JP2017228702A5 - - Google Patents

Description

本実施形態による伝熱板は、減圧雰囲気中において光源から発生するビームを成形または制御することにより搭載される部材に発生する熱を伝達する第１伝熱部と、第１伝熱部の周囲に設けられる第２伝熱部と、第１伝熱部を第２伝熱部に対して可動とし、第１伝熱部と第２伝熱部との間に接続される複数の第３伝熱部であって、第１および第２伝熱部の円周方向に設けられ、該第１および第２伝熱部を一体として接合し、可撓性のある複数の第３伝熱部とを備える。第３伝熱部は、それぞれ、少なくとも２つのアーム部と、アーム部間を接続し、第１伝熱部または２伝熱部と２つのアーム部のいずれか一方との間を接続する接続部とを備える。接続部は、アーム部よりも細い。

本実施形態による描画装置は、減圧雰囲気中において処理対象を載置可能なステージと、処理対象に照射する電子ビームを成形または制御するアパーチャ部材と、アパーチャ部材を搭載し、電子ビームの成形または制御によって発生する熱を伝達する伝熱板とを備え、伝熱板は、熱を伝達する第１伝熱部と、第１伝熱部の周囲に設けられた第２伝熱部と、第１伝熱部を第２伝熱部に対して可動とし、第１伝熱部と第２伝熱部との間を接続する複数の第３伝熱部であって、第１および第２伝熱部の円周方向に設けられ、該第１および第２伝熱部を一体として接合し、可撓性のある複数の第３伝熱部とを備える。第３伝熱部は、それぞれ、少なくとも２つのアーム部と、アーム部間を接続し、第１伝熱部または２伝熱部と２つのアーム部のいずれか一方との間を接続する接続部とを備える。接続部は、アーム部よりも細い。

Claims (4)

1. 減圧雰囲気中において光源から発生するビームを成形または制御することにより、搭載される部材に発生する熱を伝達する第１伝熱部と、
   前記第１伝熱部の周囲に設けられる第２伝熱部と、
   前記第１伝熱部を前記第２伝熱部に対して可動とし、前記第１伝熱部と前記第２伝熱部との間に接続される複数の第３伝熱部であって、前記第１および第２伝熱部の円周方向に設けられ、該第１および第２伝熱部を一体として接合し、可撓性のある複数の第３伝熱部とを備え、
   前記第３伝熱部は、それぞれ、
   少なくとも２つのアーム部と、
   前記アーム部間を接続し、前記第１伝熱部または前記２伝熱部と２つの前記アーム部のいずれか一方との間を接続する接続部とを備え、
   前記接続部は、前記アーム部よりも細い、伝熱板。
2. 前記第１から第３伝熱部は、同一材料で形成されている、請求項１に記載の伝熱板。
3. 前記第１から第３伝熱部は、積層された複数の材料板からなり、
   前記複数の材料板のうち前記第１伝熱部に対応する第１部材は一体に接合されており、前記第２伝熱部に対応する第２部材も一体に接合されており、
   前記複数の材料板のうち前記第３伝熱部に対応する第３部材は、それぞれ分離されている、請求項１または請求項２に記載の伝熱板。
4. 減圧雰囲気中において処理対象を載置可能なステージと、
   前記処理対象に照射する電子ビームを成形または制御するアパーチャ部材と、
   前記アパーチャ部材を搭載し、前記電子ビームの成形または制御によって発生する熱を伝達する伝熱板とを備え、
   前記伝熱板は、
   前記熱を伝達する第１伝熱部と、
   前記第１伝熱部の周囲に設けられた第２伝熱部と、
   前記第１伝熱部を前記第２伝熱部に対して可動とし、前記第１伝熱部と前記第２伝熱部との間を接続する複数の第３伝熱部であって、前記第１および第２伝熱部の円周方向に設けられ、該第１および第２伝熱部を一体として接合し、可撓性のある複数の第３伝熱部とを備え、
   前記第３伝熱部は、それぞれ、
   少なくとも２つのアーム部と、
   前記アーム部間を接続し、前記第１伝熱部または前記２伝熱部と２つの前記アーム部のいずれか一方との間を接続する接続部とを備え、
   前記接続部は、前記アーム部よりも細い、描画装置。