JP2017003557A - 静電容量測定用のセンサチップ及び同センサチップを備えた測定器 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 静電容量測定用のセンサチップであって、
第1部分を有する第1電極と、
前記第1部分の上で延在する第2部分を有し、該センサチップ内において前記第1電極から絶縁された第2電極と、
前記第1部分及び前記第2部分に交差する方向に延びる前面を有し、前記第1部分の上且つ前記第2部分の上に設けられ、該センサチップ内において前記第1電極及び前記第2電極から絶縁された第3電極と、
を備えるセンサチップ。 - 前記第1電極及び前記第2電極は、前記第3電極の前記前面が配置されている領域の側で開口し、且つ、前記第3電極の周囲を囲むように延在している、請求項1に記載のセンサチップ。
- 前記センサチップは端面を更に備えており、
前記端面は、所定の曲率を有する曲面であり、
前記第3電極の前記前面は、前記端面に沿って延在している、
請求項1又は2に記載のセンサチップ。 - 前面及び下面を含む表面を有し、該表面において絶縁性を有する基板部を更に備え、
前記第3電極は、前記基板部の前記前面に沿って延在しており、
前記第2電極の前記第2部分は、前記基板部の前記下面に沿って延在している、
請求項1〜3の何れか一項に記載のセンサチップ。 - 前記基板部は絶縁材料から形成されている、請求項4に記載のセンサチップ。
- 前記絶縁材料は、ホウケイ酸ガラス、窒化シリコン、石英、又は、酸化アルミニウムである、請求項5に記載のセンサチップ。
- 静電容量を測定するための測定器であって、
ベース基板と、
前記ベース基板のエッジに沿って配列された複数のセンサチップであり、各々が請求項1〜6の何れか一項に記載のセンサチップである、該複数のセンサチップと、
前記ベース基板上に搭載された回路基板と、
を備え、
前記回路基板は、
前記第1電極に電気的に接続可能なグランド電位線と、
高周波信号を発生する高周波発振器であり、前記第2電極及び前記第3電極に電気的に接続された該高周波発振器と、
前記複数のセンサチップの各々の前記第3電極における電圧振幅を、静電容量を表す電圧信号に変換するC/V変換回路と、
前記C/V変換回路から出力される前記電圧信号をデジタル値に変換するA/D変換器と、
を有する、測定器。 - 前記回路基板は、
前記デジタル値を記憶するための記憶装置と、
前記記憶装置に記憶されたデジタル値を無線送信するための通信装置と、
を更に有する、請求項7に記載の測定器。 - 前記回路基板は、前記第1電極を前記グランド電位線に選択的に接続するためのスイッチを更に有する、請求項7又は8に記載の測定器。
- 前記ベース基板は、円盤形状を有しており、
前記複数のセンサチップの各々は、請求項3に記載されたセンサチップであり、
前記複数のセンサチップの各々の前記端面は、前記ベース基板のエッジに沿って設けられている、
請求項7〜9の何れか一項に記載の測定器。
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