JPS63229836A - ウエハ検査装置 - Google Patents
ウエハ検査装置Info
- Publication number
- JPS63229836A JPS63229836A JP62065038A JP6503887A JPS63229836A JP S63229836 A JPS63229836 A JP S63229836A JP 62065038 A JP62065038 A JP 62065038A JP 6503887 A JP6503887 A JP 6503887A JP S63229836 A JPS63229836 A JP S63229836A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- inspection
- uninspected
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 217
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 395
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 116
- 238000012546 transfer Methods 0.000 abstract description 60
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 9
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 77
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 38
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 23
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 19
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェハ検査装置に関し、特に集積回路を形成し
てなる半導体ウェハを検査する場合に適用して好適なも
のである。
てなる半導体ウェハを検査する場合に適用して好適なも
のである。
従来、この種のウェハ検査装置として、第5図及び第6
図に示すような構成のものが用いられている。
図に示すような構成のものが用いられている。
第5図のウェハ検査装置1は検査ステージ機構2とベル
ト搬送型のローディング機構3とを有し、ローディング
機構3は、所定位置に固定装着された供給キャリア4及
び収納キャリア5を有する。
ト搬送型のローディング機構3とを有し、ローディング
機構3は、所定位置に固定装着された供給キャリア4及
び収納キャリア5を有する。
第5図のウェハ検査装置1は検査処理ステップを開始す
るに先立って複数枚(例えば25枚)のウェハを収納し
てなる供給キャリア4と空の収納キャリア5とが装着さ
れ、検査処理ステップが開始すると供給キャリア4に収
納されている未検査ウェハを1枚だけベルト搬送機構6
によって検査ステージ機構2の所定位置に供給する。
るに先立って複数枚(例えば25枚)のウェハを収納し
てなる供給キャリア4と空の収納キャリア5とが装着さ
れ、検査処理ステップが開始すると供給キャリア4に収
納されている未検査ウェハを1枚だけベルト搬送機構6
によって検査ステージ機構2の所定位置に供給する。
やがて検査終了したウェハはベルト搬送機構6によって
検査ステージ機構2から排出されて収納キャリア5の所
定位置に収納される。
検査ステージ機構2から排出されて収納キャリア5の所
定位置に収納される。
かくして1枚のウェハの検査が終了すると、ローディン
グ機構3はベルト搬送機構6によって次のウェハを供給
キャリア4から取り出して検査ステージ機構2に供給す
る動作を繰り返す。
グ機構3はベルト搬送機構6によって次のウェハを供給
キャリア4から取り出して検査ステージ機構2に供給す
る動作を繰り返す。
また第5図との対応部分に同一符号を付して示す第6図
のウェハ検査装置1は、ローディング機構3として複数
例えば3つの供給/収納キャリア7A、7B、7Cが固
定装着された構成を有する。
のウェハ検査装置1は、ローディング機構3として複数
例えば3つの供給/収納キャリア7A、7B、7Cが固
定装着された構成を有する。
この場合ローディング機構3は、アーム搬送機構8を存
し、検査ステップが開始したときアーム搬送機構8が供
給/収納キャリア7A、7B、7Cに収納されている未
検査ウェハを1枚ずつ所定の順序で取り出して検査ステ
ージ機構2に供給すると共に検査が終了したウェハを元
の収納位置に戻すようになされている。
し、検査ステップが開始したときアーム搬送機構8が供
給/収納キャリア7A、7B、7Cに収納されている未
検査ウェハを1枚ずつ所定の順序で取り出して検査ステ
ージ機構2に供給すると共に検査が終了したウェハを元
の収納位置に戻すようになされている。
ローディング機構3のアーム搬送機構8は、供給/収納
キャリア7A、7B、7Cに収納されていた未検査ウェ
ハが全て検査終了するまで検査ステージ機構2に対して
未検査ウェハを供給した後、検査後のウェハを供給/収
納キャリア7A、7B、7Cに収納する動作を繰り返す
。
キャリア7A、7B、7Cに収納されていた未検査ウェ
ハが全て検査終了するまで検査ステージ機構2に対して
未検査ウェハを供給した後、検査後のウェハを供給/収
納キャリア7A、7B、7Cに収納する動作を繰り返す
。
ところで半導体集積回路は近年、高集積化、高密度化が
進んでおり、例えばダイナミックランダムアクセスメモ
リ (DRAM)においては、64〔kbit)、25
6 (kbit) 、1 (Mbit) 、4 (M
bit)のものが製造されており、当該ウェハの電気的
な性能を■Cテスタ及びウエハプローバを用いて検査す
る際の検査時間が長大になっており、例えば1枚のウェ
ハの検査処理時間が数時間程度にまで長大化している。
進んでおり、例えばダイナミックランダムアクセスメモ
リ (DRAM)においては、64〔kbit)、25
6 (kbit) 、1 (Mbit) 、4 (M
bit)のものが製造されており、当該ウェハの電気的
な性能を■Cテスタ及びウエハプローバを用いて検査す
る際の検査時間が長大になっており、例えば1枚のウェ
ハの検査処理時間が数時間程度にまで長大化している。
因に第6図の構成を用いた場合25枚のウェハを収納し
ている1つのキャリアを検査するのに要する時間が数日
にも亘るおそれがある。この問題を解決する方法として
、1つのキャリア内に収納するウェハの枚数を減少させ
ることにより、1つのキャリアに対する検査処理時間を
低減する方法が考えられるが、このようにするとキャリ
アの個数が増大するために、その管理が煩雑になる問題
があり、改善策としては未だ不十分である。
ている1つのキャリアを検査するのに要する時間が数日
にも亘るおそれがある。この問題を解決する方法として
、1つのキャリア内に収納するウェハの枚数を減少させ
ることにより、1つのキャリアに対する検査処理時間を
低減する方法が考えられるが、このようにするとキャリ
アの個数が増大するために、その管理が煩雑になる問題
があり、改善策としては未だ不十分である。
この問題を解決す□るためには、設置床面積をできるだ
け拡張させることなく1台のウェハ検査装置が単位時間
当りに検査し得るウェハの枚数を増大させることが望ま
しい、これを実現する1つの方法として、第7図に示す
ように、2つの検査ステージ機構IA、IBに対して共
通のローディング機構2を設け、そのローディング機構
2に対してキャリア搬送機構3によって搬送される複数
のキャリア4A、4B、4Gから取り出したウェハをロ
ーディング機構2を介して検査ステージ機構IA又はI
Bに供給し、検査終了後当該ウェハを元のキャリアに戻
すようにしたウェハ検査装置が提案されている(特開昭
61−168236号公報)。
け拡張させることなく1台のウェハ検査装置が単位時間
当りに検査し得るウェハの枚数を増大させることが望ま
しい、これを実現する1つの方法として、第7図に示す
ように、2つの検査ステージ機構IA、IBに対して共
通のローディング機構2を設け、そのローディング機構
2に対してキャリア搬送機構3によって搬送される複数
のキャリア4A、4B、4Gから取り出したウェハをロ
ーディング機構2を介して検査ステージ機構IA又はI
Bに供給し、検査終了後当該ウェハを元のキャリアに戻
すようにしたウェハ検査装置が提案されている(特開昭
61−168236号公報)。
このようにすれば、2つの検査ステージ機構lA、IB
に共通にローディング機構2を設けた分ウェハ検査装置
5の設置床面積を小さくすることができる。
に共通にローディング機構2を設けた分ウェハ検査装置
5の設置床面積を小さくすることができる。
このようにすれば、ウェハ検査装置5全体としての単位
時間当たりのウェハ検査枚数が同時に検査動作し得る検
査ステージ機構の数が2倍になったことによりほぼ2倍
に増大するが、必要に応じてそれ以上に増大させること
は困難である。
時間当たりのウェハ検査枚数が同時に検査動作し得る検
査ステージ機構の数が2倍になったことによりほぼ2倍
に増大するが、必要に応じてそれ以上に増大させること
は困難である。
′本発明は以上の点を考慮してなされたもので、ウェハ
検査装置全体としての単位時間当たりのウェハ検査枚数
をできるだけ小さい設置床面積で増大させ得るようにし
たウェハ検査装置を提案しようとするものである。
検査装置全体としての単位時間当たりのウェハ検査枚数
をできるだけ小さい設置床面積で増大させ得るようにし
たウェハ検査装置を提案しようとするものである。
かかる問題点を解決するため本発明においては、一対の
検査ステージ機構((14A、14B)、(24A、2
4B))と、一対の検査ステージ機構((14A、 1
4B)、(24A、24B))に対してそれぞれ1枚ず
つ未検査ウェハW1を供給すると共に検査済みウェハW
2を排出するローディング機構(15,25)と、ロー
ディング機構(15,25)に対して未検査ウェハW1
を外部から搬送すると共にローディング機fiI(15
,25)から排出された検査済みウェハW2を外部へ搬
送するウェハ搬送装置(17,27)とをそれぞれ存す
