JP2021005728A - ガスパージノズル及びフロントパージユニット - Google Patents
ガスパージノズル及びフロントパージユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021005728A JP2021005728A JP2020165500A JP2020165500A JP2021005728A JP 2021005728 A JP2021005728 A JP 2021005728A JP 2020165500 A JP2020165500 A JP 2020165500A JP 2020165500 A JP2020165500 A JP 2020165500A JP 2021005728 A JP2021005728 A JP 2021005728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- communication hole
- gas
- purge nozzle
- discharge opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
容器内に清浄化ガスを導入するためのガスパージノズルであって、
長手方向に延在する第1室が内部に形成されており、ガス供給部から前記清浄化ガスが供給される第1部分と、
前記第1室と並んで前記長手方向に延在する第2室が内部に形成されており、前記長手方向に沿って形成される放出開口を介して前記第2室から外部へ前記清浄化ガスを放出する第2部分とを有し、
前記第1室と前記第2室とは、前記第2室における前記長手方向の一方の端部の近くで前記第1室と前記第2室とを連通させる第1連通孔と、前記第2室における前記長手方向の他方の端部の近くで前記第1室と前記第2室とを連通させる第2連通孔とを介して、前記清浄化ガスが流れるように接続されており、
前記放出開口は、前記長手方向に関して前記第1連通孔と前記第2連通孔との間に設けられていることを特徴とする。
前記放出開口は、前記中央壁部に対向し、かつ、前記第1連通孔及び前記第2連通孔には対向しないように設けられていてもよい。
また、例えば、前記第1連通孔と前記第2連通孔の開口径が異なっていてもよい。
第1連通孔と第2連通孔のコンダクタンスを異ならせる方法は特に限定されないが、例えば第1連通孔と第2連通孔との開口径を異ならせることにより、精度よく際を発生させることができる。
また、開口フィルタは、多孔質材からなるものであってもよい。
2… 密封搬送容器
2a… ケーシング
2b… 主開口
2c… 開口縁
3… 位置決め部
4… 蓋
5… 給気ポート
6… 排気ポート
10… ロードポート装置
11… 壁
12… 設置台
13… 壁側開口
13a… 側辺部
13b… 上辺部
13c… 下辺部
14… 可動テーブル
16… 位置決めピン
17…アダプター
18… ドア
20… フロントパージユニット
22… ガスパージノズル
23… 第1部分
23a… 第1室
23e、24e… 上端部
23f、24f… 下端部
24… 第2部分
24a… 第2室
24b… 放出開口
24c、24d… 端部壁部
25…第1連通孔
25a、26a… 連通孔フィルタ
26… 第2連通孔
27… 開口フィルタ
29… 中央壁部
28… ガス供給部
30… カーテンノズル
40… FFU
50… ロボットアーム
60… ミニエンバイロメント装置
60a… 中間室
70… 処理室
83… 連結部材
84、85… フィルタ押さえ
Claims (9)
- 容器内に清浄化ガスを導入するためのガスパージノズルであって、
長手方向に延在する第1室が内部に形成されており、ガス供給部から前記清浄化ガスが供給される第1部分と、
前記第1室と並んで前記長手方向に延在する第2室が内部に形成されており、前記長手方向に沿って形成される放出開口を介して前記第2室から外部へ前記清浄化ガスを放出する第2部分とを有し、
前記第1室と前記第2室とは、前記第2室における前記長手方向の一方の端部の近くで前記第1室と前記第2室とを連通させる第1連通孔と、前記第2室における前記長手方向の他方の端部の近くで前記第1室と前記第2室とを連通させる第2連通孔とを介して、前記清浄化ガスが流れるように接続されており、
前記放出開口は、前記長手方向に関して前記第1連通孔と前記第2連通孔との間に設けられており、
前記第1連通孔と前記第2連通孔との間に設けられており、前記第1室と前記第2室とを隔てる中央壁部を有しており、
前記放出開口は、前記中央壁部に対向し、かつ、前記第1連通孔及び前記第2連通孔には対向しないように設けられており、
前記第1連通孔は、前記放出開口に対向せず、前記放出開口の上方端部から前記第2室の上端部までを接続しており前記清浄化ガスを通過させない上端部側端部壁部に対向しており、
前記第2連通孔は、前記放出開口に対向せず、前記放出開口の下方端部から前記第2室の下端部までを接続しており前記清浄化ガスを通過させない下端部側端部壁部に対向していることを特徴とするガスパージノズル。 - 前記第1連通孔及び前記第2連通孔は、前記第2室における前記長手方向の長さを1とした場合、前記第2室における前記長手方向の前記一方の端部又は前記他方の端部からそれぞれ0.15以内の領域に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のガスパージノズル。
- 前記第1連通孔と前記第2連通孔のコンダクタンスが異なることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のガスパージノズル。
- 前記第1連通孔と前記第2連通孔の開口径が異なることを特徴とする請求項3に記載のガスパージノズル。
- 前記第1連通孔及び前記第2連通孔には、前記第1室から前記第2室への前記清浄化ガスの流れを調整する連通孔フィルタが設けられていることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載のガスパージノズル。
- 前記放出開口には、前記第2室から外部へ放出される前記清浄化ガスの流れを調整する開口フィルタが設けられていることを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれかに記載のガスパージノズル。
- 前記開口フィルタは、多孔質材料からなることを特徴とする請求項6に記載のガスパージノズル。
- 前記第1連通孔と前記第2連通孔のコンダクタンスが等しいことを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれかに記載のガスパージノズル。
- 請求項1から請求項8までのいずれかに記載のガスパージノズルを有し、
収容物を出し入れするための主開口を介して前記容器内に前記清浄化ガスを導入させるフロントパージユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020165500A JP6969645B2 (ja) | 2016-06-01 | 2020-09-30 | ガスパージノズル及びフロントパージユニット |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016109888A JP2017216383A (ja) | 2016-06-01 | 2016-06-01 | ガスパージノズル及びフロントパージユニット |
JP2020165500A JP6969645B2 (ja) | 2016-06-01 | 2020-09-30 | ガスパージノズル及びフロントパージユニット |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016109888A Division JP2017216383A (ja) | 2016-06-01 | 2016-06-01 | ガスパージノズル及びフロントパージユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021005728A true JP2021005728A (ja) | 2021-01-14 |
JP6969645B2 JP6969645B2 (ja) | 2021-11-24 |
Family
ID=74098253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020165500A Active JP6969645B2 (ja) | 2016-06-01 | 2020-09-30 | ガスパージノズル及びフロントパージユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6969645B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006351864A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム及び処理方法 |
JP2009088437A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の導入ポート機構及び処理システム |
JP2013058734A (ja) * | 2011-08-15 | 2013-03-28 | Tdk Corp | パージ装置及び該パージ装置を有するロードポート装置 |
US20160118279A1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus, and methods for purging a substrate carrier at a factory interface |
-
2020
- 2020-09-30 JP JP2020165500A patent/JP6969645B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006351864A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム及び処理方法 |
JP2009088437A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 被処理体の導入ポート機構及び処理システム |
JP2013058734A (ja) * | 2011-08-15 | 2013-03-28 | Tdk Corp | パージ装置及び該パージ装置を有するロードポート装置 |
US20160118279A1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus, and methods for purging a substrate carrier at a factory interface |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6969645B2 (ja) | 2021-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11446713B2 (en) | Gas purge unit and load port apparatus | |
KR101033408B1 (ko) | 수용 대상물 이송 시스템 | |
KR101030884B1 (ko) | 닫힘 용기용 덮개 개폐 시스템 및 이를 이용한 기재 처리방법 | |
JP6492884B2 (ja) | ロードポート装置 | |
KR100799415B1 (ko) | 제품 컨테이너용 퍼지 시스템 및 퍼지 시스템에 사용하기위한 테이블 | |
JP6679906B2 (ja) | Efem | |
JP4301456B2 (ja) | 密閉容器の蓋開閉システム | |
JP6287515B2 (ja) | Efemシステム及び蓋開閉方法 | |
JP6226190B2 (ja) | パージシステム、及び該パージシステムに供せられるポッド及びロードポート装置 | |
JP2017108049A (ja) | Efemにおけるウエハ搬送部及びロードポート部の制御方法 | |
CN107017190B (zh) | 装载端口装置及向装载端口装置的容器内的清洁化气体导入方法 | |
CN113169103A (zh) | 晶片储存器 | |
JP2015142008A (ja) | ロードポート装置 | |
JP2015026806A (ja) | 密閉容器の蓋開閉システム及び当該システムを用いた基板処理方法 | |
JP6969645B2 (ja) | ガスパージノズル及びフロントパージユニット | |
JP6597875B2 (ja) | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 | |
JP6380754B2 (ja) | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 | |
JP6553498B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2008135791A (ja) | 密閉容器の蓋開閉システムに用いられるパージ用パイプユニット | |
JP6769134B2 (ja) | ガスパージユニット及びロードポート装置 | |
JP2017216383A (ja) | ガスパージノズル及びフロントパージユニット | |
JP6390425B2 (ja) | ガスパージユニット | |
JP6429015B2 (ja) | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 | |
JP6390424B2 (ja) | ガスパージユニット | |
JP2019102497A (ja) | ポッド及びパージ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200930 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210928 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211011 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6969645 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |