JP2018120237A - 移動体装置及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板ステージ装置は、基板Pを非接触支持するエア浮上装置70と、エア浮上装置70により非接触支持された基板Pを保持する基板支持部材60と、基板支持部材60をエア浮上装置70に対して第1方向へ相対移動させる第1駆動部と、第1駆動部を支持した状態で、基板支持部材60とエア浮上装置70とを第1方向に交差する第2方向へ移動させる第2駆動部と、第2駆動部とエア浮上装置70とを支持するベース部と、を備え、第2駆動部は、エア浮上装置70がベース部に支持された状態で、第1駆動部とエア浮上装置70とをベース部に対して第2方向へ相対移動させる。
【選択図】図2
Description
以下、第1の実施形態について、図1〜図8(B)に基づいて説明する。
次に第2の実施形態に係る基板ステージ装置について図9及び図10に基づいて説明する。第2の実施形態の基板ステージ装置PSTaは、基板Pを支持する基板支持部材160をYステップ定盤50に対してX軸、Y軸、及びθz方向に微少駆動することができる点が異なる。なお、本第2の実施形態の基板ステージ装置PSTaにおいて、上記第1の実施形態の基板ステージ装置PST(図2参照)と同じ構成、及び機能を有する部材については、上記第1の実施形態と同じ符号を用いてその説明を省略する。
次に第3の実施形態について図11〜図13(A)に基づいて説明する。第3の実施形態は、上記第1の実施形態(図1など参照)に比べ、装置本体30、及び基板ステージ装置PSTの構成が異なる。なお、本第3の実施形態の装置本体130、及び基板ステージ装置PSTbにおいて、上記第1の実施形態と同じ構成、及び機能を有する部材については、上記第1の実施形態と同じ符号を用いてその説明を省略する。
次に、上記各実施形態に係る露光装置をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記実施形態の露光装置10では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
〈パターン形成工程〉
まず、上述した各実施形態に係る露光装置を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
〈カラーフィルタ形成工程〉
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
〈セル組み立て工程〉
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
〈モジュール組立工程〉
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
Claims (5)
- 物体を非接触支持する支持部と、
前記支持部により非接触支持された前記物体を保持する保持部と、
前記保持部を前記支持部に対して第1方向へ相対移動させる第1駆動部と、
前記第1駆動部を支持した状態で、前記保持部と前記支持部とを第1方向に交差する第2方向へ移動させる第2駆動部と、
前記第2駆動部と前記支持部とを支持するベース部と、を備え、
前記第2駆動部は、前記支持部が前記ベース部に支持された状態で、前記第1駆動部と前記支持部とを前記ベース部に対して前記第2方向へ相対移動させる移動体装置。 - 前記第1方向に関して前記支持部と並んで配置され、前記物体を非接触支持する非接触支持部とを備え、
前記第1駆動部は、前記支持部に支持された前記物体が前記非接触支持部に支持されるように前記保持部を前記第1方向へ移動させる請求項1に記載の移動体装置。 - 前記第2駆動部は、前記支持部を、前記非接触支持部に対して前記第2方向へ相対移動させる請求項2に記載の移動体装置。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置と、
エネルギビームにより前記物体を露光し前記物体上に所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 前記第1駆動部は、前記物体が移動されながら走査露光されるように、前記保持部を前記第1方向へ移動させる請求項4に記載の露光装置。
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