JP2016164966A - 窒化物半導体ウエハの製造方法、窒化物半導体ウエハおよび窒化物半導体チップ - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 285
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 277
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 123
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 68
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 86
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 11
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 426
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 49
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 47
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 23
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 18
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 15
- 238000000103 photoluminescence spectrum Methods 0.000 description 15
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 14
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 12
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 9
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 8
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 8
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 8
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 7
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- -1 nitride compound Chemical class 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004283 SiO 4 Inorganic materials 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052661 anorthite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N dialuminum;calcium;disilicate Chemical compound [Al+3].[Al+3].[Ca+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 102100032047 Alsin Human genes 0.000 description 1
- 101710187109 Alsin Proteins 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVGGZXXPVMJCCL-UHFFFAOYSA-N [Si].[La] Chemical compound [Si].[La] TVGGZXXPVMJCCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052795 boron group element Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QBJCZLXULXFYCK-UHFFFAOYSA-N magnesium;cyclopenta-1,3-diene Chemical compound [Mg+2].C1C=CC=[C-]1.C1C=CC=[C-]1 QBJCZLXULXFYCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02387—Group 13/15 materials
- H01L21/02389—Nitrides
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02494—Structure
- H01L21/02496—Layer structure
- H01L21/02505—Layer structure consisting of more than two layers
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- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
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- H01L21/02518—Deposited layers
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- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02576—N-type
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
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Abstract
Description
窒化物半導体は、III族窒化物系化合物半導体、窒化物系III−V族化合物半導体、GaN系半導体などとも呼ばれ、GaNを含む他、GaNのガリウムの一部または全部を他の周期表第13族元素(B、Al、In等)で置換した化合物を含む。
窒化物半導体は、発光ダイオード(LED)やレーザダイオード(LD)などの半導体発光素子の材料として現在広く用いられている。
一方で、近年、GaN(10−10)基板のような非極性GaN基板上に発光構造を成長させてなる非極性型の窒化物半導体素子や、GaN(30−3−1)基板やGaN(20−2−1)基板のような半極性GaN基板上に発光構造を成長させてなる半極性型の窒化物半導体発光素子の研究開発が盛んに行われている(特許文献1、非特許文献1)。
(a1)(i)M面に対する傾斜が[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下である窒化物半導体表面を有する基板を準備する第一ステップと、(ii)該基板の該窒化物半導体表面の上に第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層をエピタキシャル成長させることを含む、第二ステップと、(iii)該第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層の上に、窒化物半導体からなる活性層をエピタキシャル成長させるステップであって、III族原料の供給レートRIII(単位:mol/min)とV族原料の供給レートRV(単位:mol/min)との比RV/RIIIを2000以下にしてInGaN量子井戸層を成長させることを含む、第三ステップと、(iv)該活性層の上に該第一型ドーパントとはドーパント型が異なる第二型ドーパントを含有する窒化物半導体層をエピタキシャル成長させることを含む、第四ステップと、を備える窒化物半導体ウエハの製造方法。
(a2)前記量子井戸層の厚さが100nm以下である、前記(a1)に記載の製造方法。
(a3)前記量子井戸層および前記量子井戸層に隣接する窒化物半導体層に、不純物の意図的な添加をしない、前記(a1)または(a2)に記載の製造方法。
(a4)前記第一型ドーパントがn型ドーパントであり、前記第二型ドーパントがp型ドーパントである、前記(a1)〜(a3)のいずれかに記載の製造方法。
(a5)前記窒化物半導体表面がGaN表面である、前記(a1)〜(a4)のいずれかに記載の製造方法。
(a6)前記基板が自立GaN基板である、前記(a5)に記載の製造方法。
(a7)前記窒化物半導体表面と平行または最も平行に近い低指数面が{30−3−1}面または{20−2−1}面である、(a1)〜(a6)のいずれかに記載の製造方法。
(b1)InGaN量子井戸層を含む窒化物半導体層である活性層と、該活性層の第一主面側に配置された第一導電型窒化物半導体層と、該活性層の該第一主面側とは反対の第二主面側に配置され該第一導電型窒化物半導体層とは導電型が異なる第二導電型窒化物半導体層とを、基板の上に有し;該活性層の該第二主面のM面に対する傾斜が[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下であり;発光波長325nmのHe−Cdレーザを用いてパワー密度8.9W/cm2以下の条件で励起したときの該活性層のPLピーク波長をλP(単位:nm)、PL−FWHMをΔλ(単位:nm)としたとき、下記(式1)および(式2)が充足される;窒化物半導体ウエハ。
420≦λP ・・・(式1)
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
(b2)前記量子井戸層の厚さが100nm以下である、前記(b1)に記載の窒化物半導体ウエハ。
(b3)前記量子井戸層および前記量子井戸層に隣接する窒化物半導体層における酸素以外のドーパント濃度が2×1016cm-3未満である、前記(b1)または(b2)に記載の窒化物半導体ウエハ。
(b4)前記第一導電型窒化物半導体層がn型窒化物半導体層であり、前記第二導電型窒化物半導体層がp型窒化物半導体層である、前記(b1)〜(b3)のいずれかに記載の窒化物半導体ウエハ。
(b5)エピタキシャルウエハである、前記(b1)〜(b4)のいずれかに記載の窒化物半導体ウエハ。
(b6)前記基板が自立GaN基板である、前記(b5)に記載の窒化物半導体ウエハ。
(b7)前記活性層の前記第二主面と平行または最も平行に近い低指数面が{30−3−1}面または{20−2−1}面である、(b1)〜(b6)のいずれかに記載の窒化物半導体ウエハ。
(c1)InGaN量子井戸層を含む窒化物半導体層である活性層と、該活性層の第一主面側に配置された第一導電型窒化物半導体層と、該活性層の該第一主面側とは反対の第二主面側に配置され該第一導電型窒化物半導体層とは導電型が異なる第二導電型窒化物半導体層とを、基板の上に有し;該活性層の該第二主面のM面に対する傾斜が[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下であり;発光波長325nmのHe−Cdレーザを用いてパワー密度8.9W/cm2以下の条件で励起したときの該活性層のPLピーク波長をλP(単位:nm)、PL−FWHMをΔλ(単位:nm)としたとき、下記(式1)および(式2)が充足される;窒化物半導体チップ。
420≦λP ・・・(式1)
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
(c2)前記量子井戸層の厚さが100nm以下である、前記(c1)に記載の窒化物半導体チップ。
(c3)前記量子井戸層および前記量子井戸層に隣接する窒化物半導体層における酸素以外のドーパント濃度が2×1016cm-3未満である、前記(c1)または(c2)に記載の窒化物半導体チップ。
(c4)前記第一導電型窒化物半導体層がn型窒化物半導体層であり、前記第二導電型窒化物半導体層がp型窒化物半導体層である、前記(c1)〜(c3)のいずれかに記載の窒化物半導体チップ。
(c5)前記活性層と前記基板とがエピタキシャル関係にある、前記(c1)〜(c4)のいずれかに記載の窒化物半導体チップ。
(c6)前記基板がGaN基板である、前記(c5)に記載の窒化物半導体チップ。
(c7)前記活性層の前記第二主面と平行または最も平行に近い低指数面が{30−3−1}面または{20−2−1}面である、(c1)〜(c6)のいずれかに記載の窒化物半導体チップ。
(c8)LEDチップである、(c1)〜(c7)のいずれかに記載の窒化物半導体チップ。
(c9)レーザーダイオードチップである、(c1)〜(c7)のいずれかに記載の窒化物半導体チップ。
(c10)前記(c1)〜(c9)のいずれかに記載の窒化物半導体チップと、該窒化物半導体チップで励起される蛍光体と、を備える発光デバイス。
(c10)前記蛍光体が、ガーネット構造の結晶を母体とする蛍光体を含む、(c10)に記載の発光デバイス。
(c11)前記蛍光体が、サイアロン構造の結晶を母体とする蛍光体を含む、前記(c10)または(c11)に記載の発光デバイス。
(c12)前記蛍光体が、窒化物結晶を母体とする蛍光体を含む、前記(c10)〜(c11)のいずれかに記載の発光デバイス。
(d1)InGaN量子井戸層を含む窒化物半導体層である活性層と、該活性層の第一主面側に配置された第一導電型窒化物半導体層と、該活性層の該第一主面側とは反対の第二主面側に配置され該第一導電型窒化物半導体層とは導電型が異なる第二導電型窒化物半導体層とを有し;該活性層の該第二主面のM面に対する傾斜が[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下であり;発光波長325nmのHe−Cdレーザを用いてパワー密度8.9W/cm2以下の条件で励起したときの該活性層のPLピーク波長をλP(単位:nm)、PL−FWHMをΔλ(単位:nm)としたとき、下記(式1)および(式2)が充足される;発光構造。
420≦λP ・・・(式1)
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