る複数段のウェハ検査装置ユニット(12,13)を具
え、この複数段の検査装置ユニット(12,13)のウ
ェハ搬送装置(17,27)を順次連結するようにする
。
検査ステージ機構((14A、14B)、(24A、2
4B))と、一対の検査ステージ機構((14A、 1
4B)、(24A、24B))に対してそれぞれ1枚ず
つ未検査ウェハW1を供給すると共に検査済みウェハW
2を排出するローディング機構(15,25)と、ロー
ディング機構(15,25)に対して未検査ウェハW1
を外部から搬送すると共にローディング機fiI(15
,25)から排出された検査済みウェハW2を外部へ搬
送するウェハ搬送装置(17,27)とをそれぞれ存す
る複数段のウェハ検査装置ユニット(12,13)を具
え、この複数段の検査装置ユニット(12,13)のウ
ェハ搬送装置(17,27)を順次連結するようにする
。
順次連設されたウェハ検査装置ユニッ1−(12,13
)には、I+1flt次連結されたウェハ搬送装置(1
7,27)を必要に応じて順次通って外部から未検査ウ
ェハW1が供給されると共に、各ウェハ検査装置ユニッ
ト(12,13)において検査処理された検査済みウェ
ハW2が、必要に応じてウェハ搬送装置(17,27)
を順次通って外部に搬送される。
)には、I+1flt次連結されたウェハ搬送装置(1
7,27)を必要に応じて順次通って外部から未検査ウ
ェハW1が供給されると共に、各ウェハ検査装置ユニッ
ト(12,13)において検査処理された検査済みウェ
ハW2が、必要に応じてウェハ搬送装置(17,27)
を順次通って外部に搬送される。
このように、連設された複数段のウェハ検査装置ユニッ
ト(12,13)に対する未検査ウェハW1の供給及び
検査済みウェハW2の排出を、互いに連結されたウェハ
搬送装置(17,27)を共通に用いて実行するように
したことにより、ウェハ検査装置ユニット(12,13
)の段数を必要に応じて増減することにより全体として
41位時間当たりのウェハ処理枚数を必要に応じて増減
させることができ、かくするにつき設置床面積を存効に
抑制し得るウェハ検査装置を容易に実現し得る。
ト(12,13)に対する未検査ウェハW1の供給及び
検査済みウェハW2の排出を、互いに連結されたウェハ
搬送装置(17,27)を共通に用いて実行するように
したことにより、ウェハ検査装置ユニット(12,13
)の段数を必要に応じて増減することにより全体として
41位時間当たりのウェハ処理枚数を必要に応じて増減
させることができ、かくするにつき設置床面積を存効に
抑制し得るウェハ検査装置を容易に実現し得る。
以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
(al第1の実施例
第1図において、11は全体としてウェハ検査装置を示
し、左右方向に連設された複数段例えば2段のウェハ検
査装置ユニット12及び13を有する。
し、左右方向に連設された複数段例えば2段のウェハ検
査装置ユニット12及び13を有する。
ウェハ検査装置ユニット12は、一対の検査ステージ機
構14A及び14Bを有し、前後方向に延長する共通の
ローディング機構15を挟んで左及び右側位置に配設さ
れている。
構14A及び14Bを有し、前後方向に延長する共通の
ローディング機構15を挟んで左及び右側位置に配設さ
れている。
ロ−ディング機構15はアーム搬送機構16を有し、そ
の前端側に検査ステージ機構14A及び14Bの前側位
置を左右方向に通るようにウェハ搬送装置17(ベルト
搬送機構によって構成されている)が設けられ、ウェハ
搬送装置17の供給/排出部18に未検査ウェハW1が
セットされたときこれをアーム搬送機構16によって検
査ステージ機構14A又は14Bに選択的に供給すると
共に、検査が終了した検査済みウェハW2を検査ステー
ジ機構14A又は14Bからアーム搬送機構16によっ
て供給/排出部18に排出し得るようになされている。
の前端側に検査ステージ機構14A及び14Bの前側位
置を左右方向に通るようにウェハ搬送装置17(ベルト
搬送機構によって構成されている)が設けられ、ウェハ
搬送装置17の供給/排出部18に未検査ウェハW1が
セットされたときこれをアーム搬送機構16によって検
査ステージ機構14A又は14Bに選択的に供給すると
共に、検査が終了した検査済みウェハW2を検査ステー
ジ機構14A又は14Bからアーム搬送機構16によっ
て供給/排出部18に排出し得るようになされている。
ウェハ検査装置ユニット13は、ウェハ検査装置ユニッ
ト12と同じ構成を有し、一対の検査ステージ機構24
A及び24Bに対して共通に設けられているローディン
グ機構25のアーム搬送機構26によってウェハ搬送装
置27の供給/排出部28にセットされた未検査ウェハ
Wlを供給し、また検査済みウェハW2を排出するよう
になされている。
ト12と同じ構成を有し、一対の検査ステージ機構24
A及び24Bに対して共通に設けられているローディン
グ機構25のアーム搬送機構26によってウェハ搬送装
置27の供給/排出部28にセットされた未検査ウェハ
Wlを供給し、また検査済みウェハW2を排出するよう
になされている。
ウェハ検査装置ユニット12及び13のウェハ搬送装置
17及び27は順次連結されると共に、第1段目のウェ
ハ検査装置ユニット12のウェハ搬送装置17の入口に
キャリアローディング部31が連結され、かつ第2段目
のウェハ検査装置ユニット13のウェハ搬送装置27の
出口にキャリアアンローディング部33が連結されてい
る。
17及び27は順次連結されると共に、第1段目のウェ
ハ検査装置ユニット12のウェハ搬送装置17の入口に
キャリアローディング部31が連結され、かつ第2段目
のウェハ検査装置ユニット13のウェハ搬送装置27の
出口にキャリアアンローディング部33が連結されてい
る。
第1段目のウェハ検査装置ユニット12の検査ス°テー
ジ機構14A及び14Bのいずれか一方又は両方にウェ
ハが供給されていないとき、前段のウェハ搬送装置17
はその入口側搬送手段A1によってキャリアローディン
グ部31に装着された供給キャリア32(例えば25枚
の未検査ウェハが収納されている)から未検査ウェハW
lを1枚だけ供給/排出部18にセットすることによっ
てウェハ検査装置ユニツ)12に取り込ませ、また供給
/排出部18に排出された検査済みウェハW2を出口側
搬送手段A2によってウェハ搬送装置17の出口に送り
出すようになされている。このとき後段のウェハ検査装
置ユニット13のウェハ搬送装置27は、入口側搬送手
段Blによって搬送し、供給/排出部28を通過させて
出口側搬送手段B2によってウェハ搬送装置27の出口
に送り出す。
ジ機構14A及び14Bのいずれか一方又は両方にウェ
ハが供給されていないとき、前段のウェハ搬送装置17
はその入口側搬送手段A1によってキャリアローディン
グ部31に装着された供給キャリア32(例えば25枚
の未検査ウェハが収納されている)から未検査ウェハW
lを1枚だけ供給/排出部18にセットすることによっ
てウェハ検査装置ユニツ)12に取り込ませ、また供給
/排出部18に排出された検査済みウェハW2を出口側
搬送手段A2によってウェハ搬送装置17の出口に送り
出すようになされている。このとき後段のウェハ検査装
置ユニット13のウェハ搬送装置27は、入口側搬送手
段Blによって搬送し、供給/排出部28を通過させて
出口側搬送手段B2によってウェハ搬送装置27の出口
に送り出す。
かくして出口側搬送手段B2によって搬送されて来た検
査済みウェハW2はキャリアアンローディング部33に
装着された収納キャリア34(25枚の検査済みウェハ
W2を収納し得る)に収納される。
査済みウェハW2はキャリアアンローディング部33に
装着された収納キャリア34(25枚の検査済みウェハ
W2を収納し得る)に収納される。
これに対して、第1段目のウェハ検査装置ユニット12
の検査ステージ機構14A及び14Bの両方にウェハが
供給されており、かつ第2段目のウェハ検査装置ユニッ
ト13の検査ステージ機構24A及び24Bのいずれか
一方又は両方にウェハが供給されていないとき、第1段
目のウェハ搬送装置17はその入口側搬送手段A1によ
って供給キャリア32から未検査ウェハW1を1枚だけ
取り出して搬送し、供給/排出部18を通過させて出口
側搬送手段A2によってウェハ搬送装置17の出口に送
り出す。このとき後段のウェハ搬送装置27はその入口
側搬送手段B1によって送り出されて来た未検査ウェハ
W1を供給/υ1出部28にセットすることによりウェ
ハ検査装置ユニット13に取り込ませ、また供給/排出
部28に排出された検査済みウェハW2を出口側搬送手
段B2によってウェハ搬送装置17の出口に送り出して
収納キャリア34に収納させる。
の検査ステージ機構14A及び14Bの両方にウェハが
供給されており、かつ第2段目のウェハ検査装置ユニッ
ト13の検査ステージ機構24A及び24Bのいずれか
一方又は両方にウェハが供給されていないとき、第1段
目のウェハ搬送装置17はその入口側搬送手段A1によ
って供給キャリア32から未検査ウェハW1を1枚だけ
取り出して搬送し、供給/排出部18を通過させて出口
側搬送手段A2によってウェハ搬送装置17の出口に送
り出す。このとき後段のウェハ搬送装置27はその入口
側搬送手段B1によって送り出されて来た未検査ウェハ
W1を供給/υ1出部28にセットすることによりウェ
ハ検査装置ユニット13に取り込ませ、また供給/排出
部28に排出された検査済みウェハW2を出口側搬送手
段B2によってウェハ搬送装置17の出口に送り出して
収納キャリア34に収納させる。
この実施例の場合ウェハ検査装置ユニット12及び13
は、ウェハ搬送装置17の出口をウェハ搬送装置27の
入口に連結し、またウェハ搬送装置17の入口をキャリ
アローディング部31に連結し、さらにウェハ搬送装置
27の出口をキャリアアンローディング部33に連結す
るための連結手段として、例えばガイドピン及びガイド
ブツシュをそれぞれ設け、ガイドビンをガイドブツシュ
に差し込むことにより、上流側の装置にあるウェハWを
下流側の装置に受は渡すことができると共に、ウェハ検
査装置ユニットの連設段数を必要に応じて増減できるよ
うになされている。
は、ウェハ搬送装置17の出口をウェハ搬送装置27の
入口に連結し、またウェハ搬送装置17の入口をキャリ
アローディング部31に連結し、さらにウェハ搬送装置
27の出口をキャリアアンローディング部33に連結す
るための連結手段として、例えばガイドピン及びガイド
ブツシュをそれぞれ設け、ガイドビンをガイドブツシュ
に差し込むことにより、上流側の装置にあるウェハWを
下流側の装置に受は渡すことができると共に、ウェハ検
査装置ユニットの連設段数を必要に応じて増減できるよ
うになされている。
以上の構成において、ウェハ検査装置11は検査ステッ
プを開始すると、キャリアローディング部31に連結さ
れているウェハ搬送装置17が供給キャリア32から未
検査ウェハW1を1枚だけ取り出して入口側搬送手段A
lによって供給/排出部18の方向に搬送して行く。
プを開始すると、キャリアローディング部31に連結さ
れているウェハ搬送装置17が供給キャリア32から未
検査ウェハW1を1枚だけ取り出して入口側搬送手段A
lによって供給/排出部18の方向に搬送して行く。
ところが検査開始時にはウェハ検査装置ユニット12及
び13の検査ステージ機構14A、14B及び24A、
24Bには検査対象となるウェハが供給されていない状
態にある。そこでウェハ検査装置ユニット12は入口側
搬送手段A1によって搬送されているウェハW1を供給
/排出部18にセットし、これをローディング機構15
のアーム搬送手段16によって検査ステージ機構11A
、14Bのうち優先順位の高い検査ステージ機構(例え
ば14A)に供給する。
び13の検査ステージ機構14A、14B及び24A、
24Bには検査対象となるウェハが供給されていない状
態にある。そこでウェハ検査装置ユニット12は入口側
搬送手段A1によって搬送されているウェハW1を供給
/排出部18にセットし、これをローディング機構15
のアーム搬送手段16によって検査ステージ機構11A
、14Bのうち優先順位の高い検査ステージ機構(例え
ば14A)に供給する。
かくして第1番目のウェハが検査ステージ機構14Aに
装着されると、第2番目の未検査ウェハが供給キャリア
32から取り出されて入口側搬送手段AIによって供給
/排出部18に搬送されて行くが、このときウェハ検査
装置ユニットI2のネ★査ステージ14B側には未検査
ウェハW1が供給されていない状態にあるので、入口側
搬送手段Alによって搬送されて来た未検査ウェハW1
は供給/排出部18にセットされ、これをローディング
機構15のアーム搬送機構16が検査ステージ機構14
Bに供給する。
装着されると、第2番目の未検査ウェハが供給キャリア
32から取り出されて入口側搬送手段AIによって供給
/排出部18に搬送されて行くが、このときウェハ検査
装置ユニットI2のネ★査ステージ14B側には未検査
ウェハW1が供給されていない状態にあるので、入口側
搬送手段Alによって搬送されて来た未検査ウェハW1
は供給/排出部18にセットされ、これをローディング
機構15のアーム搬送機構16が検査ステージ機構14
Bに供給する。
続いてウェハ搬送装置17が供給キャリア32から第3
番目の未検査ウェハW1を取り出して入口側搬送手段A
1が供給/排出部18の位置に搬送して行くが、このと
きウェハ検査装置ユニット12の検査ステージ機構14
A及び14Bには両方共に未検査ウェハW1が供給され
ていることにより、入口側搬送手段AIによって搬送さ
れて来た未検査ウェハW1は供給/排出部18を通過し
て出口側搬送手段A2によって後段のウェハ検査装置ユ
ニット13に送り出されて行く。
番目の未検査ウェハW1を取り出して入口側搬送手段A
1が供給/排出部18の位置に搬送して行くが、このと
きウェハ検査装置ユニット12の検査ステージ機構14
A及び14Bには両方共に未検査ウェハW1が供給され
ていることにより、入口側搬送手段AIによって搬送さ
れて来た未検査ウェハW1は供給/排出部18を通過し
て出口側搬送手段A2によって後段のウェハ検査装置ユ
ニット13に送り出されて行く。
ウェハ検査装置ユニット13はウェハ検査装置ユニット
12から送り出されて来た未検査ウェハW1を入口側搬
送手段Blによって供給/排出部28にセットする。
12から送り出されて来た未検査ウェハW1を入口側搬
送手段Blによって供給/排出部28にセットする。
この状態においてはウェハ検査装置ユニット13の検査
ステージ機構24A及び24Bには共に未検査ウェハW
1が供給されていないことにより、ローディング機構2
5は供給/排出部28にセットされた未検査ウェハW1
を優先順位の高い検査ステージ機構(例えば24A)に
供給する。
ステージ機構24A及び24Bには共に未検査ウェハW
1が供給されていないことにより、ローディング機構2
5は供給/排出部28にセットされた未検査ウェハW1
を優先順位の高い検査ステージ機構(例えば24A)に
供給する。
続いてウェハ搬送装置17は、供給キャリア32から第
4番目の未検査ウェハW1を取り出して人口側搬送手段
AIによって供給/排出部18の方向に搬送して行(。
4番目の未検査ウェハW1を取り出して人口側搬送手段
AIによって供給/排出部18の方向に搬送して行(。
このときウェハ検査装置ユニット12の検査ステージ機
構14A及び14Bにはいずれも未検査ウェハW1が供
給されていることにより、ウェハ搬送装置17は供給/
排出部18の位置に来た未検査ウェハWlを出口側搬送
手段A2によって後段のウェハ検査装置ユニット13に
送り出す。
構14A及び14Bにはいずれも未検査ウェハW1が供
給されていることにより、ウェハ搬送装置17は供給/
排出部18の位置に来た未検査ウェハWlを出口側搬送
手段A2によって後段のウェハ検査装置ユニット13に
送り出す。
この未検査ウェハWlを受けたウェハ検査装置ユニット
13のウェハ搬送装置27は、その入口側搬送手段Bl
によって搬送されて来た未検査ウェハW1を供給/すF
山部28にセットする。
13のウェハ搬送装置27は、その入口側搬送手段Bl
によって搬送されて来た未検査ウェハW1を供給/すF
山部28にセットする。
この状態においてはステージ機構24Bには未検査ウェ
ハWlが供給されていないので、ローディング機構25
のアーム)般送機構26が供給/排出部28にセットさ
れている未検査ウェハW1を検査ステージ機構24Bに
供給する。
ハWlが供給されていないので、ローディング機構25
のアーム)般送機構26が供給/排出部28にセットさ
れている未検査ウェハW1を検査ステージ機構24Bに
供給する。
かくしてウェハ検査装置ユニット12及び13の全ての
検査ステージ機構14A、14B及び24A、24Bに
未検査ウェハWlが供給された状態になると、ウェハ搬
送装置17及び27は検査ステージ機構14A、14B
及び24A、24Bに供給された未検査ウェハWlにつ
いての検査が終了するのを待ち受ける状態になり、かく
してウェハ検査装置11は全体として4枚の未検査ウェ
ハWlを同時並列的に検査する状態になる。
検査ステージ機構14A、14B及び24A、24Bに
未検査ウェハWlが供給された状態になると、ウェハ搬
送装置17及び27は検査ステージ機構14A、14B
及び24A、24Bに供給された未検査ウェハWlにつ
いての検査が終了するのを待ち受ける状態になり、かく
してウェハ検査装置11は全体として4枚の未検査ウェ
ハWlを同時並列的に検査する状態になる。
やがてウェハ検査装置11に供給されている4枚の未検
査ウェハW1のうちの1つ例えば検査ステージ機構24
Bの未検査ウェハW1の検査が終了すると、これをロー
ディング機構25のアーム搬送機構26が取り出して供
給/排出部28に排出する。このときウェハ搬送装置2
7の出口側搬送手段B2が供給/排出部28に排出され
た検査済みウェハW2をキャリアアンローディング部3
3の収納キャリア34に搬送して所定の位置に収納する
。
査ウェハW1のうちの1つ例えば検査ステージ機構24
Bの未検査ウェハW1の検査が終了すると、これをロー
ディング機構25のアーム搬送機構26が取り出して供
給/排出部28に排出する。このときウェハ搬送装置2
7の出口側搬送手段B2が供給/排出部28に排出され
た検査済みウェハW2をキャリアアンローディング部3
3の収納キャリア34に搬送して所定の位置に収納する
。
かくして検査済みウェハW2が収納キャリア34に収納
されると、ウェハ搬送装置17が駆動して入口側搬送手
段AIによって供給キャリア32の第5番目の未検査ウ
ェハWlを取り出し、供給/排出部18の方向に搬送し
て行く。
されると、ウェハ搬送装置17が駆動して入口側搬送手
段AIによって供給キャリア32の第5番目の未検査ウ
ェハWlを取り出し、供給/排出部18の方向に搬送し
て行く。
このときウェハ検査装置ユニット12の検査ステージ機
構14A及び14Bは検査を続行しているので、供給/
排出部18に搬送されて来た未検査ウェハW1は出口側
搬送手段A2によって後段のウェハ検査装置ユニット1
3に送り出される。
構14A及び14Bは検査を続行しているので、供給/
排出部18に搬送されて来た未検査ウェハW1は出口側
搬送手段A2によって後段のウェハ検査装置ユニット1
3に送り出される。
これに対してウェハ搬送装置27は入口側搬送手段Bl
によって当該未検査ウェハW1を供給/排出部28にセ
ットし、ローディング機構25のアーム搬送機構26が
これを検査ステージ機構24Bに供給する。
によって当該未検査ウェハW1を供給/排出部28にセ
ットし、ローディング機構25のアーム搬送機構26が
これを検査ステージ機構24Bに供給する。
続いて例えばウェハ検査装置ユニット12の検査ステー
ジ機構14Aに供給された未検査ウェハWlのネ★査が
終了すると、ローディング機構15のアーム搬送機構1
6がこの検査済みウェハW2を供給/排出部18に排出
すると共に、ウェハ搬送装置17の出口側搬送手段A2
がこれを次段のウェハ搬送装置27に送り出す。このと
きウェハ搬送装置27は搬送されて来た検査済みウェハ
W2を入口側搬送手段B1によって搬送して供給/排出
部28を通過させ、出口側搬送手段B2によって収納キ
ャリア34の所定位置に収納する。
ジ機構14Aに供給された未検査ウェハWlのネ★査が
終了すると、ローディング機構15のアーム搬送機構1
6がこの検査済みウェハW2を供給/排出部18に排出
すると共に、ウェハ搬送装置17の出口側搬送手段A2
がこれを次段のウェハ搬送装置27に送り出す。このと
きウェハ搬送装置27は搬送されて来た検査済みウェハ
W2を入口側搬送手段B1によって搬送して供給/排出
部28を通過させ、出口側搬送手段B2によって収納キ
ャリア34の所定位置に収納する。
この状態になると、ウェハ搬送装置17が起動して供給
キャリア32から第6番目の未検査ウェハwiを取り出
して入口側搬送手段A1によって供給/排出部1Bにセ
ットし、ローディング機構15のアーム搬送機構16が
これをステージ機構14Aに供給する。
キャリア32から第6番目の未検査ウェハwiを取り出
して入口側搬送手段A1によって供給/排出部1Bにセ
ットし、ローディング機構15のアーム搬送機構16が
これをステージ機構14Aに供給する。
かくして4つの検査ステージ機構14A、14B及び2
4A、24Bにおける未検査ウェハW1の検査が終了す
ると、その都度当該検査済みウエハW2が排出されて収
納キャリア34に収納され、その後新たな未検査ウェハ
Wlが供給キャリア32から取り出されて当該排出され
た検査ステージ機構に新たな未検査ウェハWlが供給さ
れる。
4A、24Bにおける未検査ウェハW1の検査が終了す
ると、その都度当該検査済みウエハW2が排出されて収
納キャリア34に収納され、その後新たな未検査ウェハ
Wlが供給キャリア32から取り出されて当該排出され
た検査ステージ機構に新たな未検査ウェハWlが供給さ
れる。
その結果ウェハ検査装置11は、全体として4つの検査
ステージ機構14A、14B及び24A124Bを無駄
に検査動作を休止させることなく、常に同時並列的にウ
ェハの処理をさせて行くことができることにより、全体
として単位時間当たりのウェハの検査処理枚数を増大さ
せることができる。
ステージ機構14A、14B及び24A124Bを無駄
に検査動作を休止させることなく、常に同時並列的にウ
ェハの処理をさせて行くことができることにより、全体
として単位時間当たりのウェハの検査処理枚数を増大さ
せることができる。
山)第2の実施例
第2図は第2の実施例を示し、第1図との対応部分に同
一符号を付して示すように、ウェハ検査装置11の後段
側ウェハ検査装置ユニット13とキャリアアンローディ
ング部33との間にレーザリペア装置41が介挿されて
いる。
一符号を付して示すように、ウェハ検査装置11の後段
側ウェハ検査装置ユニット13とキャリアアンローディ
ング部33との間にレーザリペア装置41が介挿されて
いる。
レーザリペア装置41は、ウェハ検査装置ユニツ1−1
3のウェハ搬送装置27から送り出されて来る検査済み
ウェハW2をバッファ部42の一時保留用キャリア43
に受けるようになされ、当該一時保留用キャリア43の
検査済みウェハW2を例えばアーム搬送機構01によっ
てウェハ供給/排出部44に搬送し、当該検査済みウェ
ハW2に欠陥があるときローディング用アーム搬送機構
02によってレーザ加工ステージ機構45に供給するよ
うになされている。かくしてレーザ加工ステージ機構4
5に供給された検査済みウェハW2は、ウェハ検査装置
ユニッ1−12又は13における検査結果に基づいて検
査済みウェハW2の欠陥を修正°した後、ローディング
用アーム搬送機構02によってウェハ供給/排出部44
に排出し、当該排出されて来た修理済みウェハW3を出
口側ベルト搬送機構03によってキャリアアンローディ
ング部33の収納キャリア34に搬送する。
3のウェハ搬送装置27から送り出されて来る検査済み
ウェハW2をバッファ部42の一時保留用キャリア43
に受けるようになされ、当該一時保留用キャリア43の
検査済みウェハW2を例えばアーム搬送機構01によっ
てウェハ供給/排出部44に搬送し、当該検査済みウェ
ハW2に欠陥があるときローディング用アーム搬送機構
02によってレーザ加工ステージ機構45に供給するよ
うになされている。かくしてレーザ加工ステージ機構4
5に供給された検査済みウェハW2は、ウェハ検査装置
ユニッ1−12又は13における検査結果に基づいて検
査済みウェハW2の欠陥を修正°した後、ローディング
用アーム搬送機構02によってウェハ供給/排出部44
に排出し、当該排出されて来た修理済みウェハW3を出
口側ベルト搬送機構03によってキャリアアンローディ
ング部33の収納キャリア34に搬送する。
これに対してウェハ供給/排出部44に搬送されて来た
検査済みウェハW2に欠陥がなければレーザリペア装置
41は当該検査済みウェハW2をウェハ供給/排出部4
4を通過させて出口側ベルト11iffi送機構03に
よってキャリアアンローディング部33の収納キャリア
34に搬送する。
検査済みウェハW2に欠陥がなければレーザリペア装置
41は当該検査済みウェハW2をウェハ供給/排出部4
4を通過させて出口側ベルト11iffi送機構03に
よってキャリアアンローディング部33の収納キャリア
34に搬送する。
第2図の構成において、ウェハ検査装置11において同
時並列的に処理される複数例えば4枚の未検査ウェハW
lは検査が終了するごとにウェハ搬送装置17及び27
によって搬送されてレーザリペア装置41の一時保留用
キャリア43に一時保留され、レーザリペア装置41は
当該保留された検査済みウェハW2を1枚ずつ取り出し
て必要に応じて欠陥を・修理して行く。
時並列的に処理される複数例えば4枚の未検査ウェハW
lは検査が終了するごとにウェハ搬送装置17及び27
によって搬送されてレーザリペア装置41の一時保留用
キャリア43に一時保留され、レーザリペア装置41は
当該保留された検査済みウェハW2を1枚ずつ取り出し
て必要に応じて欠陥を・修理して行く。
ところでレーザリペア装置141の1枚の検査済みウェ
ハW2に要する修理処理速度は、実際上ウェハ検査装置
11の検査ステージ機構14A、14B及び24A、2
4Bにおいて検査される検査時間と比較して、格段的に
短時間で済む、そこでレーザリペア装置41における1
枚当たりの修理処理時間と、ウェハ検査装置11の各検
査ステージ機構14A、14B及び24A、24Bにお
ける1枚当たりの検査時間との差異に応じてウェハ検査
装置ユニット12.13の段数を決めるようにすれば、
たとえウェハ検査装置11において1枚の未検査ウェハ
W1を検査する時間が長大であっても、°複数のウェハ
検査装置ユニットから排出される検、査済みウェハW2
をレーザリペア装置41のバッファ部42に一時保留し
ておくようにすることにより、全体としてウェハ検査装
置11において単位時間当たりに検査処理し得る未検査
ウェハの枚数と、レーザリペア装置41における単位時
間当たりの修理処理枚数とをほぼ一致させるようにする
ことができ、か(してウェハの検査と修理とを一連の自
動処理装置によって処理し得る。
ハW2に要する修理処理速度は、実際上ウェハ検査装置
11の検査ステージ機構14A、14B及び24A、2
4Bにおいて検査される検査時間と比較して、格段的に
短時間で済む、そこでレーザリペア装置41における1
枚当たりの修理処理時間と、ウェハ検査装置11の各検
査ステージ機構14A、14B及び24A、24Bにお
ける1枚当たりの検査時間との差異に応じてウェハ検査
装置ユニット12.13の段数を決めるようにすれば、
たとえウェハ検査装置11において1枚の未検査ウェハ
W1を検査する時間が長大であっても、°複数のウェハ
検査装置ユニットから排出される検、査済みウェハW2
をレーザリペア装置41のバッファ部42に一時保留し
ておくようにすることにより、全体としてウェハ検査装
置11において単位時間当たりに検査処理し得る未検査
ウェハの枚数と、レーザリペア装置41における単位時
間当たりの修理処理枚数とをほぼ一致させるようにする
ことができ、か(してウェハの検査と修理とを一連の自
動処理装置によって処理し得る。
か(するにつき当該一連の自動処理装置の設置床面積を
、それぞれウェハ検査装置11及びレーザリペア装置4
1を別体に設置する場合と比較して一段と小面積で済む
ようにし得る。
、それぞれウェハ検査装置11及びレーザリペア装置4
1を別体に設置する場合と比較して一段と小面積で済む
ようにし得る。
(e)第3の実施例
第2図との対応部分に同一符号を付して示す第3図は第
3の実施例を示すもので、この実施例の場合ウェハ検査
装置ユニット12及び13は、つエバ搬送装置17及び
27(第2図)に代えて、キャリア搬送装置51及び5
2を有する。
3の実施例を示すもので、この実施例の場合ウェハ検査
装置ユニット12及び13は、つエバ搬送装置17及び
27(第2図)に代えて、キャリア搬送装置51及び5
2を有する。
すなわち第1段目のウェハ検査装置ユニット12のキャ
リア搬送装置51は、例えば2つの未検査キャリアKl
を装着し得るように構成されたキャリアローディング部
31のキャリアKlを1つずつ入口側キャリア搬送手段
D1によってウェハ供給/排出部53の方向に搬送し、
検査ステージ機構14A、14Bに未検査ウェハW1が
供給されていないとき、当該未検査キャリアKlをウェ
ハ供給/排出部53にセットし、これに対して未検査キ
ャリアに1がウェハ供給/排出部53にセットされた状
態にあるとき、未検査キャリアに1を出口側キャリア搬
送手段D2によってウェハ供給/排出部53から後段の
ウェハ検査装置ユニット13のキャリア搬送装置52に
搬送し得るようになされている。
リア搬送装置51は、例えば2つの未検査キャリアKl
を装着し得るように構成されたキャリアローディング部
31のキャリアKlを1つずつ入口側キャリア搬送手段
D1によってウェハ供給/排出部53の方向に搬送し、
検査ステージ機構14A、14Bに未検査ウェハW1が
供給されていないとき、当該未検査キャリアKlをウェ
ハ供給/排出部53にセットし、これに対して未検査キ
ャリアに1がウェハ供給/排出部53にセットされた状
態にあるとき、未検査キャリアに1を出口側キャリア搬
送手段D2によってウェハ供給/排出部53から後段の
ウェハ検査装置ユニット13のキャリア搬送装置52に
搬送し得るようになされている。
第2段目のウェハ検査装置ユニット13のキャリア搬送
装置52は、第1段目のキャリア搬送装置51から送り
込まれた未検査キャリアに1を入口側キャリア搬送手段
E1によってウェハ供給/排出部54にセットする。
装置52は、第1段目のキャリア搬送装置51から送り
込まれた未検査キャリアに1を入口側キャリア搬送手段
E1によってウェハ供給/排出部54にセットする。
このようにして、ウェハ検査装置ユニット12及び13
のウェハ供給/排出部53及び54にセットされた未検
査キャリアに1の未検査ウェハWlは、それぞれアーム
搬送機構16及び26によって1枚ずつ取り出されて空
