JP3312748B2 - ウエハ検査装置及びウエハ検査方法 - Google Patents
ウエハ検査装置及びウエハ検査方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエハ検査装置に係り、
特に半導体ウエハ上に多数形成された半導体素子回路の
電気特性を検査するウエハ検査装置に関する。
特に半導体ウエハ上に多数形成された半導体素子回路の
電気特性を検査するウエハ検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハは、その表面に同一の電気
素子回路が多数形成されており、この電気素子回路を各
チップとして切断する前に各電気素子回路の形成品質を
検査すべく、ウエハプローバと称されるウエハ検査装置
で電気素子回路毎にその良・不良が判定される。
素子回路が多数形成されており、この電気素子回路を各
チップとして切断する前に各電気素子回路の形成品質を
検査すべく、ウエハプローバと称されるウエハ検査装置
で電気素子回路毎にその良・不良が判定される。
【０００３】前記ウエハ検査装置はカセット収納部、ウ
エハ搬送部、テーブル、及び装置制御部判定部等から構
成される。前記カセット収納部には、検査対象のウエハ
を多数枚収納したカセットが取り付けられており、この
ウエハは前記ウエハ搬送部によってカセットから１枚づ
つ取り出されて前記テーブルまで搬送される。テーブル
は、ウエハを吸着して素子検査時にその素子配列に従っ
たＸ−Ｙ方向の水平移動と、Ｚ方向の上下移動を行う。
エハ搬送部、テーブル、及び装置制御部判定部等から構
成される。前記カセット収納部には、検査対象のウエハ
を多数枚収納したカセットが取り付けられており、この
ウエハは前記ウエハ搬送部によってカセットから１枚づ
つ取り出されて前記テーブルまで搬送される。テーブル
は、ウエハを吸着して素子検査時にその素子配列に従っ
たＸ−Ｙ方向の水平移動と、Ｚ方向の上下移動を行う。
【０００４】前記装置制御部判定部は、プローブステー
ジとテスタ等から構成される。プローブステージには、
検査対象のウエハに対応したプローブカードが取り付け
られており、このプローブカードに設けられたプローブ
ニードルに電気素子回路の各電極パッドを当接させるこ
とによって、各電気素子回路の形成品質が前記テスタに
よって順次検査判定される。
ジとテスタ等から構成される。プローブステージには、
検査対象のウエハに対応したプローブカードが取り付け
られており、このプローブカードに設けられたプローブ
ニードルに電気素子回路の各電極パッドを当接させるこ
とによって、各電気素子回路の形成品質が前記テスタに
よって順次検査判定される。
【０００５】尚、検査終了したウエハは、ウエハ搬送部
によってテーブルからカセットまで搬送されてカセット
の元の棚に収納される。
によってテーブルからカセットまで搬送されてカセット
の元の棚に収納される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ウエハ検査装置では、１カセットに収納した多数枚のウ
エハを１台のウエハ検査装置で処理しているので、１カ
セット当たりの検査時間が長くなるという欠点がある。
また、複数台のウエハ検査装置を配設すると共に、ウエ
ハストック部にウエハ検査装置の台数に対応したカセッ
トを収納し、ウエハ搬送装置で前記カセットからウエハ
を取り出して、そのウエハに対応したウエハ検査装置に
順次搬送するというウエハ検査装置があるが、このウエ
ハ検査装置も前述したように、１カセット当たりの検査
時間が長くなるという欠点がある。
ウエハ検査装置では、１カセットに収納した多数枚のウ
エハを１台のウエハ検査装置で処理しているので、１カ
セット当たりの検査時間が長くなるという欠点がある。
また、複数台のウエハ検査装置を配設すると共に、ウエ
ハストック部にウエハ検査装置の台数に対応したカセッ
トを収納し、ウエハ搬送装置で前記カセットからウエハ
を取り出して、そのウエハに対応したウエハ検査装置に
順次搬送するというウエハ検査装置があるが、このウエ
ハ検査装置も前述したように、１カセット当たりの検査
時間が長くなるという欠点がある。
【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、１カセット当たりの検査処理時間を短縮するウ
エハ検査装置を提供することを目的とする。
もので、１カセット当たりの検査処理時間を短縮するウ
エハ検査装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、所定の間隔をもって配置された複数台のウエ
ハ検査部と、検査対象のウエハが多数枚収納されたカセ
ットを多数本ストック可能なカセットストック部と、カ
セットストック部の所定のカセットに収納された前記ウ
エハを、該カセットから１枚づつ取り出して中継用チャ
ックに載置する走行移動可能に配置された第１自走台車
と、前記中継用チャックに載置されたウエハを複数の前
記ウエハ検査部にそれぞれ搬送すると共に、ウエハ検査
部で検査終了したウエハを前記中継用チャックに載置す
る走行移動可能に配置された第２自走台車と、前記中継
