JP5718379B2 - 基板収納処理装置及び基板収納処理方法並びに基板収納処理用記憶媒体 - Google Patents

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Description

この発明は、基板収納処理装置及び基板収納処理方法並びに基板収納処理用記憶媒体に関するもので、更に詳細には、処理後の基板の搬送を安全に行えるようにする基板収納処理装置及び基板収納処理方法並びに基板収納処理用記憶媒体に関するものである。
一般に、半導体製造工程においては、例えば半導体ウエハ等の基板の上にフォトレジストを塗布し、レジスト膜を所定の回路パターンに応じて露光し、現像処理することにより回路パターンを形成している。この半導体製造工程であるフォトリソグラフィ工程には、通常、塗布・現像処理装置に露光装置を接続した処理システムが用いられる。
処理システムでは、カセット搬送機構｛OHT（Overhead Hoist Transfer）｝によって搬送されたカセットから基板を１枚ずつ取り出し、処理部の処理ユニット内で処理した後、処理後の基板をカセット内に戻すことが行われている。この場合、カセットとして、フープ｛FOUP（Front Opening Pod）｝と称される機密性の高いカセットが使用されており、カセット本体には、基板を出し入れするための開口部が設けられ、この開口部にはラッチ機構により施錠可能な蓋が設けられている（例えば、特許文献１参照）。
上記処理システムでは、カセット搬送機構によって搬送されたカセットを処理システムに設けられたカセット載置台に載置され、処理システム内に設けられた鍵を有する蓋着脱機構によりカセットの蓋が解錠されて開放されるようになっている。蓋が開放された状態で、処理システム内に配設された基板搬送機構によって蓋が開口されたカセット内から基板が取り出され、処理部の処理ユニットに搬送されて、処理ユニットにおいてフォトレジストの塗布処理及び現像等の処理が行われる。そして、処理後の基板は基板搬送機構によってカセット内に収容され、その後、蓋着脱機構によりカセットの開口部に蓋が閉蓋され、施錠される。蓋が閉蓋されたカセットは、カセット搬送機構によってカセット載置台から搬出され、処理システムの外部の上方に設けられた搬送路やカセット収容部等に搬送されるようになっている。
特開２００１−３５８１９７号公報
しかしながら、カセット内に処理後の基板を収容した後の蓋の施錠が不十分であると、カセットの搬送途中に振動等によって蓋が開いて落下する危険性や蓋の一部が開いてカセット内の基板が外部に突出するなどの懸念があった。
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、処理後の基板を収容した後の蓋の施錠の確認機能を持たせて、処理後の基板の搬送の安全性を図れるようにする基板収納処理装置及び基板収納処理方法並びに基板収納処理用記憶媒体を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、この発明の第１の基板収納処理装置は、基板を出し入れするための開口部を有し、この開口部に着脱可能な蓋を有するカセットを載置するカセット載置台と、 上記カセット載置台のカセット内に収容された基板を処理するための処理部と、 上記処理部に上記基板を搬送し、処理後の基板を上記カセット載置台のカセットに戻す基板搬送機構と、 上記基板搬送機構の配置部と上記カセット載置台とを区画し、上記カセットの開口部よりも大きな開口を有する仕切壁と、 上記カセット載置台に配設され、載置された上記カセットを上記仕切壁の開口に当接するドック位置とこのドック位置から後退してアンドック位置に進退移動可能なカセットステージと、 上記仕切壁の開口を介して上記カセットの開口部から蓋を取り外し、該カセットの開口部に蓋を取り付ける蓋着脱機構と、を具備し、 上記蓋着脱機構は、上記蓋に設けられた鍵穴に係合して、上記カセットの開口部に係脱可能に係止するラッチを施錠・解錠位置に切り換える鍵を具備すると共に、上記蓋を吸着して保持する吸着保持部材を具備してなる基板収納処理装置であって、 上記仕切壁の開口の縁部に配置され、上記蓋の開閉状態を確認する蓋異常検知センサと、 上記蓋着脱機構が保持した蓋を取り付ける閉蓋位置と該閉蓋位置から後退する開蓋位置を検知する蓋着脱機構クローズセンサ及び蓋着脱機構オープンセンサと、 上記吸着保持部材が蓋を吸着保持する負圧を検知する圧力センサと、 上記蓋異常検知センサ、蓋着脱機構クローズセンサ、蓋着脱機構オープンセンサ、及び圧力センサの検知信号を受けると共に、上記蓋着脱機構の蓋開閉位置への移動、上記鍵の施錠・解錠操作、及び上記カセットステージに載置されたカセットの上記ドック位置とアンドック位置への移動を制御する制御手段と、を具備し、 上記制御手段からの制御信号に基づいて、上記カセット内に処理後の基板が収容され、カセットの開口部に蓋が閉蓋された後、上記蓋を保持しない状態で上記蓋着脱機構を閉蓋位置から開蓋位置へ後退させたときに、上記蓋着脱機構オープンセンサにより蓋の開蓋位置を検知すると共に、上記蓋異常検知センサにより蓋の異常の有無を検知して閉蓋状態の異常を判断する、ことを特徴とする（請求項１）。
請求項１に記載の基板収納処理装置において、上記蓋異常検知センサにより蓋の異常の有無を検知した後、上記カセットの開口部に蓋を閉蓋した状態で、上記蓋着脱機構を上記閉蓋位置へ移動して、上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させて、上記蓋着脱機構クローズセンサにより上記蓋着脱機構の閉蓋位置を検知し、その後、上記吸着保持部材を負圧に吸引して蓋を吸着保持する状態で、上記圧力センサにより所定の負圧を検知し、吸着保持部材の負圧を解除した状態で、上記圧力センサにより負圧を検知し、上記カセットが上記アンドック位置に後退した後に、カセットの閉蓋に異常があれば上記蓋着脱機構オープンセンサによる蓋の開蓋異常、上記蓋着脱機構クローズセンサによる蓋の閉蓋異常、上記圧力センサによる負圧の適否のいずれかを表示するのが好ましい（請求項２）。この場合、上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させた後、上記開蓋位置へ後退する前には、解錠を行い再び施錠を行うのが好ましい（請求項３）。
この発明の第２の基板収納処理装置は、基板を出し入れするための開口部を有し、この開口部に着脱可能な蓋を有するカセットを載置するカセット載置台と、 上記カセット載置台のカセット内に収容された基板を処理するための処理部と、 上記処理部に上記基板を搬送し、処理後の基板を上記カセット載置台のカセットに戻す基板搬送機構と、 上記基板搬送機構の配置部と上記カセット載置台とを区画し、上記カセットの開口部よりも大きな開口を有する仕切壁と、 上記カセット載置台に配設され、載置された上記カセットを上記仕切壁の開口に当接するドック位置とこのドック位置から後退してアンドック位置に進退移動可能なカセットステージと、 上記仕切壁の開口を介して上記カセットの開口部から蓋を取り外し、該カセットの開口部に蓋を取り付ける蓋着脱機構と、を具備し、 上記蓋着脱機構は、上記蓋に設けられた鍵穴に係合して、上記カセットの開口部に係脱可能に係止するラッチを施錠・解錠位置に切り換える鍵を具備すると共に、上記蓋を吸着して保持する吸着保持部材を具備してなる基板収納処理装置であって、 上記カセットステージに載置されたカセットのドック位置を検知するドック位置検知センサと、 上記蓋着脱機構の蓋開閉位置への移動、上記鍵の施錠・解錠操作、及び上記カセットステージに載置されたカセットの上記ドック位置とアンドック位置への移動を制御する制御手段と、を具備し、 上記制御手段は、上記ドック位置でカセット内に処理後の基板が収容されたカセットの開口部の蓋を閉蓋させて上記ラッチが施錠位置に切り換えられた後、上記カセットステージに載置されたカセットをアンドック位置に後退させた後に、再度上記カセットステージに載置されたカセットを上記ドック位置に前進させて上記ドック位置検知センサの信号の有無を確認する、ことを特徴とする（請求項４）。
