JP2016159227A - 樹脂塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被塗布部材(W)に液状樹脂(L)を塗布するノズル(11)と、ノズルに液状樹脂を供給する第1の供給路(10)と、第1の供給路に連結する脱泡手段(100)と、脱泡手段と樹脂供給源(30)とを連通する第2の供給路(20)と、を備えて樹脂塗布装置(1)が構成される。脱泡手段は、液状樹脂を貯められるカップ(110)と、カップの内部に配設される受け止め部(120)とを備えている。受け止め部は、閉塞面の底面(122)と、底面に連接する側面で所定幅の網により形成される網エリア(123)とを備えている。カップに貯められる液状樹脂に網エリアを全て没液させた状態を維持させ、液状樹脂をノズルに供給することで液状樹脂の脱泡を行う。
【選択図】図1
Description
10 第1の供給路
11 ノズル
12 第1のポンプ
20 第2の供給路
21 第2のポンプ
30 樹脂供給源
100 脱泡手段
110 カップ
120 受け止め部
121a 開口
122 底面
123 網エリア
130 上限センサ
140 下限センサ
L 液状樹脂
W 被塗布部材
Claims (3)
- 被塗布部材に液状樹脂を塗布するノズルと、ノズルに液状樹脂を供給する第1の供給路と、該第1の供給路に配設される第1のポンプと、該第1の供給路に連結する脱泡手段と、該脱泡手段と樹脂供給源とを連通する第2の供給路と、該第2の供給路に配設される第2のポンプと、を備える樹脂塗布装置であって、
該脱泡手段は、
該第1の供給路と連結し、該第2のポンプにより該第2の供給路から供給される液状樹脂を貯められるカップと、該カップの内部に配設され、該第2の供給路から供給される液状樹脂を受け止める受け止め部と、を備え、
該受け止め部は、該第2の供給路から液状樹脂を供給可能とする開口を有する筒状に形成され、閉塞面の底面と、該底面に連接する側面に配設され、該底面から所定幅が液状樹脂に含まれる気泡を通過させない大きさの網目の網で形成される網エリアと、を備え、
該カップに貯められる液状樹脂に該網エリアが全て没液させた状態を維持させつつ、該第1のポンプで液状樹脂を該ノズルに供給することで液状樹脂の脱泡を行う樹脂塗布装置。 - 該第2の供給路の該脱泡手段に連通する一端が該カップに貯められる液状樹脂に没液させた状態を維持することを特徴とする請求項1に記載の樹脂塗布装置。
- 液状樹脂の液面の上限を検出する上限センサと、下限を検出する下限センサと、を更に備え、
該第1のポンプ及び該第2のポンプは、該上限センサ及び該下限センサの検出結果に応じ、該液状樹脂の液面を該上限と該下限との間に維持することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の樹脂塗布装置。
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