JP2016122090A - ペリクル用粘着剤、それを用いたペリクル、及びペリクルの評価方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペリクルをフォトマスクに貼り付けるためのペリクル用粘着剤であって、粘着剤層13の下端面には粘着剤層13を保護するための離型層(セパレータ)14が剥離可能に貼り付けられている。粘着剤層13は、応力発光材料を含有させた粘着剤であり、ペリクルフレームを粘着剤層13でフォトマスクに貼り付けた時に、粘着剤の塗布厚が一様でなく、一部で凸形状に出っ張っている部分があると、平坦部よりも相対的に大きな応力が加わり、そのため、該粘着剤13中に添加された応力発光材料が強く発光する。
【選択図】図1
Description
さらに、CCDカメラ及び画像処理装置を用いて、発光面積や発光量を測定することで、ペリクルフレーム上に形成された粘着剤層の凹凸やうねり等の状態を定量的に評価することができ、その結果、個人差のない、より正確で信頼性の高い評価が可能となる。
図1は、応力発光材料が添加された本発明のペリクル用粘着剤を使用した、本発明のペリクルの一例を示す概略縦断面図である。
ここで、本発明においては、ペリクル膜、及びペリクルフレームの材質に特に制限はなく、公知のものを使用することができるが、剛性、加工性の点から、ペリクルフレームは金属製のものが好ましい。また、ペリクル膜は公知の方法でペリクルフレームに接着される。
さらに、CCDカメラと画像処理装置を用いて、発光面積や発光量を測定することにより、粘着剤層の凹凸、うねり状態を定量的に評価することが可能となるため、ペリクルに設けられた粘着剤層の評価基準を明確にすることができ、観察者によって評価基準が異なる等の問題を解決し、より正確で効果的な評価が可能となる。
はじめに、アルミ合金製のペリクルフレーム(外形サイズ149mm×122mm×高さ5.8mm、肉厚2mm)をクリーンルーム内に搬入し、中性洗剤と純水を用いて十分に洗浄後、乾燥させた。
一方、シリコーン粘着剤X−40−3122(信越化学工業社製:製品名)100質量部に、ユーロピウム(Eu)イオンを発光イオンとして賦活したアルミン酸ストロンチウムからなる応力発光材料ML−032(堺化学工業社製:製品名)を100質量部添加し、混合して、ペリクル用粘着剤を調製した。そして、調製した該粘着剤を自動ディスペンサ(岩下エンジニアリング社製、図示せず)を用いてペリクルフレームの下端面に塗布した。
その後、該粘着剤の流動性がなくなるまで風乾させた後、さらに高周波誘導加熱装置(図示せず)によりペリクルフレームを130℃まで加熱し、該粘着剤を硬化させて粘着剤層を形成した。
また、前記ペリクルフレーム上端面には、接着剤としてサイトップCTX−A(旭硝子社製:製品名)を介して、ペリクル膜を貼り付け、カッターにて枠外の不要膜を切除しペリクルを完成させた。
前記粘着剤を、アクリル粘着剤SK−1495(綜研化学社製:製品名)100質量部に対して、応力発光材料ML−032(堺化学工業社製:製品名)を100質量部添加し、混合して調製したほかは、実施例1と同様にしてペリクルを作製した。
前記粘着剤として、X−40−3122(信越化学工業社製:製品名)を使用し、応力発光材料を添加しない以外は、実施例1と同様にしてペリクルを作製した。
前記粘着剤として、SK−1495(綜研化学社製:製品名)を使用し、応力発光材料を添加しない以外は、実施例1と同様にしてペリクルを作製した。
実施例1,2、及び比較例1,2で得られたペリクルをそれぞれ、ガラス基板のパターン形成面側に貼り付け、以下に示すように、目視及びCCDカメラにて各ペリクルの粘着剤層の貼り付け状態を観察した(観察1,2)。
1.蛍光灯下における目視での貼り付け状態の観察
クリーンルーム内において、蛍光灯下で、ペリクルが貼り付けられたガラス基板の裏面から粘着剤層の貼り付け部分を目視にて、発光の有無や発光の強弱を確認した。
2.CCDカメラによる貼り付け状態の観察
上記と同様の条件下で、ペリクルが貼り付けられたガラス基板の裏面から粘着剤層の貼り付け部分をCCDカメラ/画像処理装置(IVシリーズ、CV−X100シリーズ(いずれもキーエンス社製)にて、発光の有無や発光の強弱を確認した。
(評価基準)
◎:粘着剤層の凹凸、うねり状態を一定の基準のもとで定量的に評価可能。
○:粘着剤層の凹凸、うねり状態を認識でき、おおまかに評価可能。
×:粘着剤層の凹凸、うねり状態を認識できず、評価不可。
11 ペリクル膜
12 ペリクルフレーム
13 粘着剤層(応力発光材料を含有した粘着剤)
14 離型層(セパレータ)
Claims (8)
- ペリクルをフォトマスクに貼り付けるためのペリクル用粘着剤であって、粘着剤に応力発光材料を添加したものであることを特徴とするペリクル用粘着剤。
- 前記応力発光材料が、応力の大きさに応じて発光量が変化する材料である請求項1に記載のペリクル用粘着剤。
- 前記応力発光材料が、ユーロピウム(Eu)イオンを発光イオンとして賦活したアルミン酸ストロンチウム系の材料である請求項1又は2に記載のペリクル用粘着剤。
- 前記粘着剤の主成分が、シリコーン系組成物である請求項1〜3のいずれか1項に記載のペリクル用粘着剤。
- 前記粘着剤の主成分が、アクリル系組成物である請求項1〜3のいずれか1項に記載のペリクル用粘着剤。
- 前記応力発光材料の添加量が、前記粘着剤100質量部に対して50〜1,000質量部である請求項1〜5のいずれか1項に記載のペリクル用粘着剤。
- 少なくともペリクル膜と、該ペリクル膜が一方の端面に貼り付けられたペリクルフレームと、該ペリクルフレームの他方の端面にペリクルをフォトマスクに貼り付けるための粘着剤層とを有するペリクルであって、該粘着剤層が、請求項1〜6のいずれか1項に記載のペリクル用粘着剤からなることを特徴とするペリクル。
- 請求項7に記載のペリクルをフォトマスクに貼り付け、その際の該ペリクルの粘着剤層の発光量を確認することを特徴とするペリクルの評価方法。
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Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04133060A (ja) * | 1990-09-25 | 1992-05-07 | Dainippon Printing Co Ltd | フォトマスク用ペリクルの接着部等の検査方法 |
JPH10282640A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-10-23 | Mitsui Chem Inc | マスク等の基板へのペリクルの貼付方法及び該方法によって得られるペリクル貼付基板 |
JP2006038586A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 接着剤層内部の応力分布の測定方法 |
JP2009271196A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体リソグラフィー用ペリクルおよびその製造方法 |
JP2009276504A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体リソグラフィー用ペリクル |
