JP2017228702A5 - - Google Patents
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Description
本実施形態による伝熱板は、減圧雰囲気中において光源から発生するビームを成形または制御することにより搭載される部材に発生する熱を伝達する第1伝熱部と、第1伝熱部の周囲に設けられる第2伝熱部と、第1伝熱部を第2伝熱部に対して可動とし、第1伝熱部と第2伝熱部との間に接続される複数の第3伝熱部であって、第1および第2伝熱部の円周方向に設けられ、該第1および第2伝熱部を一体として接合し、可撓性のある複数の第3伝熱部とを備える。第3伝熱部は、それぞれ、少なくとも2つのアーム部と、アーム部間を接続し、第1伝熱部または2伝熱部と2つのアーム部のいずれか一方との間を接続する接続部とを備える。接続部は、アーム部よりも細い。
本実施形態による描画装置は、減圧雰囲気中において処理対象を載置可能なステージと、処理対象に照射する電子ビームを成形または制御するアパーチャ部材と、アパーチャ部材を搭載し、電子ビームの成形または制御によって発生する熱を伝達する伝熱板とを備え、伝熱板は、熱を伝達する第1伝熱部と、第1伝熱部の周囲に設けられた第2伝熱部と、第1伝熱部を第2伝熱部に対して可動とし、第1伝熱部と第2伝熱部との間を接続する複数の第3伝熱部であって、第1および第2伝熱部の円周方向に設けられ、該第1および第2伝熱部を一体として接合し、可撓性のある複数の第3伝熱部とを備える。第3伝熱部は、それぞれ、少なくとも2つのアーム部と、アーム部間を接続し、第1伝熱部または2伝熱部と2つのアーム部のいずれか一方との間を接続する接続部とを備える。接続部は、アーム部よりも細い。
Claims (4)
- 減圧雰囲気中において光源から発生するビームを成形または制御することにより、搭載される部材に発生する熱を伝達する第1伝熱部と、
前記第1伝熱部の周囲に設けられる第2伝熱部と、
前記第1伝熱部を前記第2伝熱部に対して可動とし、前記第1伝熱部と前記第2伝熱部との間に接続される複数の第3伝熱部であって、前記第1および第2伝熱部の円周方向に設けられ、該第1および第2伝熱部を一体として接合し、可撓性のある複数の第3伝熱部とを備え、
前記第3伝熱部は、それぞれ、
少なくとも2つのアーム部と、
前記アーム部間を接続し、前記第1伝熱部または前記2伝熱部と2つの前記アーム部のいずれか一方との間を接続する接続部とを備え、
前記接続部は、前記アーム部よりも細い、伝熱板。 - 前記第1から第3伝熱部は、同一材料で形成されている、請求項1に記載の伝熱板。
- 前記第1から第3伝熱部は、積層された複数の材料板からなり、
前記複数の材料板のうち前記第1伝熱部に対応する第1部材は一体に接合されており、前記第2伝熱部に対応する第2部材も一体に接合されており、
前記複数の材料板のうち前記第3伝熱部に対応する第3部材は、それぞれ分離されている、請求項1または請求項2に記載の伝熱板。 - 減圧雰囲気中において処理対象を載置可能なステージと、
前記処理対象に照射する電子ビームを成形または制御するアパーチャ部材と、
前記アパーチャ部材を搭載し、前記電子ビームの成形または制御によって発生する熱を伝達する伝熱板とを備え、
前記伝熱板は、
前記熱を伝達する第1伝熱部と、
前記第1伝熱部の周囲に設けられた第2伝熱部と、
前記第1伝熱部を前記第2伝熱部に対して可動とし、前記第1伝熱部と前記第2伝熱部との間を接続する複数の第3伝熱部であって、前記第1および第2伝熱部の円周方向に設けられ、該第1および第2伝熱部を一体として接合し、可撓性のある複数の第3伝熱部とを備え、
前記第3伝熱部は、それぞれ、
少なくとも2つのアーム部と、
前記アーム部間を接続し、前記第1伝熱部または前記2伝熱部と2つの前記アーム部のいずれか一方との間を接続する接続部とを備え、
前記接続部は、前記アーム部よりも細い、描画装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016124870A JP6640040B2 (ja) | 2016-06-23 | 2016-06-23 | 伝熱板および描画装置 |
US15/586,858 US10236158B2 (en) | 2016-06-23 | 2017-05-04 | Heat transfer plate and writing apparatus |
TW106118318A TWI651750B (zh) | 2016-06-23 | 2017-06-02 | 傳熱板及描繪裝置 |
KR1020170078095A KR101952699B1 (ko) | 2016-06-23 | 2017-06-20 | 전열판 및 묘화 장치 |
CN201710484203.6A CN107544214B (zh) | 2016-06-23 | 2017-06-23 | 传热板以及描绘装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016124870A JP6640040B2 (ja) | 2016-06-23 | 2016-06-23 | 伝熱板および描画装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017228702A JP2017228702A (ja) | 2017-12-28 |
JP2017228702A5 true JP2017228702A5 (ja) | 2019-01-24 |
JP6640040B2 JP6640040B2 (ja) | 2020-02-05 |
Family
ID=60675106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016124870A Active JP6640040B2 (ja) | 2016-06-23 | 2016-06-23 | 伝熱板および描画装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10236158B2 (ja) |