の検査ステージ機構14AS 14B及び24A、24
Bに供給されて検査され、かくして検査が終了した検査
済みウェハW2がアーム搬送機構16及び26によって
検査ステージ機構14A、14B及び24A、24Bか
ら未検査キャリアKlに戻される。
のウェハ供給/排出部53及び54にセットされた未検
査キャリアに1の未検査ウェハWlは、それぞれアーム
搬送機構16及び26によって1枚ずつ取り出されて空
の検査ステージ機構14AS 14B及び24A、24
Bに供給されて検査され、かくして検査が終了した検査
済みウェハW2がアーム搬送機構16及び26によって
検査ステージ機構14A、14B及び24A、24Bか
ら未検査キャリアKlに戻される。
ウェハ供給/排出部53にセットされた未検査キャリア
に1の全ての未検査ウェハW1の検査が終了すると、当
該検査済みキャリアに2は後段のウェハ検査装置ユニッ
ト13に未検査キャリアKlがないことを条件として出
口側キャリア搬送手段D2によって後段のキャリア搬送
装置52に送り出される。このときキャリア搬送装置5
2は、検査済みキャリアに2を入口側キャリア搬送手段
E1によってウェハ供給/排出部54を通過するように
搬送し、出口側キャリア搬送手段E2によってレーザリ
ペア装置41のバッファ部55に搬送する。
に1の全ての未検査ウェハW1の検査が終了すると、当
該検査済みキャリアに2は後段のウェハ検査装置ユニッ
ト13に未検査キャリアKlがないことを条件として出
口側キャリア搬送手段D2によって後段のキャリア搬送
装置52に送り出される。このときキャリア搬送装置5
2は、検査済みキャリアに2を入口側キャリア搬送手段
E1によってウェハ供給/排出部54を通過するように
搬送し、出口側キャリア搬送手段E2によってレーザリ
ペア装置41のバッファ部55に搬送する。
また第2段目のウェハ供給/排出部54にセットされた
未検査キャリアKlについて全ての未検査ウェハWlの
検査が終了すると、キャリア搬送装置52は当該検査済
みキャリアに2を出口側キャリア搬送手段E2によって
レーザリペア装置41のバッファ部55に搬送する。
未検査キャリアKlについて全ての未検査ウェハWlの
検査が終了すると、キャリア搬送装置52は当該検査済
みキャリアに2を出口側キャリア搬送手段E2によって
レーザリペア装置41のバッファ部55に搬送する。
この実施例の場合、第1段目のキャリア搬送装置51は
、第2段目のキャリア搬送装置52のウェハ供給/排出
部54から検査済みキャリアに2が排出された時、第1
段目のウェハ供給/排出部53にセットされている未検
査キャリアに1の未検査ウェハWlについての検査が終
了してないときは、当該第1段目のウェハ供給/排出部
53の未検査キャリアに1を第2段目のウェハ供給/排
出部54に移送し、この未検査キャリアに1に残ってい
る未検査ウェハW1の検査を第2段目のウェハ検査装置
ユニット13によって続けさせるようになされている。
、第2段目のキャリア搬送装置52のウェハ供給/排出
部54から検査済みキャリアに2が排出された時、第1
段目のウェハ供給/排出部53にセットされている未検
査キャリアに1の未検査ウェハWlについての検査が終
了してないときは、当該第1段目のウェハ供給/排出部
53の未検査キャリアに1を第2段目のウェハ供給/排
出部54に移送し、この未検査キャリアに1に残ってい
る未検査ウェハW1の検査を第2段目のウェハ検査装置
ユニット13によって続けさせるようになされている。
その結果第1段目のウェハ供給/排出部54が空の状態
になると、そのキャリア搬送装置51はキャリアローデ
ィング部31から新たな未検査キャリアKlを取り込ん
でウェハ供給/排出部54にセットしてその未検査ウェ
ハWlの検査を開始させる。
になると、そのキャリア搬送装置51はキャリアローデ
ィング部31から新たな未検査キャリアKlを取り込ん
でウェハ供給/排出部54にセットしてその未検査ウェ
ハWlの検査を開始させる。
この実施例の場合レーザリペア装置41はバッファ部5
5に搬送されて来た検査済みキャリアに2をキャリア搬
送手段F1によってウェハ供給/排出部56に搬送し、
ウェハ検査装置ユニット12及び又は13における検査
結果に基づいて検査済みウェハW2のうち修理が必要な
検査済みウェハW2をウェハ搬送機構F2によってレー
ザ加工ステージ機構45に供給すると共に、修理が終了
した処理済みウェハW3をウェハ搬送機構F2によって
ウェハ供給/排出部56に排出する。
5に搬送されて来た検査済みキャリアに2をキャリア搬
送手段F1によってウェハ供給/排出部56に搬送し、
ウェハ検査装置ユニット12及び又は13における検査
結果に基づいて検査済みウェハW2のうち修理が必要な
検査済みウェハW2をウェハ搬送機構F2によってレー
ザ加工ステージ機構45に供給すると共に、修理が終了
した処理済みウェハW3をウェハ搬送機構F2によって
ウェハ供給/排出部56に排出する。
かくして未検査キャリアに2に収納されている検査済み
ウェハW2のうち修理が必要な検査済みウェハの修理が
終了すると、レーザリペア装置41はウェハ供給/排出
部56の検査済みキャリアに2をキャリア搬送手段F3
によってキャリアアンローディング部33に搬送する。
ウェハW2のうち修理が必要な検査済みウェハの修理が
終了すると、レーザリペア装置41はウェハ供給/排出
部56の検査済みキャリアに2をキャリア搬送手段F3
によってキャリアアンローディング部33に搬送する。
第3図の構成において、ウェハ検査装置11の検査処理
ステップが開始する前に、キャリアローディング部31
に例えば25枚の未検査ウェハを収納してなる2つの未
検査キャリアKlが装着される。
ステップが開始する前に、キャリアローディング部31
に例えば25枚の未検査ウェハを収納してなる2つの未
検査キャリアKlが装着される。
この状態において検査処理ステップが開始されると、キ
ャリアローディング部31から未検査キャリアに1が順
次1つずつ第1段目のウェハ検査装置ユニット12に設
けられているキャリア搬送装置51の人口側キャリア搬
送手段DIによって搬送開始される。
ャリアローディング部31から未検査キャリアに1が順
次1つずつ第1段目のウェハ検査装置ユニット12に設
けられているキャリア搬送装置51の人口側キャリア搬
送手段DIによって搬送開始される。
ここで第1段目のウェハ検査装置ユニット12のキャリ
ア搬送装置51は、第2段目のウェハ供給/排出部53
に未検査キャリアに1がセットされていないことを条件
として未検査キャリアに1が入口側キャリア搬送手段D
Iによって搬送されて来たときこれを出口側キャリア搬
送手段D2に通過させることにより第2段目のウェハ供
給/排出部54にセットさせると共に、続いて新たな未
検査キャリアに1を入口側キャリア搬送手段D1によっ
てウェハ供給/排出部53にセットする。
ア搬送装置51は、第2段目のウェハ供給/排出部53
に未検査キャリアに1がセットされていないことを条件
として未検査キャリアに1が入口側キャリア搬送手段D
Iによって搬送されて来たときこれを出口側キャリア搬
送手段D2に通過させることにより第2段目のウェハ供
給/排出部54にセットさせると共に、続いて新たな未
検査キャリアに1を入口側キャリア搬送手段D1によっ
てウェハ供給/排出部53にセットする。
かくしてウェハ検査装置ユニット12及び13のウェハ
供給/排出部53及び54に未検査ウェハW1を収納し
ている未検査キャリアに1がそれぞれセットされ、この
状態において各ウェハ検査装置ユニット12及び13の
ローディング機構15及び25のアーム搬送機構16及
び26によって、未検査キャリアに1の未検査ウェハW
lが1枚ずつ取り出されてステージ機構14A、14B
及び24A、24Bに供給され、その後検査が終了した
検査済みウェハW2がアーム搬送機構16及び26によ
って未検査キャリアKlに戻るような動作をする。
供給/排出部53及び54に未検査ウェハW1を収納し
ている未検査キャリアに1がそれぞれセットされ、この
状態において各ウェハ検査装置ユニット12及び13の
ローディング機構15及び25のアーム搬送機構16及
び26によって、未検査キャリアに1の未検査ウェハW
lが1枚ずつ取り出されてステージ機構14A、14B
及び24A、24Bに供給され、その後検査が終了した
検査済みウェハW2がアーム搬送機構16及び26によ
って未検査キャリアKlに戻るような動作をする。
かくして第1段目のウェハ検査装置ユニット12のウェ
ハ供給/排出部53にセットされた未検査キャリアに1
についての検査が第2段目のウェハ検査装置ユニット1
3のウェハ供給/排出部53にセットされた未検査キャ
リアKlについての検査が終了する前に終了すると、当
該検査済みキャリアに2は第2段目のウェハ検査装置ユ
ニット12における未検査ウェハW1についての検査が
続いている間、当該検査が終了するのを待ち受ける状態
になる。
ハ供給/排出部53にセットされた未検査キャリアに1
についての検査が第2段目のウェハ検査装置ユニット1
3のウェハ供給/排出部53にセットされた未検査キャ
リアKlについての検査が終了する前に終了すると、当
該検査済みキャリアに2は第2段目のウェハ検査装置ユ
ニット12における未検査ウェハW1についての検査が
続いている間、当該検査が終了するのを待ち受ける状態
になる。
そしてやがて第2段目のウェハ検査装置ユニット12の
検査が終了してウェハ供給/排出部54にある検査済み
キャリアに2がレーザリペア装置41のバッファ部55
に搬送されると、続いて第1段目のウェハ供給/排出部
53にある検査済みキャリアに2が第1段目のキャリア
搬送装置51及び第2段目のキャリア搬送装置52を通
ってレーザリペア装置41のバッファ部55に搬送され
る。
検査が終了してウェハ供給/排出部54にある検査済み
キャリアに2がレーザリペア装置41のバッファ部55
に搬送されると、続いて第1段目のウェハ供給/排出部
53にある検査済みキャリアに2が第1段目のキャリア
搬送装置51及び第2段目のキャリア搬送装置52を通
ってレーザリペア装置41のバッファ部55に搬送され
る。
これに対して第2段目のウェハ検査装置ユニツ)13の
ウェハ供給/排出部54にセットされた未検査キャリア
に1についての検査が第1段目のウェハ検査装置ユニッ
ト12のウェハ供給/排出部53にセットされた未検査