用チャックに載置された検査終了後のウエハを第１自走
台車でカセットストック部のカセットまで搬送して該カ
セットに収納するように制御するとともに、前記ウエハ
検査部によるウエハの検査終了後、前記第１自走台車か
ら新しいウエハが搬送されてくるのに時間がかかる場合
は、そのウエハ検査部に装着したカセットからウエハを
取り出して検査するように制御するコントローラ部と、
を有することを特徴とする。本発明は、前記目的を達成
する為に、所定の間隔をもって配置された複数台のウエ
ハ検査部と、検査対象のウエハが多数枚収納されたカセ
ットを多数本ストック可能なカセットストック部と、カ
セットストック部の所定のカセットに収納された前記ウ
エハを、該カセットから１枚づつ取り出して中継用チャ
ックに載置する走行移動可能に配置された第１自走台車
と、前記中継用チャックに載置されたウエハを複数の前
記ウエハ検査部にそれぞれ搬送すると共に、ウエハ検査
部で検査終了したウエハを前記中継用チャックに載置す
る走行移動可能に配置された第２自走台車とを備え、前
記中継用チャックに載置された検査終了後のウエハを第
１自走台車でカセットストック部のカセットまで搬送し
て該カセットに収納し、前記カセットストック部にスト
ックされた複数本の前記カセットは、前記第１自走台車
が走行移動可能に配置された第１搬送レールに沿って配
置され、前記複数台のウエハ検査部は、前記第２自走台
車が走行移動可能に配置された第２搬送レールに沿って
配置され、前記ウエハ検査部によるウエハの検査終了
後、前記第１自走台車から新しいウエハが搬送されてく
るのに時間がかかる場合は、そのウエ ハ検査部に装着し
たカセットからウエハを取り出して検査するように制御
するコントローラ部と、を有することを特徴とする。本
発明は、前記目的を達成する為に、カセットストック部
にストックされた複数本のカセットのうち、所定のカセ
ットに収納された検査対象ウエハを、第１自走台車によ
って該カセットから１枚づつ取り出し、該取り出した前
記ウエハを前記第１自走台車によって中継用チャックに
載置し、該中継用チャックに載置されたウエハを、第２
自走台車によって複数台のウエハ検査部にそれぞれ搬送
し、該複数台のウエハ検査部で検査終了したウエハを前
記第２自走台車によってそのウエハ検査部から取り出
し、該取り出したウエハを第２自走台車によって搬送し
て中継用チャックに載置し、該中継用チャックに載置さ
れた検査終了後のウエハを第１自走台車によってカセッ
トストック部のカセットまで搬送して収納し、前記ウエ
ハ検査部によるウエハの検査終了後、前記第１自走台車
から新しいウエハが搬送されてくるのに時間がかかる場
合は、そのウエハ検査部に装着したカセットからウエハ
を取り出して検査することを特徴とする。
する為に、所定の間隔をもって配置された複数台のウエ
ハ検査部と、検査対象のウエハが多数枚収納されたカセ
ットを多数本ストック可能なカセットストック部と、カ
セットストック部の所定のカセットに収納された前記ウ
エハを、該カセットから１枚づつ取り出して中継用チャ
ックに載置する走行移動可能に配置された第１自走台車
と、前記中継用チャックに載置されたウエハを複数の前
記ウエハ検査部にそれぞれ搬送すると共に、ウエハ検査
部で検査終了したウエハを前記中継用チャックに載置す
る走行移動可能に配置された第２自走台車と、前記中継
用チャックに載置された検査終了後のウエハを第１自走
台車でカセットストック部のカセットまで搬送して該カ
セットに収納するように制御するとともに、前記ウエハ
検査部によるウエハの検査終了後、前記第１自走台車か
ら新しいウエハが搬送されてくるのに時間がかかる場合
は、そのウエハ検査部に装着したカセットからウエハを
取り出して検査するように制御するコントローラ部と、
を有することを特徴とする。本発明は、前記目的を達成
する為に、所定の間隔をもって配置された複数台のウエ
ハ検査部と、検査対象のウエハが多数枚収納されたカセ
ットを多数本ストック可能なカセットストック部と、カ
セットストック部の所定のカセットに収納された前記ウ
エハを、該カセットから１枚づつ取り出して中継用チャ
ックに載置する走行移動可能に配置された第１自走台車
と、前記中継用チャックに載置されたウエハを複数の前
記ウエハ検査部にそれぞれ搬送すると共に、ウエハ検査
部で検査終了したウエハを前記中継用チャックに載置す
る走行移動可能に配置された第２自走台車とを備え、前
記中継用チャックに載置された検査終了後のウエハを第
１自走台車でカセットストック部のカセットまで搬送し
て該カセットに収納し、前記カセットストック部にスト
ックされた複数本の前記カセットは、前記第１自走台車
が走行移動可能に配置された第１搬送レールに沿って配
置され、前記複数台のウエハ検査部は、前記第２自走台
車が走行移動可能に配置された第２搬送レールに沿って
配置され、前記ウエハ検査部によるウエハの検査終了
後、前記第１自走台車から新しいウエハが搬送されてく
るのに時間がかかる場合は、そのウエ ハ検査部に装着し
たカセットからウエハを取り出して検査するように制御
するコントローラ部と、を有することを特徴とする。本
発明は、前記目的を達成する為に、カセットストック部