(d2)前記量子井戸層の厚さが100nm以下である、前記(d1)に記載の発光構造。
(d3)前記量子井戸層および前記量子井戸層に隣接する窒化物半導体層における酸素以外のドーパント濃度が2×1016cm-3未満である、前記(d1)または(d2)に記載の発光構造。
(d4)前記第一導電型窒化物半導体層がn型窒化物半導体層であり、前記第二導電型窒化物半導体層がp型窒化物半導体層である、前記(d1)〜(d3)のいずれかに記載の発光構造。
(d5)前記活性層の前記第二主面と平行または最も平行に近い低指数面が{30−3−1}面または{20−2−1}面である、(d1)〜(d4)のいずれかに記載の発光構造。
以下において、結晶軸、結晶面、結晶方位等に言及する場合には、特に断らない限り、六方晶の窒化物半導体の結晶軸、結晶面、結晶方位等を意味するものとする。
例えば、そのおもて面と平行または最も平行に近い低指数面がM面すなわち{10−10}面であるGaN基板は、M面GaN基板またはGaN{10−10}基板と呼ばれる。通常は、ミラー指数(hkml)における整数h、k、mおよびlの絶対値がいずれも3以下である結晶面が、低指数面とされる。
本発明の第一実施形態は、エピタキシャルウエハの製造方法に関する。
図1に、第一実施形態に係るエピタキシャルウエハの製造方法のフローチャートを示す。
第一実施形態に係るエピタキシャルウエハの製造方法は、図1のフローチャートに示すように、次に記す第一ステップから第四ステップまでの4つのステップを含む。
(i)第一ステップ:第一ステップでは、M面に対する傾斜が[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下である窒化物半導体表面を有する基板を準備する。
(ii)第二ステップ:第二ステップは、第一ステップで準備した基板の窒化物半導体表面の上に第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層をエピタキシャル成長させることを含む。
(iii)第三ステップ:第三ステップは、第二ステップで成長させた第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層の上に、窒化物半導体からなる活性層をエピタキシャル成長させるステップであって、III族原料の供給レートRIII(単位:mol/min)とV族原料の供給レートRV(単位:mol/min)との比RV/RIIIを2000以下にしてInGaN量子井戸層を成長させることを含む。
(iv)第四ステップ:第四ステップは、第三ステップで成長させた活性層の上に、第一型ドーパントとはドーパント型が異なる第二型ドーパントを含有する窒化物半導体層をエピタキシャル成長させることを含む。
図2は断面図であり、エピタキシャルウエハ10は、M面に対する傾斜が[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下である窒化物半導体表面11aを有する基板11を含んでいる。その窒化物半導体表面11a上には、第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層を含む第一窒化物半導体層12が、エピタキシャル成長によって形成されている。
第一窒化物半導体層12上には、活性層13が、エピタキシャル成長によって形成されている。活性層13は、多重量子井戸構造が構成されるよう量子障壁層13−1と交互に積層された、InGaN量子井戸層13−2を含んでいる。
活性層13は、第一窒化物半導体層12を介して、基板11の窒化物半導体表面11a上にエピタキシャル成長している。従って、該活性層13の2つの主面(第一主面13aおよび第二主面13b)のうち、第二窒化物半導体層14側の主面である第二主面13bの方位は、基板11の窒化物半導体表面11aのそれと同じである。
<第一ステップ>
第一ステップは、窒化物半導体表面を有する基板を準備するステップである。M面に対する該窒化物半導体表面の傾斜は、[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下である。[000−1]方向と直交する方向の傾斜は、例えば、0〜0.2°、0.2〜0.5°、0.5〜1°、1〜1.5°、1.5〜2°等であり得る。
M面から[000−1]方向に約10°傾斜した結晶面が{30−3−1}面であり、約15°傾斜した結晶面が{20−2−1}面であるから、本第一ステップで準備する基板が有する窒化物半導体表面と平行または最も平行に近い低指数面は、{30−3−1}面または{20−2−1}面であり得る。
本第一ステップで準備する基板の好適例には、GaN{30−31}基板とGaN{20−2−1}基板が含まれる。
一例に係る積層構造基板において、窒化物半導体層はベース基板上に成長したエピタキシャル層である。ベース基板は、典型的には、サファイア基板、Si基板、SiC基板、Ga2O3基板またはAlN基板のような単結晶基板である。窒化物半導体層は、GaN層、AlN層、AlGaN層、InGaN層、AlInN層、AlInGaN層など、任意組成の窒化物半導体層であり得る。
第二ステップは、第一ステップで準備した基板の窒化物半導体表面の上に、第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層をエピタキシャル成長させることを含む。
第二ステップで用いる、第一型ドーパントを含む窒化物半導体層の成長方法は、通常、MOCVD(Metalorganic Chemical Vapor Deposition)法であるが、限定されるものではなく、HVPE法、スパッタリング法、パルス蒸着法等であってもよい。
p型ドーパントを添加した窒化物半導体結晶は、水素パッシベーションのせいで、アズグロンでは導電性を示さない場合がある。
第二ステップでエピタキシャル成長させる、第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層において、第一型ドーパントはn型ドーパントまたはp型ドーパントのいずれであってもよいが、好ましくはn型ドーパントである。
第二ステップでは、結晶組成、ドーパント種、ドーパント濃度および成長条件のうち、少なくともいずれかに違いのある2以上の窒化物半導体層を成長させてもよい。
第二ステップでは、第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層に加えて、アンドープ窒化物半導体層(以下ではアンドープ層と略称する場合がある)を成長させてもよい。アンドープ層とは、ドーパントの意図的な添加なしに成長させる層のことで、通常、酸素以外の不純物の濃度が2×1016cm-3未満となる。酸素については、アンドープ窒化物半導体層においても濃度が1017cm-3台に達する場合がある。
一例では、第二ステップ中に、第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層と、アンドープ窒化物半導体層とを交互に成長させることがあってもよい。
一例では、第二ステップにおいて最後に成長させる窒化物半導体層がアンドープ層であってもよい。
第二ステップで成長させる窒化物半導体層は、コンタクト層、クラッド層、導波層、光閉じ込め層、キャリア閉じ込め層、バッファ層等、様々な機能を有し得る。ひとつの窒化物半導体層が2以上の機能層を兼用してもよいし、複数の窒化物半導体層が集まることでひとつ以上の機能が生じるようにしてもよい。
第三ステップは、前記第二ステップで成長させた第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層の上に、窒化物半導体からなる活性層をエピタキシャル成長させるステップである。このステップで用いる活性層の成長方法は、通常、MOCVD法である。
第三ステップは、V/III比を2000以下としてInGaN量子井戸層を成長させることを含む。V/III比とは、III族原料の供給レートRIII(単位:mol/min)に対するV族原料の供給レートRV(単位:mol/min)の比RV/RIIIを意味する。
InGaN量子井戸層の組成は、エピタキシャルウエハの完成後に、発光波長325nmのHe−Cdレーザを用いてパワー密度8.9W/cm2以下の条件で活性層を励起したときのPLピーク波長が420nm以上となるように決定し得る。かかる励起条件は弱励起条件であり、量子井戸層内に生成するキャリアの密度は5×1017cm-3以下である。
該PLピーク波長は、更に、425nm以上、430nm以上、440nm以上または445nm以上とすることができる。該PLピーク波長は、通常465nm以下であり、460nm以下、または455nm以下であってもよい。
例えば、MOCVD法でInGaN量子井戸層を形成する場合の、III族原料の総供給レート(トリメチルガリウムとトリメチルインジウムの供給レートの和)に対するIn原料の供給レート(トリメチルインジウムの供給レート)の比率は、50〜90%、70〜90%、80〜90%等とすることができる。
更に、成長温度を低くするとInGaN量子井戸層のInN混晶比は高くなるので、成長温度の調整によって活性層のPLピーク波長を制御することができる。
InGaN量子井戸層の成長レートは、8nm/min以下といった、比較的低いレートとすることが好ましい。
InGaN量子井戸層の両側には、InGaN量子井戸層よりも大きなバンドギャップエネルギーを有する量子障壁層を設けることが好ましい。量子障壁層の厚さは、通常100nm以下であり、好ましくは50nm以下、更には25nm以下である。量子障壁層はGaNまたはInGaNで形成することが好ましいが、限定されるものではない。
InGaN量子井戸層を成長させる際のV/III比は2000以下であればよいが、更に1700以下、1500以下、または1200以下とし得る。該V/III比に特に下限は無いが、成長レートを考慮すると、500以上とすることが望ましい。
InGaN量子井戸層を成長させる際のV/III比が2000以下という条件は、エピタキシャルウエハの完成後に測定される、弱励起条件における活性層のフォトルミネッセンス・スペクトルの半値幅を低減するうえで、好ましい条件である。
第四ステップは、第三ステップで成長させた活性層の上に、第一型ドーパントとはドーパント型の異なる第二型ドーパントを含有する窒化物半導体層を、エピタキシャル成長させることを含む。
前述の通りドーパントにはp型とn型の2つの型があるので、第一型ドーパントがn型ドーパントである場合には第二型ドーパントはp型ドーパントであるし、第一型ドーパントがp型ドーパントである場合には第二型ドーパントはn型ドーパントである。
第四ステップで成長させる窒化物半導体層の組成に限定はなく、GaN、AlN、AlGaN、InGaN、AlInN、AlInGaN等であり得る。
第四ステップでは、結晶組成、ドーパント種、ドーパント濃度および成長条件のうち、少なくともいずれかに違いのある2以上の窒化物半導体層を成長させてもよい。
一例では、第四ステップにおいて最初に成長させる窒化物半導体層がアンドープ層であってもよい。
一例では、第四ステップ中に、第二型ドーパントを含有する窒化物半導体層と、アンドープの窒化物半導体層とを交互に成長させることがあってもよい。
一例では、第四ステップにおいて最後に成長させる窒化物半導体層がアンドープ層であってもよい。
第四ステップで成長させる窒化物半導体層は、コンタクト層、クラッド層、導波層、光閉じ込め層、キャリア閉じ込め層、バッファ層等、様々な機能を有し得る。ひとつの窒化物半導体層が2以上の機能層を兼用してもよいし、複数の窒化物半導体層が集まることでひとつ以上の機能が生じるようにしてもよい。
本発明の第二実施形態は、窒化物半導体ウエハに関する。
第二実施形態に係る窒化物半導体ウエハは、InGaN量子井戸層を含む窒化物半導体層である活性層と、該活性層の第一主面側に配置された第一導電型窒化物半導体層と、該活性層の該第一主面側とは反対の第二主面側に配置され該第一導電型窒化物半導体層とは導電型が異なる第二導電型窒化物半導体層とを、基板の上に有する。
該活性層の該第二主面のM面に対する傾斜は、[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下である。
420≦λP ・・・(式1)
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
ここで、PLピーク波長とは、フォトルミネッセンス・スペクトルのピーク波長を意味し、PL−FWHMとはフォトルミネッセンス・スペクトルの半値全幅を意味する。
弱励起条件下での活性層のPL−FWHMを、上記(式2)が充足される程度に低減した窒化物半導体ウエハには、それを用いることによって、電流注入発光時の発光スペクトルの半値幅が低電流印加時においても狭く、かつ、印加電流の増減に伴う発光スペクトルの変化が小さい窒化物半導体発光素子を製造し得るという利点がある。
発光スペクトルの半値幅が小さいということは、発する光の色純度が高いことを意味し、ディスプレイ用の光源や、被照明物を鮮やかに見せることを重視した照明装置のための光源において、好ましい特性である。
印加電流の増減に伴う発光スペクトルの変化が小さいことは、ディスプレイおよび照明を含む様々な用途の光源に求められる特性である他、レーザ発振を発生させるうえでも有用と考えられる。
第二実施形態に係る窒化物半導体ウエハは、エピタキシャルウエハであり得る。第二実施形態に係るエピタキシャルウエハの構造例を、図3に示す。
図3は断面図であり、エピタキシャルウエハ20は、基板21と、該基板上に順次エピタキシャル成長により形成された第一窒化物半導体層22、活性層23および第二窒化物半導体層24とを備えている。
M面から[000−1]方向に約10°傾斜した結晶面が{30−3−1}面であり、約15°傾斜した結晶面が{20−2−1}面であるから、窒化物半導体表面21aと平行または最も平行に近い低指数面は、{30−3−1}面または{20−2−1}面であり得る。
基板21の好適例には、GaN{30−3−1}基板とGaN{20−2−1}基板が含まれる。
基板21は、ベース基板上に表層として窒化物半導体層を有する積層構造基板であってもよい。かかる積層構造基板にあっては、窒化物半導体層の表面が窒化物半導体表面である。
一例に係る積層構造基板において、窒化物半導体層はベース基板上に成長したエピタキシャル層である。ベース基板は、典型的には、サファイア基板、Si基板、SiC基板、Ga2O3基板またはAlN基板のような単結晶基板である。窒化物半導体層は、GaN層、AlN層、AlGaN層、InGaN層、AlInN層、AlInGaN層など、任意組成の窒化物半導体層であり得る。