キャリアKlより先に終了すると、当該検査済みキャリ
アに2がレーザリペア装置41のバッファ部55に搬送
されると共に、未だ検査が終了していない第1段目のウ
ェハ供給/排出部53にセットされている未検査キャリ
アに1がキャリア搬送装置51及び52によって第2段
目のウェハ供給/排出部54に移送される。
ウェハ供給/排出部54にセットされた未検査キャリア
に1についての検査が第1段目のウェハ検査装置ユニッ
ト12のウェハ供給/排出部53にセットされた未検査
キャリアKlより先に終了すると、当該検査済みキャリ
アに2がレーザリペア装置41のバッファ部55に搬送
されると共に、未だ検査が終了していない第1段目のウ
ェハ供給/排出部53にセットされている未検査キャリ
アに1がキャリア搬送装置51及び52によって第2段
目のウェハ供給/排出部54に移送される。
このとき続いて第2段目のウェハ検査装置ユニツ)13
が当該移送されて来た未検査キャリアに1に残っている
未検査ウェハWlの検査を続けると同時に、第1段目の
キャリア搬送装置12が新たな未検査キャリアKlをキ
ャリアローディング部31から取り込んでウェハ供給/
排出部53にセットし、第1段目のウェハ検査装置ユニ
ット51が当該セットされた未検査キャリアに1の未検
査ウェハW1の検査を開始する。
が当該移送されて来た未検査キャリアに1に残っている
未検査ウェハWlの検査を続けると同時に、第1段目の
キャリア搬送装置12が新たな未検査キャリアKlをキ
ャリアローディング部31から取り込んでウェハ供給/
排出部53にセットし、第1段目のウェハ検査装置ユニ
ット51が当該セットされた未検査キャリアに1の未検
査ウェハW1の検査を開始する。
レーザリペア装置41はウェハ供給/排出部56に検査
済みキャリアに2が設定されていないとき、バッファ部
55に一時保留されている検査済みキャリアに2をキャ
リア搬送手段F1によって取り込み、ローディング用ア
ーム搬送機構F2によって検査済みキャリアに2に収納
されている検査済みウェハW2のうち修理が必要なウェ
ハを1枚ずつローディング用アーム搬送機構F2によっ
てレーザ加エステージ機構45に供給すると共に、修理
済みのウェハを未検査キャリアに2の元の位置に戻すよ
うな動作をする。
済みキャリアに2が設定されていないとき、バッファ部
55に一時保留されている検査済みキャリアに2をキャ
リア搬送手段F1によって取り込み、ローディング用ア
ーム搬送機構F2によって検査済みキャリアに2に収納
されている検査済みウェハW2のうち修理が必要なウェ
ハを1枚ずつローディング用アーム搬送機構F2によっ
てレーザ加エステージ機構45に供給すると共に、修理
済みのウェハを未検査キャリアに2の元の位置に戻すよ
うな動作をする。
かくしてレーザリペア装置41のウェハ供給/排出部5
6にセットされた検査済みキャリアW2の全てのウェハ
について修理が終了すると、レーザリペア装置41はキ
ャリア搬送手段F3によって当該修理済みキャリアに3
をキャリアアンローディング部33に排出する。
6にセットされた検査済みキャリアW2の全てのウェハ
について修理が終了すると、レーザリペア装置41はキ
ャリア搬送手段F3によって当該修理済みキャリアに3
をキャリアアンローディング部33に排出する。
このようにしてレーザリペア装置41は、ウェハ供給/
排出部56に検査済みキャリアに2がセットされている
状態にあるとき、さらに新たな検査済みキャリアに2が
ウェハ検査装置ユニット12又は13から排出されて来
たときには、当該検査済みキャリアに2をバッファ部5
5に一時保留し、ウェハ供給/排出部56にセットされ
た検査済みキャリアに2の修理が終了するのを待ら受ζ
Jさせる。
排出部56に検査済みキャリアに2がセットされている
状態にあるとき、さらに新たな検査済みキャリアに2が
ウェハ検査装置ユニット12又は13から排出されて来
たときには、当該検査済みキャリアに2をバッファ部5
5に一時保留し、ウェハ供給/排出部56にセットされ
た検査済みキャリアに2の修理が終了するのを待ら受ζ
Jさせる。
第3図の構成によれば、第1及び第2段目のウェハ検査
装置ユニット12及び13にそれぞれ未検査キャリアに
1がセットされている状態において、同時に4つの検査
ステージ機構14A、14B及び24A、24Bにおい
てウェハの検査をなし得る。これと共に、第2段目のウ
ェハ検査装置ユニット13における検査が終了したとき
には直ちに当該検査が終了した検査済みキャリアに2を
レーザリペア装置41に排出させた後、第1段目のウェ
ハ検査装置ユニット12にセットされている未検査キャ
リアに1を第2段目のウェハ検査装置ユニット13に移
送すると共に、直ちに未検査ウェハW1を収納している
新たな未検査キャリアに1を第1段目のウェハ検査装置
ユニッ1−12に取り込むことによって、実質上途切れ
ることなく未検査ウェハWlについての検査をなし得る
。
装置ユニット12及び13にそれぞれ未検査キャリアに
1がセットされている状態において、同時に4つの検査
ステージ機構14A、14B及び24A、24Bにおい
てウェハの検査をなし得る。これと共に、第2段目のウ
ェハ検査装置ユニット13における検査が終了したとき
には直ちに当該検査が終了した検査済みキャリアに2を
レーザリペア装置41に排出させた後、第1段目のウェ
ハ検査装置ユニット12にセットされている未検査キャ
リアに1を第2段目のウェハ検査装置ユニット13に移
送すると共に、直ちに未検査ウェハW1を収納している
新たな未検査キャリアに1を第1段目のウェハ検査装置
ユニッ1−12に取り込むことによって、実質上途切れ
ることなく未検査ウェハWlについての検査をなし得る
。
かくして実用上レーザリペア装置41の単位時間当たり
の処理枚数に相当する検査済みウェハW2を排出できる
ような段数のウェハ検査装置ユニットを設ければ、ウェ
ハ検査装置11及びレーザリペア装置41が常時連続的
に稼動し得るような運転効率の良い自動処理系を構成す
ることができる。
の処理枚数に相当する検査済みウェハW2を排出できる
ような段数のウェハ検査装置ユニットを設ければ、ウェ
ハ検査装置11及びレーザリペア装置41が常時連続的
に稼動し得るような運転効率の良い自動処理系を構成す
ることができる。
かくするにつき第2図について上述したと同様にして保
守が容易なウェハ検査装置を実現し得る。
守が容易なウェハ検査装置を実現し得る。
(dl第4の実施例
第4図は第5図の従来の構成に対して、その単位時間当
たりのウェハの検査枚数を倍増させ得るように構成した
ウェハ検査装置61を示す。
たりのウェハの検査枚数を倍増させ得るように構成した
ウェハ検査装置61を示す。
この場合ウェハ検査装置61は、ウェハ搬送装置62を
挟んで両側に一対の検査ステージ機構63A及び63B
を有する。ウェハ搬送装置62は、その一端部に例えば
25枚の未検査ウェハを収納する供給キャリア64が固
定装着されると共に、他端部に検査済みウェハを収納す
る収納キャリア65が固定装着されるようになされてい
る。
挟んで両側に一対の検査ステージ機構63A及び63B
を有する。ウェハ搬送装置62は、その一端部に例えば
25枚の未検査ウェハを収納する供給キャリア64が固
定装着されると共に、他端部に検査済みウェハを収納す
る収納キャリア65が固定装着されるようになされてい
る。
供給キャリア64に収納されている未検査ウェハは、ベ
ルトa送機構Glによって1枚ずつ取り出されてウェハ
供給/排出部66に搬送される。
ルトa送機構Glによって1枚ずつ取り出されてウェハ
供給/排出部66に搬送される。
かくしてウェハ供給/排出部66に供給された未検査ウ
ェハは、ローディング用アーム搬送機構G21又はG2
2によって選択的に検査ステージ機構63A又は63B
にローディングされる。
ェハは、ローディング用アーム搬送機構G21又はG2
2によって選択的に検査ステージ機構63A又は63B
にローディングされる。
この実施例の場合ローディング用アーム搬送機構021
及びG22は、検査ステージ機構63A及び63Bの両
方にウェハが供給されていない状態にあるときには、ロ
ーディング用アーム搬送機構021が優先的にウェハ供
給/排出部66に搬送されて来た未検査ウェハを検査ス
テージ機構63Aに供給するようになされ、これに対し
て検査ステージ機構63A又は63Bのいずれか一方に
未検査ウェハが供給されていないときには、当該供給さ
れていない検査ステージ機構63A又は63Bに対応す
るローディング用アーム搬送機構G21又はG22がウ
ェハ供給/排出部66の未検査ウェハを対応する検査ス
テージ機構63A及び63Bに供給し得るようになされ
ている。
及びG22は、検査ステージ機構63A及び63Bの両
方にウェハが供給されていない状態にあるときには、ロ
ーディング用アーム搬送機構021が優先的にウェハ供
給/排出部66に搬送されて来た未検査ウェハを検査ス
テージ機構63Aに供給するようになされ、これに対し
て検査ステージ機構63A又は63Bのいずれか一方に
未検査ウェハが供給されていないときには、当該供給さ
れていない検査ステージ機構63A又は63Bに対応す
るローディング用アーム搬送機構G21又はG22がウ
ェハ供給/排出部66の未検査ウェハを対応する検査ス
テージ機構63A及び63Bに供給し得るようになされ
ている。
か(して検査ステージ機構63A又は63Bに供給され
た未検査ウェハの検査が終了すると、対応するローディ
ング用アーム搬送機構G21又はG22によって当該検
査済みウェハがウェハ供給/排出部66に排出される。
た未検査ウェハの検査が終了すると、対応するローディ
ング用アーム搬送機構G21又はG22によって当該検
査済みウェハがウェハ供給/排出部66に排出される。
このときベルト搬送機構G3がウェハ供給/排出部66
に排出されて来た検査済みウェハを収納キャリヤ65の
所定位置に収納して行(。
に排出されて来た検査済みウェハを収納キャリヤ65の
所定位置に収納して行(。
第4図の構成によれば、検査ステージ機構63A及び6
3Bに共通に設けられたウェハ搬送装置62に供給キャ
リア64が装着された時、この供給キャリア64に収納
されている未検査ウェハが1枚ずつ検査ステージ機構6
3A又は63Bに供給されることにより、実質上同時に
2つの検査ステージ機構63A及び63Bにおいて未検
査ウェハの検査処理が実行される。
3Bに共通に設けられたウェハ搬送装置62に供給キャ
