CN105324715B - 保管容器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供实现吹扫气体的流速的均匀化的保管容器。保管容器(1)由具有收纳物品的收纳区域(S)的保管部(5)多层设置而成，具备供给吹扫气体的供给部(10)、遍及多个保管部(5)连通地设置而成为作为被从供给部供给的吹扫气体的流路的管道部(22)、以及将管道部(22)与收纳区域(S)连通并将吹扫气体导入收纳区域(S)的导入部(24)，在管道部(22)的吹扫气体的流路配置有扩散部件(32)。

Description

保管容器
技术领域
本发明涉及保管容器。
背景技术
对用于半导体等曝光的中间掩膜而言，在进行输送、保管时为了保护其远离尘、埃而需要保持为干净的状态。因此，在保管中间掩膜的保管容器中，向其内部供给吹扫气体(干净气体)(例如，参照专利文献1)。
专利文献1：日本专利4215079号公报
保管容器有将收纳中间掩膜的保管部上下重叠多层的结构。在这样的保管容器中，一般从一个位置的供给部向内部供给吹扫气体，经由遍及上下设置的流路向各保管部供给吹扫气体。在该情况下，在保管容器内中，在接近供给部的部分，吹扫气体的流速快，而在远离供给部的部分，吹扫气体的流速慢。因此，在保管容器中，吹扫气体的流速变得不均匀，其结果是，存在在保管部中的吹扫气体的气氛产生差异的顾虑。
发明内容
本发明的目的是提供一种实现吹扫气体的流速均匀化的保管容器。
本发明的一个方面的保管容器设有多层具有收纳物品的收纳区域的保管部，其特征在于，具备：供给部，其供给吹扫气体；管道部，其在多个保管部重叠的状态下遍及多个保管部地连通而成为从供给部供给的吹扫气体的流路；以及导入部，其将管道部与收纳区域连通并将吹扫气体向收纳区域导入，在管道部的吹扫气体的流路配置有扩散部件。
在该保管容器中，在管道部的吹扫气体的流路配置有扩散部件。由此，在保管容器中，吹扫气体通过扩散部件而被扩散。因此，在保管容器中，例如将扩散部件配置于流速快的部分，从而能够降低流速。因此，在保管容器中，能够实现吹扫气体的流速的均匀化。其结果是，在保管容器中，即使在通常流速快的部分，吹扫气体也能大范围地遍及，所以能够抑制各保管部的吹扫气体的气氛的差异。
在一实施方式中，扩散部件也可以是从管道部的内壁突出的板状的部件。由此，在保管容器中，能够通过简易的结构使吹扫气体扩散，所以能够通过简易的结构实现吹扫气体的流速的均匀化。
在一实施方式中，扩散部件可以配置于被从供给部供给的吹扫气体的流入方向的延长线上。吹扫气体在从供给部的流入方向流速变快。因此，将扩散部件配置于吹扫气体的流入方向的延长线上，由此能够有效地使吹扫气体扩散，能够有效能够实现流速的均匀化。
在一实施方式中，扩散部件可以设置于在供给部的附近配置的保管部。吹扫气体在接近供给部的部分的流速变快，在远离供给部的部分的流速变慢。因此，在保管容器中，将扩散部件设置于在供给部的附近配置的保管部。由此，在保管容器中，利用扩散部件使吹扫气体扩散，由此能够降低接近供给部的部分的吹扫气体的流速。因此，在保管容器中，能够很好地实现吹扫气体的流速的均匀化。
在一实施方式中，扩散部件的面积可以根据距供给部的距离而不同。如上述那样，吹扫气体在接近供给部的部分的流速变快，在远离供给部的部分的流速变慢。因此，在保管容器中，例如增大配置于接近供给部的位置的扩散部件的面积，由此能够更有效地使吹扫气体扩散。其结果是，在保管容器中，能够很好地实现吹扫气体的流速的均匀化。
根据本发明，能实现吹扫气体的流速的均匀化。
附图说明
图1是一实施方式的保管容器的主视图。
图2是图1所示的保管容器的侧视图。
图3是图1所示的保管容器的仰视图。
图4是图1所示的保管容器的俯视图。
图5是示出底部的立体图。
图6是示出保管部的立体图。
图7是示出底部与保管部重叠的状态的立体图。
图8是示出沿图7的VIII-VIII线处的剖面结构的图。
图9是示出沿图7的IX-IX线处的剖面结构的图。
图10是示出盖部的立体图。
图11是示出图10的XI-XI线处的剖面结构的图。
具体实施方式
以下，参照附图，详细说明本发明的优选实施方式。此外，在附图的说明中对相同或者相当的要素标注相同附图标记，并省略重复的说明。
图1是一实施方式的保管容器的主视图。图2是图1所示的保管容器的侧视图。图3是图1所示的保管容器的仰视图。图4是图1所示的保管容器的俯视图。各图所示的保管容器1例如是将中间掩膜(物品)保管在干净的气氛的容器。此外，保管于保管容器1的物品不限定于中间掩膜。
