JP2018174595A - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高音速材上に、低音速膜、圧電膜及びIDT電極が積層されており、IDT電極3において、第1,第2の電極指13,14の少なくとも一方において、長さ方向中央に比べて幅方向寸法が大きくされている太幅部13a〜13d,14a〜14dが中央領域よりも基端側および先端側のうちの少なくとも一方の側に設けられており、第1及び第2のバスバー11,12の少なくとも一方が、バスバー長さ方向に沿って分散配置された複数の開口部15を有し、第1及び第2のバスバー11,12の少なくとも一方が、開口部15よりも第1または第2の電極指13,14側に位置しており、第1及び第2のバスバー11,12の長さ方向に延びる内側バスバー部11Aと、開口部15が設けられている中央バスバー部11Bと、外側バスバー部11Cを有する、弾性波装置1。
【選択図】図1
Description
2…支持基板
3…IDT電極
4,5…反射器
7…高音速支持基板
7a…支持基板
7b…高音速膜
8…低音速膜
9…圧電膜
11…第1のバスバー
11A…内側バスバー部
11B…中央バスバー部
11C…外側バスバー部
12…第2のバスバー
12A…内側バスバー部
12B…中央バスバー部
12C…外側バスバー部
13…第1の電極指
13a,13b,13c,13d…太幅部
13e…突出部
13X…電極指
14…第2の電極指
14a,14b,14c,14d…太幅部
14e…突出部
15…開口部
16…連結部
16a…電極ストリップ
1011…第1のバスバー
V1〜V6…領域
V11〜V14…領域
Claims (13)
- 圧電膜を有する弾性波装置であって、
前記圧電膜を伝搬する弾性波の音速よりも、伝搬するバルク波音速が高速である高音速材と、
前記高音速材上に積層されており、前記圧電膜を伝搬する弾性波音速よりも伝搬するバルク波音速が低速である低音速膜と、
前記低音速膜上に積層された前記圧電膜と、
前記圧電膜の一方面に形成されているIDT電極とを備え、
前記IDT電極が、第1のバスバーと、前記第1のバスバーと隔てられて配置された第2のバスバーと、前記第1のバスバーに基端が電気的に接続されており、先端が前記第2のバスバーに向かって延ばされている複数本の第1の電極指と、前記第2のバスバーに基端が接続されており、先端が前記第1のバスバーに向かって延ばされている複数本の第2の電極指とを有し、
前記第1及び第2の電極指の延びる方向と直交する方向を幅方向としたときに、前記第1及び第2の電極指の少なくとも一方において、前記第1及び第2の電極指の長さ方向中央に比べて幅方向寸法が大きくされている太幅部が、中央領域よりも前記基端側および前記先端側のうちの少なくとも一方の側に設けられており、
前記第1及び第2のバスバーの少なくとも一方が前記第1または第2のバスバーの長さ方向に沿って分離配置された複数の開口部を有し、
前記第1及び第2のバスバーが、前記開口部よりも前記第1または第2の電極指側に位置しており、かつ前記第1及び第2のバスバーの長さ方向に延びる内側バスバー部と、前記開口部が設けられている中央バスバー部と、前記内側バスバー部に対して、前記中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部とを有する、弾性波装置。 - 前記内側バスバー部が、弾性波伝搬方向に延びる帯状の形状を有する、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1の電極指及び第2の電極指の双方に前記太幅部が設けられている、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記太幅部が、前記第1及び第2の電極指の少なくとも一方においてそれぞれ複数設けられている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極は、交叉幅重み付けが施されていない正規型のIDT電極である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1及び第2の電極指の先端と、前記第1及び第2の電極指の先端と対向している第2,第1のバスバーとの間の距離が、弾性表面波の波長をλとしたときに、0.5λ以下とされている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記高音速材を支持している支持基板をさらに備え、前記高音速材が高音速膜である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記高音速材が、高音速支持基板である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極内の少なくとも1本の電極指の極性が反転されており、極性が反転された前記電極指と、両隣の電極指との間が電極材料で埋められている、請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極がAlまたはAlを主体とする合金からなり、前記IDT電極の電極膜厚が、0.08λ以上である、請求項1〜9のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極の膜厚が、0.10λ以上、400nm以下である、請求項1〜10のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記高音速材がシリコン基板であり、その体積抵抗率は1000Ωcm以上である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記高音速材がシリコン基板であり、その体積抵抗率は4000Ωcm以上である、請求項1〜12のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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