リア64が装着された時、この供給キャリア64に収納
されている未検査ウェハが1枚ずつ検査ステージ機構6
3A又は63Bに供給されることにより、実質上同時に
2つの検査ステージ機構63A及び63Bにおいて未検
査ウェハの検査処理が実行される。
従ってウェハ検査装置61全体として見たとき、単位時
間当たりに検査し得る枚数は、第5図の場合と比較して
倍増させることができる。
間当たりに検査し得る枚数は、第5図の場合と比較して
倍増させることができる。
かくするにつき、ウェハ搬送装置62を一対の検査ステ
ージ機構63A及び63Bに対して共通に設けるように
したことにより、第5図の構成を2系列設ける場合と比
較して設置床面積を一段と低減することができる。
ージ機構63A及び63Bに対して共通に設けるように
したことにより、第5図の構成を2系列設ける場合と比
較して設置床面積を一段と低減することができる。
(81他の実施例
(11上述の実施例においては、ウェハ搬送装置17及
び27(第1図及び第2図)、62(第4図)において
、ウェハを1枚ずつ搬送するにつき、ベルト搬送機構を
用いた実施例について述べたが、搬送方式としてはこれ
に限らず例えば空気浮上方式などの他の構成のものを用
いても上述の場合と同様の効果を得ることができる。
び27(第1図及び第2図)、62(第4図)において
、ウェハを1枚ずつ搬送するにつき、ベルト搬送機構を
用いた実施例について述べたが、搬送方式としてはこれ
に限らず例えば空気浮上方式などの他の構成のものを用
いても上述の場合と同様の効果を得ることができる。
(2)第1図、第2図、第3図の実施例においては、ウ
ェハ搬送装置11として2段のウェハ検査装置ユニット
12.13及び51.52を順次連結するように接続し
た構成について述べたが、ウェハ検査装置ユニットの連
結段数はこれに限らず、後段に接続されるウェハ処理装
置(上述の実施例の場合レーザリペア装置41)の処理
速度に応じて3段以上複数段を設けるようにしても良い
。
ェハ搬送装置11として2段のウェハ検査装置ユニット
12.13及び51.52を順次連結するように接続し
た構成について述べたが、ウェハ検査装置ユニットの連
結段数はこれに限らず、後段に接続されるウェハ処理装
置(上述の実施例の場合レーザリペア装置41)の処理
速度に応じて3段以上複数段を設けるようにしても良い
。
(3) 上述の実施例においては、キャリアローディ
ング部31、ウェハ搬送装置17.27、キャリアアン
ローディング部33間(第1図)、キャリアローディン
グ部31、ウェハ搬送装置17.27、レーザリペア装
W41、キャリアアンローディング部33間(第2図)
、キャリアローディング部31、キャリア搬送装置51
.52、レーザリペア装置41間(第3図)を直接連結
するようにしたが、これに代え、間に保守作業用スペー
スを形成するための連結ユニットを介挿するようにして
も良い。
ング部31、ウェハ搬送装置17.27、キャリアアン
ローディング部33間(第1図)、キャリアローディン
グ部31、ウェハ搬送装置17.27、レーザリペア装
W41、キャリアアンローディング部33間(第2図)
、キャリアローディング部31、キャリア搬送装置51
.52、レーザリペア装置41間(第3図)を直接連結
するようにしたが、これに代え、間に保守作業用スペー
スを形成するための連結ユニットを介挿するようにして
も良い。
(4)第3図の実施例においては、第2段目のウェハ検
査装置ユニツ)13における検査が第1段目のウェハ検
査装置ユニット12における検査終了前に終了した場合
には、第2段目の検査済みキャリアに2を排出すると共
に第1段目の未検査キャリアに1を第2段目のウェハ検
査装置ユニット13に移送すると共に、第1段目のウェ
ハ検査装置ユニット12に新たな未検査キャリアKlを
取り込むようにした場合について述べたが、これに代え
、第1に、第1段目の未検査キャリアに1を移送させず
に第1段目のウェハ検査装置ユニッ1−12において全
ての未検査ウェハWlの検査を終了させるのを待って当
該検査済みキャリアに2を第2段目のキャリア搬送装置
52を通じて排出させた後、第2段目及び第1段目のウ
ェハ検査装置ユニット13及び12に順次新たな未検査
キャリアKlをセットするようにしても良い。
査装置ユニツ)13における検査が第1段目のウェハ検
査装置ユニット12における検査終了前に終了した場合
には、第2段目の検査済みキャリアに2を排出すると共
に第1段目の未検査キャリアに1を第2段目のウェハ検
査装置ユニット13に移送すると共に、第1段目のウェ
ハ検査装置ユニット12に新たな未検査キャリアKlを
取り込むようにした場合について述べたが、これに代え
、第1に、第1段目の未検査キャリアに1を移送させず
に第1段目のウェハ検査装置ユニッ1−12において全
ての未検査ウェハWlの検査を終了させるのを待って当
該検査済みキャリアに2を第2段目のキャリア搬送装置
52を通じて排出させた後、第2段目及び第1段目のウ
ェハ検査装置ユニット13及び12に順次新たな未検査
キャリアKlをセットするようにしても良い。
また第2に、検査終了した第2段目の検査済みキャリア
に2を排出させたとき、第1段目のウェハ供給/排出部
53に検査中のキャリアをセットした状態のまま、新た
に取り込んだ未検査キャリアに1を、第1段目のウェハ
供給/排出部53を素通りして第2段目のウェハ供給/
排出部54に搬送するようにしても良い。
に2を排出させたとき、第1段目のウェハ供給/排出部
53に検査中のキャリアをセットした状態のまま、新た
に取り込んだ未検査キャリアに1を、第1段目のウェハ
供給/排出部53を素通りして第2段目のウェハ供給/
排出部54に搬送するようにしても良い。
上述のように本発明によれば、一対の検査ステ−ジ機構
と、これらの一対の検査ステージ機構に対して未検査ウ
ェハを供給し又は検査済みウェハを排出させろウェハ搬
送装置又はキャリア搬送装置とを有するウェハ検査装置
ユニットを必要に応じた段数だけ連設できるように構成
したことにより、単位時間当たりのウェハの検査枚数を
必要に応じて増大させることができ、かくするにつき、
設置床面積を抑制することができろウェハ検査装置を容
易に実現し得る。
と、これらの一対の検査ステージ機構に対して未検査ウ
ェハを供給し又は検査済みウェハを排出させろウェハ搬
送装置又はキャリア搬送装置とを有するウェハ検査装置
ユニットを必要に応じた段数だけ連設できるように構成
したことにより、単位時間当たりのウェハの検査枚数を
必要に応じて増大させることができ、かくするにつき、
設置床面積を抑制することができろウェハ検査装置を容
易に実現し得る。
第1図は本発明によるウェハ検査装置の一実施例を示す
路線図、第2図、第3図、第4図はその他の実施例を示
す路線図、第5図、第6図、第7図は従来のウェハ検査
装置を示す路線図である。 11・・・・・・ウェハ検査装置、12.13・・・・
・・ウェハ検査装置ユニット、14A、14B、24A
、24B・・・・・・検査ステージ機構、15.25・
・・・・・ローディング機構、16.26・・・・・・
アーム搬送機構、17.27・・・・・・ウェハ搬送装
置、31・・・・・・キャリアローディング部、32・
・・・・・供給キャリア、33・・・・・・キャリアア
ンローディング部、34・・・・・・収納キャリア、4
1・・・・・・レーザリペア装置、42・・・・・・バ
ッファ部、45・・・・・・レーザ加工ステージ機構、
51.52・・・・・・キャリア搬送装置。
路線図、第2図、第3図、第4図はその他の実施例を示
す路線図、第5図、第6図、第7図は従来のウェハ検査
装置を示す路線図である。 11・・・・・・ウェハ検査装置、12.13・・・・
・・ウェハ検査装置ユニット、14A、14B、24A
、24B・・・・・・検査ステージ機構、15.25・
・・・・・ローディング機構、16.26・・・・・・
アーム搬送機構、17.27・・・・・・ウェハ搬送装
置、31・・・・・・キャリアローディング部、32・
・・・・・供給キャリア、33・・・・・・キャリアア
ンローディング部、34・・・・・・収納キャリア、4
1・・・・・・レーザリペア装置、42・・・・・・バ
ッファ部、45・・・・・・レーザ加工ステージ機構、
51.52・・・・・・キャリア搬送装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一対の検査ステージ機構と、上記一対の検査ステージ機
構に対してそれぞれ1枚ずつ未検査ウェハを供給すると
共に検査済みウェハを排出するローディング機構と、上
記ローディング機構に対して上記未検査ウェハを外部か
ら搬送すると共に上記ローディング機構から排出された
上記検査済みウェハを外部へ搬送するウェハ搬送装置と
をそれぞれ有する複数段のウェハ検査装置ユニットを具
え、上記複数段の検査装置ユニットの上記ウェハ搬送装
置を順次連結した ことを特徴とするウェハ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62065038A JPS63229836A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | ウエハ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62065038A JPS63229836A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | ウエハ検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63229836A true JPS63229836A (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=13275391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62065038A Pending JPS63229836A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | ウエハ検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63229836A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02144333A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-06-04 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板搬送装置 |
