JP4464097B2 - 配線構造および露光装置 - Google Patents
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Description
上記の先行技術は例えば特許文献1及び2に開示されている。
さらに、本発明の配線構造においては、前記固定部品は、冷媒が流れる流路を有する、ことを特徴とする。
さらに、本発明の配線構造においては、前記遮蔽板は、前記固定部品に密着している、ことを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置においては、前記固定部品は、冷媒が流れる流路を有する、ことを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置においては、前記遮蔽板は、前記固定部品に密着している、ことを特徴とする。
さらに、本発明の露光装置においては、前記可動部は、可動ステージである、ことを特徴とする。
W=R×I×I (1)
で表される。
W=Ke・ΔTe
∴ΔTe=W/Ke (2)
で表される。
ステージに与える電流によっては、薄板部品1は、温度が上がりすぎて、薄板材料の融点に到達し溶断する場合も考えられる。また、発生したジュール熱は周囲にある部品の温度上昇を招く。
薄板部品1と固定部品2が密着し、熱伝導によりジュール熱Wは固定部品2の温度を上昇させる。
ΔTc=(W−Ke・ΔTc)/Rc
(1+Ke/Rc)ΔTc=W/Rc
∴ΔTc=W/(Rc+Ke) (3)
で表される。
Claims (11)
- 真空槽内で用いられる、可動部に対する配線構造であって、
一端が前記可動部に接続されベリリウム銅またはリン青銅を含む材料で形成された薄板部品と、
前記薄板部品の他端が接続された固定部品と、
前記固定部品を冷却する冷却手段と、
を有することを特徴とする配線構造。 - 前記冷却手段は、前記固定部品に接続された、冷媒供給ラインと冷媒回収ラインとを有する、ことを特徴とする請求項1に記載の配線構造。
- 前記固定部品は、冷媒が流れる流路を有する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の配線構造。
- 前記薄板部品および前記固定部品からの熱輻射を遮る遮蔽板を有する、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の配線構造。
- 前記遮蔽板は、前記固定部品に密着している、ことを特徴とする請求項4に記載の配線構造。
- 真空中で基板を露光する露光装置であって、
真空槽と、
前記真空槽内に配された可動部と
前記真空槽内に配され、一端が前記可動部に接続されベリリウム銅またはリン青銅を含む材料で形成された薄板部品と、
前記真空槽内に配され、かつ前記薄板部品の他端が接続された固定部品と、
前記固定部品を冷却する冷却手段と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 前記冷却手段は、前記固定部品に接続された、冷媒供給ラインと冷媒回収ラインとを有する、ことを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記固定部品は、冷媒が流れる流路を有する、ことを特徴とする請求項6または7に記載の露光装置。
- 前記真空槽内に配され、かつ前記薄板部品および前記固定部品からの熱輻射を遮る遮蔽板、を有することを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の露光装置。
- 前記遮蔽板は、前記固定部品に密着している、ことを特徴とする請求項9に記載の露光装置。
- 前記可動部は、可動ステージである、ことを特徴とする請求項6乃至10のいずれかに記載の露光装置。
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