JP5201511B2 - ウエハの保持テーブル - Google Patents
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Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
P 回路パターン
T 保護テープ
DF ダイシングフレーム
DT ダイシングテープ
1 保持テーブル
2 テーブル本体
3 カッター溝
4 吸着溝
5 吸引孔
6 凹状部
7 穿孔部
8 通気孔
9 中空室
10 気体導入口
11 気体排出口
12 支持板
13 基板
14 ゴムシート
15 バルブ
16 バルブ
17 バルブ
18 蓋
19 吸着搬送体
20 吸着パッド
30 保護テープ貼り付け装置
31 機台
32 支持板
33 テープ供給リール
34 ガイドローラ
35 ダンサローラ
36 テンションアーム
37 軸ローラ
38 剥離ローラ
39 セパレータ
40 ガイドローラ
41 軸ローラ
42 テンションアーム
43 ダンサローラ
44 セパレータ巻き取りリール
45 貼り付けローラ
46 シリンダ
47 テープチャック
48 チャック兼剥離ローラ
49 ガイドローラ
50 ガイドローラ
51 ガイドローラ
52 テープ巻き取りリール
53 シリンダ
54 支柱
55 レール
56 支持枠
57 スライダ
58 カッター機構
59 レール
60 モータ固定板
61 モータ
62 シリンダ
63 カッター
70 リブ状外周部
71 金属膜
72 ノッチ
73 内周研削面
Claims (2)
- 裏面の外周部をリブ状に残して内周部が研削されたリブ状外周部と内周研削面とを有するウエハの表面側を上にしてテーブル本体上に載置保持するウエハの保持テーブルであって、前記保持テーブルを、前記テーブル本体上面の内側に設けられ、前記ウエハのリブ状外周部を保持する保持手段と、前記保持手段の内側に前記ウエハの内周研削面と対向するように形成された円形状の凹状部と、前記テーブル本体に設けられ、前記凹状部の底面下方で該凹状部と連通するように複数の通気孔が穿設された穿孔部と、気体の導入口及び排気口を有し、前記穿孔部の下方に前記通気孔と連通するように設けられた中空室と、前記凹状部内に嵌入されるとともに、この嵌入状態で前記凹状部内を浮上可能に設けられた支持板とで形成し、前記ウエハを載置保持する際に、前記保持手段でウエハのリブ状外周部を保持するとともに、前記導入口から中空室内への気体の導入によって前記通気孔から支持板面に向けて空気を噴出せしめるとともにその一部を排気口から排出することにより、該支持板を凹状部内で浮上させてウエハの内周研削面に接触するようにしたことを特徴とするウエハの保持テーブル。
- 請求項1記載のウエハの保持テーブルにおいて、前記保持テーブルに保持されたウエハ上に該ウエハよりも広幅の接着テープを引き出す接着テープ供給手段と、前記接着テープをウエハに押圧して貼り付ける貼り付けローラと、前記接着テープをウエハの外周に沿って切断する切断手段とを設け、前記ウエハに貼り付けローラで接着テープを押圧して貼り付けるとともにウエハの外周に沿って前記接着テープを切断するようにしたことを特徴とするウエハの保持テーブル。
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