請求項４に記載の基板収納処理装置において、再度上記カセットステージに載置されたカセットを上記ドック位置に前進させたときに上記ドック位置検知センサの信号がない場合には、上記カセットステージが上記アンドック位置に後退した後に、上記ドック位置検知センサによるドック位置の異常を表示するのが好ましい（請求項５）。
請求項４又は５に記載の基板収納処理装置において、上記吸着保持部材が蓋を吸着保持する負圧を検知する圧力センサを更に具備し、上記圧力センサの検知信号を受ける制御手段からの制御信号に基づいて、再度上記カセットステージに載置されたカセットを上記ドック位置に前進させたときに上記吸着保持部材を負圧に吸引して蓋を吸着保持する状態で、上記圧力センサにより所定の負圧を検知しない場合はアラームを出力するのが好ましい（請求項６）。
この発明の第１の基板収納処理方法は、請求項１に記載の基板収納処理装置を用いた基板収納処理方法であって、上記カセット内に処理後の基板が収容された後、カセットの開口部に蓋を閉蓋する工程と、次いで上記蓋を保持しない状態で上記蓋着脱機構を閉蓋位置から開蓋位置へ後退する工程と、次いで上記蓋着脱機構オープンセンサにより蓋着脱機構の開蓋位置を検知する工程と、次いで上記蓋異常検知センサにより蓋の閉蓋状態の異常を判断する工程と、次いで上記閉蓋位置から後退した上記蓋着脱機構を再び閉蓋位置へ移動する工程と、次いで上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合する工程と、を含むことを特徴とする（請求項７）。
請求項７に記載の基板収納処理方法において、上記蓋異常検知センサにより蓋の異常の有無を検知した後、上記蓋着脱機構を上記閉蓋位置へ移動して、上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させる工程と、上記蓋着脱機構クローズセンサにより蓋上記蓋着脱機構の閉蓋位置を検知する工程と、その後、上記吸着保持部材を負圧に吸引して蓋を吸着保持する状態で、上記圧力センサにより所定の負圧を検知する工程と、次いで上記吸着保持部材の負圧を解除した状態で、上記圧力センサにより負圧を検知する工程と、次いで上記カセットが上記アンドック位置に後退した後に、カセットの閉蓋に異常があれば上記蓋着脱機構オープンセンサによる蓋の開蓋異常、上記蓋着脱機構クローズセンサによる蓋の閉蓋異常、上記圧力センサによる負圧の適否のいずれかを表示する工程と、を含むのが好ましい（請求項８）。この場合、上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させる工程と上記開蓋位置へ後退する工程との間には、解錠を行い再び施錠を行う工程を含むのが好ましい（請求項９）。
この発明の第２の基板収納処理方法は、請求項４に記載の基板収納処理装置を用いた基板収納処理方法であって、上記制御手段からの制御信号に基づいて、上記カセット内に処理後の基板が収容され、カセットの開口部に蓋が閉蓋された後、上記カセットを上記アンドック位置に後退した後に再度上記ドック位置に移動させた状態で、上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させる工程と、上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させる工程で上記ドック位置を検知するドック位置検知センサの信号の有無を確認する工程と、を含むこと特徴とする（請求項１０）。
請求項１０に記載の基板収納処理方法において、再度上記カセットステージのカセットを上記ドック位置に前進させたときに上記ドック位置センサの信号がない場合には、上記カセットステージを上記アンドック位置に後退した後に、上記ドック位置検知センサによるドック位置の有無を表示する工程を含むのが好ましい（請求項１１）。
請求項１０又は１１に記載の基板収納処理方法において、上記吸着保持部材が蓋を吸着保持する負圧を検知する圧力センサの検知信号を受ける制御手段からの制御信号に基づいて、上記吸着保持部材を負圧して蓋を吸着保持した状態で、上記圧力センサにより負圧を検知する工程と、上記吸着保持部材の負圧を解除した状態で、上記圧力センサにより負圧を検知する工程と、上記圧力センサによる負圧の適否を表示する工程と、を含むのが好ましい（請求項１２）。
この発明の基板収納処理用記憶媒体は、基板を出し入れするための開口部を有し、この開口部に着脱可能な蓋を有するカセットから取り出された基板を処理部で処理した後、処理後の基板を上記カセット内に収容し、カセットの開口部に上記蓋を閉蓋した後、カセットをカセット搬送機構によって搬送する基板収納処理装置に用いられ、コンピュータに制御プログラムを実行させるソフトウェアが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、上記制御プログラムは、請求項７ないし１２のいずれか一つの基板収納処理方法を実行するように工程が組まれている、ことを特徴とする（請求項１３）。
請求項１，７，１３に記載の発明によれば、カセット内に処理後の基板が収容され、カセットの開口部に蓋が閉蓋された後、蓋を保持していない蓋着脱機構を閉蓋位置から開蓋位置へ後退した状態で、蓋着脱機構オープンセンサにより蓋の開蓋位置を検知すると共に、蓋異常検知センサにより蓋の異常の有無を判断することができる。
請求項２，８に記載の発明によれば、蓋着脱機構を閉蓋位置へ移動して蓋の鍵穴と蓋着脱機構の鍵とを係合させた状態で、蓋着脱機構クローズセンサにより蓋の閉蓋位置を検知し、その後、吸着保持部材を負圧して蓋を吸着保持した状態で、圧力センサにより負圧を検知し、その後、吸着保持部材の負圧を解除した状態で、圧力センサにより負圧を検知する。そして、カセットがアンドック位置に後退した後に、カセットの閉蓋に異常があれば、蓋着脱機構オープンセンサによる蓋の開蓋異常、蓋着脱機構クローズセンサによる蓋の閉蓋異常、圧力センサによる負圧の適否のいずれかを表示することで、オペレータが蓋の閉蓋動作中に外部から確認できなかった蓋の異常を確認することができ、蓋は確実に閉蓋されているか、施錠は確実か等を確認することができる。
請求項３，９に記載の発明によれば、蓋の鍵穴と蓋着脱機構の鍵とを係合させた後、開蓋位置へ後退する前には、解錠を行い再び施錠を行うことで、蓋を確実に閉蓋することができる。
請求項４，１０，１３に記載の発明によれば、カセット内に処理後の基板が収容され、カセットの開口部に蓋が閉蓋された後、カセットをアンドック位置に後退した後に、再度カセットをドック位置に移動した状態で、蓋の鍵穴と蓋着脱機構の鍵とを係合させる状態で、ドック位置検知センサによりカセットのドック位置の有無を確認することで、オペレータが蓋の閉蓋動作中に外部から確認できなかった蓋の異常を確認することができ、蓋は確実に閉蓋されているか、施錠は確実か等を確認することができる。
この場合、カセットステージに載置されたカセットをドック位置に前進させたときにドック位置検知センサの信号がない場合には、カセットがアンドック位置に後退した後に、ドック位置検知センサによるドック位置の異常を表示することにより、オペレータが蓋の閉蓋動作中に外部から確認できなかった蓋の異常の確認を容易にすることができる（請求項５，１１）。
請求項６，１２に記載の発明によれば、吸着保持部材が蓋を吸着保持する負圧を検知する圧力センサの検知信号を受ける制御手段からの制御信号に基づいて、吸着保持部材を負圧して蓋を吸着保持した状態で、圧力センサにより負圧を検知し、吸着保持部材の負圧を解除した状態で、圧力センサにより負圧を検知して、圧力センサによる負圧の適否を表示することで、蓋は確実に閉蓋されているか施錠は確実か等を確認することができる。
この発明によれば、カセットの蓋の開閉機構の経年劣化による作動不良などによる異常を確認することができ、蓋が確実に閉蓋されているか、施錠は確実か等を確認することができるので、蓋の施錠による閉蓋に異常があるカセットを判別しすることが出来る。よって、そのカセットを除いて正常に蓋が施錠されたカセットのみをカセット搬送機構で搬送することができ、処理後の基板の搬送の安全性を図ることができる。
