査ユニットとの間で受け渡す複数の搬送機構とをさらに有し、
前記ローダ領域の前記配置部は、前記検査ユニットの配列方向に直交する方向に前記収容容器が複数配列されることを特徴とする検査システム。 - 前記検査領域は、前記搬送路を挟んで前記検査部と反対側に、前記検査ユニットを、垂直方向に複数段設け、その複数段の前記検査ユニットを水平方向の前記一方向に複数配列した他の検査部をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の検査システム。
- 被検査体の電気的検査を行うためのテスタと、前記テスタと被検査体の間に設けられるプローブカードとを有し、被検査体の電気的検査を行う、複数の検査ユニットを有し、前記検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、それぞれが間隔を空けて対向するように設けられた2つの検査部と、
前記2つの検査部の各段の前記検査ユニット列の間に設けられ、前記一方向に延びる複数の搬送路と、
前記各搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記各段の前記検査ユニット列の前記検査ユニットとの間で被検査体を受け渡す複数の搬送機構と
を有し、
前記2つの検査部と、前記搬送路と、前記搬送機構とは、検査領域を構成し、
被検査収容容器が配置される配置部と、前記収容容器と前記検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域をさらに有し、
前記配置部は、前記2つの検査部の前記一方向の端部側に設けられ、
前記ローダ領域の前記配置部は、前記検査ユニットの配列方向に直交する方向に前記収容容器が複数配列されることを特徴とする検査システム。 - 前記各搬送路に沿って2つの搬送機構が移動可能に設けられ、前記搬送機構の一方が、前記2つの検査部の一方に属する前記検査ユニットに対して被検査体の受け渡しを行い、前記搬送機構の他方が、前記2つの検査部の他方に属する検査ユニットに対して被検査体の受け渡しを行うことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の検査システム。
- 前記検査部の前記検査ユニット列の各段に設けられ、ステージに載せられた被検査体を前記検査ユニットの前記プローブカードに対して位置決めするアライナーをさらに有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記アライナーは、前記1つまたは2つの検査部の各段における全ての前記検査ユニットにアクセス可能に設けられていることを特徴とする請求項5に記載の検査システム。
- 前記検査ユニットは、検査時に、前記ステージ上の被検査体が前記プローブカードのプローブに接触した状態で、前記ステージが吸着されるように構成され、前記アライナーは、一の前記検査ユニットにおいて、前記ステージを上昇させて前記被検査体を前記プローブに接触させ、前記ステージを吸着させた後、一の前記検査ユニットから検査が終了した他の前記検査ユニットに移動し、その検査ユニットの前記ステージの取り外し動作を実施することを特徴とする請求項5または請求項6に記載の検査システム。
- 前記搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記ステージに載せられた被検査体のアライメント用のカメラを有するカメラユニットをさらに有することを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記カメラユニットは、前記ステージ上の基板の温度を測定する放射温度計を有することを特徴とする請求項8に記載の検査システム。
- 前記カメラユニットは、前記搬送機構と共通のガイドレールに沿って前記搬送路を移動可能に設けられていることを特徴とする請求項8または請求項9に記載の検査システム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017139936A JP6887332B2 (ja) | 2017-07-19 | 2017-07-19 | 検査システム |
KR1020207004705A KR102413295B1 (ko) | 2017-07-19 | 2018-05-11 | 검사 시스템 |
US16/630,606 US11067624B2 (en) | 2017-07-19 | 2018-05-11 | Inspection system |
PCT/JP2018/018314 WO2019017050A1 (ja) | 2017-07-19 | 2018-05-11 | 検査システム |
TW107124558A TWI761555B (zh) | 2017-07-19 | 2018-07-17 | 檢查系統 |
JP2021079077A JP2021119638A (ja) | 2017-07-19 | 2021-05-07 | 検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017139936A JP6887332B2 (ja) | 2017-07-19 | 2017-07-19 | 検査システム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021079077A Division JP2021119638A (ja) | 2017-07-19 | 2021-05-07 | 検査システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019021804A JP2019021804A (ja) | 2019-02-07 |
JP2019021804A5 true JP2019021804A5 (ja) | 2020-04-30 |
JP6887332B2 JP6887332B2 (ja) | 2021-06-16 |
Family
ID=65015135
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017139936A Active JP6887332B2 (ja) | 2017-07-19 | 2017-07-19 | 検査システム |
JP2021079077A Pending JP2021119638A (ja) | 2017-07-19 | 2021-05-07 | 検査システム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021079077A Pending JP2021119638A (ja) | 2017-07-19 | 2021-05-07 | 検査システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11067624B2 (ja) |