にストックされた複数本のカセットのうち、所定のカセ
ットに収納された検査対象ウエハを、第１自走台車によ
って該カセットから１枚づつ取り出し、該取り出した前
記ウエハを前記第１自走台車によって中継用チャックに
載置し、該中継用チャックに載置されたウエハを、第２
自走台車によって複数台のウエハ検査部にそれぞれ搬送
し、該複数台のウエハ検査部で検査終了したウエハを前
記第２自走台車によってそのウエハ検査部から取り出
し、該取り出したウエハを第２自走台車によって搬送し
て中継用チャックに載置し、該中継用チャックに載置さ
れた検査終了後のウエハを第１自走台車によってカセッ
トストック部のカセットまで搬送して収納し、前記ウエ
ハ検査部によるウエハの検査終了後、前記第１自走台車
から新しいウエハが搬送されてくるのに時間がかかる場
合は、そのウエハ検査部に装着したカセットからウエハ
を取り出して検査することを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明によれば、先ず、カセットストック部に
ストックされた複数本のカセットのうち、第１のカセッ
トに収納された検査対象ウエハを、ウエハ搬送手段によ
って該カセットから１枚づつ取り出して複数台のウエハ
検査部にそれぞれ搬送する。次に、前記複数台のウエハ
検査部で検査終了したウエハから順番に、前記ウエハ搬
送手段によって元のカセットまで搬送して収納し、更に
検査対象ウエハをカセットから取り出して検査終了した
ウエハ検査部に搬送する。
ストックされた複数本のカセットのうち、第１のカセッ
トに収納された検査対象ウエハを、ウエハ搬送手段によ
って該カセットから１枚づつ取り出して複数台のウエハ
検査部にそれぞれ搬送する。次に、前記複数台のウエハ
検査部で検査終了したウエハから順番に、前記ウエハ搬
送手段によって元のカセットまで搬送して収納し、更に
検査対象ウエハをカセットから取り出して検査終了した
ウエハ検査部に搬送する。
【００１０】これにより、１カセット当たりの検査処理
時間をウエハ検査部の台数分だけ短縮することができ
る。例えば、ウエハ検査部を８台設置すれば、ウエハ検
査部１台で１カセットを検査処理する従来のウエハ検査
装置と比較して、検査処理時間を１／８に短縮できる。
尚、前記第１のカセットに収納された全てのウエハの検
査が終了すると、カセットストック部の第２のカッセッ
トに収納されたウエハの検査を開始する。そして、第１
のカセットをカセットストック部から取り出して、検査
対象ウエハが収納された新しいカッセトと交換する。こ
のように、ウエハの検査が終了したカセットから順番
に、新しいカッセトと交換して後工程に順次送る。
時間をウエハ検査部の台数分だけ短縮することができ
る。例えば、ウエハ検査部を８台設置すれば、ウエハ検
査部１台で１カセットを検査処理する従来のウエハ検査
装置と比較して、検査処理時間を１／８に短縮できる。
尚、前記第１のカセットに収納された全てのウエハの検
査が終了すると、カセットストック部の第２のカッセッ
トに収納されたウエハの検査を開始する。そして、第１
のカセットをカセットストック部から取り出して、検査
対象ウエハが収納された新しいカッセトと交換する。こ
のように、ウエハの検査が終了したカセットから順番
に、新しいカッセトと交換して後工程に順次送る。
【００１１】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るウエハ検
査装置の好ましい実施例について詳説する。図１には、
本発明に係るウエハ検査装置１０の実施例を示す上面図
が示され、このウエハ検査装置１０はウエハ検査部１
２、カセットストック部１４、ウエハ搬送装置１６、及
びコントローラ部１８から構成される。
査装置の好ましい実施例について詳説する。図１には、
本発明に係るウエハ検査装置１０の実施例を示す上面図
が示され、このウエハ検査装置１０はウエハ検査部１
２、カセットストック部１４、ウエハ搬送装置１６、及
びコントローラ部１８から構成される。
【００１２】〔ウエハ検査部１２〕ウエハ検査部１２
は、ウエハ搬送装置１６の搬送レール２０を挟んで一方
側（図中上方向）に４台のウエハプローバ２２Ａ、２２
Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄが、また他方側（図中下方向）に４
台のウエハプローバ２２Ｅ、２２Ｆ、２２Ｇ、２２Ｈが
所定の間隔で、且つ対向して並列に配置される。また、
４台のテスタ２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄが、ウエ
ハプローバ２２Ａ乃至２２Ｈに１台に２台の割合で接続
されている。
は、ウエハ搬送装置１６の搬送レール２０を挟んで一方
側（図中上方向）に４台のウエハプローバ２２Ａ、２２
Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄが、また他方側（図中下方向）に４
台のウエハプローバ２２Ｅ、２２Ｆ、２２Ｇ、２２Ｈが
所定の間隔で、且つ対向して並列に配置される。また、
４台のテスタ２４Ａ、２４Ｂ、２４Ｃ、２４Ｄが、ウエ
ハプローバ２２Ａ乃至２２Ｈに１台に２台の割合で接続
されている。
【００１３】前記ウエハプローバ２２Ａは、第１のウエ
ハ搬送部２６、及びプローブステージ２８等を備えてい
る。ウエハ搬送部２６は、前記ウエハ搬送装置１６の後
述する自走台車３０で搬送されたウエハを供給部２６ａ
で受け取ると、前記プローブステージ２８の下方に配設
された図示しないテーブルまで搬送する。テーブルは、
前記ウエハを吸着して素子検査時に、その素子配列に従
ったＸ−Ｙ方向の水平移動と、Ｚ方向の上下移動を行う
ことができる。
ハ搬送部２６、及びプローブステージ２８等を備えてい
る。ウエハ搬送部２６は、前記ウエハ搬送装置１６の後
述する自走台車３０で搬送されたウエハを供給部２６ａ
で受け取ると、前記プローブステージ２８の下方に配設
された図示しないテーブルまで搬送する。テーブルは、
前記ウエハを吸着して素子検査時に、その素子配列に従
ったＸ−Ｙ方向の水平移動と、Ｚ方向の上下移動を行う
ことができる。
【００１４】また、プローブステージ２８には、検査対
象のウエハに対応した図示しないプローブカードが取り
付けられており、このプローブカードに設けられたプロ
ーブニードルに前記電気素子回路の各電極パッドを当接
させることによって、各電気素子回路の形成品質が前記
テスタ２４Ａによって順次検査判定される。検査終了し
たウエハは、前記第１のウエハ搬送部２６によって供給
部２６ａまで搬送される。ウエハが前記供給部２６ａに
搬送されると、その搬送終了を示す信号が前記コントロ
ーラ部１８に出力される。
象のウエハに対応した図示しないプローブカードが取り
付けられており、このプローブカードに設けられたプロ
ーブニードルに前記電気素子回路の各電極パッドを当接
させることによって、各電気素子回路の形成品質が前記
テスタ２４Ａによって順次検査判定される。検査終了し
たウエハは、前記第１のウエハ搬送部２６によって供給
部２６ａまで搬送される。ウエハが前記供給部２６ａに
搬送されると、その搬送終了を示す信号が前記コントロ
ーラ部１８に出力される。
【００１５】ウエハプローバ２２Ａには、カセット収納
部３２が設けられる。このカセット収納部３２には、検
査対象のウエハが多数枚収納されたカセット３４が取り
付けられる。このウエハは、ウエハプローバ２２Ａに設
けられた図示しない第２のウエハ搬送部によってカセッ
ト３４から１枚づつ取り出されて前記テーブルまで搬送
される。
部３２が設けられる。このカセット収納部３２には、検
査対象のウエハが多数枚収納されたカセット３４が取り
付けられる。このウエハは、ウエハプローバ２２Ａに設
けられた図示しない第２のウエハ搬送部によってカセッ
ト３４から１枚づつ取り出されて前記テーブルまで搬送
される。
【００１６】尚、ウエハプローバ２２Ｂ乃至２２Ｈの構
成は、前述したウエハプローバ２２Ａの構成と同一なの
で、その説明は省略する。 〔カセットストック部１４〕カセットストック部１４
は、検査対象のウエハが多数枚収納された４本のカセッ
ト３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｄが、図中奥行き方向
に所定の間隔で配置される。これらのカセット３６Ａ乃
至３６Ｄは、カセットストック部１４に設けられた図示
しない昇降装置によって図中奥行き方向に昇降移動可能
となっている。
成は、前述したウエハプローバ２２Ａの構成と同一なの
で、その説明は省略する。 〔カセットストック部１４〕カセットストック部１４
は、検査対象のウエハが多数枚収納された４本のカセッ
ト３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｄが、図中奥行き方向
に所定の間隔で配置される。これらのカセット３６Ａ乃
至３６Ｄは、カセットストック部１４に設けられた図示
しない昇降装置によって図中奥行き方向に昇降移動可能
となっている。
【００１７】尚、前記昇降装置は、前述したコントロー
ラ部１８によって駆動制御されている。 〔ウエハ搬送装置１６〕ウエハ搬送装置１６は、図中Ｘ
方向に配設された搬送レール２０と、この搬送レール２
０に対して直交する図中Ｙ方向に配設された搬送レール
３８とを有しており、搬送レール２０には自走台車３０
が、また搬送レール３８には自走台車４０がそれぞれ走
行移動可能に配置されている。更に、自走台車４０の近
傍には、ウエハの中継用チャック４１が配設されてい
る。
ラ部１８によって駆動制御されている。 〔ウエハ搬送装置１６〕ウエハ搬送装置１６は、図中Ｘ
方向に配設された搬送レール２０と、この搬送レール２
０に対して直交する図中Ｙ方向に配設された搬送レール
３８とを有しており、搬送レール２０には自走台車３０
が、また搬送レール３８には自走台車４０がそれぞれ走
行移動可能に配置されている。更に、自走台車４０の近
傍には、ウエハの中継用チャック４１が配設されてい
る。
【００１８】前記自走車台３０は図２に示すように、車
台本体４２とロボット部４４とから構成される。車台本
体４２は、搬送レール２０に移動可能に取り付けられて
おり、車台本体４２に内設された正逆転可能な駆動モー
タに連結された車輪を回転させることにより、搬送レー
ル２０に沿って走行移動することができる。一方、前記
ロボット部４４は、チャッキング移送部４６と吸着部４
８とから構成される。チャッキング移送部４６は、前記
車台本体４２上に固着された駆動モータ５０を有し、こ
の駆動モータ５０には移送治具５２が連結されている。
移送治具５２は、駆動モータ５２が駆動することによっ
て図中矢印方向に移動しながら１８０度反転することが
できる。また、前記移送治具５２にはウエハチャッキン
グアーム５４が固着される。ウエハチャッキングアーム
５４は、ウエハ５６を保持して前記吸着部４８の受け渡
しチャック５８上に載置することができる。
台本体４２とロボット部４４とから構成される。車台本
体４２は、搬送レール２０に移動可能に取り付けられて
おり、車台本体４２に内設された正逆転可能な駆動モー
タに連結された車輪を回転させることにより、搬送レー
ル２０に沿って走行移動することができる。一方、前記
ロボット部４４は、チャッキング移送部４６と吸着部４
８とから構成される。チャッキング移送部４６は、前記
車台本体４２上に固着された駆動モータ５０を有し、こ
の駆動モータ５０には移送治具５２が連結されている。
移送治具５２は、駆動モータ５２が駆動することによっ
て図中矢印方向に移動しながら１８０度反転することが
できる。また、前記移送治具５２にはウエハチャッキン
グアーム５４が固着される。ウエハチャッキングアーム
５４は、ウエハ５６を保持して前記吸着部４８の受け渡
しチャック５８上に載置することができる。
【００１９】前記受け渡しチャック５８に載置されたウ
エハ５６は、載置されると同時に受け渡しチャック５８
に吸着されて下降し、皿部６０に安定して保持される。
尚、前記自走車台４０の構成は、前述した車台本体４２
とチャッキング移送部４６とから成っているので、その
説明は省略する。また、前記自走車台３０、４０の走行
方向、走行距離、駆動モータ５０、及び受け渡しチャッ
ク５８の昇降移動は、前記コントローラ部１８によって
制御されている。
エハ５６は、載置されると同時に受け渡しチャック５８
に吸着されて下降し、皿部６０に安定して保持される。
尚、前記自走車台４０の構成は、前述した車台本体４２
とチャッキング移送部４６とから成っているので、その
説明は省略する。また、前記自走車台３０、４０の走行
方向、走行距離、駆動モータ５０、及び受け渡しチャッ
ク５８の昇降移動は、前記コントローラ部１８によって
制御されている。
【００２０】次に、前記の如く構成されたウエハ検査装
置１０のコントローラ部１８による制御方法について説
明する。先ず、自走車台４０を図１に示した位置に移動
させる。次に、自走車台４０のロボット部４４と、カセ
ット３６Ａの昇降装置を制御して、カセット３６Ａに収
納された検査対象ウエハ５６を、ウエハチャッキングア
ーム５４でカセット３６Ａから１枚づつ取り出し、移送
治具５２を１８０°回転させて中継用チャック４１に載
置する。
置１０のコントローラ部１８による制御方法について説
明する。先ず、自走車台４０を図１に示した位置に移動
させる。次に、自走車台４０のロボット部４４と、カセ
ット３６Ａの昇降装置を制御して、カセット３６Ａに収
納された検査対象ウエハ５６を、ウエハチャッキングア
ーム５４でカセット３６Ａから１枚づつ取り出し、移送
治具５２を１８０°回転させて中継用チャック４１に載
置する。
【００２１】次に、自走車台３０を図１中右端に移動さ
せる。そして、自走車台３０のロボット部４４と吸着部
４８とを制御して、前記中継用チャック４１に載置され
たウエハ５６を、自走車台３０のウエハチャッキングア
ーム５４で保持し、移送治具５２を１８０°回転させて
受け渡しチャック５８に載置すると共に受け渡しチャッ
ク５８で吸着し、受け渡しチャック５８を下降させて皿
部６０に保持する。
せる。そして、自走車台３０のロボット部４４と吸着部
４８とを制御して、前記中継用チャック４１に載置され
たウエハ５６を、自走車台３０のウエハチャッキングア
ーム５４で保持し、移送治具５２を１８０°回転させて
受け渡しチャック５８に載置すると共に受け渡しチャッ
ク５８で吸着し、受け渡しチャック５８を下降させて皿
部６０に保持する。
【００２２】次いで、自走車台３０を図１中左方向に走
行させて、ウエハプローバ２２Ａのウエハ搬送部２６の
位置で停止させる。そして、受け渡しチャック５８を上
昇させてウエハ５６を皿部６０から離脱させると共に、
ウエハチャッキングアーム５４でこのウエハ５６を保持
した後、移送治具５２を時計回り方向に９０°回転させ
て、ウエハ搬送部２６の供給部２６ａに載置する。供給
部２６ａに載置されたウエハ５６は、ウエハ搬送部２６
でテーブルまで搬送されて検査される。
行させて、ウエハプローバ２２Ａのウエハ搬送部２６の
位置で停止させる。そして、受け渡しチャック５８を上
昇させてウエハ５６を皿部６０から離脱させると共に、
ウエハチャッキングアーム５４でこのウエハ５６を保持
した後、移送治具５２を時計回り方向に９０°回転させ
て、ウエハ搬送部２６の供給部２６ａに載置する。供給
部２６ａに載置されたウエハ５６は、ウエハ搬送部２６
でテーブルまで搬送されて検査される。
【００２３】このようにして、残りのウエハプローバ２
２Ｂ乃至２２Ｈについても、カセット３６Ａのウエハ５
６、５６…をそれぞれ搬送し、各ウエハプローバ２２Ｂ
乃至２２Ｈで検査を開始する。次に、前記ウエハプロー
バ２２Ａ乃至２２Ｈのうち検査終了したウエハ５６が、
そのウエハプローバ２２Ａ乃至２２Ｈの供給部２６ａま
で搬送されると、検査終了したウエハ５６から順番に、
前記ウエハ搬送装置１６によってカセット３６Ａまで搬
送されて収納される。ウエハ搬送装置１６によるウエハ
収納手順は、前述したウエハ搬送手順の逆工程なので、
その説明は省略する。
２Ｂ乃至２２Ｈについても、カセット３６Ａのウエハ５
６、５６…をそれぞれ搬送し、各ウエハプローバ２２Ｂ
乃至２２Ｈで検査を開始する。次に、前記ウエハプロー
バ２２Ａ乃至２２Ｈのうち検査終了したウエハ５６が、
そのウエハプローバ２２Ａ乃至２２Ｈの供給部２６ａま
で搬送されると、検査終了したウエハ５６から順番に、
前記ウエハ搬送装置１６によってカセット３６Ａまで搬
送されて収納される。ウエハ搬送装置１６によるウエハ
収納手順は、前述したウエハ搬送手順の逆工程なので、
その説明は省略する。
【００２４】そして、ウエハ５６の搬送と収納を繰り返
した後、カセット３６Ａの全てのウエハ５６、５６…の
検査が終了すると、カッセット３６Ｂに収納されたウエ
ハ５６の検査を開始する。そして、カセット３６Ａをカ
セットストック部１４から取り出して、検査対象ウエハ
が収納された新しいカッセトと交換する。このように、
ウエハの検査が終了したカセットから順番に、新しいカ
ッセトと交換して後工程に順次送る。
した後、カセット３６Ａの全てのウエハ５６、５６…の
検査が終了すると、カッセット３６Ｂに収納されたウエ
ハ５６の検査を開始する。そして、カセット３６Ａをカ
セットストック部１４から取り出して、検査対象ウエハ
が収納された新しいカッセトと交換する。このように、
ウエハの検査が終了したカセットから順番に、新しいカ
ッセトと交換して後工程に順次送る。
【００２５】これにより、本実施例では、１カセット当
たりの検査処理時間をウエハ検査部の台数分だけ短縮す
ることができる。例えば、本実施例のように、ウエハプ
ローバ２２Ａ乃至２２Ｈを８台設置すれば、ウエハプロ
ーバ１台で１カセットを検査処理する従来のウエハ検査
装置と比較して、検査処理時間を１／８に短縮できる。
たりの検査処理時間をウエハ検査部の台数分だけ短縮す
ることができる。例えば、本実施例のように、ウエハプ
ローバ２２Ａ乃至２２Ｈを８台設置すれば、ウエハプロ
ーバ１台で１カセットを検査処理する従来のウエハ検査
装置と比較して、検査処理時間を１／８に短縮できる。
【００２６】尚、本実施例では、１品種のウエハ５６の
検査処理について説明したが、これに限られるのもでは
なく、カセット３６Ａ乃至３６Ｄ毎に品種の異なるウエ
ハが収納されている場合には、ウエハプローバ２２Ａ乃
至２２Ｈをテスタ２４Ａ乃至２４Ｄ毎に分けてウエハの
品種に対応するように設定すれば良い。また、ウエハ５
６の検査終了後、ウエハ搬送装置１６から新しいウエハ
５６が搬送されてくるのに時間がかかる場合は、各ウエ
ハプローバ２２Ａ乃至２２Ｈに装着したカセット３４か
らウエハを取り出して検査するようにすれば良い。これ
により、効率良くウエハの検査処理を行うことができ
る。
検査処理について説明したが、これに限られるのもでは
なく、カセット３６Ａ乃至３６Ｄ毎に品種の異なるウエ
ハが収納されている場合には、ウエハプローバ２２Ａ乃
至２２Ｈをテスタ２４Ａ乃至２４Ｄ毎に分けてウエハの
品種に対応するように設定すれば良い。また、ウエハ５
６の検査終了後、ウエハ搬送装置１６から新しいウエハ
５６が搬送されてくるのに時間がかかる場合は、各ウエ
ハプローバ２２Ａ乃至２２Ｈに装着したカセット３４か
らウエハを取り出して検査するようにすれば良い。これ
により、効率良くウエハの検査処理を行うことができ
る。
【００２７】更に、各ウエハプローバ２２Ａ乃至２２Ｈ
にウエハチャッキングアームを設け、このウエハチャッ
キングアームで受け渡しチャック５８に吸着されたウエ
ハ５６をウエハプローバ２２Ａ乃至２２Ｈに移送するよ
うにしても良い。
にウエハチャッキングアームを設け、このウエハチャッ
キングアームで受け渡しチャック５８に吸着されたウエ
ハ５６をウエハプローバ２２Ａ乃至２２Ｈに移送するよ
うにしても良い。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、カ
セットストック部にストックされた複数本のカセットの
うち、所定のカセットに収納された検査対象ウエハを、
第１自走台車によって該カセットから１枚づつ取り出し
て中継用チャックに載置し、ここに載置されたウエハ
を、第２自走台車によって複数台のウエハ検査部にそれ
ぞれ搬送すると共に、複数台のウエハ検査部で検査終了
したウエハから中継用チャックに載置し、この検査終了
後のウエハを第１自走台車によってカセットストック部
のカセットまで搬送して収納するようにした。これによ
り、効率良くウエハの検査処理を行うことができる。ま
た、ウエハ検査部１台で１カセットを検査処理する従来
のウエハ検査装置と比較して、１カセット当たりの検査
処理時間を大幅に短縮できる。更に、ウエハの検査終了
後、第１自走台車から新しいウエハが搬送されてくるの
に時間がかかる場合は、そのウエハ検査部に装着したカ
セットからウエハを取り出して検査するので、効率良く
ウエハの検査処理を行うことができる。
セットストック部にストックされた複数本のカセットの
うち、所定のカセットに収納された検査対象ウエハを、
第１自走台車によって該カセットから１枚づつ取り出し
て中継用チャックに載置し、ここに載置されたウエハ
を、第２自走台車によって複数台のウエハ検査部にそれ
ぞれ搬送すると共に、複数台のウエハ検査部で検査終了
したウエハから中継用チャックに載置し、この検査終了
後のウエハを第１自走台車によってカセットストック部
のカセットまで搬送して収納するようにした。これによ
り、効率良くウエハの検査処理を行うことができる。ま
た、ウエハ検査部１台で１カセットを検査処理する従来
のウエハ検査装置と比較して、１カセット当たりの検査
処理時間を大幅に短縮できる。更に、ウエハの検査終了
後、第１自走台車から新しいウエハが搬送されてくるの
に時間がかかる場合は、そのウエハ検査部に装着したカ
セットからウエハを取り出して検査するので、効率良く
ウエハの検査処理を行うことができる。
【図１】本発明に係るウエハ検査装置の実施例を示す上
面図
面図
【図２】本発明に係るウエハ検査装置に適用されたウエ
ハ搬送台車の正面図
ハ搬送台車の正面図
１０…ウエハ検査装置 １２…ウエハ検査部 １４…カセットストック部 １６…ウエハ搬送装置 １８…コントローラ部 ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、２２Ｅ、２２Ｆ、２
２Ｇ、２２Ｈ…ウエハプローバ ３０、４０…自走台車 ３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｄ…カセット
２Ｇ、２２Ｈ…ウエハプローバ ３０、４０…自走台車 ３６Ａ、３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｄ…カセット
Claims (3)
- 【請求項１】 所定の間隔をもって配置された複数台の
ウエハ検査部と、 検査対象のウエハが多数枚収納されたカセットを多数本
ストック可能なカセットストック部と、 カセットストック部の所定のカセットに収納された前記
ウエハを、該カセットから１枚づつ取り出して中継用チ
ャックに載置する走行移動可能に配置された第１自走台
車と、 前記中継用チャックに載置されたウエハを複数の前記ウ
エハ検査部にそれぞれ搬送すると共に、ウエハ検査部で
検査終了したウエハを前記中継用チャックに載置する走
行移動可能に配置された第２自走台車と、 前記中継用チャックに載置された検査終了後のウエハを
第１自走台車でカセットストック部のカセットまで搬送
して該カセットに収納するように制御するとともに、前
記ウエハ検査部によるウエハの検査終了後、前記第１自
走台車から新しいウエハが搬送されてくるのに時間がか
かる場合は、そのウエハ検査部に装着したカセットから
ウエハを取り出して検査するように制御するコントロー
ラ部と、を有することを特徴とするウエハ検査装置。 - 【請求項２】 所定の間隔をもって配置された複数台の
ウエハ検査部と、 検査対象のウエハが多数枚収納されたカセットを多数本
ストック可能なカセットストック部と、 カセットストック部の所定のカセットに収納された前記
ウエハを、該カセットから１枚づつ取り出して中継用チ
ャックに載置する走行移動可能に配置された第１自走台
車と、 前記中継用チャックに載置されたウエハを複数の前記ウ
エハ検査部にそれぞれ搬送すると共に、ウエハ検査部で
検査終了したウエハを前記中継用チャックに載置する走
行移動可能に配置された第２自走台車とを備え、 前記中継用チャックに載置された検査終了後のウエハを
第１自走台車でカセットストック部のカセットまで搬送
して該カセットに収納し、 前記カセットストック部にストックされた複数本の前記
カセットは、前記第１自走台車が走行移動可能に配置さ
れた第１搬送レールに沿って配置され、 前記複数台のウエハ検査部は、前記第２自走台車が走行
移動可能に配置された第２搬送レールに沿って配置さ
れ、 前記ウエハ検査部によるウエハの検査終了後、前記第１
自走台車から新しいウエハが搬送されてくるのに時間が
かかる場合は、そのウエハ検査部に装着したカセットか
らウエハを取り出して検査するように制御するコントロ
ーラ部と、を有する ことを特徴とするウエハ検査装置。 - 【請求項３】 カセットストック部にストックされた複
数本のカセットのうち、所定のカセットに収納された検
査対象ウエハを、第１自走台車によって該カセットから
１枚づつ取り出し、 該取り出した前記ウエハを前記第１自走台車によって中
継用チャックに載置し、 該中継用チャックに載置されたウエハを、第２自走台車
によって複数台のウエハ検査部にそれぞれ搬送し、 該複数台のウエハ検査部で検査終了したウエハを前記第
２自走台車によってそのウエハ検査部から取り出し、 該取り出したウエハを第２自走台車によって搬送して中
継用チャックに載置し、 該中継用チャックに載置された検査終了後のウエハを第
１自走台車によってカセットストック部のカセットまで
