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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Harzbeschichtungsvorrichtung, welche ein flüssiges Harz entschäumt und anschließend das entschäumte flüssige Harz einer Düse zuführt.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Das
japanische Patent mit der Veröffentlichungsnummer Hei 11-213990 und das
japanische Patent mit der Veröffentlichungsnummer 2004-033924 offenbaren Verfahren zum Entfernen von Luftblasen, die in einem flüssigen Harz umfasst sind, unter Verwendung einer Vakuumpumpe und eines Rührwerks. In diesen Verfahren wird das flüssige Harz in einer Vakuumatmosphäre angeordnet, damit Luftblasen, die in dem flüssigen Harz umfasst sind, von dem flüssigen Harz leicht entweichen können. Das flüssige Harz wird in der Vakuumatmosphäre ebenfalls umgerührt, damit die Luftblasen dem Harz leichter entweichen können.
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Das
japanische Patent mit der Veröffentlichungsnummer 2013-233496 offenbart eine Entschäumungsvorrichtung zum Entfernen von Luftblasen aus einem flüssigen Harz durch Hindurchführen des flüssigen Harz, welches die Luftblasen umfasst, durch ein rohrförmiges Netzelement. In der Entschäumungsvorrichtung ist das Netzelement in der Atmosphäre oberhalb des Flüssigkeitsstands des flüssigen Harzes angeordnet, wobei das flüssige Harz durch Passieren des Netzelements entschäumt wird, wenn das flüssige Harz durch die Schwerkraft bewegt wird.
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Die Verfahren, welche in dem
japanischen Patent mit der Veröffentlichungsnummer Hei 11-213990 und dem
japanischen Patent mit der Veröffentlichungsnummer 2004-033924 offenbart sind, sind jedoch dahingehend problematisch, als das die verwendete Vorrichtung aufgrund der Vakuumpumpe und des Rührwerks, die zum Entschäumen des flüssigen Harzes erforderlich sind, eine erhebliche Größe aufweisen. Die Vorrichtung, welche in dem
japanischen Patent mit der Veröffentlichungsnummer 2013-233496 offenbart ist, weist insoweit ein Problem auf, dass das flüssige Harz, welches durch das Netzelement hindurchgegangen ist, durch Kontakt mit der Atmosphäre verfestigt wird. Genauer gesagt verfestigen sich jene Komponenten, die dazu neigen, sich durch Kontakt mit Luft zu verfestigen und blockieren das Netz, was möglicherweise dazu führen kann, dass flüssiges Harz davon abgehalten wird, durch das Netzelement hindurchzugehen, wenn das flüssige Harz eine Mischung von Komponenten ist. Demnach treten die anderen Komponenten, welche verschieden von den verfestigten Komponenten sind, durch das Netzelement hindurch, was in einer Trennung des flüssigen Harzes resultiert.
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Folglich ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Harzbeschichtungsvorrichtung bereitzustellen, die eine kompakte Struktur aufweist und ein flüssiges Harz, welches wenigstens zwei Typen von Harzkomponenten umfasst, davon abhält, beim Entschäumen separiert zu werden.
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Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wird eine Harzbeschichtungsvorrichtung mit einer Düse zum Beschichten eines Werkstücks mit einem flüssigen Harz, einem ersten Zuführgang zum Zuführen des flüssigen Harz zu der Düse, einer ersten Pumpe, welche in dem ersten Zuführgang vorgesehen ist, einem Entschäumungsmittel, das mit dem ersten Zuführgang verbunden ist, einem zweiten Zuführgang, welcher das Entschäumungsmittel und eine Harzzuführquelle in Fluidverbindung miteinander hält, und einer zweiten Pumpe, welche in dem zweiten Zuführgang vorgesehen ist, bereitgestellt. Das Entschäumungsmittel umfasst einen Becher, welcher mit den ersten Zuführgang verbunden ist, um das flüssige Harz, das durch die zweite Pumpe vom zweiten Zuführgang zugeführt wird, aufzunehmen, und einen Sammelbehälter, welcher in dem Becher angeordnet ist, um das flüssige Harz, das vom zweiten Zuführgang zugeführt wird, aufzunehmen. Der Sammelbehälter weist eine rohrförmige Ausgestaltung mit einer darin ausgebildeten Öffnung auf, um mit flüssigem Harz von dem zweiten Zuführgang versorgt zu werden, und umfasst eine geschlossene Bodenwand und eine Netzfläche, die auf einer Seitenfläche angeordnet ist, welche mit der geschlossenen Bodenwand verbunden ist, wobei die Netzfläche aus einem Netz mit einer vorbestimmten Breite/Weite von der geschlossenen Bodenwand ausgestaltet ist und ferner solch eine Netzgröße aufweist, die es verhindert, dass Luftblasen, welche in dem flüssigen Harz umfasst sind, durch die Netzfläche hindurchgehen. Das flüssige Harz wird durch die Netzfläche zu der Düse durch die erste Pumpe geführt, um das flüssige Harz zu entschäumen, während die Netzfläche vollständig in dem flüssigen Harz, das in dem Becher aufgenommen ist, eingetaucht ist.