JP2009300923A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Fujifilm Corp | 偽造防止用積層構造体 |
JP2010195007A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧着はがきシート |
JP2011164259A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
WO2012004951A1 (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-12 | 三井化学株式会社 | ペリクル及びそれに用いるマスク接着剤 |
JP2012108277A (ja) * | 2010-11-17 | 2012-06-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
JP2013120363A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-17 | Sato Knowledge & Intellectual Property Institute | 応力発光表示媒体 |
JP2013134481A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル |
JP2014065813A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Nitto Denko Corp | シート状伸長性有機基材 |
JP2014198769A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 堺化学工業株式会社 | 応力発光材料用原料組成物、応力発光材料、及びその応用 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58219023A (ja) | 1982-06-15 | 1983-12-20 | Daicel Chem Ind Ltd | 樹脂薄膜の製造方法 |
US4861402A (en) | 1984-10-16 | 1989-08-29 | Du Pont Tau Laboratories, Inc. | Method of making a cellulose acetate butyrate pellicle |
JPS6327707A (ja) | 1986-07-21 | 1988-02-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 双曲面鏡検査装置 |
JP2007055144A (ja) | 2005-08-25 | 2007-03-08 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 応力発光構造物および応力発光構造物の製造方法、並びに真贋判定装置 |
EP2980184B1 (en) * | 2013-03-29 | 2018-08-01 | Sakai Chemical Industry Co., Ltd. | Use of a mechanoluminescent material |
JP6150300B2 (ja) | 2014-04-04 | 2017-06-21 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルの貼り付け部確認方法 |
JP6308623B2 (ja) | 2014-12-25 | 2018-04-11 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル用粘着剤、それを用いたペリクル、及びペリクルの評価方法 |
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Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04133060A (ja) * | 1990-09-25 | 1992-05-07 | Dainippon Printing Co Ltd | フォトマスク用ペリクルの接着部等の検査方法 |
JPH10282640A (ja) * | 1997-02-10 | 1998-10-23 | Mitsui Chem Inc | マスク等の基板へのペリクルの貼付方法及び該方法によって得られるペリクル貼付基板 |
JP2006038586A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 接着剤層内部の応力分布の測定方法 |
JP2009271196A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体リソグラフィー用ペリクルおよびその製造方法 |
JP2009276504A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体リソグラフィー用ペリクル |
JP2009300923A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Fujifilm Corp | 偽造防止用積層構造体 |
JP2010195007A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧着はがきシート |
JP2011164259A (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
WO2012004951A1 (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-12 | 三井化学株式会社 | ペリクル及びそれに用いるマスク接着剤 |
JP2012108277A (ja) * | 2010-11-17 | 2012-06-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィー用ペリクル |
JP2013120363A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-17 | Sato Knowledge & Intellectual Property Institute | 応力発光表示媒体 |
JP2013134481A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル |
JP2014065813A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Nitto Denko Corp | シート状伸長性有機基材 |
JP2014198769A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 堺化学工業株式会社 | 応力発光材料用原料組成物、応力発光材料、及びその応用 |
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