第一窒化物半導体層22の組成に限定はなく、GaN、AlN、AlGaN、InGaN、AlInN、AlInGaN等であり得る。
第一窒化物半導体層22は、結晶組成、ドーパント種、ドーパント濃度および成長条件のうち、少なくともいずれかに違いのある2以上の層を含み得る。
一例では、第一窒化物半導体層22が、基板21と接する部分にn型低キャリア濃度層を含んでもよい。
一例では、第一窒化物半導体層22が、n型高キャリア濃度層とn型低キャリア濃度層の交互積層構造を含んでもよい。
一例では、第一窒化物半導体層22が、活性層23と接する部分にn型低キャリア濃度層を含んでもよい。
第一窒化物半導体層22に含まれる窒化物半導体層は、コンタクト層、クラッド層、導波層、光閉じ込め層、キャリア閉じ込め層、バッファ層等、様々な機能を有し得る。ひとつの窒化物半導体層が2以上の機能層を兼用してもよいし、複数の窒化物半導体層が集まることでひとつ以上の機能が生じるようにしてもよい。
活性層23は、第一窒化物半導体層22側に第一主面23aを、その反対側に第二主面23bを有している。活性層23は、第一窒化物半導体層22を介して基板21上にエピタキシャル成長しているので、活性層の第二主面23bの面方位は、基板21の窒化物半導体主面21aのそれと同じである。故に、活性層の第二主面23bのM面に対する傾斜は、[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下である。
量子障壁層23−1は、InGaN量子井戸層23−2よりも大きなバンドギャップエネルギーを有し、その厚さは通常100nm以下、好ましくは50nm以下、更には25nm以下である。量子障壁層の組成は、好ましくはGaNまたはInGaNであるが、限定されるものではない。
量子障壁層23−1およびInGaN量子井戸層23−2の導電型は、好ましくはn型である。量子障壁層23−1およびInGaN量子井戸層23−2へのn型ドーパントの添加は任意に行うことができるが、好ましくは、InGaN量子井戸層23−2の全てをアンドープ層とする。より好ましくは、量子障壁層23−1も全てアンドープ層とする。アンドープの窒化物半導体層において、酸素以外の不純物の濃度は、通常2×1016cm-3未満である。
活性層23に含まれるInGaN量子井戸層の数を1とすること、すなわち、活性層23を多重量子井戸構造ではなく単一量子井戸構造とすることもできる。
発光波長325nmのHe−Cdレーザを用いてパワー密度8.9W/cm2以下の条件で励起したときの活性層23のPLピーク波長は420nm以上であり、425nm以上、430nm以上、440nm以上または445nm以上であってもよい。該PLピーク波長は、通常465nm以下であり、460nm以下または455nm以下であってもよい。InGaN量子井戸層を含む活性層のPLピーク波長は、該InGaN量子井戸層のInN混晶比が高くなるにつれて長くなる傾向を持つ。
420≦λP ・・・(式1)
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
パワー密度8.9W/cm2以下という励起条件は、エピタキシャルウエハの表面における入射レーザ光の放射束を0.7mJ/sec(0.7mW)以下とし、スポット径を0.1mmφ以上とすることにより達成できる。かかる励起条件の下では、量子井戸層内に生成するキャリアの密度が5×1017cm-3以下となる。このような励起条件は弱励起条件と呼ばれる。
好適例においては、更に、上記ΔλおよびλPが下記(式3)を充足してもよい。
Δλ < λP×0.4 − 160 ・・・(式3)
活性層23の直上に配置された第二窒化物半導体層24は、p型ドーパントを5×1018cm-3以上の濃度(通常、5×1021cm-3以下)で含有するp型高ドープ層を含んでいる。p型ドーパントは、Mg(マグネシウム)およびZn(亜鉛)から選ばれる1以上であり得る。
第二窒化物半導体層24の組成に限定はなく、GaN、AlN、AlGaN、InGaN、AlInN、AlInGaN等であり得る。
第二窒化物半導体層24は、p型高ドープ層に加えて、p型ドーパントの濃度が5×1018cm-3未満の低ドープ層を含み得る。低ドープ層はアンドープ層であり得る。
一例では、第二窒化物半導体層24が、活性層23と接する部分に低ドープ層を含んでもよい。
一例では、第二窒化物半導体層24が、p型高ドープ層と低ドープ層の交互積層構造を含んでもよい。
一例では、第二窒化物半導体層24が、表層として低ドープ層を含んでもよい。
第二実施形態に係る窒化物半導体ウエハは、非エピタキシャルウエハであり得る。
第二実施形態に係る非エピタキシャルウエハは、例えば、図3に示すエピタキシャルウエハから製造することができる。このことを、図4を参照して説明する。
図4(a)は、図3に示すエピタキシャルウエハと同じ構造を有するエピタキシャルウエハ30の断面図である。エピタキシャルウエハ30は、基板31と、該基板上にエピタキシャル成長された窒化物半導体積層体Lとを備えている。
窒化物半導体積層体Lは、基板31側から順に、第一窒化物半導体層32、活性層33および第二窒化物半導体層34を有している。
次いで、基板31を研削などの方法で除去すると、図4(c)に示す構造が得られる。
次いで、基板31を除去することにより露出した第一窒化物半導体層32の表面に、ウエハボンディングの技法を用いて支持基板36を接合すると、図4(d)に示す構造が得られる。
最後に、接着材を溶解、融解、軟化または分解するなどして一時的基板36を除去すると、図4(e)に示す、支持基板36上に窒化物半導体積層体Lが接合された構造の非エピタキシャルウエハ40が得られる。
変形例では、図4(b)の段階で一時的基板35に代えて支持基板36を、ウエハボンディングの技法を用いてエピタキシャルウエハ30の第二窒化物半導体層34側に接合し、その後、出発基板31を除去することにより、図5に示す構造の非エピタキシャルウエハ50を製造することもできる。
第二実施形態に係る窒化物半導体ウエハは、発光素子に必要な構造を付与するために、メサエッチング、素子分離、電極形成、保護膜形成などのような半導体プロセスが施されたものであってもよい。
n型窒化物半導体層とオーミック接触する電極は、Al、Ti、Cr、VまたはWの単体、あるいは、これらから選ばれる一種以上を含む合金で形成し得ることが知られている。
p型窒化物半導体層とオーミック接触する電極は、Ni、Au、Pd、Rh、Pt、またはCoの単体、あるいは、これらから選ばれる一種以上を含む合金で形成し得る他、ITO、亜鉛添加酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化錫、酸化チタン、酸化ガリウムなどの透明導電性酸化物で形成し得ることが知られている。
メサエッチングや素子分離用の溝形成は、塩素を含むエッチングガスを用いた反応性イオンエッチングによって行うことができる。
保護膜には、プラズマCVD、真空蒸着、スパッタリングなどの方法で形成し得る、酸化ケイ素、窒化ケイ素または酸窒化ケイ素の薄膜を用いることができる。
本発明の第三実施形態は、窒化物半導体チップに関する。