保管容器1具备底部3、保管部5、盖部7。保管部5上下层叠有多层(这里为11个)。在以下的说明中，将图1的左右作为“右”、“左”，将图2的左右作为“后”、“前”。
图5是示出底部的立体图。如图5所示，底部3是板状的部件。在底部3设置有向保管容器1内供给吹扫气体的供给部10。供给部10配置于底部3的后部且在左右方向的大致中央部。供给部10例如呈近似圆形，是贯通底部3的贯通孔。供给部10的形状没有特别限定，例如也可以是矩形、梯形。从未图示的供给源向供给部10供给吹扫气体。在底部3设置有与保管部5卡合的卡合部12a、12b。卡合部12a、12b是筒状的部件，在底部3的后部相互在左右方向分离而配置。
图6是示出保管部的立体图。如图6所示，保管部5具备侧部20a、20b、20c、20d、管道部22、导入部24。侧部20a～20d形成收纳中间掩膜的近似矩形的收纳区域S。在侧部20a～20d的内壁设置有支承中间掩膜的支承部26a、26b、26c、26d。在位于左右以及后部的侧部20a～20d的外侧设置有凸缘部28a、28b、28c。在凸缘部28c设置有与保管部5卡合的卡合部29a、29b。卡合部29a、29b是筒状的部件，在凸缘部28c上以相互在左右方向分离的方式配置。
管道部22形成吹扫气体的流路。管道部22配置于保管部5的后部，位于侧部20a与凸缘部28c之间。管道部22沿保管部5的左右方向设置。在管道部22设置有分隔部30a、30b、30c、30d。分隔部30a～30d在管道部22中沿左右方向空开规定的间隔而配置有多个(这里为4个)。管道部22在保管部5被层叠时与其它保管部5的管道部22连通。
图7是示出底部与保管部重叠的状态的立体图。在图7中，在底部3上层叠有2个保管部5。图8是示出图7的VIII-VIII线处的剖面结构的图。图9是示出图7的IX-IX线处的剖面结构的图。如图8所示，分隔部30a～30d沿上下方向延伸。分隔部30a～30d的下端部位于比保管部5的底面更靠上方。即，如图8所示，在保管部5被层叠的状态下，分隔部30a～30d与邻接的分隔部30a～30d之间形成空间。由此，在管道部22形成了沿左右方向流动吹扫气体的流路。
在本实施方式中，在上下层叠的多个保管部5中，在一部分的保管部5的管道部22设置有扩散部件32。具体而言，例如，在多个保管部5中，在配置于保管容器1的下部侧的保管部5的管道部22设置有扩散部件32。扩散部件32是从管道部22的内壁22a突出的板状的部件(突出片)，例如呈矩形。扩散部件32的形状没有特别限定，例如也可以是圆形、梯形。另外，也可以设置多个扩散部件32。
在本实施方式中，扩散部件32在底部3的与供给部10对应的位置即管道部22的中央部配置。即，扩散部件32在从供给部10供给的吹扫气体的流入方向的延长线上配置。
导入部24设置于侧部20a。导入部24是使管道部22与收纳区域S连通的切口部。导入部24设置于侧部20a的下端部，呈向下方开口的凹状。导入部24的形状没有特别限定，例如也可以是半圆形、梯形。导入部24以在左右方向空开规定的间隔的方式设置有多个(这里为12个)。吹扫气体从管道部22经由导入部24而被导入收纳区域S。
图10是示出盖部的立体图。图11是示出沿图10的XI-XI线处的剖面结构的图。如图1所示，盖部7配置于保管部5的最上部。盖部7具有盖板40、侧部42a、42b、42c、42d、管道部44、导入部46、导入孔48。
盖板40是板状的部件。盖板40的侧部42a、42b、42d的外侧作为凸缘部。侧部42a～42d形成收纳中间掩膜的近似矩形的收纳区域S。管道部44形成了吹扫气体的流路。管道部44配置于后部。管道部44在盖部7与保管部5重叠时，与保管部5的管道部22连通。
导入部46设置于侧部42a。导入部46是将管道部44与收纳区域S连通的切口部。导入部46设置于侧部42a的下端部，呈向下方开口的凹状。导入部46以在左右方向空开规定的间隔的方式设置有多个(这里为12个)。
导入孔48设置于侧部42a。导入孔48是将管道部44与收纳区域S连通起来的贯通孔。导入孔48设置于侧部42a的上端部，例如剖面呈矩形。导入孔48以在左右方向空开规定的间隔的方式设置有多个(这里为8个)。吹扫气体从管道部44经由导入部46以及导入孔48而被导入收纳区域S。
接着，对保管容器1的吹扫气体的流动进行说明。从底部3的供给部10向保管容器1供给吹扫气体。从供给部10供给的吹扫气体流入管道部22。此时，在保管部5的管道部22中，吹扫气体通过扩散部件32而被扩散。通过扩散部件32而被扩散的吹扫气体的流速降低，在管道部22中通过分隔部30a～30d的下部而扩散至管道部22整体。而且，吹扫气体经由导入部24，导入保管部5的收纳区域S。