この発明に係る基板収納処理装置を適用した塗布・現像処理装置に露光装置を接続した処理システムの全体を示す概略平面図である。 上記処理システムの概略斜視図である。 上記処理システムの概略縦断面図である。 この発明に係る基板収納処理装置の要部を示す概略構成図である。 この発明におけるカセットの蓋を開蓋した状態を示す断面図である。 この発明におけるカセットに蓋を施錠した状態を示す断面図である。 この発明におけるカセットと蓋を示す斜視図ある。 この発明における蓋着脱機構を示す概略斜視図である。 第１実施形態の基板収納処理方法における蓋の開蓋から閉蓋までの工程を示すフローチャートである。 第１実施形態の基板収納処理方法における蓋の施錠から蓋の異常表示、カセットの除去までの工程を示すフローチャートである。 第１実施形態の基板収納処理方法における蓋の異常確認後の工程を示すフローチャートである。 第１実施形態の基板収納処理方法における蓋着脱機構による蓋の開蓋前の状態を示す断面図（ａ）、蓋着脱機構の開蓋状態を示す断面図（ｂ）、蓋着脱機構の閉蓋状態を示す断面図（ｃ）及び蓋の閉蓋後の状態を示す断面図（ｄ）である。 この発明に係る基板収納処理装置の第２実施形態の要部を示す概略構成図である。 第２実施形態の基板収納処理方法における蓋の異常の有無を確認する工程を示すフローチャートである。 第２実施形態の基板収納処理方法における蓋の異常表示、カセットの除去までの工程を示すフローチャートである。 第２実施形態の基板収納処理方法における蓋の異常確認後の工程を示すフローチャートである。 第２実施形態の基板収納処理方法における蓋を外したカセットの ドック位置の状態を示す断面図（ａ）、蓋着脱機構を閉蓋位置へ移動して蓋を取り付ける状態を示す断面図（ｂ）、蓋を取り付けたカセットをアンドック位置へ移動して状態を示す断面図（ｃ）及びカセットのドック位置の状態を示す断面図（ｄ）である。
以下、この発明の実施形態について、添付図面に基づいて説明する。ここでは、この発明に係る基板収納処理装置を塗布・現像処理装置に露光処理装置を接続した処理システムに適用した場合について説明する。
上記処理システムは、被処理基板である半導体ウエハＷ（以下にウエハＷという）を複数枚例えば２５枚を密閉収納するカセット１０を搬出入するためのカセットステーション１と、このカセットステーション１から取り出されたウエハＷにレジスト塗布，現像処理等の処理を施す処理部２と、ウエハＷの表面に光を透過する液層を形成した状態でウエハＷの表面を液浸露光する露光部４と、処理部２と露光部４との間に接続されて、ウエハＷの受け渡しを行うインターフェイス部３と、カセットステージ１２の上方に設けられ、カセット１０をカセットステーション１に対して搬入・搬出するカセット搬送機構５と、を具備している。
カセットステーション１は、カセット１０を複数個並べて載置可能なカセット載置台１１と、このカセット載置台１１に配設された複数例えば４つのカセットステージ１２に載置され、図示しないクランプ機構によってクランプされたカセット１０からウエハＷを取り出し、処理後のウエハＷをカセット１０に戻す基板搬送機構２０と、カセット載置台１１と基板搬送機構２０の配置部６とを区画し、カセット１０の開口部１０ｂよりも大きな開口１３ａを有する仕切壁１３が設けられている。
カセット載置台１１に配設されるカセットステージ１２は、カセット載置台１１に敷設されたＹ方向に延在するガイドレール１１ａに沿って摺動自在に装着されており、載置したカセット１０を仕切壁１３の開口１３ａに当接するドック位置と該開口１３ａから後退するアンドック位置に進退移動可能になっている。この場合、カセットステージ１２はガイドレール１１ａに摺動自在な可動ベース１２ｃを有し、可動ベース１２ｃに連結する移動機構１４によってＹ軸方向に移動可能になっている。
図４に示すように、カセットステージ１２の上面中央には位置決めピン１２ａが設けられており、位置決めピン１２ａの近傍にはセンサ１２ｂが配置されている。カセット１０をカセットステージ１２に載置すると、位置決めピン１２ａがカセット１０の底部凹所（図示せず）に嵌合してカセット１０が位置決めされるようになっている。また、カセット１０がカセットステージ１２に載置されると、センサ１２ｂがカセット１０を検知し、その検知信号を後述する制御手段である制御コンピュータ６０に送るようになっている。なお、カセットステージ１２には、カセット搬送機構５によって搬送されたカセット１０が載置された際にカセット１０を着脱可能に固定するクランプ機構（図示せず）が設けられている。
カセット１０は、図５ないし図７に示すように、ウエハＷを出し入れ可能な開口部１０ｂを有し、複数枚例えば２５枚のウエハＷが収容可能なカセット本体１０ａと、このカセット本体１０ａの開口部１０ｂに着脱可能な蓋１０ｃとを具備している。この場合、蓋１０ｃの表面中央部の左右２箇所には、互いに連通する垂直穴と水平穴を有する鍵穴１０ｄが設けられ、蓋１０ｃの上下端部の左右２箇所には、カセット本体１０ａの開口部１０ｂの上下に対向する開口縁の左右２箇所に設けられた各係止穴１０ｅに同時に係止可能なクレモンと称されるラッチ１０ｆが出没可能に設けられている。鍵穴１０ｄに後述する蓋着脱機構３０に設けられた鍵３１が係合され、鍵３１が垂直方向に９０度回動されると、蓋１０ｃの内方に位置していたラッチ１０ｆが同時に上下に突出して施錠することができる。すなわち、図５に示すように、カセット１０の開口部１０ｂから取り外された蓋１０ｃにおいて、ラッチ１０ｆは蓋１０ｃの内方側に位置し、図６に示すように、カセット１０の開口部１０ｂに蓋１０ｃが取り付けられ、鍵穴１０ｄに鍵３１を係合（嵌合）させた状態で、鍵３１が垂直方向に９０度回動されると、ラッチ１０ｆが蓋１０ｃの上下方向に突出して、カセット本体１０ａの開口部１０ｂに設けられた係止穴１０ｅに係止（嵌合）することで、蓋１０ｃが閉蓋され、施錠される。なお、カセット本体１０ａから蓋１０ｃを取り外す場合は、上記と逆の操作を行って係止穴１０ｅからラッチ１０ｆを後退させて解錠した後に行う。
蓋着脱機構３０は、図４及び図８に示すように、表面の中央部の左右２箇所に鍵３１を突設すると共に、対角方向の上下２箇所に蓋１０ｃを吸着保持する円形をしたパッド状の吸着保持部材３２を設けたシャッタ板３３を備えている。このシャッタ板３３は、例えばボールねじ機構、タイミングベルト機構あるいはシリンダ装置からなる昇降機構３４によって昇降可能な支持部材３５によって支持されている。また、シャッタ板３３はリニアガイド３６を介して例えばシリンダ装置からなるＹ軸駆動機構３７により蓋１０ｃの取り付け、取り外し方向（Ｙ方向）に移動可能になっている。
また、蓋着脱機構３０には、図４に示すように、蓋着脱機構３０の吸着保持部材３２によって吸着保持された蓋１０ｃがカセット１０の開口部１０ｂに取り付けられる閉蓋位置を検知する蓋着脱機構クローズセンサ３８ａと、蓋１０ｃが閉蓋位置から後退する開蓋位置を検知する蓋着脱機構オープンセンサ３８ｂが設けられている。これら蓋着脱機構クローズセンサ３８ａと蓋着脱機構オープンセンサ３８ｂによって検知された検知信号は制御コンピュータ６０に送られるようになっている。
また、吸着保持部材３２は配管３２ａを介して吸着のための負圧を発生する負圧手段である真空ポンプ３２ｂに接続されている。また、配管３２ａには吸着保持部材３２の吸着圧である負圧を検知する圧力センサ３２ｃが設けられている。圧力センサ３２ｃの検知信号は制御コンピュータ６０に送られるようになっている。
また、図３に示すように、カセット載置台１１における基板搬送機構２０の配置部６側には、４つの蓋収納部１１ｂがＸ軸方向に並設されている。これら蓋収納部１１ｂにはカセット１０から取り外された蓋１０ｃが収納される。
また、図４に示すように、仕切壁１３の開口１３ａの上下縁には、カセット１０からはみ出したウエハＷを検知すると共に、カセット１０の開口部１０ｂに蓋１０ｃが確実に閉蓋されているか否かの有無を検知するはみ出し兼蓋異常検知センサ３９ａ，３９ｂが設けられている。このはみ出し兼蓋異常検知センサ３９ａ，３９ｂは、カセット１０の開口部１０ｂから後退した蓋１０ｃが上昇する際にウエハＷとの干渉をさけるため、カセット１０からはみ出したウエハＷを検知する他に、後述するこの発明に係る基板収納処理装置のように閉蓋された蓋１０ｃの閉蓋状態、つまり、蓋１０ｃがカセット１０の開口部に確実に取り付けられて閉蓋されたかどうかを確認するために、閉蓋された状態から再び蓋着脱機構３０を蓋着脱機構オープンセンサ３８ｂが検知するまで後退させて蓋１０ｃが引っ掛かって半開き状態になるような状態が発生しないかをはみ出し兼蓋異常検知センサ３９ａ、３９ｂによって検知（蓋の異常状態の確認）することができる。このようにはみ出し兼蓋異常検知センサ３９ａ，３９ｂよって検知された蓋の異常状態の検知信号は制御コンピュータ６０に送られるようになっている。
上記のように構成されるカセットステージ１２の移動機構１４、蓋着脱機構３０の鍵３１の施錠・解錠操作、昇降機構３４、Ｙ軸駆動機構３７、及び真空ポンプ３２ｂは制御コンピュータ６０の制御部６１によって駆動制御されるようになっている。
制御部６１は制御コンピュータ６０に内蔵されており、制御コンピュータ６０は、制御部６１の他に、基板収納処理装置が行う後述の動作における各処理工程を実行するためのプログラムを格納する制御プログラム格納部６２と、読取部６３と、記憶部６４を内蔵している。また、制御コンピュータ６０は、制御部６１に接続された入力部６５と、処理工程を作成するための処理工程画面を表示するモニタ部６６と、はみ出し兼蓋異常検知センサ３９ａ，３９ｂや圧力センサ３２ｃの検知信号に基づく異常状態を知らせる表示部６７と、読取部６３に挿着されると共に、制御コンピュータ６０に制御プログラムを実行させるソフトウェアが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体６８が備えられており、制御プログラムに基づいて上記各部に制御信号を出力するように構成されている。
また、制御プログラムは、ハードディスク、コンパクトディスク、フラッシュメモリ、フレキシブルディスク、メモリカードなどの記憶媒体６８に格納され、これら記憶媒体６８から制御コンピュータ６０にインストールされて使用される。
一方、処理部２は、筐体５０にて周囲が囲まれており、図１に示すように、カセットステーション１から見て左側に、各々加熱・冷却処理モジュール４０を備える棚ユニットＵ１〜Ｕ４が積層されている。図２に示すように、カセットステーション１から見て右側に、現像処理を行うための第１のブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１、レジスト膜の下層側に形成される反射防止膜の形成処理を行なうための第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２、レジスト液の塗布処理を行うための第３のブロック（ＣＯＴ層）Ｂ３、レジスト膜の上層側に形成される反射防止膜の形成処理を行なうための第４のブロック（ＴＣＴ層）Ｂ４を下から順に積層して構成されている。
上記第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２と第４のブロック（ＴＣＴ層）Ｂ４とは、各々反射防止膜を形成するための薬液をスピンコーティングにより塗布する塗布部を３つ含んだ液処理モジュール７０と、この液処理モジュール７０にて行われる処理の前処理及び後処理を行うための加熱・冷却処理モジュール４０と、液処理モジュール７０と、加熱・冷却処理モジュール４０との間に設けられ、これらの間でウエハＷの受け渡しを行なう基板搬送手段である搬送機構Ａ２，Ａ４とを備えている（図３参照）。
第３のブロック（ＣＯＴ層）Ｂ３においては、上記薬液がレジスト液であり、疎水化処理ユニットが組み込まれることを除けば同様の構成である。一方、第１の処理ブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１については、例えば一つのＤＥＶ層Ｂ１内に現像ユニットが２段に積層されている。そしてＤＥＶ層Ｂ１内には、これら２段の現像ユニットにウエハＷを搬送するための共通の搬送機構Ａ１が設けられている（図３参照）。さらに処理部２には、図１及び図３に示すように、棚ユニットＵ５が設けられ、この棚ユニットＵ５の各部同士の間では、棚ユニットＵ５の近傍に設けられた昇降自在な搬送機構ＥによってウエハＷが搬送される。
この場合、棚ユニットＵ５における第１のブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１に対向する部分にはそれぞれ２段の受渡ユニットＴＣＰ１，ＴＲＳ３が積層され、第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２に対向する部分には、受渡ユニットＣＰＬ２とＢＦ２が２段積層され、第３のブロック（ＣＯＴ層）Ｂ３に対向する部分には、受渡ユニットＣＰＬ３とＢＦ３が２段積層され、また、第４のブロック（ＴＣＴ層）Ｂ４と対向する部分には、受渡ユニットＣＰＬ４とＢＦ４が２段積層されている（図３参照）。
一方、ＤＥＶ層Ｂ１内の上部には、棚ユニットＵ５に設けられた受け渡しユニットＣＰＬ１１から棚ユニットＵ６に設けられた受け渡しユニットＣＰＬ１２にウエハＷを直接搬送するための専用の搬送手段であるシャトルアームＦが設けられている（図３参照）。レジスト膜やさらに反射防止膜が形成されたウエハＷは、搬送機構Ｅにより受け渡しユニットＢＦ３やＴＲＳ４を介して受け渡しユニットＣＰＬ１１に受け渡され、ここからシャトルアームＦにより棚ユニットＵ６の受け渡しユニットＣＰＬ１２に直接搬送され、インターフェイスブロックＳ３に取り込まれることになる。
次いで、ウエハＷはインターフェイスアームＧにより露光部４に搬送され、ここで所定の露光処理が行われた後、棚ユニットＵ６の受け渡しユニットＴＲＳ６に載置されて処理部２に戻される。戻されたウエハＷは、第１のブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１にて現像処理が行われ、基板搬送手段である搬送機構Ａ１により受け渡しユニットＴＲＳ３に受け渡される（図３参照）。その後、基板搬送機構２０を介してカセット１１に戻される。
＜第１実施形態＞
次に、この発明に係る基板収納処理方法の第１実施形態の動作態様について、図９Ａ〜図９Ｃ及び図１０を参照して説明する。
上述のように制御コンピュータ６０の制御部６１からの制御信号に基づいて、カセット１０内に処理後のウエハＷが収容され、蓋着脱機構３０に保持されている蓋１０ｃをカセット１０の開口部１０ｂに移動させて蓋１０ｃがラッチ施錠されて閉蓋（スタート）される。この状態で鍵３１と鍵穴１０ｄとの関係は、蓋着脱機構３０もしくはカセット載置台１１のいずれか一方を後退させれば鍵３１が鍵穴１０ｄから抜くことが可能な状態である、施錠の位置となる（ステップＳ１；図１０（ａ）参照）。
次に、ラッチ機構が施錠の位置から蓋着脱機構３０を閉蓋位置から開蓋位置へ後退させる。この状態で鍵３１と鍵穴１０ｄに干渉がなければ蓋１０ｃを保持していない状態で後退することとなる。（ステップＳ２；図１０（ｂ）参照）。
この状態で、蓋着脱機構オープンセンサ３８ｂにより蓋着脱機構３０の後退位置である開蓋位置を検知し、蓋着脱機構３０が開蓋位置にない場合は、エラー（蓋着脱機構オープンエラー）を出力して制御コンピュータ６０の記憶部６４に記憶し（ステップＳ３）、次のステップＳ４に進む。
蓋着脱機構オープンセンサ３８ｂにより開蓋位置を検知した後、はみ出し兼蓋異常検知センサ３９ａ，３９ｂによって閉蓋した蓋１０ｃが飛び出すような異常の有無、すなわち蓋１０ｃがカセット１０に確実に閉蓋した状態であるか否かを検知する（ステップＳ４；図１０（ｂ）参照）。この検知により、鍵３１と鍵穴１０ｄが十分に係合されずに解錠施錠が不十分、例えば上部のラッチ１０ｆは係止穴１０ｅから外れ、下部のラッチ１０ｆが係止穴１０ｅから外れずに蓋１０ｃが半開き状態であると、はみ出し兼蓋異常検知センサ３９ａ，３９ｂによって検知されて蓋１０ｃの閉蓋状態の異常を検知し、蓋着脱機構クローズエラーを発生しアラームを発生させる（ステップＳ４−１）。この状態はオペレータに知らされ、オペレータは蓋１０ｃを蓋着脱機構３０に保持させて次の工程である閉蓋工程へ再試行する（ステップＳ４−２）。
次に、開蓋位置にある蓋着脱機構３０を閉蓋位置へ移動して鍵３１を蓋１０ｃの鍵穴１０ｄに挿入させるように前進させる（ステップＳ５；図１０（ｃ）参照）。この状態で、蓋着脱機構クローズセンサ３８ａにより蓋１０ｃとの閉蓋位置を検知し、蓋着脱機構３０が蓋１０ｃの閉蓋位置にない場合、すなわち鍵穴１０ｄと鍵３１の係合状態が正常でない場合は、蓋着脱機構クローズセンサ３８ａが検知せず、エラー（蓋着脱機構クローズエラー）を出力して制御コンピュータ６０の記憶部６４に記憶し（ステップＳ６）、次のステップＳ７に進む。
その後、吸着保持部材３２を負圧（ＯＮ）にして蓋１０ｃを吸着保持する（ステップＳ７；図１０（ｃ）参照）。この状態で、圧力センサ３２ｃにより配管３２ａ内の負圧を検知し、負圧が蓋１０ｃの吸着保持に適正な状態でない場合は、エラー（ＶＡＣ ＯＮエラー）を出力して制御コンピュータ６０の記憶部６４に記憶し（ステップＳ８）、次のステップＳ９に進む。ここでのエラーは、蓋着脱機構３０と蓋１０ｃとを係合する際に鍵穴１０ｄの垂直穴部が施錠状態の垂直状態から解錠方向に傾斜して施錠が十分でない状態の場合である。このように、鍵穴１０ｄが解錠方向に傾斜していると、ラッチ１０ｆが係止穴１０ｅに確実に嵌合しておらず、蓋１０ｃの施錠が不十分となり、蓋１０ｃが振動等によって開く虞がある。
次いで、吸着保持部材３２の負圧を解除（ＯＦＦ）する（ステップＳ９）。この状態で、圧力センサ３２ｃにより配管３２ａ内の負圧を検知し、負圧が解除されていない場合は、エラー（ＶＡＣ ＯＦＦエラー）を出力して制御コンピュータ６０の記憶部６４に記憶し（ステップＳ１０）、次のステップＳ１１に進む。
吸着保持部材３２の負圧を解除した後、移動機構１４を駆動してカセットステージ１２に載置されたカセット１０をアンドック位置に後退する（ステップＳ１１）。
カセット１０をアンドック位置に後退した後、これらの確認動作で異常の有り無しを判断する（ステップＳ１２）。これらの動作で異常がある場合は、確認のためにカセットステージ１２にクランプされているカセット１０をアンクランプして（ステップＳ１３）、制御コンピュータ６０に記憶された検知アラーム発生の原因を表示部６７に表示する（ステップＳ１４）。この表示により、（ａ）蓋着脱機構オープンエラー、（ｂ）蓋着脱機構クローズエラー、（ｃ）ＶＡＣ ＯＮエラー、（ｄ）ＶＡＣ ＯＦＦエラーのいずれかを確認することができる。
動作が異常でない場合は、蓋１０ｃは確実に閉蓋され、施錠は確実であるので、カセットステージ１２からアンクランプされ（ステップＳ２１）、カセット搬送機構５によってカセット載置台１１から搬出される。
カセット搬送機構５の搬出モードの有無を確認し（ステップＳ１５）、搬出モードが無い場合は、オペレーターが蓋１０ｃの施錠状態を確認するため、カセット１０をカセットステージ１２より除去する（ステップＳ１６）。カセット１０をカセットステージ１２より除去した後、カセット再搭載アラームが発せられる（ステップＳ１７）。
オペレータがカセット１０を確認し（ステップＳ１８）、蓋１０ｃの状態を正常に戻しカセット１０をカセットステージ１２に置き直す（ステップＳ１９）。その後、アラームを解除後再試行する（ステップＳ２０）。カセット１０がカセットステージ１２に載置されている場合は、蓋１０ｃは確実に閉蓋され、施錠は確実であるので、カセットステージ１２からアンクランプされ（ステップＳ２１）、カセット搬送機構５によってカセット載置台１１から搬出される。オペレータの確認後にカセット１０がカセットステージ１２に再載置されない場合は、ロストカセットの処理が行われる。
上述したカセット１０の蓋１０ｃの確認動作は、記憶媒体６８に組み込まれた制御プログラムに基づいて実行される。すなわち、制御プログラムは、実行時に、カセット１０内に処理後のウエハＷが収容され、カセット１０の開口部１０ｂに蓋１０ｃが閉蓋された後、再び蓋着脱機構３０を閉蓋位置へ移動して、蓋１０ｃの鍵穴１０ｄと蓋着脱機構３０の鍵３１とを係合させる工程と、蓋着脱機構３０を閉蓋位置から開蓋位置へ後退した状態で、蓋着脱機構オープンセンサ３８ｂにより蓋着脱機構３０の開蓋位置を検知すると共に、はみ出し兼蓋異常検知センサ３９ａ，３９ｂにより閉蓋の異常の有無を検知する工程と、その後、蓋着脱機構３０を閉蓋位置へ移動して蓋１０ｃを閉蓋した状態で、蓋着脱機構クローズセンサ３８ａにより蓋着脱機構３０の閉蓋位置を検知する工程と、その後、吸着保持部材３２を負圧して蓋１０ｃを吸着保持した状態で、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知する工程と、その後、吸着保持部材３２の負圧を解除した状態で、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知する工程と、カセット１０がアンドック位置に後退した後に、蓋着脱機構オープンセンサ３８ｂによる蓋着脱機構３０の後退動作異常、蓋着脱機構クローズセンサ３８ａによる蓋着脱機構３０の前進動作異常、圧力センサ３２ｃによる負圧の適否を表示する工程が実行されるように、制御コンピュータ６０が基板収納処理装置を制御するものである。
第１実施形態の基板収納処理装置（方法）によれば、上述した工程によって、カセット１０内に処理後のウエハＷが収容され、カセット１０の開口部１０ｂに蓋１０ｃが閉蓋された後、再び蓋着脱機構３０を閉蓋位置から開蓋位置へ後退した状態で、蓋着脱機構オープンセンサ３８ｂにより蓋着脱機構３０の開蓋位置を検知すると共に、はみ出し兼蓋異常検知センサ３９ａ，３９ｂにより、カセット１０に閉蓋されている蓋の異常及び蓋着脱機構３０の異常の有無を検知することができる。またその後、蓋着脱機構３０を閉蓋位置へ移動して、蓋着脱機構クローズセンサ３８ａにより蓋着脱機構３０の閉蓋位置を検知し、その後、吸着保持部材３２を負圧して蓋１０ｃを吸着保持した状態で、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知し、その後、吸着保持部材３２の負圧を解除した状態で、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知する。そして、カセット１０がアンドック位置に後退した後に、蓋着脱機構オープンセンサ３８ｂによる蓋着脱機構３０の開蓋異常、蓋着脱機構クローズセンサ３８ａによる蓋着脱機構３０の閉蓋異常、圧力センサ３２ｃによる負圧の適否を表示することができる。したがって、オペレータが蓋１０ｃの閉蓋動作中に外部から確認できなかった蓋１０ｃの異常を確認することができ、蓋１０ｃは確実に閉蓋されているか、施錠は確実か等を確認することができる。
＜第２実施形態＞
次に、この発明に係る基板収納処理装置（方法）について、図１１ないし図１３を参照して説明する。
第２実施形態の基板収納処理装置は、図１１に示すように、上記仕切壁１３の開口１３ａの縁部に、カセット１０の蓋１０ｃの開閉状態を確認する蓋異常検知センサ３９ｃ，３９ｄと、カセットステージ１２に載置されたカセット１０がドック位置に移動した状態を検知するカセットステージ１２のドック位置検知センサ１５ａと、カセット１０がアンドック位置に移動した状態を検知するカセットステージ１２のアンドック位置検知センサ１５ｂと、を具備している。
第２実施形態において、カセット搬送機構５によって搬送されたカセット１０がカセット載置台１１のカセットステージ１２に載置され、図示しないクランプ機構によってクランプされた状態で、カセットステージ１２の移動機構１４が駆動して、カセットステージ１２を仕切壁１３側に移動し、カセット１０を仕切壁１３の開口１３ａ部に当接すると、ドック位置検知センサ１５ａがドック位置を検知し、その検知信号が制御コンピュータ６０に送られる。また、カセット１０がドック位置に移動して、カセット１０の蓋１０ｃに設けられた鍵穴１０ｄと蓋着脱機構３０に設けられた鍵３１とが係合される状態で、吸着保持部材３２を負圧（ＯＮ）にして圧力センサ３２ｃにより負圧を検知し、蓋１０ｃの取り付け状態、つまり、鍵穴１０ｄと鍵３１とが確実に係合（嵌合）する閉蓋状態（正常状態）か、鍵穴１０ｄと鍵３１との係合（嵌合）が不十分な異常状態を検知し、その検知信号が制御コンピュータ６０に送られるようになっている。また、カセットステージ１２の移動機構１４が駆動して、カセットステージ１２を仕切壁１３から後退してアンドック位置に移動すると、アンドック位置検知センサ１５ｂが検知して、その検知信号が制御コンピュータ６０に送られるようになっている。