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Mit dieser Ausgestaltung wird das flüssige Harz entschäumt, während dieses durch die Netzfläche aufgrund von Schwerkraft hindurchtritt. Die Harzbeschichtungsvorrichtung, welche derart ausgestaltet ist, weist eine kompaktere Ausgestaltung als die herkömmliche Vorrichtung auf, welche das flüssige Harz unter Verwendung einer Vakuumpumpe und eines Rührwerks entschäumt. Da die Netzfläche in das flüssige Harz eingetaucht ist, wird das flüssige Harz verglichen mit einer Ausgestaltung im Stand der Technik, bei welcher ein Netzelement in der Atmosphäre angeordnet ist, vom Verfestigen bei Kontakt mit der Atmosphäre abgehalten, wenn dieses die Netzfläche betritt und verlässt. Demnach ist die Harzbeschichtungsvorrichtung dazu in der Lage, eine Situation zu vermeiden, bei welcher das Netz der Netzfläche durch verfestigte Harzkomponenten verstopft ist und das flüssige Harz davon abhält, durch die Netzfläche hindurchzutreten, selbst wenn das flüssige Harz eine Mischung von Komponenten umfasst. Im Ergebnis verhindert die Harzbeschichtungsvorrichtung das Passieren von anderen Harzkomponenten, welche nicht die verfestigten Harzkomponenten sind, durch die Netzfläche, was zu einer Trennung des flüssigen Harzes führen würde.
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Bevorzugt ist in der Harzbeschichtungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ein Ende des zweiten Zuführgangs, welches mit dem Entschäumungsmittel in Fluidverbindung ist, in das flüssige Harz eingetaucht, das in dem Becher aufgenommen ist.
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Bevorzugt umfasst die Harzbeschichtungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ferner einen oberen Limitsensor zum Detektieren einer oberen Grenze des flüssigen Harzes und einen unteren Limitsensor zum Detektieren einer unteren Grenze des flüssigen Harzes. Die erste Pumpe und die zweite Pumpe werden so betrieben, dass der Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes zwischen dem oberen Grenzwert und dem unteren Grenzwert in Abhängigkeit der Detektionsergebnisse des oberen Limitsensors und des unteren Limitsensors gehalten wird.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Harzbeschichtungsvorrichtung eine kompakte Struktur auf, da das flüssige Harz beim Passieren der Netzfläche aufgrund der Schwerkraft entschäumt wird. Da die Netzfläche vollständig in das flüssige Harz eingetaucht ist, verhindert die Harzbeschichtungsvorrichtung, dass flüssiges Harz, welches wenigstens zwei Typen von Harzkomponenten umfasst, separiert wird, wenn dieses entschäumt wird.
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Die obere und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art und Weise diese zu realisieren sowie die Erfindung selbst werden am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und begleitenden Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängte Zeichnung, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigt, verstanden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine schematische Abbildung einer Harzbeschichtungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Eine Harzbeschichtungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf die begleitende Zeichnung beschrieben. 1 ist eine schematische Abbildung der Harzbeschichtungsvorrichtung gemäß der Ausführungsform. Die Harzbeschichtungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist nicht auf die Vorrichtungsausgestaltung beschränkt, welche in 1 gezeigt ist, sondern kann Ausgestaltungen, wie eine Steuerung etc., wenn erforderlich, aufweisen.