JP (1) | JP6640040B2 (ja) |
KR (1) | KR101952699B1 (ja) |
CN (1) | CN107544214B (ja) |
TW (1) | TWI651750B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7189794B2 (ja) * | 2019-02-12 | 2022-12-14 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
JP2022185486A (ja) * | 2021-06-02 | 2022-12-14 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | ブランキングアパーチャアレイユニット |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01104349A (ja) | 1987-10-15 | 1989-04-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 真空容器内極低温ステージ |
JP3683370B2 (ja) | 1997-01-10 | 2005-08-17 | 富士通株式会社 | 電子ビーム露光装置 |
JP2001177024A (ja) | 1999-12-21 | 2001-06-29 | Ts Heatronics Co Ltd | 熱拡散用複合プレート |
US6574026B2 (en) * | 2000-12-07 | 2003-06-03 | Agere Systems Inc. | Magnetically-packaged optical MEMs device |
JP2002198475A (ja) | 2000-12-26 | 2002-07-12 | Sekisui Chem Co Ltd | 熱伝導材および熱伝導材の製造方法 |
JP4464097B2 (ja) | 2003-09-29 | 2010-05-19 | キヤノン株式会社 | 配線構造および露光装置 |
JP2005140999A (ja) * | 2003-11-06 | 2005-06-02 | Nikon Corp | 光学系、光学系の調整方法、露光装置、および露光方法 |
CN1938646B (zh) * | 2004-01-20 | 2010-12-15 | 卡尔蔡司Smt股份公司 | 曝光装置和用于投影透镜的测量装置 |
DE602005012945D1 (de) * | 2005-07-20 | 2009-04-09 | Zeiss Carl Sms Gmbh | Teilchenstrahlbelichtungssystem und Vorrichtung zur Strahlbeeinflussung |
US7345287B2 (en) * | 2005-09-30 | 2008-03-18 | Applied Materials, Inc. | Cooling module for charged particle beam column elements |
JP5636238B2 (ja) * | 2010-09-22 | 2014-12-03 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
JP6136124B2 (ja) * | 2012-06-14 | 2017-05-31 | 株式会社富士通ゼネラル | 熱交換器の製造方法および熱交換器 |
US9018022B2 (en) * | 2012-09-24 | 2015-04-28 | Lam Research Corporation | Showerhead electrode assembly in a capacitively coupled plasma processing apparatus |
EP2765591B1 (en) * | 2013-02-08 | 2016-07-13 | FEI Company | Sample preparation stage |
NL2011401C2 (en) * | 2013-09-06 | 2015-03-09 | Mapper Lithography Ip Bv | Charged particle optical device. |
JP6190254B2 (ja) | 2013-12-04 | 2017-08-30 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 |
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2016
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-
2017
- 2017-05-04 US US15/586,858 patent/US10236158B2/en active Active
- 2017-06-02 TW TW106118318A patent/TWI651750B/zh active
- 2017-06-20 KR KR1020170078095A patent/KR101952699B1/ko active IP Right Grant
- 2017-06-23 CN CN201710484203.6A patent/CN107544214B/zh active Active
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