JP2015102785A - 光偏向器及び光偏向器チップ - Google Patents
光偏向器及び光偏向器チップ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015102785A JP2015102785A JP2013244731A JP2013244731A JP2015102785A JP 2015102785 A JP2015102785 A JP 2015102785A JP 2013244731 A JP2013244731 A JP 2013244731A JP 2013244731 A JP2013244731 A JP 2013244731A JP 2015102785 A JP2015102785 A JP 2015102785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical deflector
- chip
- deflector chip
- actuator
- peripheral side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 159
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 121
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 28
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 26
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 20
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 11
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 5
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000224 chemical solution deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002079 cooperative effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
【解決手段】光偏向器チップ1は、ミラー部2を含む可動部と、可動部を可動するように支持するとともに、裏側において開口する可動部の裏側空間35を内周側に形成する外側枠部4とを有する。パッケージ26は、裏側空間35に対峙する凹部41と、周辺の座部40とを有する。外側枠部4の裏面部は、座部40に対峙して接着される外周側裏面53と、凹部41の周壁43に対峙して接着される内側外周面55とを有する。
【選択図】図2
Description
d1:200[μm]以上、好ましくは250[μm]。
d2:200[μm]以上。
d3:500[μm]。
Claims (4)
- 光偏向器チップと、該光偏向器チップを配置するパッケージとを備え、
前記光偏向器チップは、表側に光反射面を含む可動部と、前記可動部を可動するように支持するとともに、前記可動部を変位させるために裏側において開口する変位空間を内周側に形成する支持部とを有し、
前記パッケージは、前記変位空間の裏側に対峙する位置に形成された凹部と、前記光偏向器チップの前記支持部の裏面部が当たる位置に形成された座部とを有し、
前記支持部の裏面部は、表裏方向に前記座部に対峙して接着される外周側裏部分と、表裏方向に対して直角方向に前記凹部の周壁に対峙して接着される内周側裏部分とを有することを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器において、
前記座部は、前記光偏向器チップが収納される収納空間の底部に接着されて起立する起立部の頂部に形成され、
前記凹部は、前記起立部の内周側に形成されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1又は2に記載の光偏向器において、
前記光偏向器チップの前記可動部は
前記光反射面を表側に有するミラー部と、
該ミラー部を包囲するとともに前記支持部としての外側枠部の内側に配設される内側枠部と、
該内側枠部と前記ミラー部との間に介在して前記ミラー部を第1の回転軸線回りに往復回動させる内側アクチュエータ部と、
前記第1の回転軸線に直交する第2の回転軸線の方向に前記内側枠部の両側でかつ前記外側枠部の内周側に配設され前記外側枠部と前記内側枠部との間に介在して前記内側枠部を前記第2の回転軸線の回りに、往復回動させる外側アクチュエータ部とを含むことを特徴とする光偏向器。 - 表側に光反射面を含む可動部と、前記可動部を可動するように支持するとともに、前記可動部を変位させるために裏側において開口する変位空間を内周側に形成する支持部とを備え、
前記支持部の裏面部は、表裏方向に対して直角の平面となっている外周側裏部分と、前記外周側裏部分より裏方向へ突出した内周側裏部分とを有することを特徴とする光偏向器チップ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013244731A JP6190703B2 (ja) | 2013-11-27 | 2013-11-27 | 光偏向器及び光偏向器チップ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013244731A JP6190703B2 (ja) | 2013-11-27 | 2013-11-27 | 光偏向器及び光偏向器チップ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015102785A true JP2015102785A (ja) | 2015-06-04 |
JP6190703B2 JP6190703B2 (ja) | 2017-08-30 |
Family
ID=53378497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013244731A Active JP6190703B2 (ja) | 2013-11-27 | 2013-11-27 | 光偏向器及び光偏向器チップ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6190703B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3459790A1 (en) | 2017-09-25 | 2019-03-27 | Stanley Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for controlling adb-mode vehicle headlamp |
CN114730073A (zh) * | 2019-11-21 | 2022-07-08 | 浜松光子学株式会社 | 反射镜组件 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52117559U (ja) * | 1976-03-03 | 1977-09-06 | ||
JP2005250307A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Canon Inc | 光偏向器 |
JP2009069676A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
JP2012027337A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Mems光スキャナ |
US20130083381A1 (en) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | Stanley Electric Co., Ltd. | Optical deflector apparatus including optical deflector chip sandwiched by two substrates |
US20140355095A1 (en) * | 2012-01-16 | 2014-12-04 | Maradin Technologies Ltd. | Multi-purpose optical cap and apparatus and methods useful in conjunction therewith |
-
2013
- 2013-11-27 JP JP2013244731A patent/JP6190703B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52117559U (ja) * | 1976-03-03 | 1977-09-06 | ||
JP2005250307A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Canon Inc | 光偏向器 |
JP2009069676A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
JP2012027337A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Mems光スキャナ |
US20130083381A1 (en) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | Stanley Electric Co., Ltd. | Optical deflector apparatus including optical deflector chip sandwiched by two substrates |
JP2013076780A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
US20140355095A1 (en) * | 2012-01-16 | 2014-12-04 | Maradin Technologies Ltd. | Multi-purpose optical cap and apparatus and methods useful in conjunction therewith |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3459790A1 (en) | 2017-09-25 | 2019-03-27 | Stanley Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for controlling adb-mode vehicle headlamp |
US10960810B2 (en) | 2017-09-25 | 2021-03-30 | Stanley Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for controlling ADB-mode vehicle headlamp |
CN114730073A (zh) * | 2019-11-21 | 2022-07-08 | 浜松光子学株式会社 | 反射镜组件 |
CN114730073B (zh) * | 2019-11-21 | 2024-05-07 | 浜松光子学株式会社 | 反射镜组件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6190703B2 (ja) | 2017-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6447683B2 (ja) | 走査型微小電気機械反射鏡システム、光検出及び測距(lidar)装置、及び走査型微小電気機械反射鏡システムの作動方法 | |
JP5252687B2 (ja) | 光偏向器 | |
US8456727B2 (en) | Actuator device for optical deflector | |
US9696541B2 (en) | Two-dimensional optical deflector including two SOI structures and its manufacturing method | |
JP6733709B2 (ja) | Mems反射器システム | |
JP5816002B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP5105527B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP2016212221A (ja) | 光走査装置 | |
US11762192B2 (en) | Optical scanning device and method of manufacturing the same | |
JP6190703B2 (ja) | 光偏向器及び光偏向器チップ | |
JP6506212B2 (ja) | 光偏向器及び製造方法 | |
JP2015169745A (ja) | 光偏向器 | |
JP2013225075A (ja) | Mems光スキャナ | |
JP5506976B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP2011069954A (ja) | 光スキャナ | |
JP6220648B2 (ja) | 光偏向器及びその製造方法 | |
JP2017102412A (ja) | 光偏向器 | |
JP5506485B2 (ja) | 2次元光スキャナ | |
JP5934621B2 (ja) | 光偏向器の製造方法 | |
JP2009098253A (ja) | 光学反射素子およびこれを用いた画像投影装置 | |
JP6307253B2 (ja) | 光偏向器及びその製造方法 | |
JP6520263B2 (ja) | 光偏向装置、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置および画像読取装置 | |
JP7105934B2 (ja) | Memsミラー装置及びその製造方法 | |
JP7498127B2 (ja) | ミラーデバイスの製造方法 | |
JP7108477B2 (ja) | 光偏向器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170807 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6190703 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |