JP7070606B2 - ガスパージユニット及びロードポート装置 - Google Patents
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Description
開口を有するパージ対象容器の内部に、前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第1ノズル口を有し、前記開口の側辺に沿って配置される第1吹き出し部材と、
前記第1ノズル口より前記開口から遠い位置に配置され、前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第2ノズル口を有し、前記側辺に沿って配置される第2吹き出し部材と、を有する。
前記第3吹き出し部材は、清浄化ガスの流路であって前記第3ノズル口へ通じる第3流路を有してもよく、
前記第1吹き出し部材と前記第3吹き出し部材とは、前記第1流路と前記第3流路とが連通するように接続されていてもよい。
前記第3吹き出し部材は、清浄化ガスの流路であって前記第3ノズル口へ通じる第3流路を有してもよく、
前記第2吹き出し部材と前記第3吹き出し部材とは、前記第2流路と前記第3流路とが連通するように接続されていてもよい。
前記開口の上辺に沿って配置され、前記開口面の法線方向へ突出する庇部材を有してもよい。
さらに、本発明に係るガスパージユニットにおいては、前記庇部材と前記カバー部材とは、互いに連結された一体構造となっていてもよい。
また、庇部材とカバー部材とが一体構造であることにより、第1及び第2ノズル口による清浄化ガスの気流が乱される問題を効果的に防止し、かつ、清浄化ガスの気流を保護する構造を単純化することが可能である。
図1に示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10は、ミニエンバイロメント装置の中間室60等に連結してある。ロードポート装置10は、後述するガスパージユニット20の他に、鉛直方向に延びる壁11と、壁11の一方側に設けられる設置台12と、その設置台12に対して、Y軸方向に移動可能な可動テーブル14とを有する。なお、図面において、Y軸が可動テーブル14の移動方向を示し、Z軸が鉛直方向の上下方向を示し、X軸がこれらのY軸およびZ軸に垂直な方向を示す。
図7は、本発明の第2実施形態に係るロードポート装置210を表す概略斜視図であり、第1実施形態に係るロードポート装置10の図2に相当する。第2実施形態に係るロードポート装置210が有するガスパージユニット220は、庇部材272及びカバー部材274を有する点で第1実施形態に係るロードポート装置10が有するガスパージユニット20とは異なるが、その他の点はガスパージユニット20と同様である。したがって、ロードポート装置210が有するガスパージユニット220については、ガスパージユニット20との相違点のみ説明する。
図9は、本発明の第3実施形態に係るロードポート装置に備えられるガスパージユニット320の概略断面図であり、第2実施形態に係るガスパージユニット220の図8に相当する。第3実施形態に係るロードポート装置が有するガスパージユニット320は、第1吹き出し部材22と第2吹き出し部材24とが接触しておらず、所定の間隔を空けて配置されている点で第2実施形態に係るガスパージユニット220とは異なるが、その他の点はガスパージユニット220と同様である。したがって、ガスパージユニット320については、ガスパージユニット220との相違点のみ説明する。
2… 密封搬送容器
2a… ケーシング
2b… 開口
2ba…上辺
2bb…側辺
2c… 開口縁
3… 位置決め部
4… 蓋
5… 給気ポート
6… 排気ポート
10… ロードポート装置
11… 壁
12… 設置台
13… 壁側開口
14… 可動テーブル
16… 位置決めピン
18… ドア
20、120、220、320、420… ガスパージユニット
22… 第1吹き出し部材
22a… 第1ノズル口
22b… 第1流路
24、424… 第2吹き出し部材
24a、424a… 第2ノズル口
24b、424b… 第2流路
26、426… 第3吹き出し部材
26a、426a… 第3ノズル口
26b、426b… 第3流路
28… 取付け部材
32… 第1ガス供給部
32b… 第1ガス供給管
32a… 第1ガス供給室
34… 第2ガス供給部
34b… 第2ガス供給管
34a… 第2ガス供給室
38… 共通ガス供給部
38b… 分岐ガス供給管
38a… 共通ガス供給室
40… FFU
50… ロボットアーム
60… 中間室
70… 処理室
272… 庇部材
272a… 庇部上面
272b… 庇折り返し部
274… カバー部
274a… 側面カバー部
274b… 折り返しカバー部
Claims (9)
- 開口を有するパージ対象容器の内部に、前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第1ノズル口を有し、前記開口の側辺に沿って配置される第1吹き出し部材と、
前記第1ノズル口より前記開口から遠い位置に配置され、前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第2ノズル口を有し、前記側辺に沿って配置される第2吹き出し部材と、
前記開口の開口面に沿う方向に向けて清浄化ガスを吹き出す第3ノズル口を有し、前記開口の上辺に沿って配置される第3吹き出し部材と、
を有し、
前記第1吹き出し部材と前記第2吹き出し部材とからなる1組の吹き出し部材が、前記開口のそれぞれの側辺に対応するように、2組以上配置されており、
前記第1吹き出し部材は、清浄化ガスの流路であって前記第1ノズル口へ通じる第1流路を有し、
前記第3吹き出し部材は、清浄化ガスの流路であって前記第3ノズル口へ通じる第3流路を有し、
前記第1吹き出し部材と前記第3吹き出し部材とは、前記第1流路と前記第3流路とが連通するように接続されていることを特徴とするガスパージユニット。 - 前記第2吹き出し部材は、清浄化ガスの流路であって前記第2ノズル口へ通じる第2流路を有し、
前記第2吹き出し部材と前記第3吹き出し部材とは、前記第2流路と前記第3流路とが連通するように接続されていることを特徴とする請求項1に記載のガスパージユニット。 - 前記第1吹き出し部材および前記第2吹き出し部材に対して所定の間隔を空けて配置され、前記第1吹き出し部材および前記第2吹き出し部材における前記第1ノズル口および前記第2ノズル口の吹き出し方向とは反対側を少なくとも囲うカバー部材を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のガスパージユニット。
- 前記開口の上辺に沿って配置され、前記開口面の法線方向へ突出する庇部材を有することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載のガスパージユニット。
- 開口を有するパージ対象容器の内部に、前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第1ノズル口を有し、前記開口の側辺に沿って配置される第1吹き出し部材と、
前記第1ノズル口より前記開口から遠い位置に配置され、前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第2ノズル口を有し、前記側辺に沿って配置される第2吹き出し部材と、
を有し、
前記第1吹き出し部材と前記第2吹き出し部材とからなる1組の吹き出し部材が、前記開口のそれぞれの側辺に対応するように、2組以上配置されており、
前記第1吹き出し部材および前記第2吹き出し部材に対して所定の間隔を空けて配置され、前記第1吹き出し部材および前記第2吹き出し部材における前記第1ノズル口および前記第2ノズル口の吹き出し方向とは反対側を少なくとも囲うカバー部材と
前記開口の上辺に沿って配置され、前記開口の開口面の法線方向へ突出する庇部材と、をさらに有しており、
前記庇部材と前記カバー部材とは、互いに連結された一体構造をなすことを特徴とするガスパージユニット。 - 前記開口面に沿う方向に向けて清浄化ガスを吹き出す第3ノズル口を有し、前記開口の上辺に沿って配置される第3吹き出し部材を有することを特徴とする請求項5に記載のガスパージユニット。
- 前記第1吹き出し部材は、清浄化ガスの流路であって前記第1ノズル口へ通じる第1流路を有し、
前記第3吹き出し部材は、清浄化ガスの流路であって前記第3ノズル口へ通じる第3流路を有し、
前記第1吹き出し部材と前記第3吹き出し部材とは、前記第1流路と前記第3流路とが連通するように接続されていることを特徴とする請求項6に記載のガスパージユニット。 - 前記開口面に対する前記第2ノズル口から吹き出される清浄化ガスの中心部の吹き出し方向の傾きは、前記開口の開口面に対する前記第1ノズル口から吹き出される清浄化ガスの中心部の吹き出し方向の傾きよりも小さい請求項1から請求項7のいずれかに記載のガスパージユニット。
- 請求項1~8のいずれかに記載のガスパージユニットを備えることを特徴とするロードポート装置。
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JP2020104414A JP7070606B2 (ja) | 2020-06-17 | 2020-06-17 | ガスパージユニット及びロードポート装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016124307A Division JP6769134B2 (ja) | 2016-06-23 | 2016-06-23 | ガスパージユニット及びロードポート装置 |
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Family Applications (1)
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2020
- 2020-06-17 JP JP2020104414A patent/JP7070606B2/ja active Active
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