搬送して収納し、 前記ウエハ検査部によるウエハの検査終了後、前記第１
自走台車から新しいウエハが搬送されてくるのに時間が
かかる場合は、そのウエハ検査部に装着したカセットか
らウエハを取り出して検査する ことを特徴とするウエハ
検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14523092A JP3312748B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | ウエハ検査装置及びウエハ検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14523092A JP3312748B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | ウエハ検査装置及びウエハ検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05343497A JPH05343497A (ja) | 1993-12-24 |
| JP3312748B2 true JP3312748B2 (ja) | 2002-08-12 |
Family
ID=15380352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14523092A Expired - Fee Related JP3312748B2 (ja) | 1992-06-05 | 1992-06-05 | ウエハ検査装置及びウエハ検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3312748B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100346147B1 (ko) * | 1995-06-08 | 2002-11-23 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 프로브 시스템 |
| KR100701893B1 (ko) * | 2000-02-24 | 2007-03-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치 |
| JP2002280425A (ja) | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法およびテスト方法 |
| JP2002313880A (ja) | 2001-04-19 | 2002-10-25 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
| DE102004013707B9 (de) * | 2003-08-28 | 2016-06-23 | Cascade Microtech, Inc. | Vorrichtung zum Testen von Substraten |
| JP4376072B2 (ja) | 2004-01-16 | 2009-12-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| KR100788734B1 (ko) * | 2005-12-05 | 2008-01-02 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 검사장치 및 방법 |
| CN102116835B (zh) | 2009-11-06 | 2014-12-03 | 东京毅力科创株式会社 | 探测装置以及衬底运送方法 |
| JP5167312B2 (ja) * | 2010-06-23 | 2013-03-21 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置のテスト方法 |
| KR101334765B1 (ko) * | 2012-04-18 | 2013-11-29 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 핸들링 시스템 |
| JP6681572B2 (ja) | 2016-02-26 | 2020-04-15 | 株式会社東京精密 | 搬送ユニット及びプローバ |
| CN109863457A (zh) * | 2016-08-24 | 2019-06-07 | 株式会社尼康 | 测量***及基板处理***、以及元件制造方法 |
| JP6887332B2 (ja) * | 2017-07-19 | 2021-06-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
-
1992
- 1992-06-05 JP JP14523092A patent/JP3312748B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05343497A (ja) | 1993-12-24 |
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