JP (2) | JP6887332B2 (ja) |
KR (1) | KR102413295B1 (ja) |
TW (1) | TWI761555B (ja) |
WO (1) | WO2019017050A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102367037B1 (ko) * | 2017-06-21 | 2022-02-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 검사 시스템 |
JP7274350B2 (ja) * | 2019-05-28 | 2023-05-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送システム、検査システム及び検査方法 |
CN113053774A (zh) * | 2019-12-27 | 2021-06-29 | 迪科特测试科技(苏州)有限公司 | 探测装置 |
JP7390934B2 (ja) * | 2020-03-03 | 2023-12-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置 |
WO2022201283A1 (ja) * | 2021-03-23 | 2022-09-29 | キオクシア株式会社 | ストレージシステム |
JP2023097019A (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63229836A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Nikon Corp | ウエハ検査装置 |
JP2952331B2 (ja) | 1990-04-05 | 1999-09-27 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP3312748B2 (ja) * | 1992-06-05 | 2002-08-12 | 株式会社東京精密 | ウエハ検査装置及びウエハ検査方法 |
JPH08335614A (ja) * | 1995-06-08 | 1996-12-17 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブシステム |
WO2008144437A1 (en) * | 2007-05-15 | 2008-11-27 | Seubert Ronald C | Wafer probe test and inspection system |
CN101689522B (zh) * | 2007-06-29 | 2011-11-02 | 爱德万测试株式会社 | 测试装置 |
KR100892756B1 (ko) | 2007-12-27 | 2009-04-15 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 |
JP5139253B2 (ja) | 2008-12-18 | 2013-02-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置及び真空搬送装置 |
KR101321467B1 (ko) * | 2009-02-12 | 2013-10-28 | 가부시키가이샤 아드반테스트 | 반도체 웨이퍼 시험장치 |
JP2011009362A (ja) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Tokyo Electron Ltd | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP5952645B2 (ja) * | 2012-06-06 | 2016-07-13 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 |
JP5918682B2 (ja) * | 2012-10-09 | 2016-05-18 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカード取り付け方法 |
JP5690321B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2015-03-25 | 株式会社アドバンテスト | プローブ装置および試験装置 |
JP5718379B2 (ja) * | 2013-01-15 | 2015-05-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板収納処理装置及び基板収納処理方法並びに基板収納処理用記憶媒体 |
JP6333112B2 (ja) * | 2014-08-20 | 2018-05-30 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置 |
JP6418394B2 (ja) * | 2015-02-27 | 2018-11-07 | 株式会社東京精密 | プローバ及びプローブカードのプリヒート方法 |
JP6652361B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2020-02-19 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置及びウエハ検査方法 |
-
2017
- 2017-07-19 JP JP2017139936A patent/JP6887332B2/ja active Active
-
2018
- 2018-05-11 US US16/630,606 patent/US11067624B2/en active Active
- 2018-05-11 KR KR1020207004705A patent/KR102413295B1/ko active IP Right Grant
- 2018-05-11 WO PCT/JP2018/018314 patent/WO2019017050A1/ja active Application Filing
- 2018-07-17 TW TW107124558A patent/TWI761555B/zh active
-
2021
- 2021-05-07 JP JP2021079077A patent/JP2021119638A/ja active Pending
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