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Wie in 1 gezeigt, versieht (beschichtet) die Harzbeschichtungsvorrichtung 1 eine Fläche Wa eines Werkstücks W, das zu beschichten ist, wie eine Lage oder dergleichen, welche beispielsweise auf einem Substrat, wie einem Halbleiterwafer oder dergleichen, angeordnet ist, mit einem flüssigen Harz L von einer Düse 11. Der Halbleiterwafer, auf welchem das Werkstück W angeordnet wurde, wird auf einem Tisch T angeordnet. Das flüssige Harz L umfasst eine Mischung aus flüssigen Harzen (z. B. ultraviolett aushärtbaren Harzen), wobei ein Thixotropiermittel hinzugefügt wird, wenn erforderlich. Die Harzbeschichtungsvorrichtung 1 umfasst die Düse 11, einen ersten Zuführgang 10, eine erste Pumpe 12, einen zweiten Zuführgang 20, eine zweite Pumpe 21 und ein Entschäumungsmittel 100.
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Der erste Zuführgang 10 umfasst ein Stromaufwärtsende, welches mit dem Entschäumungsmittel 100 verbunden ist, und ein Stromabwärtsende, welches mit der Düse 11 verbunden ist. Die erste Pumpe 12, die in dem ersten Zuführgang 10 vorgesehen ist, versorgt die Düse 11 mit flüssigem Harz L, welches von dem Entschäumungsmittel 100 über den ersten Zuführgang 10 strömt. Der zweite Zuführgang 20 umfasst ein Stromaufwärtsende, welches mit einer Harzzuführquelle 30 verbunden ist, die eine Zuführquelle des flüssigen Harz L darstellt, und ein Stromabwärtsende, welches mit dem Entschäumungsmittel 100 verbunden ist. Demnach werden die Harzzuführquelle 30 und das Entschäumungsmittel 100 über den zweiten Zuführgang 20 in Fluidverbindung gehalten. Die zweite Pumpe 21, welche in dem zweiten Zuführgang 20 vorgesehen ist, führt das flüssige Harz L dem Entschäumungsmittel 100 unter Druck von der Harzzuführquelle 30 zu.
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Das Entschäumungsmittel 100 umfasst einen Becher 110 zum Aufnehmen des flüssigen Harzes L, welches von dem zweiten Zuführgang 20 zugeführt wird, und einen Sammelbehälter 120, welcher in dem Becher 110 angeordnet ist. Der Becher 110 weist einen rohrförmigen Becherkörper 111 mit einer Öffnung 121a, welche in dessen oberen Ende ausgebildet ist, eine verjüngte Bodenwand 112, welche mit dem unteren Ende des Becherkörpers 111 verbunden ist, und eine Strömungspassage 113 auf, welche im Wesentlichen zentral in der Bodenwand 112 ausgebildet und mit dem ersten Zuführgang 10 verbunden ist.
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Der Sammelbehälter 120 umfasst ein Rohrelement 121, wobei die Öffnung 121a in dessen oberen Ende ausgebildet ist, eine Bodenwand 122, welche unterhalb des Rohrelements 121 angeordnet ist und als geschlossene Fläche fungiert, die ein Hindurchgehen des flüssigen Harzes L dadurch verhindert, und eine Netzfläche 123, welche zwischen dem Rohrelement 121 und der Bodenwand 122 angeordnet ist. Der Sammelbehälter 120 gestaltet darin einen ersten Aufnahmeraum S1 zum Aufnehmen des flüssigen Harzes L darin aus. Ein Abschnitt des zweiten Zuführgangs 20, welcher zum Stromabwärtsende davon führt, erstreckt sich durch die Öffnung 121a und ist auf dem ersten Aufnahmeraum S1 angeordnet. Der erste Aufnahmeraum S1 nimmt das flüssige Harz L, welches von zweiten Zuführgang 20 zugeführt wird, auf.
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Das Rohrelement 121 weist eine geschlossene Rohrform zum Verhindern des Hindurchgehens des flüssigen Harzes L dadurch auf. Der Durchmesser des Rohrelements 121 ist geringer als der Durchmesser des Becherkörpers 111. Ein Stützelement 150 ist auf dem oberen Ende (Öffnung 121a) des Rohrelementes 121 angeordnet. Das Stützelement 150 erstreckt sich von der Öffnung 121a radial nach außen und ist auf dem oberen Ende des Becherkörpers 111 platziert.
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Während das Stützelement 150 auf dem oberen Ende des Becherkörpers 111 angeordnet ist, ist der Sammelbehälter 120 in dem Becher 110 angeordnet und weist die Bodenwand 122 auf, welche von der Bodenwand 112 des Bechers 110 nach oben beabstandet ist. Der Becherkörper 111, das Rohrelement 121 und die Netzfläche 123 sind im Wesentlichen koaxial miteinander angeordnet. Ein zweiter Aufnahmeraum S2 zum Aufnehmen des flüssigen Harzes L ist zwischen der inneren Umfangsfläche des Bechers 110 und der äußeren Umfangsfläche des Sammelbehälters 120 ausgebildet.
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Die Netzfläche 123 ist aus einem Netz mit einer Netzgröße ausgestaltet, die es ermöglicht, dass flüssiges Harz L, welches zur Bodenwand 122 zugeführt wird, durch die Schwerkraft durch dieses hindurchgeht, welches es jedoch verhindert, dass Luftblasen, welche in dem flüssigen Harz L vorhanden sind, durch dieses hindurchgehen. Das Netz ist nicht auf ein bestimmtes Material beschränkt, wobei es beispielsweise aus Metall, Harz oder dergleichen ausgebildet sein kann. Während die Netzfläche 123 es ermöglicht, dass flüssiges Harz L durch dieses hindurchgeht, sind der erste Aufnahmeraum S1 und der zweite Aufnahmeraum S2 miteinander durch die Netzfläche 123 in Fluidverbindung. Ferner ist die Netzfläche 123 mit den unteren Enden des Rohrelementes 121 und der äußeren Umfangsfläche der Bodenwand 122 verbunden. Demnach ist die Netzfläche 123 entlang einer Vertikalrichtung von der Bodenwand 122 mit einer vorbestimmten Breite ausgebildet und fluchtet im Wesentlichen mit dem Rohrelement 121.
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Das Entschäumungsmittel 100 ist ferner mit einem oberen Limitsensor 130 und einem unteren Limitsensor 140 zum Detektieren des Flüssigkeitsstands des flüssigen Harzes L versehen. Der obere Limitsensor 130 und der untere Limitsensor 140 sind an entsprechenden Positionen lateral außerhalb des Bechers 110 angeordnet. Der obere Limitsensor 130 umfasst ein lichtemittierendes Element 131 und ein Lichtempfangselement 132, wobei der untere Limitsensor 140 ebenfalls ein lichtemittierendes Element 141 und ein Lichtempfangselement 142 aufweist. Der obere Limitsensor 130 und der untere Limitsensor 140 detektieren, ob flüssiges Harz L in sowohl dem ersten und zweiten Aufnahmeraum S1 und S2 vorhanden ist oder nicht, während das Licht, welches von den lichtemittierenden Elementen 131 und 141 emittiert wird, die Lichtempfangselemente 132 und 142 erreicht.
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Der obere Limitsensor 130 ist oberhalb des unteren Limitsensors 140 angeordnet. Der obere Limitsensor 130 ist so angeordnet, dass dieser ein oberes Limit des Flüssigkeitsstands des flüssigen Harzes L detektiert, während der untere Limitsensor 140 so angeordnet ist, dass dieser ein unteres Limit des Flüssigkeitsstands des flüssigen Harz L detektiert. Die Position des Flüssigkeitsstands, bei welcher die Detektion des flüssigen Harzes L durch den oberen Limitsensor 130 geschaltet wird, wird als ein oberer Grenzwert bezeichnet, der in 1 durch HL gekennzeichnet ist, wobei die Position des Flüssigkeitsstands, bei welcher die Detektion des flüssigen Harzes L durch den unteren Limitsensor 140 geschaltet wird, als ein unterer Grenzwert bezeichnet wird, welcher durch LL in 1 gekennzeichnet ist.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist das Lichtempfangselement 132 des oberen Limitsensors 130 oberhalb des lichtemittierenden Elements 141 des unteren Limitsensors 140 angeordnet, wobei das lichtemittierende Element 131 des oberen Limitsensors 130 oberhalb des Lichtempfangselements 142 des unteren Limitsensors 140 angeordnet ist. Diese Ausgestaltung ermöglicht es, die Lichtempfangselemente 132 und 142 von fehlerhaftem Funktionieren aufgrund der Detektion von Licht von den entsprechenden lichtemittierenden Elementen 131 und 141 abzuhalten, welche nicht deren beabsichtigten Ziele sind. Das Layout der lichtemittierenden Elemente 131 und 141 und der Lichtempfangselement 132 und 142 kann insoweit geeignet geändert werden, dass diese dazu in der Lage sind, den Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes L genau zu messen.
