JP2018529999A - 物体マッピング及び/又は瞳マッピングのための光学系 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2015年9月24日に出願された独国特許出願第10 2015 218 328.9号の優先権を主張するものであり、直接引用することにより、その内容全体を本願の明細書に援用する。
Claims (20)
- 光軸(16;46)、絞り面(18;38)、及び像面(20;40)を持ち、また、各々が少なくとも1つのレンズ素子を持つ3つのレンズ素子群(14a、b、c;42a、b、c)を有するレンズ素子系(11;37)を持ち、前記レンズ素子群は前記絞り面(18;38)と前記像面(20;40)との間に光軸(16;46)に沿って相互に離間されて配置され、前記3つのレンズ素子群(14a、b、c;42a、b、c)は、第一のレンズ素子材料及び/又は前記第一のレンズ素子材料と異なる第二のレンズ素子材料を有する、物体結像及び/又は瞳結像のための光学系(10)において、前記レンズ素子系(11;37)は、少なくとも1つのレンズ素子を持つ1つの別のレンズ素子群(14d;42d)をさらに有するフーリエ光学ユニット(12;36)として具現化され、前記別のレンズ素子群は、前記絞り面(18;38)と前記像面(20;40)との間で前記光軸(16;46)に沿って前記3つのレンズ素子群(14a、b、c;42a、b、c)から離して配置され、前記第一のレンズ素子材料及び/又は前記第二のレンズ素子材料を有し、前記フーリエ光学ユニット(12;36)の前記4つのレンズ素子群のうちの2つ(14a、c;42b、d)は、物体結像及び/又は瞳結像の縦色収差に関する第一及び第二の色アンダー補正レンズ素子群として具現化され、前記フーリエ光学ユニット(12;36)の前記4つのレンズ素子群のうちの残りの2つ(14b、d;42a、c)は、第一及び第二の色オーバー補正レンズ素子群として具現化され、前記フーリエ光学ユニット(12;36)は、それぞれ色アンダー補正及び色オーバー補正レンズ素子群の交互の連続を有することを特徴とする光学系。
- 前記第一及び/又は前記第二の色アンダー補正レンズ素子群(14a、c;42b、d)はそれぞれ、1つのレンズ素子のみ、好ましくは正の屈折力を持つ収束レンズ素子(22)を有することを特徴とする、請求項1に記載の光学系。
- 前記第一及び/又は前記第二の色アンダー補正レンズ素子群(14a、c;42b、d)はそれぞれ、1種類の材料のみ、好ましくは前記第一又は前記第二のレンズ素子材料を有することを特徴とする、請求項1又は2に記載の光学系。
- 前記第一及び/又は前記第二の色オーバー補正レンズ素子群(14b、d;42a、c)はそれぞれ、少なくとも2つのレンズ素子、好ましくは正の屈折力を持つ収束レンズ素子(32)と負の屈折力を有する発散レンズ素子(34)を有することを特徴とする、請求項1〜3の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第一及び/又は前記第二の色オーバー補正レンズ素子群(14b、d;42a、c)はそれぞれ、2種類の材料、好ましくは前記第一及び前記第二のレンズ素子材料を有することを特徴とする、請求項1〜4の何れか1項に記載の光学系。
- 物体及び/又は射出瞳が前記絞り面(18;38)から無限遠に置かれている場合に、前記絞り面(18;38)と結像領域(20a;50)は実質的に同じ大きさであることを特徴とする、請求項1〜5の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第一の色アンダー補正レンズ素子群(14a)は、前記絞り面(18)から見て、前記第二の色アンダー補正レンズ素子群(14c)の上流と前記第一及び前記第二の色オーバー補正レンズ素子群(14b、d)の上流に配置されることを特徴とする、請求項1〜6の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第一の色アンダー補正レンズ素子群(14a)は、正の屈折力を持ち、前記絞り面(18)に面する凸面(22a)を有する平凸収束レンズ素子(22)として具現化されることを特徴とする、請求項1〜7の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第二の色アンダー補正レンズ素子群(14c)は、正の屈折力を有する両凸収束レンズ素子(30)として具現化され、前記第一の色アンダー補正レンズ素子群(14a)は、前記絞り面(18)から見て、前記第二の