JPS6375719A - フ−リエ変換レンズ - Google Patents
フ−リエ変換レンズInfo
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- JPS6375719A JPS6375719A JP22150586A JP22150586A JPS6375719A JP S6375719 A JPS6375719 A JP S6375719A JP 22150586 A JP22150586 A JP 22150586A JP 22150586 A JP22150586 A JP 22150586A JP S6375719 A JPS6375719 A JP S6375719A
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- Japan
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- lens
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- lens system
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Links
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Landscapes
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明はフーリエ変換レンズに関する。
(従来の技術)
フーリエ変換レンズは、物体側の情報をフーリエ変換し
て結像するレンズとして知られている。
て結像するレンズとして知られている。
即ち、フーリエ変換レンズの物体側の焦点面に物体を置
いて、コヒーレントな光で照明すると、物体上の光強度
分布がフーリエ変換されて、像側の焦点面上に結像する
。このようなフーリエ変換レンズはフーリエ変換ホログ
ラムの作成のほか、近来はIC等の製品検査等への利用
が意図されているフーリエ変換レンズによるフーリエ変
換が高い空間周波数まで成立するためには、レンズ系の
焦点距離f、入射角θに対して理想像高りが、h=f
−SINθであることが必要である。通常の写真レンズ
での歪曲収差は像高h′に対してで表されるが、フーリ
エ変換レンズでは。
いて、コヒーレントな光で照明すると、物体上の光強度
分布がフーリエ変換されて、像側の焦点面上に結像する
。このようなフーリエ変換レンズはフーリエ変換ホログ
ラムの作成のほか、近来はIC等の製品検査等への利用
が意図されているフーリエ変換レンズによるフーリエ変
換が高い空間周波数まで成立するためには、レンズ系の
焦点距離f、入射角θに対して理想像高りが、h=f
−SINθであることが必要である。通常の写真レンズ
での歪曲収差は像高h′に対してで表されるが、フーリ
エ変換レンズでは。
で表される。即ち、フーリエ変換レンズでは写真レンズ
に比して、負の歪曲収差を故意に発生させる必要がある
。
に比して、負の歪曲収差を故意に発生させる必要がある
。
また、物体の寸法とスペクトル像の大きさの異なる非対
称なフーリエ変換レンズで、逆にスペクトル像から物体
像を再生する逆フーリエ変換を同一のレンズで行う場合
、このフーリエ変換レンズは1両方向からの光束に対し
て収差を補正する必要がある。
称なフーリエ変換レンズで、逆にスペクトル像から物体
像を再生する逆フーリエ変換を同一のレンズで行う場合
、このフーリエ変換レンズは1両方向からの光束に対し
て収差を補正する必要がある。
このような、両方向からの光束に対して収差を補正した
レンズ系は例えば持分 昭54−8306号に開示され
ている。
レンズ系は例えば持分 昭54−8306号に開示され
ている。
(発明が解決しようとする問題点)
この発明は、物体面が大きくスペクトル面が小さい非対
称で双方向からのフーリエ変換が可能なレンズ系であっ
て、従来よりもより大きなスペクトル面に対しても良好
な性能を持ち、また、物体面およびスペクトル面の両方
に対して、レンズ面からの距離を大きく取れるように改
良されたフーリエ変換レンズの提供を目的とする。
称で双方向からのフーリエ変換が可能なレンズ系であっ
て、従来よりもより大きなスペクトル面に対しても良好
な性能を持ち、また、物体面およびスペクトル面の両方
に対して、レンズ面からの距離を大きく取れるように改
良されたフーリエ変換レンズの提供を目的とする。
即ち、この発明によるフーリエ変換レンズでは物体側か
らの光束に対しては物体面、すなはち前側焦点面に入射
瞳を設定し、スペクトル側からの光束に対してはスペク
トル面、すなわち後側焦点面に入射瞳を設定する0両方
向からの光束に対して収差が補正され、理想像高はh=
f −SINθの関係を満足する。
らの光束に対しては物体面、すなはち前側焦点面に入射
瞳を設定し、スペクトル側からの光束に対してはスペク
トル面、すなわち後側焦点面に入射瞳を設定する0両方
向からの光束に対して収差が補正され、理想像高はh=
f −SINθの関係を満足する。
(問題点を解決するための手段)
以下、この発明を説明する。
この発明によるフーリエ変換レンズは5群構成のレンズ
系である。
系である。
第1群は1枚もしくは2枚のレンズからなり第1面は物
体側に向いた凹面である。この第1群は弱い正または負
のパワー、好ましくは弱い負のパワーを有する。第2群
は2枚の正レンズからなる、第3群は2枚の負レンズか
らなる。第4群は3枚の正レンズからなる。第5群は1
枚もしくは2枚のレンズからなり、最終面は像側に向い
た凹面である。この第5群も弱い正または負のパワー、
好ましくは弱い負のパワーを有する。これら5群は物体
側から順次、上記順序に配列される。
体側に向いた凹面である。この第1群は弱い正または負
のパワー、好ましくは弱い負のパワーを有する。第2群
は2枚の正レンズからなる、第3群は2枚の負レンズか
らなる。第4群は3枚の正レンズからなる。第5群は1
枚もしくは2枚のレンズからなり、最終面は像側に向い
た凹面である。この第5群も弱い正または負のパワー、
好ましくは弱い負のパワーを有する。これら5群は物体
側から順次、上記順序に配列される。
そして、このフーリエ変換レンズは、
f;レンズ系全体の合成焦点距離
f3;第3群の焦、直距離
R1f ;第1群の第1面の曲率半径
R5L ;第5群の最終面の曲率半径
D23;第2群と第3群の間の面間距離D34;第3群
と第4群の間の面間距離D5;第5群の最終面から後側
焦点までの距離とするとき、 (イ) −1,1f<R1f<−0,75f(ロ)
−1,Of<f3<−0,6f(ハ) +0
.3 f <R5L< + 0.6f(ニ) 0.2
5 f <D23+ D34 <0.6 f(ホ)
D5<0.6f の5条件を満足する。
と第4群の間の面間距離D5;第5群の最終面から後側
焦点までの距離とするとき、 (イ) −1,1f<R1f<−0,75f(ロ)
−1,Of<f3<−0,6f(ハ) +0
.3 f <R5L< + 0.6f(ニ) 0.2
5 f <D23+ D34 <0.6 f(ホ)
D5<0.6f の5条件を満足する。
(作 用)
以下の説明に於いては、物体側から入射しスペクトル面
にスペクトル像を形成する方向を正方向、スペクトル面
側から入射し、物体像を再生する方向を逆方向とよぶ。
にスペクトル像を形成する方向を正方向、スペクトル面
側から入射し、物体像を再生する方向を逆方向とよぶ。
条件(イ)は、(ロ)とともに正方向の球面収差、正弦
条件を補正し、逆方向のメリディオナル像面を補正する
ために必要な条件である。また、(ロ)の条件によりペ
ッツバール和が補正不足となるので、(イ)、(ハ)の
条件によりペッツバール和を下げている。(イ)の上限
値を越えると、正方向において高次の球面収差、コマ収
差を発生し、逆方向のメリディオナル像面を補正過剰に
してしまう。また、(イ)の下限値を越えると正方向の
球面収差が補正困雅となり、逆方向の非点収差が補正不
足となる。
条件を補正し、逆方向のメリディオナル像面を補正する
ために必要な条件である。また、(ロ)の条件によりペ
ッツバール和が補正不足となるので、(イ)、(ハ)の
条件によりペッツバール和を下げている。(イ)の上限
値を越えると、正方向において高次の球面収差、コマ収
差を発生し、逆方向のメリディオナル像面を補正過剰に
してしまう。また、(イ)の下限値を越えると正方向の
球面収差が補正困雅となり、逆方向の非点収差が補正不
足となる。
条件(ロ)は、(イ)とともに上記収差を補正するが、
また(ハ)、(ホ)とともに逆方向の球面収差、正弦条
件、非点収差を補正する条件で、(ロ)の上限値を越え
ると正方向では高次の球面収差、コマ収差を発生し、逆
方向では5強い外向性コマ収差を発生してしまう。また
、下限値を越えると正方向では球面収差が補正困難とな
り、逆方向では、球面収差、内向性コマ収差の補性不足
となる。
また(ハ)、(ホ)とともに逆方向の球面収差、正弦条
件、非点収差を補正する条件で、(ロ)の上限値を越え
ると正方向では高次の球面収差、コマ収差を発生し、逆
方向では5強い外向性コマ収差を発生してしまう。また
、下限値を越えると正方向では球面収差が補正困難とな
り、逆方向では、球面収差、内向性コマ収差の補性不足
となる。
条件(ハ)は(ホ)を満足した状態で、ペッツバール和
、逆方向の球面収差を補正′する条件で、(ハ)の上限
値を越えると、前記収差が補正不足となり、これを他の
面で補った場合、正方向では高次の球面収差、コマ収差
を発生し、逆方向では外向性コマ収差を発生してしまう
。下限値を越えると収差補正された状態で、レンズ系最
終面とスペクトル面との間の距離を確保できなくなる。
、逆方向の球面収差を補正′する条件で、(ハ)の上限
値を越えると、前記収差が補正不足となり、これを他の
面で補った場合、正方向では高次の球面収差、コマ収差
を発生し、逆方向では外向性コマ収差を発生してしまう
。下限値を越えると収差補正された状態で、レンズ系最
終面とスペクトル面との間の距離を確保できなくなる。
条件(ニ)の上限値を越えると物体面とレンズ系第1面