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In Abhängigkeit der Detektionsergebnisse, genauer der detektierten Flüssigkeitsstände, vom oberen Limitsensor 130 und unteren Limitsensor 140 wird der Betrieb der ersten Pumpe 12 und der zweiten Pumpe 21 durch eine Steuerung, die nicht gezeigt ist, gesteuert. Genauer gesagt wird die Steuerung so betrieben, dass diese die erste Pumpe 12 anstellt und die zweite Pumpe 21 ausstellt, wenn der obere Limitsensor 130 das flüssige Harz L detektiert. Wenn der untere Limitsensor 140 das flüssige Harz L detektiert, stellt die Steuerung die erste Pumpe 12 aus und die zweite Pumpe 21 an.
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Die Position des unteren Limitsensors 140 ist höher als die Position des oberen Endes der Netzfläche 123, weshalb die Position des unteren Grenzwertes LL des flüssigen Harzes L ebenfalls höher als die Position des oberen Endes der Netzfläche 123 ist. Das Stromabwärtsende des zweiten Zuführgangs 20 ist an einer Position angeordnet, welche niedriger als das obere Ende der Netzfläche 123 ist. Demnach sind das Stromabwärtsende des zweiten Zuführgangs 20 und die Netzfläche 123 vollständig im flüssigen Harz L eingetaucht, solange der Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes L sich beim oder oberhalb des unteren Grenzwertes LL befindet.
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Ein Verfahren zum Beschichten der Fläche Wa des Werkstückes W mit dem flüssigen Harz L unter Verwendung der Harzbeschichtungsvorrichtung 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird nun beschrieben. Zunächst wird die zweite Pumpe 21 betrieben, um das flüssige Harz L unter Druck von der Harzzuführquelle 30 durch den zweiten Zuführgang 20 in den ersten Aufnahmeraum S1 des Sammelbehälters 120 zuzuführen. Wenn das flüssige Harz L in Richtung der Bodenwand 122 des Sammelbehälters 120 zugeführt wird, tritt das flüssige Harz L durch die Netzfläche 123 aufgrund der Schwerkraft hindurch und strömt anschließend in den zweiten Aufnahmeraum S2. Irgendwann befinden sich der Flüssigkeitstand des flüssigen Harzes L in dem zweiten Aufnahmeraum S2 und der Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes L in dem ersten Aufnahmeraum S1 an derselben Position. Wenn die erste Pumpe 12 dann betrieben wird, wird das flüssige Harz L in dem zweiten Aufnahmeraum S2 unter Druck durch den ersten Zuführgang 10 zur Düse 11 zugeführt, von welcher das flüssige Harz L appliziert wird, um die Fläche Wa des Werkstückes W zu beschichten.
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Die Beziehung zwischen dem Betrieb der ersten Pumpe 12 und der zweiten Pumpe 21 und der Detektionsergebnisse des oberen Limitsensors 130 und des unteren Limitsensors 140 in dem oberen Verfahren zum Beschichten der Fläche Wa des Werkstücks W mit dem flüssigen Harz L wird im Folgenden beschrieben. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform werden die erste Pumpe 12 und die zweite Pumpe 21 in Abhängigkeit der Detektionsergebnisse des oberen Limitsensors 130 und des zweiten Limitsensors 140 gesteuert. Die erste Pumpe 12 und die zweite Pumpe 21 können jedoch auch in anderer Weise gesteuert werden.
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In dem Fall, bei dem sowohl der obere Limitsensor 130 und der untere Limitsensor 140 das flüssige Harz L detektieren, ist der Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes L höher als der obere Grenzwert HL. In diesem Fall stellt die Steuerung die zweite Pumpe 21 aus und die erste Pumpe 12 an, um den Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes L zu verringern. Während das flüssige Harz L durch die Düse 11 zugeführt wird, um die Fläche Wa des Werkstückes W zu beschichten, wird der Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes L verringert. Demnach steigt der Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes L nicht über den oberen Grenzwert HL, so dass ein Überlaufen des Bechers 110 verhindert wird.