第三実施形態に係る窒化物半導体チップは、InGaN量子井戸層を含む窒化物半導体層である活性層と、該活性層の第一主面側に配置された第一導電型窒化物半導体層と、該活性層の該第一主面側とは反対の第二主面側に配置され該第一導電型窒化物半導体層とは導電型が異なる第二導電型窒化物半導体層とを、基板の上に有する。
該活性層の該第二主面のM面に対する傾斜は、[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下である。
420≦λP ・・・(式1)
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
ここで、PLピーク波長とは、フォトルミネッセンス・スペクトルのピーク波長を意味し、PL−FWHMとはフォトルミネッセンス・スペクトルの半値全幅を意味する。
好適例においては、更に、上記ΔλおよびλPが下記(式3)を充足してもよい。
Δλ < λP×0.4 − 160 ・・・(式3)
弱励起条件下での活性層のPL−FWHMを、上記(式2)、更には上記(式3)が充足される程度に低減した窒化物半導体チップには、電流注入発光時の発光スペクトルの半値幅が低電流印加時においても狭く、かつ、印加電流の増減に伴う発光スペクトルの変化が小さいという利点がある。
発光スペクトルの半値幅が小さいということは、発する光の色純度が高いことを意味し、ディスプレイ用の光源や、被照明物を鮮やかに見せることを重視した照明装置のための光源において、好ましい特性である。
印加電流の増減に伴う発光スペクトルの変化が小さいことは、ディスプレイおよび照明を含む様々な用途の光源に求められる特性である他、レーザ発振を発生させるうえでも有用と考えられる。
一例において、第三実施形態に係る窒化物半導体チップは、LEDチップであり得る。
他の一例において、第三実施形態に係る窒化物半導体チップは、レーザーダイオードチップであり得る。レーザーダイオードチップを得るには、LEDチップと共通するpn接合型の発光構造に加え、導波路構造、共振器構造およびキャリア閉じ込め構造を素子内に設ける必要があることはよく知られている。
第三実施形態に係る窒化物半導体チップは、インジケータ、ディスプレイ、照明などの用途に用いることができる。
第三実施形態に係る窒化物半導体チップを、該窒化物半導体チップで励起される蛍光体と組み合わせて、白色発光デバイスを含む様々な発光デバイスを構成することができる。蛍光体は、発光色の違いによって、黄色蛍光体と緑色蛍光体と赤色蛍光体に大きく分けられる。
Eu2+を付活剤とする緑色蛍光体は、アルカリ土類ケイ酸塩、アルカリ土類ケイ酸窒化物またはサイアロンからなる結晶を母体とする緑色蛍光体である。アルカリ土類ケイ酸塩結晶を母体とするものの具体例には、(Ba,Ca,Sr,Mg)2SiO4:Eu、(Ba,Sr,Ca)2(Mg,Zn)Si2O7:Euなどがある。アルカリ土類ケイ酸窒化物結晶を母体とするものの具体例には、(Ba,Ca,Sr)3Si6O12N2:Eu、(Ba,Ca,Sr)3Si6O9N4:Eu、(Ca,Sr,Ba)Si2O2N2:Euなどがある。サイアロン結晶を母体とするものの具体例には、βサイアロン:Eu、Sr3Si13Al3O2N21:Eu、Sr5Al5Si21O2N35:Euなどがある。
Ce3+を付活剤とする緑色蛍光体としては、ガーネット型酸化物結晶を母体とする蛍光体、例えば(Y,Gd)3Al5O12:Ce、Y3(Al,Ga)5O12:Ce、Lu3(Al,Ga)5O12:Ce、Ca3(Sc,Mg)2Si3O12:Ceや、アルカリ土類金属スカンジウム酸塩結晶を母体とする蛍光体、例えばCaSc2O4:Ceがある。
第四実施形態は発光構造に関する。
第四実施形態に係る発光構造は、第二実施形態に係る窒化物半導体ウエハが備える発光構造であって(従って、第三実施形態に係る窒化物半導体チップが備える発光構造でもあり得る)、InGaN量子井戸層を含む窒化物半導体層である活性層と、該活性層の第一主面側に配置された第一導電型窒化物半導体層と、該活性層の該第一主面側とは反対の第二主面側に配置され該第一導電型窒化物半導体層とは導電型が異なる第二導電型窒化物半導体層とを有する。
該活性層の該第二主面のM面に対する傾斜は、[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下である。
更に、発光波長325nmのHe−Cdレーザを用いてパワー密度8.9W/cm2以下の条件で励起したときの該活性層のPLピーク波長をλP(単位:nm)、PL−FWHMをΔλ(単位:nm)としたとき、下記(式1)および(式2)が充足される。
420≦λP ・・・(式1)
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
好適例においては、更に、上記ΔλおよびλPが下記(式3)を充足してもよい。
Δλ < λP×0.4 − 160 ・・・(式3)
以下に、本発明者等が行った実験の結果を記す。
5.1.実験1(実施例)
M面に対するおもて面の傾斜が[000−1]方向に10°かつ[000−1]方向と直交する方向に0°の自立GaN基板(GaN{30−3−1}基板)を準備した。該基板のキャリア濃度は1×1017cm-3〜5×1017cm-3の範囲内であった。
このGaN{30−3−1}基板上に、常圧MOCVD法を用いて、第一アンドープGaN層(10nm厚)、n型GaNコンタクト層(1500nm厚)、アンドープAlGaN層(6nm厚)、第二アンドープGaN層(100nm厚)、活性層、p型Al0.1Ga0.9Nクラッド層(50nm厚)、p型GaNコンタクト層(40nm厚)及びp型InGaN表面層(1nm層)を順次エピタキシャル成長させて、エピタキシャルウエハを作製した。いずれの層を成長させるときも、キャリアガスにはN2(窒素)を用いた。
活性層は、4層のGaN量子障壁層(18nm厚)と3層のInGaN量子井戸層(3.6nm厚)とを、最下層および最上層が量子障壁層となるように、交互に成長させることにより形成した。
InGaN量子井戸層の成長温度(一定)は、790〜830℃の範囲内の温度とした。GaN量子障壁層の成長温度は、InGaN量子井戸層の成長温度より40℃上に設定した。
InGaN量子井戸層の成長時は、TMI(トリメチルインジウム)の供給レートを61μmol/min、TMG(トリメチルガリウム)の供給レートを14μmol/minとした。従って、V/III比は1700であった。
V/III比は、III族原料であるTMGとTMIのトータルの供給レートRIII(単位:mol/min)に対する、アンモニアの供給レートRV(単位:mol/min)の比RV/RIIIである。
InGaN量子井戸層の成長レートは2.2nm/minであった。
活性層への意図的なドーパントの添加は一切行わなかった。
p型GaNコンタクト層には、同じくCp2Mgをドーピング源に用いて、マグネシウム(Mg)を7×1019cm-3の濃度で添加した。
全ての層の成長が完了したら、アンモニアを含む原料の供給と基板加熱を停止し、基板温度が500℃に下がるまで成長炉内にはN2のみを流した。
こうして、GaN{30−3−1}基板上にエピタキシャル成長したLED構造の窒化物半導体積層体を有するエピタキシャルウエハを得た。