の距離を確保できなくなり、下限値を越えると逆方向の
光束の主光線が、第2群、第4群を通る高さが低くなり
、f−3INeの歪曲特性と正方向の球面収差を同時に
補正することが困難となる。
の距離を確保できなくなり、下限値を越えると逆方向の
光束の主光線が、第2群、第4群を通る高さが低くなり
、f−3INeの歪曲特性と正方向の球面収差を同時に
補正することが困難となる。
条件(ホ)の上限値を越えると(ハ)の条件で効果的に
収差補正することが、困難になる。
収差補正することが、困難になる。
上記5条件の範囲内では、各面の曲率半径を大きく取れ
るため、高次収差の発生を少なくして、高い性能を得る
ことができる。
るため、高次収差の発生を少なくして、高い性能を得る
ことができる。
(実 施 例)
以下、具体的な実施例を3例あげる。各実施例において
、riは物体側から数えて1番目のレンズ面の曲率半径
を示し、diは物体側から数えてj番目のレンズ面間距
離を示す、また、nは各レンズの屈折率を示す、使用°
コヒーレント光の波長入は632.8Pmである。
、riは物体側から数えて1番目のレンズ面の曲率半径
を示し、diは物体側から数えてj番目のレンズ面間距
離を示す、また、nは各レンズの屈折率を示す、使用°
コヒーレント光の波長入は632.8Pmである。
実施例1
この実施例のレンズ構成は第1図に示すように9枚構成
であり、f =100、正方向の入射光束のF=1.9
5、画角w=2°52′、逆方向の入射光束のF=10
、画角w=14°53′である。
であり、f =100、正方向の入射光束のF=1.9
5、画角w=2°52′、逆方向の入射光束のF=10
、画角w=14°53′である。
i ri di
nl −91,7363,2
51,618242−142,2836,13 3375,0497,801,802024−588,
9160,65 585,6037,801,802026210,63
819,42 7342,0683,251,52945869,75
012,02 9−104,3103,251,5294510193
,6421!]、38 11 −818.066 7.80 1
.8020212 −124.021
0.6513 185.383 7.80
1.802021/I −581,623
0,651585,3457,801,8020216
178,81125,26 1765,24714,961,618241842,
754 この例では、 R1f=rl、R5L=r18 、D2
3=d6、D34ミdlOである。また、D5即ち第1
8面とスペクトル面S2とのあいだの距離は、39.6
6 =0.3966・f、第1面と物体面S1との間の
距離は39.35 =0.3935・fである。さらに
、第1.第3、第5群の焦点距離f】、 f3. f5
は、それぞれ、 −428,2,−62,98、−26
8,94である。また、D23+034=38.8=0
.388 fである。
nl −91,7363,2
51,618242−142,2836,13 3375,0497,801,802024−588,
9160,65 585,6037,801,802026210,63
819,42 7342,0683,251,52945869,75
012,02 9−104,3103,251,5294510193
,6421!]、38 11 −818.066 7.80 1
.8020212 −124.021
0.6513 185.383 7.80
1.802021/I −581,623
0,651585,3457,801,8020216
178,81125,26 1765,24714,961,618241842,
754 この例では、 R1f=rl、R5L=r18 、D2
3=d6、D34ミdlOである。また、D5即ち第1
8面とスペクトル面S2とのあいだの距離は、39.6
6 =0.3966・f、第1面と物体面S1との間の
距離は39.35 =0.3935・fである。さらに
、第1.第3、第5群の焦点距離f】、 f3. f5
は、それぞれ、 −428,2,−62,98、−26
8,94である。また、D23+034=38.8=0
.388 fである。
実施例 2
この実施例は、第2図に示すようにレンズ11枚構成で
あり、従ってR1f=rl、R5L=r22.D23=
d8、D34=d12である。f=100、正方向の入
射光束のF=1.55両角ド3°49二逆方向の入射光
束のF=7.5.画角W=18°50′である。
あり、従ってR1f=rl、R5L=r22.D23=
d8、D34=d12である。f=100、正方向の入
射光束のF=1.55両角ド3°49二逆方向の入射光
束のF=7.5.画角W=18°50′である。
i ri di
nl −87,5142,331,5
29452646,9581,00 3oolo、00 1.80202 4 −160.787 2.275
362.569 8.00 1.802026
−840.496 0.677
93.765 8.00 1.802
028 218.562 17.079
302.319 3.33 1.5
294510 80.789 12.33
11 −122.195 3.33
1.5294512 311.087 1
7.8613 −821.019 8.0
0 1.8020214 −131.51
9 0.6715 240.551
g、00 1.8020216 −9
56.964 0.6717 100.5
82 8.00 1.802021g
171.139 23.6919
68.990 10.00 1.8294220
165.176 4.1221
222.147 3.33 1.5294
522 45.349 物体面S1と第1面との間の距離は40.7=0.40
7・f、第22面とスペクトル面との間の距離すなわち
D5=40.24=0.4024・fである。また、第
1、第3、第5群の焦点距離fl、 f3.f5は、そ
れぞれ−618,4゜−89,45,−1207,1で
ある。 D23+D34=34.93=0.3493・
fである。
nl −87,5142,331,5
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302.319 3.33 1.5
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0 1.8020214 −131.51
9 0.6715 240.551
g、00 1.8020216 −9
56.964 0.6717 100.5
82 8.00 1.802021g
171.139 23.6919
68.990 10.00 1.8294220
165.176 4.1221
222.147 3.33 1.5294
522 45.349 物体面S1と第1面との間の距離は40.7=0.40
7・f、第22面とスペクトル面との間の距離すなわち
D5=40.24=0.4024・fである。また、第
1、第3、第5群の焦点距離fl、 f3.f5は、そ
れぞれ−618,4゜−89,45,−1207,1で
ある。 D23+D34=34.93=0.3493・
fである。
実施例 3
この実施例も、第2図に示すようにレンズ11枚構成で
あり、従ってR1f=rl、R5L=r22 、 D2
3=d8、D34=d12である。f =100、正方
向の入射光束のF=1、55.画角w=2”52?逆方
向の入射光束のF=10、両角w=18’50’である
。
あり、従ってR1f=rl、R5L=r22 、 D2
3=d8、D34=d12である。f =100、正方
向の入射光束のF=1、55.画角w=2”52?逆方
向の入射光束のF=10、両角w=18’50’である
。
i ri di
nl −81,2962,331
,5150921138,1341,00 31683゜191 6.66 1.798854
−188.991 0.135
327.277 6,66 1.798
856 −997.094 0.677
95.363 8.00 1.
798858 199.422 15.1
49 290.115 3.33
1.5150910 80.895 12.3
311 −130.454 3.33
1.5150912 290.017 1
5.6413 −755.472 8.00
1.7り88514 −133.846
0.6715 234.389 6
.66 1.7988516 −676.3
12 0.6717 103.653
6.66 1.7988518 18
0.631 23.4119 70.07
7 10.00 1.8395620
158.526 5.0921 241
.146 3.33 1.5150922
46.966 物体面S1と第1而との間の距離は47.23 =0.
4723・f、第22面とスペクトル面との間の距離す
なわちD5=43.95=0.4395φfである。ま
た、第1.第3、第5群の焦点距離fl、 f3.f5
は、それぞれ−526、896,−94,1118,−
1438,8471である。なお、第1図、第2図にお
いて符号10.20.30.40.50.はそれぞれ第
1.第2.第3.第4.第5群をしめす。
nl −81,2962,331
,5150921138,1341,00 31683゜191 6.66 1.798854
−188.991 0.135
327.277 6,66 1.798
856 −997.094 0.677
95.363 8.00 1.
798858 199.422 15.1
49 290.115 3.33
1.5150910 80.895 12.3
311 −130.454 3.33
1.5150912 290.017 1
5.6413 −755.472 8.00
1.7り88514 −133.846
0.6715 234.389 6
.66 1.7988516 −676.3
12 0.6717 103.653
6.66 1.7988518 18
0.631 23.4119 70.07
7 10.00 1.8395620
158.526 5.0921 241
.146 3.33 1.5150922
46.966 物体面S1と第1而との間の距離は47.23 =0.