JPH02197119A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-08-03 | Tel Sagami Ltd | 熱処理炉用基板保持具の搬送装置 |
JPH02265255A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-30 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置システム |
JPH0340439A (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の組立装置 |
JPH043955A (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-08 | Fujitsu Ltd | ウェーハの連続処理装置及び連続処理方法 |
JPH04137613A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Handotai Process Kenkyusho:Kk | 半導体装置の製造装置 |
WO2005057648A1 (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-23 | Tokyo Electron Limited | 基板処理装置 |
JP6411692B1 (ja) * | 2018-08-02 | 2018-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査システム |
WO2019017050A1 (ja) * | 2017-07-19 | 2019-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5619635A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-24 | Hitachi Ltd | Manufacturing apparatus |
JPS57134946A (en) * | 1981-02-16 | 1982-08-20 | Toshiba Corp | Carrying device for semiconductor substrate |
JPS61168236A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | ウエハ検査装置 |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP62065038A patent/JPS63229836A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5619635A (en) * | 1979-07-27 | 1981-02-24 | Hitachi Ltd | Manufacturing apparatus |
JPS57134946A (en) * | 1981-02-16 | 1982-08-20 | Toshiba Corp | Carrying device for semiconductor substrate |
JPS61168236A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | ウエハ検査装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02144333A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-06-04 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板搬送装置 |
JPH02197119A (ja) * | 1989-01-26 | 1990-08-03 | Tel Sagami Ltd | 熱処理炉用基板保持具の搬送装置 |
JPH02265255A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-10-30 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置システム |
JPH0340439A (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の組立装置 |
JP2546027B2 (ja) * | 1990-04-20 | 1996-10-23 | 富士通株式会社 | ウェーハの連続処理装置及び連続処理方法 |
JPH043955A (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-08 | Fujitsu Ltd | ウェーハの連続処理装置及び連続処理方法 |
JPH04137613A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-12 | Handotai Process Kenkyusho:Kk | 半導体装置の製造装置 |
WO2005057648A1 (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-23 | Tokyo Electron Limited | 基板処理装置 |
WO2019017050A1 (ja) * | 2017-07-19 | 2019-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
JP2019021804A (ja) * | 2017-07-19 | 2019-02-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
US11067624B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-07-20 | Tokyo Electron Limited | Inspection system |
JP6411692B1 (ja) * | 2018-08-02 | 2018-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査システム |
JP2019004157A (ja) * | 2018-08-02 | 2019-01-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査システム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100465249B1 (ko) | 웨이퍼 처리장치 | |
US7800393B2 (en) | Electronic device test apparatus for successively testing electronic devices | |
JPS63229836A (ja) | ウエハ検査装置 | |
JP2004260129A (ja) | 基板処理装置および基板処理装置における基板搬送方法および基板処理方法 | |
US6831454B2 (en) | Indexing device in semiconductor device handler and method for operating the same | |
US8306646B2 (en) | Coating and developing apparatus, coating and developing method, and storage medium | |
KR100461225B1 (ko) | 워크의 테이핑 시스템 | |
US5686834A (en) | Handling system | |
KR100444790B1 (ko) | 반도체 제품 제조 장치 | |
JPH07101706B2 (ja) | ウェーハの連続処理装置及び連続処理方法 | |
US6300584B1 (en) | Loading/unloading control apparatus of semiconductor device and control method thereof | |
US7032739B2 (en) | Intermediate product carrying apparatus, and intermediate product carrying method | |
US6809510B2 (en) | Configuration in which wafers are individually supplied to fabrication units and measuring units located in a fabrication cell | |
JP2616218B2 (ja) | 搬送装置を有する調整検査装置 | |
KR100592132B1 (ko) | 제조 장치 및 제조 방법 | |
JPH082660A (ja) | ワーク搬送装置 | |
JPH0222837A (ja) | ウエハプロービング装置 | |
WO2019245354A1 (ko) | 소자소팅장치 | |
JP2541544B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
WO2021205918A1 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR100402312B1 (ko) | 모듈 아이씨 테스트 핸들러의 스택커 제어방법 | |
JPH046601B2 (ja) | ||
JPS6273631A (ja) | 半導体製造装置 | |
JPH07159488A (ja) | 半導体製造装置および半導体装置の仕分け方法 | |
JP2005197434A (ja) | 搬送システムおよび半導体製造システム |