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In dem Fall, dass sowohl der obere Limitsensor 130 und der untere Limitsensor 140 das flüssige Harz L nicht detektieren, ist der Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes L geringer als der untere Grenzwert LL. In diesem Fall schaltet die Steuerung die erste Pumpe 12 aus und die zweite Pumpe 21 an, um den Flüssigkeitsstand des flüssigen Harzes L zu erhöhen. Das flüssige Harz L wird vom zweiten Zuführgang 20 zugeführt, was den Flüssigkeitstand des flüssigen Harzes L erhöht. Im Ergebnis wird der Becher 110 davon abgehalten, dass dieser zu wenig flüssiges Harz L aufweist, so dass der Flüssigkeitstand des flüssigen Harzes L nicht unterhalb des unteren Grenzwertes LL verbleibt. Demnach bleiben das Stromabwärtsende des zweiten Zuführganges 20 und die Netzfläche 123 vollständig im flüssigen Harz L eingetaucht. Der Flüssigkeitstand des flüssigen Harzes L wird nun zwischen dem oberen Grenzwert HL und dem unteren Grenzwert LL aufrechterhalten.
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Ein Verfahren zum Entschäumen des flüssigen Harzes L in dem Entschäumungsmittel 100 wird nun im Folgenden beschrieben. Wenn das flüssige Harz L, welches Luftblasen umfasst, vom zweiten Zuführgang 20 zur Bodenwand 122 zugeführt wird, tritt das flüssige Harz L durch die Netzfläche 123 aufgrund von Schwerkraft hindurch. Zu dieser Zeit sind Luftblasen, welche in dem flüssigen Harz L umfasst sind, nicht dazu in der Lage, durch die Netzfläche 123 aufgrund der Netzgröße des Netzes der Netzfläche 123 hindurchzutreten. In dieser Art und Weise werden Luftblasen vom flüssigen Harz L entfernt, wenn dieses durch die Netzfläche 123 hindurchtritt.
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In dem Ausmaß, zu welchem die Netzfläche 123 in dessen Gesamtheit in das flüssige Harz L eingetaucht ist, wird das flüssige Harz L nicht zur Atmosphäre freigelegt, wenn dieses die Netzfläche 123 betritt und sich aus dieser entfernt. Ferner wird das flüssige Harz L nicht zur Atmosphäre direkt nach Zufuhr des flüssigen Harzes L vom zweiten Zuführgang 20 freigelegt, da das Stromabwärtsende des zweiten Zuführgangs 20 in das flüssige Harz L eingetaucht ist. Demnach wird das flüssige Harz L vom Verfestigen innerhalb und außerhalb der Netzfläche 123 abgehalten, selbst wenn das flüssige Harz L Komponenten umfasst, die bei Luftkontakt zum Verfestigen neigen. Im Ergebnis ist die Harzbeschichtungsvorrichtung 1 dazu in der Lage, eine Situation zu vermeiden, bei welcher das Netz der Netzfläche 123 durch verfestigte Harzkomponenten verstopft und flüssiges Harz L davon abgehalten wird, durch die Netzfläche 123 hindurchzugehen, und andere Harzkomponenten, welche nicht verfestigte Harzkomponenten sind, ebenfalls davon abzuhalten, durch die Netzfläche 123 hindurchzugehen, wodurch das flüssige Harz L separiert würde.