4723・f、第22面とスペクトル面との間の距離す
なわちD5=43.95=0.4395φfである。ま
た、第1.第3、第5群の焦点距離fl、 f3.f5
は、それぞれ−526、896,−94,1118,−
1438,8471である。なお、第1図、第2図にお
いて符号10.20.30.40.50.はそれぞれ第
1.第2.第3.第4.第5群をしめす。
第3図ないし第8図に、収差図を示す6第3図及び第4
図は実施例 1の収差図、第5図及び第6図は実施例
2の収差図、第7図及び第8図は実施例 3の収差図で
ある。
図は実施例 1の収差図、第5図及び第6図は実施例
2の収差図、第7図及び第8図は実施例 3の収差図で
ある。
(発明の効果)
以上、本発明によれば新規なフーリエ変換レンズを提供
できる。このレンズ系は、従来よりもより大きなスペク
トル面に対しても良好な性能を持ち、また、物体面およ
びスペクトル面の両方に対して、レンズ面からの距離が
おおきい。
できる。このレンズ系は、従来よりもより大きなスペク
トル面に対しても良好な性能を持ち、また、物体面およ
びスペクトル面の両方に対して、レンズ面からの距離が
おおきい。
第1図及び第2図は本発明のレンズ構成をしめす図、第
3図ないし第8図は、収差図である。 10、、、第1群、 20.、、第2群、30.、、第
3群。 40、、、第4群、50.、。第5群 \□′ 傭 ] 図 莞Z図 #Jb図 (富力色イテ11の正方向9 軸1のm117差 偶 4図 (英カ七伊11の′&力1′1) 魂す図 (実力セイク12の正方向) 第0図 (実)上側Zの逆方向p 傭7図 (実兇例づの正方向)
3図ないし第8図は、収差図である。 10、、、第1群、 20.、、第2群、30.、、第
3群。 40、、、第4群、50.、。第5群 \□′ 傭 ] 図 莞Z図 #Jb図 (富力色イテ11の正方向9 軸1のm117差 偶 4図 (英カ七伊11の′&力1′1) 魂す図 (実力セイク12の正方向) 第0図 (実)上側Zの逆方向p 傭7図 (実兇例づの正方向)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1枚もしくは2枚のレンズからなり第1面が物体側に向
いた凹面である第1群と、2枚の正レンズからなる第2
群と、2枚の負レンズからなる第3群と、3枚の正レン
ズからなる第4群と、1枚もしくは2枚のレンズからな
り最終面が像側に向いた凹面である第5群とを、物体側
から上記順序に配列してなる、5群構成のレンズ系であ
って、f;レンズ系全体の合成焦点距離 f3;第3群の焦点距離 R1f;第1群の第1面の曲率半径 R5L;第5群の最終面の曲率半径 D23;第2群と第3群の間の面間距離 D34;第3群と第4群の間の面間距離 D5;第5群の最終面から後側焦点までの距離とすると
き、 (イ)−1.1f<R1f<−0.75f (ロ)−1.0f<f3<−0.6f (ハ)+0.3f<R5L<+0.6f (ニ)0.25f<D23+D34<0.6f(ホ)D
5<0.6f の5条件を満足することを特徴とする、フーリエ変換レ
ンズ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22150586A JPS6375719A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | フ−リエ変換レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22150586A JPS6375719A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | フ−リエ変換レンズ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6375719A true JPS6375719A (ja) | 1988-04-06 |
Family
ID=16767760
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22150586A Pending JPS6375719A (ja) | 1986-09-19 | 1986-09-19 | フ−リエ変換レンズ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6375719A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006339783A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | フーリエ変換光学装置及び光制御型フェーズドアレイアンテナ装置 |
JP2021039366A (ja) * | 2015-09-24 | 2021-03-11 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 物体マッピング及び/又は瞳マッピングのための光学系 |
-
1986
- 1986-09-19 JP JP22150586A patent/JPS6375719A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006339783A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | フーリエ変換光学装置及び光制御型フェーズドアレイアンテナ装置 |
JP4524403B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2010-08-18 | 三菱電機株式会社 | フーリエ変換光学装置及び光制御型フェーズドアレイアンテナ装置 |
JP2021039366A (ja) * | 2015-09-24 | 2021-03-11 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 物体マッピング及び/又は瞳マッピングのための光学系 |
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