フォトルミネッセンス・スペクトルからPLピーク波長(λP)とPL−FWHM(Δλ)を求め、両者の関係を表すグラフ上にプロットすると、図6のようになった。
図6によれば、プロットされた点はいずれもグラフ中の直線(Δλ=λP×0.4−150)よりも下方に位置しており、下記(式2)の関係が充足されていることが分かる。
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
更には、下記(式3)の関係も充足されていた。
Δλ < λP×0.4 − 160 ・・・(式3)
一方、図6のグラフにプロットされた点の位置は、いずれも、下記(式4)が表す直線より上方であった。
Δλ = λP×0.4 − 170 ・・・(式4)
下記4点の変更を除き、実験1と同様にしてエピタキシャルウエハを作製した。
・n型GaNコンタクト層の厚さを2000nmとした。
・アンモニア流量は同じとしたまま、III族原料の供給レートを変更して、InGaN量子井戸層の成長時のV/III比を1100とした(III族原料の総供給レートに占めるTMIの供給レートの比率は58%とした)。
・p型Al0.1Ga0.9Nクラッド層の厚さを150nmとした。
・p型GaNコンタクト層の厚さを100nmとした。
フォトルミネッセンス・スペクトルからPLピーク波長(λP)とPL−FWHM(Δλ)を求め、両者の関係を表すグラフ上にプロットすると、図6のようになった。
図6によれば、プロットされた点はいずれもグラフ中の直線(Δλ=λP×0.4−150)よりも下方に位置しており、下記(式2)の関係が充足されていることが分かる。
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
更には、下記(式3)の関係も充足されていた。
Δλ < λP×0.4 − 160 ・・・(式3)
一方、図6のグラフにプロットされた点の位置は、いずれも、下記(式4)が表す直線より上方であった。
Δλ = λP×0.4 − 170 ・・・(式4)
下記2点の変更を除き、実験2と同様にしてエピタキシャルウエハを作製した。
・{30−3−1}基板に代えて、M面に対するおもて面の傾斜が[000−1]方向に15°かつ[000−1]方向と直交する方向に0°の自立GaN基板(GaN{20−2−1}基板)を用いた。
・InGaN量子井戸層の成長温度(一定)を810〜850℃の範囲内の温度とした。
フォトルミネッセンス・スペクトルからPLピーク波長(λP)とPL−FWHM(Δλ)を求め、両者の関係を表すグラフ上にプロットすると、図6のようになった。
図6によれば、プロットされた点はいずれもグラフ中の直線(Δλ=λP×0.4−150)よりも下方に位置しており、下記(式2)の関係が充足されていることが分かる。
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
更には、下記(式3)の関係も充足されていた。
Δλ < λP×0.4 − 160 ・・・(式3)
一方、図6のグラフにプロットされた点の位置は、いずれも、下記(式4)が表す直線より上方であった。
Δλ = λP×0.4 − 170 ・・・(式4)
下記3点の変更を除き、実験1と同様にしてエピタキシャルウエハを作製した。
・活性層の成長中はアンモニア(NH3)供給レートを14SLMに保持した。
・InGaN量子井戸層の成長時のV/III比を11000とした(III族原料の総供給レートに占めるTMIの供給レートの比率は74%とした)。
・GaN量子障壁層の成長時のV/III比を44000とした。
フォトルミネッセンス・スペクトルからPLピーク波長(λP)とPL−FWHM(Δλ)を求め、両者の関係を表すグラフ上にプロットすると、図6のようになった。
図6によれば、プロットされた点はいずれもグラフ中の直線(Δλ=λP×0.4−150)よりも上方に位置しており、下記(式2)の関係が充足されていないことが分かる。
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2)
実験1と同様にして作製したエピタキシャルウエハを用いて、図7に示す断面構造を備える窒化物半導体チップ(LEDチップ)を作製した。チップサイズは500μm角とした。
手順は次の通りである。
まず、エピタキシャル層の表面(p型InGaN表面層の表面)に、真空蒸着法でITO膜を形成し、次いで、大気雰囲気中、520℃、20分間の熱処理を行った。熱処理後、ウェットエッチング法でITO膜をパターニングして、所定形状を有するp側オーミック電極(ITO電極)とした。
次に、反応性イオンエッチングによりエピタキシャル層の一部を除去して、素子分離溝を形成した(メサエッチング)。このとき同時に、n側電極形成面(n型GaNコンタクト層の露出面)を形成した。
次に、p側オーミック電極上の一部にp側金属パッドを形成した。p側金属パッドは、110nm厚のTi−W合金膜と、その上に形成した300nm厚のAu膜とからなる、積層膜とした。
最後に、酸化ケイ素で保護膜を形成した。
こうして作製した窒化物半導体チップに順方向電流350mAを印加したところ、発光ピーク波長が約435nmのチップで420mWという光出力が観測された。
実験4と同様にして作製したエピタキシャルウエハを用いて、図7に示す断面構造を備える窒化物半導体チップ(LEDチップ)を作製した。作製手順は実験5と同様とした。チップサイズも実験5と同じく500μm角とした。
作製した窒化物半導体チップに順方向電流350mAを印加したところ、発光ピーク波長が約435nmのチップで観測された光出力は、最高で330mWであった。
下記2点の変更を除き、実験1と同様にしてエピタキシャルウエハを作製した。
・{30−3−1}基板に代えて、M面に対するおもて面の傾斜が[000−1]方向に5°かつ[000−1]方向と直交する方向に0°の自立GaN基板を用いた。
・InGaN量子井戸層の成長温度(一定)を750〜770℃の範囲内の温度とした。
次いで、実験1と同様にして、作製したエピタキシャルウエハの活性層のフォトルミネッセンス・スペクトルを測定したところ、そのピーク波長λPと半値全幅Δλは下記の関係を充足していた。
Δλ < λP×0.4 − 150
下記3点の変更を除き、実験7と同様にしてエピタキシャルウエハを作製した。
・活性層の成長中はアンモニア(NH3)供給レートを14SLMに保持した。
・InGaN量子井戸層の成長時のV/III比を8300とした(III族原料の総供給レートに占めるTMIの供給レートの比率は81%とした)。
・GaN量子障壁層の成長時のV/III比を44000とした。
次いで、実験1と同様にして、作製したエピタキシャルウエハの活性層のフォトルミネッセンス・スペクトルを測定したところ、そのピーク波長λPと半値全幅Δλは下記の関係を充足していなかった。
Δλ < λP×0.4 − 150
11、21、31 基板
11a、21a 窒化物半導体表面
12、22、32 第一窒化物半導体層
13、23、33 活性層
13a、23a 第一主面
13b、23b 第二主面
13−1、23−1、33−1 量子障壁層
13−2、23−2、33−2 InGaN量子井戸層
14、24、34 第二窒化物半導体層
35 一時的基板
36 支持基板
40、50 非エピタキシャルウエハ
Claims (19)
- (i)M面に対する傾斜が[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下である窒化物半導体表面を有する基板を準備する第一ステップと、
(ii)該基板の該窒化物半導体表面の上に第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層をエピタキシャル成長させることを含む、第二ステップと、
(iii)該第一型ドーパントを含有する窒化物半導体層の上に、窒化物半導体からなる活性層をエピタキシャル成長させるステップであって、III族原料の供給レートRIII(単位:mol/min)とV族原料の供給レートRV(単位:mol/min)との比RV/RIIIを2000以下にしてInGaN量子井戸層を成長させることを含む、第三ステップと、
(iv)該活性層の上に該第一型ドーパントとはドーパント型が異なる第二型ドーパントを含有する窒化物半導体層をエピタキシャル成長させることを含む、第四ステップと、
を備える窒化物半導体ウエハの製造方法。 - 前記量子井戸層の厚さが100nm以下である、請求項1に記載の製造方法。
- 前記量子井戸層および前記量子井戸層に隣接する窒化物半導体層に、不純物の意図的な添加をしない、請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記第一型ドーパントがn型ドーパントであり、前記第二型ドーパントがp型ドーパントである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の製造方法。
- 前記窒化物半導体表面がGaN表面である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の製造方法。
- 前記基板が自立GaN基板である、請求項5に記載の製造方法。
- 前記窒化物半導体表面と平行または最も平行に近い低指数面が{30−3−1}面または{20−2−1}面である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の製造方法。
- InGaN量子井戸層を含む窒化物半導体層である活性層と、該活性層の第一主面側に配置された第一導電型窒化物半導体層と、該活性層の該第一主面側とは反対の第二主面側に配置され該第一導電型窒化物半導体層とは導電型が異なる第二導電型窒化物半導体層とを、基板の上に有し、
該活性層の該第二主面のM面に対する傾斜が[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下であり、
発光波長325nmのHe−Cdレーザを用いてパワー密度8.9W/cm2以下の条件で励起したときの該活性層のPLピーク波長をλP(単位:nm)、PL−FWHMをΔλ(単位:nm)としたとき、下記(式1)および(式2)が充足される、窒化物半導体ウエハ。
420≦λP ・・・(式1)
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2) - 前記量子井戸層の厚さが100nm以下である、請求項8に記載の窒化物半導体ウエハ。
- 前記量子井戸層および前記量子井戸層に隣接する窒化物半導体層における酸素以外のドーパント濃度が2×1016cm-3未満である、請求項8または9に記載の窒化物半導体ウエハ。
- 前記第一導電型窒化物半導体層がn型窒化物半導体層であり、前記第二導電型窒化物半導体層がp型窒化物半導体層である、請求項8〜10のいずれか一項に記載の窒化物半導体ウエハ。
- エピタキシャルウエハである、請求項8〜11のいずれか一項に記載の窒化物半導体ウエハ。
- 前記基板が自立GaN基板である、請求項12に記載の窒化物半導体ウエハ。
- 前記活性層の前記第二主面と平行または最も平行に近い低指数面が{30−3−1}面または{20−2−1}面である、請求項8〜13のいずれか一項に記載の窒化物半導体ウエハ。
- InGaN量子井戸層を含む窒化物半導体層である活性層と、該活性層の第一主面側に配置された第一導電型窒化物半導体層と、該活性層の該第一主面側とは反対の第二主面側に配置され該第一導電型窒化物半導体層とは導電型が異なる第二導電型窒化物半導体層とを有し、
該活性層の該第二主面のM面に対する傾斜が[000−1]方向に6°以上20°以下かつ[000−1]方向と直交する方向に2°以下であり、
発光波長325nmのHe−Cdレーザを用いてパワー密度8.9W/cm2以下の条件で励起したときの該活性層のPLピーク波長をλP(単位:nm)、PL−FWHMをΔλ(単位:nm)としたとき、下記(式1)および(式2)が充足される、発光構造。
420≦λP ・・・(式1)
Δλ < λP×0.4 − 150 ・・・(式2) - 前記量子井戸層の厚さが100nm以下である、請求項15に記載の発光構造。
- 前記量子井戸層および前記量子井戸層に隣接する窒化物半導体層における酸素以外のドーパント濃度が2×1016cm-3未満である、請求項15または16に記載の発光構造。
- 前記第一導電型窒化物半導体層がn型窒化物半導体層であり、前記第二導電型窒化物半導体層がp型窒化物半導体層である、請求項15〜17のいずれか一項に記載の発光構造。
- 前記活性層の前記第二主面と平行または最も平行に近い低指数面が{30−3−1}面または{20−2−1}面である、請求項15〜18のいずれかに記載の発光構造。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014113194 | 2014-05-30 | ||
JP2014169720A JP2017139247A (ja) | 2014-05-30 | 2014-08-22 | エピタキシャルウエハ、半導体発光素子、発光装置及びエピタキシャルウエハの製造方法 |
PCT/JP2015/056688 WO2015182207A1 (ja) | 2014-05-30 | 2015-03-06 | エピタキシャルウエハ、半導体発光素子、発光装置及びエピタキシャルウエハの製造方法 |
WOPCT/JP2015/056688 | 2015-03-06 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016164966A true JP2016164966A (ja) | 2016-09-08 |
Family
ID=54698549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015190206A Pending JP2016164966A (ja) | 2014-05-30 | 2015-09-28 | 窒化物半導体ウエハの製造方法、窒化物半導体ウエハおよび窒化物半導体チップ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2016164966A (ja) |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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