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In dem Fall, bei dem das Netzelement, durch welches das flüssige Harz hindurchgeht, in der Atmosphäre oberhalb des Flüssigkeitsstands des flüssigen Harzes angeordnet ist, wie es im Stand der Technik der Fall ist, neigen einige Komponenten dazu, durch das Netz des Netzelementes gefangen zu werden, da das flüssige Harz eine Mischung aus Komponenten ist. Diese Komponenten, die durch das Netz gefangen wurden, gehen mit hoher Wahrscheinlichkeit nicht durch das Netz hindurch, da diese sich gegenseitig anziehen. Ferner ist das flüssige Harz anfällig für eine Separierung, da die Harzkomponenten, welche verschieden von jenen Komponenten sind, die durch das Netz gefangen wurden, durch das Netz hindurchgehen.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung sind eine Vielzahl von Harzkomponenten, welche das flüssige Harz L ausgestalten, sowohl innerhalb als auch außerhalb der Netzfläche 123 vorhanden, da die Netzfläche 123 vollständig in das flüssige Harz L eingetaucht ist. Demnach sind die Harzkomponenten, die innerhalb der Netzfläche 123, und die Harzkomponenten, die außerhalb der Netzfläche 123 verbleiben, identisch und in gleichen Anteilen vorhanden. Das flüssige Harz L, welches durch die Netzfläche 123 aufgrund der Schwerkraft hindurchgeht, wird durch das flüssige Harz L außerhalb der Netzfläche 123 angezogen, was es für alle Komponenten des flüssigen Harzes L leicht macht, durch die Netzfläche 123 hindurchzugehen. Im Ergebnis ist die Harzbeschichtungsvorrichtung 1 dazu in der Lage, eine Separierung des flüssigen Harzes L zu verhindern, bei welcher die Harzkomponenten, welche dazu neigen, durch das Netz hindurchzugehen, und die Harzkomponenten, welche weniger dazu neigen, durch das Netz hindurchzugehen, voneinander getrennt werden.
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In der vorliegenden Erfindung weist die Harzbeschichtungsvorrichtung 1 eine kompakte Struktur auf, wie weiter oben beschrieben, da das flüssige Harz L entschäumt wird, wenn es durch die Netzfläche 123 aufgrund der Schwerkraft hindurchgeht. Da die Netzfläche 123 in das flüssige Harz L eingetaucht ist, werden bestimmte Komponenten des flüssigen Harzes L davon abgehalten, durch die Netzfläche 123 voneinander getrennt zu werden.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obere Ausführungsform beschränkt, sondern es können Veränderungen und Modifikationen der Ausführungsform durchgeführt werden. In der oben beschriebenen Ausführungsform sind die Größen, Formen und Richtungen, welche in den begleitenden Zeichnungen dargestellt sind, nicht beschränkend, sondern können geeignet innerhalb des Bereiches, in welchem die vorliegende Erfindung effektiv ist, verändert werden. Andere Veränderungen und Modifikationen können durchgeführt werden, ohne vom Umfang der Aufgabe der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
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Beispielsweise kann das flüssige Harz L, welches verwendet wird, eine Vielzahl von Harzkomponenten aufweisen oder ein Einzelkomponentenflüssigharz sein. Angenommen, dass das flüssige Harz L ein Einzelkomponentenflüssigkeitsharz ist, kann das flüssige Harz L auf einfache Art und Weise durch die Netzfläche 123 hindurchgehen, selbst wenn das flüssige Harz L aus einer Komponente ausgebildet ist, die dazu neigt, durch das Netz oder die Netzfläche 123 gefangen zu werden, da die Netzfläche 123 in das flüssige Harz L eingetaucht ist, obwohl die Netzgröße der Netzfläche 123 aufgrund der Bestimmung zum Entschäumen des flüssigen Harzes L nicht vergrößert werden kann.
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Die Netzfläche 123 kann durch einen partiellen Umfangsbereich oder einen vollständigen Umfangsbereich ausgebildet werden. Das Netz der Netzfläche 123 ist nicht auf ein bestimmtes Material beschränkt, wobei dieses aus Metall oder Harz ausgebildet sein kann.
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In der oberen Ausführungsform können der obere Limitsensor 130 und der untere Limitsensor 140 insoweit ein modifiziertes Design aufweisen, dass diese dazu in der Lage sind, das flüssige Harz L im ersten und zweiten Aufnahmeraum S1 und S2 zu detektieren. Beispielsweise können der obere Limitsensor 130 und der untere Limitsensor 140 das flüssige Harz L am oberen Grenzwert HL und am unteren Grenzwert LL unter Verwendung einer Geräuschwelle, wie einer Ultraschallwelle, detektieren.
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Wie oben beschrieben, weist die Harzbeschichtungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung eine kompakte Struktur auf und verhindert, dass ein flüssiges Harz, welches mindestens zwei Typen von Harzkomponenten aufweist, beim Entschäumen separiert wird.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die begleitenden Ansprüche definiert, wobei alle Änderungen und Modifikationen, welche in die Äquivalenz des Umfangs der Ansprüche fallen, durch die Erfindung umfasst sind.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- JP 11-213990 [0002, 0004]
- JP 2004-033924 [0002, 0004]
- JP 2013-233496 [0003, 0004]