なお、第２実施形態において、その他の部分は第１実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明は省略する。また、係合（嵌合）異常の検出において、ドック完了位置におけるドック位置検知センサ１５ａよるドック完了タイムアウトによって異常を判定させても良いことは勿論であり、蓋異常検知センサ３９ｃ，３９ｄと組み合わせて用いても良い。
次に、この発明に係る基板収納処理方法の第２実施形態の確認機構の動作態様について、図１２Ａ〜図１２Ｃ及び図１３を参照して説明する。
上述のように処理後のウエハＷをドック位置にあるカセット１０内に収容した後、蓋１０ｃを外したカセット１０をドック位置に待機させる（ステップＳ１０１；図１３（ａ）参照）。次に、Ｙ軸駆動機構３７を駆動して蓋着脱機構３０に保持された蓋１０ｃをカセット１０の開口部１０ｂに取り付ける（ステップＳ１０２；図１３（ｂ）参照）。この状態で、蓋１０ｃの鍵穴１０ｄと蓋着脱機構３０の鍵３１とを係合させて施錠する（ステップＳ１０３）。
その後、吸着保持部材３２の負圧を解除（ＶＡＣ ＯＦＦ）する（ステップＳ１０４）。その後、移動機構１４の駆動によりカセットステージ１２をドック位置から後退し、アンドック位置に移動する（ステップＳ１０５；図１３（ｃ）参照）。ここまでの工程は、通常の処理後のウエハＷをカセット１０に収容し、蓋１０ｃを取り付けて施錠した後にカセット搬送機構５によって搬送する前までと同様である。
次に、移動機構１４の駆動によりアンドック位置にあるカセットステージ１２を仕切壁１３側に再度前進させてドック位置に移動する（ステップＳ１０６；図１３（ｄ）参照）。そして、蓋１０ｃの鍵穴１０ｄとドック位置すなわち閉蓋位置に位置している蓋着脱機構３０の鍵３１とを係合（嵌合）させる。この状態で、ドック位置検知センサ１５ａがカセットステージ１２に載置されたカセット１０がドック位置にあるか否かを検知する（ステップＳ１０７）。カセットステージ１２のカセット１０がドック位置にない場合は、エラー（ドックセンサエラー）を出力して制御コンピュータ６０の記憶部６４に記憶する。
その後、吸着保持部材３２を負圧（ＯＮ）にして蓋１０ｃを吸着保持する（ステップＳ１０８）。この状態で、圧力センサ３２ｃにより配管３２ａ内の負圧を検知し、負圧が蓋１０ｃの吸着保持に適正な状態でない場合は、エラー（ＶＡＣ ＯＮエラー）を出力して制御コンピュータ６０の記憶部６４に記憶し（ステップＳ１０９）、次のステップＳ１１０に進む。ここでのエラーは、蓋着脱機構３０と蓋１０ｃとを係合する際に鍵穴１０ｄの垂直穴部が施錠状態の垂直状態から解錠方向に傾斜して施錠が十分でない状態の場合である。このように、鍵穴１０ｄが解錠方向に傾斜していると、ラッチ１０ｆが係止穴１０ｅに確実に嵌合しておらず、蓋１０ｃの施錠が不十分となり、蓋１０ｃが振動等によって開く虞がある。
次いで、吸着保持部材３２の負圧を解除（ＯＦＦ）する（ステップＳ１１０）。この状態で、圧力センサ３２ｃにより配管３２ａ内の負圧を検知し、負圧が解除されていない場合は、エラー（ＶＡＣ ＯＦＦエラー）を出力して制御コンピュータ６０の記憶部６４に記憶し（ステップＳ１１１）、次のステップＳ１１２に進む。
吸着保持部材３２の負圧を解除した後、移動機構１４を駆動してカセットステージ１２に載置されたカセット１０をアンドック位置に後退する（ステップＳ１１２）。
カセット１０をアンドック位置に後退した後、これらの確認動作で異常の有り無しを判断する（ステップＳ１１３）。これらの動作で異常がある場合は、確認のためにカセットステージ１２にクランプされているカセット１０をアンクランプして（ステップＳ１１４）、制御コンピュータ６０に記憶された検知アラーム発生の原因を表示部６７に表示する（ステップＳ１１５）。
この表示により、（ｅ）ドックセンサエラー、（ｆ）ＶＡＣ ＯＮエラー、（ｇ）ＶＡＣ ＯＦＦエラーのいずれかを確認することができる。なお、上記（ｆ）ＶＡＣ ＯＮエラー、（ｇ）ＶＡＣ ＯＦＦエラーは、エラーが発生したときに確認するようにしてもよい。
確認動作が異常でない場合は、蓋１０ｃは確実に閉蓋され、施錠は確実であるので、カセットステージ１２からアンクランプされ（ステップＳ１２１）、カセット搬送機構５によってカセット載置台１１から搬出される。
カセット搬送機構５の搬出モードの有無を確認し（ステップＳ１１６）、搬出モードが無い場合、オペレーターが蓋１０ｃの施錠状態を確認するため、カセット１０をカセットステージ１２より除去する（ステップＳ１１７）。カセット１０をカセットステージ１２より除去した後、カセット再搭載アラームが発せられる（ステップＳ１１８）。
オペレータがカセット１０を確認し（ステップＳ１１９）、蓋１０ｃの状態を正常に戻しカセット１０をカセットステージ１２に置き直す（ステップＳ１２０）。その後、アラームを解除後再試行する（ステップＳ１２１）。カセット１０がカセットステージ１２に載置されている場合は、蓋１０ｃは確実に閉蓋され、施錠は確実であるので、カセットステージ１２からアンクランプされ（ステップＳ１２２）、カセット搬送機構５によってカセット載置台１１から搬出される。オペレータの確認後にカセット１０がカセットステージ１２に再載置されない場合は、ロストカセットの処理が行われる。
上述したカセット１０の蓋１０ｃの二重確認動作は、記憶媒体６８に組み込まれた制御プログラムに基づいて実行される。すなわち、制御プログラムは、実行時に、カセット１０内に処理後のウエハＷが収容され、蓋１０ｃが外されたカセット１０をドック位置に待機する工程と、蓋着脱機構３０によって保持された蓋１０ｃをカセット１０の開口部１０ｂに取り付けて施錠する工程と、蓋１０ｃを施錠（閉蓋）したカセット１０をアンドック位置に移動させる工程と、カセット１０を再度ドック位置に移動して蓋１０ｃの鍵穴１０ｄと蓋着脱機構３０の鍵３１とを係合させた状態で蓋異常検知センサ３９ｃ，３９ｄにより蓋１０ｃの異常を検知する工程と、カセット１０がドック位置に移動した状態で、カセットステージ１２のドック位置検知センサ１５ａがカセット１０のドック位置の有無を検知する工程と、吸着保持部材３２を負圧して蓋１０ｃを吸着保持した状態で、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知する工程と、その後、吸着保持部材３２の負圧を解除した状態で、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知する工程と、カセット１０がアンドック位置に後退した後に、蓋異常検知センサ３９ｃ，３９ｄによる蓋１０ｃの異常及びドック位置検知センサ１５ａによるカセット１０のドック位置の有無を表示する工程と、圧力センサ３２ｃによる負圧の適否を表示する工程と、が実行されるように、制御コンピュータ６０が基板収納処理装置を制御するものである。
第２実施形態の基板収納処理装置（方法）によれば、上述した工程によって、カセット１０内に処理後のウエハＷを収容し、蓋着脱機構３０によって保持された蓋１０ｃをカセット１０の開口部１０ｂに取り付けて施錠した後、アンドック位置に移動させ、このカセット１０を再度ドック位置に移動して蓋１０ｃの鍵穴１０ｄと蓋着脱機構３０の鍵３１とを係合させた状態で吸着保持部材３２を負圧（ＯＮ）にして、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知し、蓋１０ｃの取り付け状態の異常を検知すると共に、カセット１０がドック位置に移動した状態で、カセットステージ１２のドック位置検知センサ１５ａがカセット１０のドック位置の有無を検知し、カセット１０がアンドック位置に後退した後に、圧力センサ３２ｃによる蓋１０ｃの取り付け状態の異常及びドック位置検知センサによるドック位置の有無を表示することができる。また、カセット１０がドック位置に移動して閉蓋位置で、吸着保持部材３２を負圧して蓋１０ｃを吸着保持した状態で、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知し、その後、吸着保持部材３２の負圧を解除した状態で、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知する。そして、カセット１０がアンドック位置に後退した後に、圧力センサ３２ｃによる負圧の適否を表示することができる。