色アンダー補正レンズ素子群(14c)の上流と前記第一及び前記第二の色オーバー補正レンズ素子群(14b、d)の上流に配置されることを特徴とする、請求項1〜8の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第一の色オーバー補正レンズ素子群(14b)は、前記絞り面(18)から見て、前記第二の色オーバー補正レンズ素子群(14d)の上流に配置されることを特徴とする、請求項1〜9の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第一の色オーバー補正レンズ素子群(14b)は、前記絞り面(18)から連続して、前記絞り面(18)と反対に面する凹面(24a)を持つ平凹発散レンズ素子(24)と、両凸収束レンズ素子(26)と、両凹発散レンズ素子(28)と、を有し、前記両凸収束レンズ素子(26)は、前記光軸(16)に沿って前記平凹発散レンズ素子(24)から離れた位置で前記両凹発散レンズ素子(28)に結合されることを特徴とする、請求項1〜10の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第二の色オーバー補正レンズ素子群(14d)は、前記絞り面(18)から連続して、前記絞り面(18)と反対に面する凸面(32a)を持つ平凸収束レンズ素子(32)と、前記光軸(16)に沿ってそれに結合された平凹発散レンズ素子(34)と、を有し、前記発散レンズ素子は前記絞り面(18)に面する凹面(34a)を有することを特徴とする、請求項1〜11の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第一の色オーバー補正レンズ素子群(42a)は、前記絞り面(38)から見て、前記第二の色オーバー補正レンズ素子群(42c)の上流と、前記第一及び前記第二の色アンダー補正レンズ素子群(42b、d)の上流に配置されることを特徴とする、請求項1〜6の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第一の色オーバー補正レンズ素子群(42a)は、前記絞り面(38)から連続して、前記絞り面(38)と反対に面する凹面(54a)を持つ平凹発散レンズ素子(54)と、前記光軸(46)に沿ってそれに結合された平凸収束レンズ素子(56)と、を有し、前記収束レンズ素子は前記絞り面(38)に面する凸面(56a)を有することを特徴とする、請求項1〜6又は13の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第二の色オーバー補正レンズ素子群(42c)は、前記絞り面(38)から連続して、両凹発散レンズ素子(60)と、両凸収束レンズ素子(62)と、前記絞り面(38)に面する凹面(64a)を持つ平凹発散レンズ素子(64)と、を有し、前記両凸収束レンズ素子(62)は、前記光軸(46)に沿って前記平凹発散レンズ素子(64)から離れた位置で前記両凹発散レンズ素子(60)に結合されることを特徴とする、請求項1〜6及び13〜14の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第一の色アンダー補正レンズ素子群(42b)は、前記絞り面(38)から見て、前記第二の色アンダー補正レンズ素子群(42d)の上流に配置されることを特徴とする、請求項1〜6及び13〜15の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第二の色アンダー補正レンズ素子群(42d)は、前記絞り面(38)と反対に面する凸面(66a)を有する、正の屈折力を持つ平凸収束レンズ素子(66)として具現化されることを特徴とする、請求項1〜6及び13〜16の何れか1項に記載の光学系。
- 前記第二の色アンダー補正レンズ素子群(42d)は、前記絞り面(38)の反対に面する凸面(66a)を有する、正の屈折力を有する平凸収束レンズ素子(66)として具現化されることを特徴とする、請求項1〜6及び13〜17の何れか1項に記載の光学系。
- 前記フーリエ光学ユニット(12;36)は、二酸化シリコン及び/又はフッ化カルシウムを有することを特徴とする、請求項1〜18の何れか1項に記載の光学系。
- 前記フーリエ光学ユニット(12;36)は、少なくとも1つの別の光学素子、例えば偏向ミラー又はビームスプリッタを有する、請求項1〜19の何れか1項に記載の光学系。
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