JP7001172B2 - 弾性波装置及びラダー型フィルタ - Google Patents
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Description
2…圧電体
2a…第1の主面
3,3A…IDT電極
4…第1の櫛歯電極
4a…第1のバスバー
4a1…内側バスバー
4a2…中間バスバー
4a3…外側バスバー
4a4…開口
4b…第1の電極指
4c,5c…オフセット電極指
5…第2の櫛歯電極
5a…第2のバスバー
5a1…内側バスバー
5a2…中間バスバー
5a3…外側バスバー
5a4…開口
5b…第2の電極指
6…第1の誘電体膜
7…第2の誘電体膜
9a…第1のギャップ
9b…第2のギャップ
10a,10b…反射器
21,31,41,51,61,72,81…弾性波装置
42…支持基板
42A…高音速膜
43…低音速膜
44…圧電薄膜
45…圧電体
46…第1の誘電体膜
46a,47a…圧電体側誘電体膜
46b,47b…IDT電極側誘電体膜
47…第2の誘電体膜
62,63…第3の誘電体膜
71…ラダー型フィルタ
73,74…誘電体膜
82…太幅部
P1…並列腕共振子
S1,S2…直列腕共振子
Claims (15)
- 圧電体と、
前記圧電体上に設けられたIDT電極とを備え、
前記IDT電極が、第1のバスバーと、前記第1のバスバーと隔てられて設けられた第2のバスバーと、基端と、先端とを有するそれぞれ複数本の第1の電極指及び第2の電極指とを有し、前記複数本の第1の電極指と前記複数本の第2の電極指とが間挿し合っており、前記第1の電極指の前記基端が前記第1のバスバーに接続されており、前記第1の電極指の前記先端が前記第2のバスバーと第1のギャップを隔てて配置されており、前記複数本の第2の電極指の前記基端が前記第2のバスバーに接続されており、前記第2の電極指の前記先端が、前記第1のバスバーと第2のギャップを隔てて配置されており、
前記第1の電極指の先端部と前記圧電体との間から、前記第1のギャップを経て、前記第2のバスバーと前記圧電体との間に至るように設けられた第1の誘電体膜をさらに備え、
前記第2の電極指は、交叉幅の中央において前記圧電体と直接接触されており、
前記第1の誘電体膜の誘電率が、前記圧電体の誘電率よりも低い、弾性波装置。 - 前記第1のバスバー及び前記第2のバスバーが、前記第1の電極指または前記第2の電極指に接続されている内側バスバーと、前記内側バスバーよりも交叉幅方向において外側に位置している外側バスバーと、前記内側バスバーと前記外側バスバーとを連結している中間バスバーを含む領域とを有し、前記中間バスバーを含む領域の音速が、前記第1の電極指及び第2の電極指の前記先端部の音速よりも高い、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1の誘電体膜が、少なくとも、前記内側バスバーと、前記圧電体との間に至るように設けられている、請求項2に記載の弾性波装置。
- 前記第2の電極指の先端部と前記圧電体との間から前記第2のギャップを経て、前記第1のバスバーと前記圧電体との間に至るように設けられた第2の誘電体膜をさらに備え、
前記第1の電極指は、交叉幅の中央において前記圧電体と直接接触されており、
前記第2の誘電体膜の誘電率が、前記圧電体の誘電率よりも低い、請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記圧電体が、高音速部材と、圧電薄膜と、前記高音速部材と前記圧電薄膜との間に積層された低音速膜とを有し、
前記高音速部材を伝搬する弾性波の音速が、前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも高く、前記低音速膜を伝搬する弾性波の音速が、前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも低い、請求項1~4のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記高音速部材が、支持基板と、前記支持基板上に設けられた高音速膜とを有し、前記高音速膜を伝搬する弾性波の音速が、前記圧電薄膜を伝搬する弾性波の音速よりも高い、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記高音速部材が、高音速支持基板である、請求項5に記載の弾性波装置。
- 前記圧電体の逆速度面が凸であり、
前記第1の誘電体膜の音速が、前記圧電体を伝搬する弾性波の音速よりも低い、請求項1~7のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記第1の誘電体膜が、複数の誘電体膜が積層されている積層誘電体膜からなる、請求項1~8のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記積層誘電体膜が、前記圧電体側に配置された圧電体側誘電体膜と、前記圧電体側誘電体膜よりも前記IDT電極側に配置されたIDT電極側誘電体膜とを有する、請求項9に記載の弾性波装置。
- 前記圧電体側誘電体膜の音速が、前記IDT電極側誘電体膜の音速よりも速い、請求項10に記載の弾性波装置。
- 前記圧電体側誘電体膜の誘電率が、前記圧電体の誘電率よりも低く、前記IDT電極側誘電体膜の誘電率よりも高い、請求項10または11に記載の弾性波装置。
- 前記第1の誘電体膜が、前記IDT電極の前記第1のバスバー及び前記第2のバスバーの弾性波伝搬方向に沿った一部の領域に設けられている、請求項1~12のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記一部の領域を除いた残りの領域において、前記第1のバスバーと前記第2の電極指とが対向している部分に、前記第1の誘電体膜が設けられていない、請求項13に記載の弾性波装置。
- 請求項1~14のいずれか1項に記載の弾性波装置を共振子として用いた、ラダー型フィルタ。
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