如以上说明那样，在本实施方式的保管容器1中，在管道部22的吹扫气体的流路配置有扩散部件32。由此，在保管容器1中，吹扫气体通过扩散部件32而被扩散。因此，在保管容器1中，例如将扩散部件32配置在流速快的部分，从而能够降低流速。因此，在保管容器1中，能够实现吹扫气体的流速的均匀化。其结果是，在保管容器1中，即使在通常流速快的部分也能使吹扫气体大范围地遍及，所以能够抑制各保管部5的吹扫气体的气氛的差异。
在本实施方式中，扩散部件32作为从管道部22的内壁22a突出的板状的部件。由此，在保管容器1中，能够通过简易的结构使吹扫气体扩散，能够通过简易的结构实现吹扫气体的流速的均匀化。
在本实施方式中，扩散部件32配置于从供给部10供给的吹扫气体的流入方向的延长线上。吹扫气体在从供给部10流入的方向上流速变快。因此，将扩散部件32配置于吹扫气体的流入方向的延长线上，由此能够有效地使吹扫气体扩散，能够有效地实现流速的均匀化。
在本实施方式中，在被配置于供给部10的附近的保管部5上设置扩散部件32。吹扫气体在接近供给部10的部分的流速变快，在远离供给部10的部分的流速变慢。因此，在保管容器1中，在配置于保管容器1的下部侧(供给部10侧)的保管部5设置扩散部件32。由此，在保管容器1中，利用扩散部件32使吹扫气体扩散，由此能够使接近供给部10的部分的吹扫气体的流速降低。因此，在保管容器1中，能够很好地实现吹扫气体的流速的均匀化。
本发明不限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，将从管道部22的内壁22a突出的板状的部件作为扩散部件32的一个例子进行了说明，但扩散部件也可以是其它结构。例如，扩散部件也可以是使管道部的流路节流的部件。总之，扩散部件只要是使吹扫气体扩散而改变吹扫气体的流速的机构即可。
在上述实施方式中，将扩散部件32配置于保管容器1的下部侧，即配置于吹扫气体的供给部10的附近的结构作为优选结构的一个例子进行了说明，但扩散部件32也可以设置于全部的保管部5。另外，扩散部件32在层叠的保管部5中也可以是不连续地设置。例如，扩散部件32可以每隔一层(例如，第1层的保管部5和第3层的保管部5等)设置。
除了上述实施方式之外，也可以改变扩散部件32的面积。具体而言，可以根据距离供给部10的距离，改变扩散部件32的面积。更详细地说，例如，可以增大在接近供给部10的位置配置的扩散部件32的面积，减小在远离供给部10的位置配置的扩散部件32的面积。
附图标记的说明
1…保管容器；5…保管部；22…管道部；24…导入部；32…扩散部件；S…收纳区域。

Claims (7)

1.一种保管容器，其设有多层具有收纳物品的收纳区域的保管部，其特征在于，
具备：供给部，其供给吹扫气体；
管道部，其设置于多个所述保管部中的每一个，在多个所述保管部重叠的状态下遍及多个所述保管部地连通而成为从所述供给部供给的所述吹扫气体的流路；以及
导入部，其将所述管道部与所述收纳区域连通并将所述吹扫气体向所述收纳区域导入，
在所述管道部的所述吹扫气体的流路配置有扩散部件，
在多个所述保管部被层叠的状态下，多个所述保管部中的一个所述保管部的所述管道部与其他所述保管部的所述管道部连通，多个所述管道部整体形成所述流路。
2.根据权利要求1所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件是从所述管道部的内壁突出的板状的部件。
3.根据权利要求1所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件配置于被从所述供给部供给的所述吹扫气体的流入方向的延长线上。
4.根据权利要求2所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件配置于被从所述供给部供给的所述吹扫气体的流入方向的延长线上。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件设置于在所述供给部的附近配置的所述保管部。
6.根据权利要求2～4中任一项所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件的面积根据距所述供给部的距离而不同。
7.根据权利要求5所述的保管容器，其特征在于，
所述扩散部件的面积根据距所述供给部的距离而不同。
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