したがって、オペレータが蓋１０ｃの閉蓋動作中に外部から確認できなかった蓋１０ｃの異常を確認することができ、蓋１０ｃは確実に閉蓋されているか、施錠は確実か等を確認することができる。
なお、上記第２実施形態では、カセット１０がアンドック位置に移動した後に圧力センサ３２４による負圧の適否を表示しているが、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知する都度表示するようにしてもよい。
＜その他の実施形態＞
上記第１実施形態において、蓋１０ｃの鍵穴１０ｄと蓋着脱機構３０の鍵３１とを係合させた後、開蓋位置へ後退する前には、解錠を行い再び施錠を行う工程を有するようにしてもよい。これにより施錠を確実にすることができる。
上記第２実施形態では、カセット１０がドック位置に移動した状態で、吸着保持部材３２を負圧（ＯＮ）にして、圧力センサ３２ｃにより負圧を検知し、蓋１０ｃの取り付け状態の異常を検知すると共に、カセットステージ１２のドック位置検知センサ１５ａがカセット１０のドック位置の有無を検知しているが、圧力センサ３２ｃにより蓋１０ｃの異常を検知することのみによっても、蓋１０ｃの施錠（閉蓋）の二重確認を行うことができる。
上記実施形態では、この発明の基板収納処理装置（方法、記憶媒体）がウエハＷの塗布・現像処理装置の処理システムに使用される場合について説明したが、この発明はこれらに限定されるものではなく、基板を収容するカセットに蓋を取り付けて搬送するウエハＷ以外の基板の搬送処理システムにも適用できるものである。
２ 処理部
５ カセット搬送機構
１０ カセット
１０ｂ 開口部
１０ｃ 蓋
１０ｄ 鍵穴
１０ｅ 係止穴
１０ｆ ラッチ
１１ カセット載置台
１２ カセットステージ
１３ 仕切壁
１３ａ 開口
１４ カセットステージ移動機構
１５ａ ドック位置検知センサ
１５ｂ アンドック位置検知センサ
２０ 基板搬送機構
３０ 蓋着脱機構
３１ 鍵
３２ 吸着保持部材
３２ｃ 圧力センサ
３４ 昇降機構
３７ Ｙ軸駆動機構
３８ａ 蓋着脱機構クローズセンサ
３８ｂ 蓋着脱機構オープンセンサ
３９ａ，３９ｂ はみ出し兼蓋異常検知センサ
３９ｃ，３９ｄ 蓋異常検知センサ
６０ 制御コンピュータ（制御手段）
６１ 制御部
６７ 表示部
６８ 記憶媒体

Claims (13)

  1. 基板を出し入れするための開口部を有し、この開口部に着脱可能な蓋を有するカセットを載置するカセット載置台と、
    上記カセット載置台のカセット内に収容された基板を処理するための処理部と、
    上記処理部に上記基板を搬送し、処理後の基板を上記カセット載置台のカセットに戻す基板搬送機構と、
    上記基板搬送機構の配置部と上記カセット載置台とを区画し、上記カセットの開口部よりも大きな開口を有する仕切壁と、
    上記カセット載置台に配設され、載置された上記カセットを上記仕切壁の開口に当接するドック位置とこのドック位置から後退してアンドック位置に進退移動可能なカセットステージと、
    上記仕切壁の開口を介して上記カセットの開口部から蓋を取り外し、該カセットの開口部に蓋を取り付ける蓋着脱機構と、を具備し、
    上記蓋着脱機構は、上記蓋に設けられた鍵穴に係合して、上記カセットの開口部に係脱可能に係止するラッチを施錠・解錠位置に切り換える鍵を具備すると共に、上記蓋を吸着して保持する吸着保持部材を具備してなる基板収納処理装置であって、
    上記仕切壁の開口の縁部に配置され、上記蓋の開閉状態を確認する蓋異常検知センサと、
    上記蓋着脱機構が保持した蓋を取り付ける閉蓋位置と該閉蓋位置から後退する開蓋位置を検知する蓋着脱機構クローズセンサ及び蓋着脱機構オープンセンサと、
    上記吸着保持部材が蓋を吸着保持する負圧を検知する圧力センサと、
    上記蓋異常検知センサ、蓋着脱機構クローズセンサ、蓋着脱機構オープンセンサ、及び圧力センサの検知信号を受けると共に、上記蓋着脱機構の蓋開閉位置への移動、上記鍵の施錠・解錠操作、及び上記カセットステージに載置されたカセットの上記ドック位置とアンドック位置への移動を制御する制御手段と、を具備し、
    上記制御手段からの制御信号に基づいて、上記カセット内に処理後の基板が収容され、カセットの開口部に蓋が閉蓋された後、上記蓋を保持しない状態で上記蓋着脱機構を閉蓋位置から開蓋位置へ後退させたときに、上記蓋着脱機構オープンセンサにより蓋の開蓋位置を検知すると共に、上記蓋異常検知センサにより蓋の異常の有無を検知して閉蓋状態の異常を判断する、ことを特徴とする基板収納処理装置。
  2. 請求項１に記載の基板収納処理装置において、
    上記蓋異常検知センサにより蓋の異常の有無を検知した後、上記カセットの開口部に蓋を閉蓋した状態で、上記蓋着脱機構を上記閉蓋位置へ移動して、上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させて、上記蓋着脱機構クローズセンサにより上記蓋着脱機構の閉蓋位置を検知し、その後、上記吸着保持部材を負圧に吸引して蓋を吸着保持する状態で、上記圧力センサにより所定の負圧を検知し、吸着保持部材の負圧を解除した状態で、上記圧力センサにより負圧を検知し、上記カセットが上記アンドック位置に後退した後に、カセットの閉蓋に異常があれば上記蓋着脱機構オープンセンサによる蓋の開蓋異常、上記蓋着脱機構クローズセンサによる蓋の閉蓋異常、上記圧力センサによる負圧の適否のいずれかを表示する、ことを特徴とする基板収納処理装置。
  3. 請求項２に記載の基板収納処理装置において、
    上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させた後、上記開蓋位置へ後退する前には、解錠を行い再び施錠を行うことを特徴とする基板収納処理装置。
  4. 基板を出し入れするための開口部を有し、この開口部に着脱可能な蓋を有するカセットを載置するカセット載置台と、
    上記カセット載置台のカセット内に収容された基板を処理するための処理部と、
    上記処理部に上記基板を搬送し、処理後の基板を上記カセット載置台のカセットに戻す基板搬送機構と、
    上記基板搬送機構の配置部と上記カセット載置台とを区画し、上記カセットの開口部よりも大きな開口を有する仕切壁と、
    上記カセット載置台に配設され、載置された上記カセットを上記仕切壁の開口に当接するドック位置とこのドック位置から後退してアンドック位置に進退移動可能なカセットステージと、
    上記仕切壁の開口を介して上記カセットの開口部から蓋を取り外し、該カセットの開口部に蓋を取り付ける蓋着脱機構と、を具備し、
    上記蓋着脱機構は、上記蓋に設けられた鍵穴に係合して、上記カセットの開口部に係脱可能に係止するラッチを施錠・解錠位置に切り換える鍵を具備すると共に、上記蓋を吸着して保持する吸着保持部材を具備してなる基板収納処理装置であって、
    上記カセットステージに載置されたカセットのドック位置を検知するドック位置検知センサと、
    上記蓋着脱機構の蓋開閉位置への移動、上記鍵の施錠・解錠操作、及び上記カセットステージに載置されたカセットの上記ドック位置とアンドック位置への移動を制御する制御手段と、を具備し、
    上記制御手段は、上記ドック位置でカセット内に処理後の基板が収容されたカセットの開口部の蓋を閉蓋させて上記ラッチが施錠位置に切り換えられた後、上記カセットステージに載置されたカセットをアンドック位置に後退させた後に、再度上記カセットステージに載置されたカセットを上記ドック位置に前進させて上記ドック位置検知センサの信号の有無を確認する、ことを特徴とする基板収納処理装置。
  5. 請求項４に記載の基板収納処理装置において、
    再度上記カセットステージに載置されたカセットを上記ドック位置に前進させたときに上記ドック位置検知センサの信号がない場合には、上記カセットステージが上記アンドック位置に後退した後に、上記ドック位置検知センサによるドック位置の異常を表示する、ことを特徴とする基板収納処理装置。
  6. 請求項４又は５に記載の基板収納処理装置において、
    上記吸着保持部材が蓋を吸着保持する負圧を検知する圧力センサを更に具備し、
    上記圧力センサの検知信号を受ける制御手段からの制御信号に基づいて、再度上記カセットステージに載置されたカセットを上記ドック位置に前進させたときに上記吸着保持部材を負圧に吸引して蓋を吸着保持する状態で、上記圧力センサにより所定の負圧を検知しない場合はアラームを出力する、ことを特徴とする基板収納処理装置。
  7. 基板を出し入れするための開口部を有し、この開口部に着脱可能な蓋を有するカセットを載置するカセット載置台と、
    上記カセット載置台のカセット内に収容された基板を処理するための処理部と、
    上記処理部に上記基板を搬送し、処理後の基板を上記カセット載置台のカセットに戻す基板搬送機構と、
    上記基板搬送機構の配置部と上記カセット載置台とを区画し、上記カセットの開口部よりも大きな開口を有する仕切壁と、
    上記カセット載置台に配設され、載置された上記カセットを上記仕切壁の開口に当接するドック位置とこのドック位置から後退してアンドック位置に進退移動可能なカセットステージと、
    上記仕切壁の開口を介して上記カセットの開口部から蓋を取り外し、該カセットの開口部に蓋を取り付ける蓋着脱機構と、を具備し、
    上記蓋着脱機構は、上記蓋に設けられた鍵穴に係合して、上記カセットの開口部に係脱可能に係止するラッチを施錠・解錠位置に切り換える鍵を具備すると共に、上記蓋を吸着して保持する吸着保持部材を具備してなり、
    上記仕切壁の開口の縁部に配置され、上記蓋の開閉状態を確認する蓋異常検知センサと、
    上記蓋着脱機構が保持した蓋を取り付ける閉蓋位置と該閉蓋位置から後退する開蓋位置を検知する蓋着脱機構クローズセンサ及び蓋着脱機構オープンセンサと、
    上記吸着保持部材が蓋を吸着保持する負圧を検知する圧力センサと、
    上記蓋異常検知センサ、蓋着脱機構クローズセンサ、蓋着脱機構オープンセンサ、及び圧力センサの検知信号を受けると共に、上記蓋着脱機構の蓋開閉位置への移動、上記鍵の施錠・解錠操作、及び上記カセットステージに載置されたカセットの上記ドック位置とアンドック位置への移動を制御する制御手段と、を具備してなる基板収納処理装置を用いた基板収納処理方法であって、
    上記カセット内に処理後の基板が収容された後、カセットの開口部に蓋を閉蓋する工程と、
    次いで上記蓋を保持しない状態で上記蓋着脱機構を閉蓋位置から開蓋位置へ後退する工程と、
    次いで上記蓋着脱機構オープンセンサにより蓋着脱機構の開蓋位置を検知する工程と、
    次いで上記蓋異常検知センサにより蓋の閉蓋状態の異常を判断する工程と、
    次いで上記閉蓋位置から後退した上記蓋着脱機構を再び閉蓋位置へ移動する工程と、
    次いで上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合する工程と、を含むことを特徴とする基板収納処理方法。
  8. 請求項７に記載の基板収納処理方法において、
    上記蓋異常検知センサにより蓋の異常の有無を検知した後、上記蓋着脱機構を上記閉蓋位置へ移動して、上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させる工程と、
    上記蓋着脱機構クローズセンサにより上記蓋着脱機構の閉蓋位置を検知する工程と、
    その後、上記吸着保持部材を負圧に吸引して蓋を吸着保持する状態で、上記圧力センサにより所定の負圧を検知する工程と、
    次いで上記吸着保持部材の負圧を解除した状態で、上記圧力センサにより負圧を検知する工程と、
    次いで上記カセットが上記アンドック位置に後退した後に、カセットの閉蓋に異常があれば上記蓋着脱機構オープンセンサによる蓋の開蓋異常、上記蓋着脱機構クローズセンサによる蓋の閉蓋異常、上記圧力センサによる負圧の適否のいずれかを表示する工程と、を含むことを特徴とする基板収納処理方法。
  9. 請求項８に記載の基板収納処理方法において、
    上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させる工程と上記開蓋位置へ後退する工程との間には、解錠を行い再び施錠を行う工程を含むことを特徴とする基板収納処理方法。
  10. 基板を出し入れするための開口部を有し、この開口部に着脱可能な蓋を有するカセットを載置するカセット載置台と、
    上記カセット載置台のカセット内に収容された基板を処理するための処理部と、
    上記処理部に上記基板を搬送し、処理後の基板を上記カセット載置台のカセットに戻す基板搬送機構と、
    上記基板搬送機構の配置部と上記カセット載置台とを区画し、上記カセットの開口部よりも大きな開口を有する仕切壁と、
    上記カセット載置台に配設され、載置された上記カセットを上記仕切壁の開口に当接するドック位置とこのドック位置から後退してアンドック位置に進退移動可能なカセットステージと、
    上記カセットステージに載置されたカセットのドック位置を検知するドック位置検知センサと、
    上記仕切壁の開口を介して上記カセットの開口部から蓋を取り外し、該カセットの開口部に蓋を取り付ける蓋着脱機構と、を具備し、
    上記蓋着脱機構は、上記蓋に設けられた鍵穴に係合して、上記カセットの開口部に係脱可能に係止するラッチを施錠・解錠位置に切り換える鍵を具備すると共に、上記蓋を吸着して保持する吸着保持部材を具備してなり、
    上記蓋着脱機構の蓋開閉位置への移動、上記鍵の施錠・解錠操作、及び上記カセットステージに載置されたカセットの上記ドック位置とアンドック位置への移動を制御する制御手段と、を具備してなる基板収納処理装置を用いた基板収納処理方法であって、
    上記制御手段からの制御信号に基づいて、上記カセット内に処理後の基板が収容され、カセットの開口部に蓋が閉蓋された後、上記カセットを上記アンドック位置に後退した後に再度上記ドック位置に移動させた状態で、上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させる工程と、
    上記蓋の鍵穴と上記蓋着脱機構の鍵とを係合させる工程で上記ドック位置を検知するドック位置検知センサの信号の有無を確認する工程と、を含むこと特徴とする基板収納処理方法。
  11. 請求項１０に記載の基板収納処理方法において、
    再度上記カセットステージのカセットを上記ドック位置に前進させたときに上記ドック位置センサの信号がない場合には、上記カセットステージを上記アンドック位置に後退した後に、上記ドック位置検知センサによるドック位置の有無を表示する工程を含むことを特徴とする基板収納処理方法。
  12. 請求項１０又は１１に記載の基板収納処理方法において、
    上記吸着保持部材が蓋を吸着保持する負圧を検知する圧力センサの検知信号を受ける制御手段からの制御信号に基づいて、上記吸着保持部材を負圧して蓋を吸着保持した状態で、上記圧力センサにより負圧を検知する工程と、
    上記吸着保持部材の負圧を解除した状態で、上記圧力センサにより負圧を検知する工程と、
    上記圧力センサによる負圧の適否を表示する工程と、を含むことを特徴とする基板収納処理方法。
  13. 基板を出し入れするための開口部を有し、この開口部に着脱可能な蓋を有するカセットから取り出された基板を処理部で処理した後、処理後の基板を上記カセット内に収容し、カセットの開口部に上記蓋を閉蓋した後、カセットをカセット搬送機構によって搬送する基板収納処理装置に用いられ、コンピュータに制御プログラムを実行させるソフトウェアが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、
    上記制御プログラムは、請求項７ないし１２のいずれか一つの基板収納処理方法を実行するように工程が組まれている、ことを特徴とする基板収納処理用記憶媒体。
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