JP2011069954A - 光スキャナ - Google Patents

Abstract

【課題】大きなミラー部の変位量を得られる光スキャナを提供すること。
【解決手段】光スキャナ１００は、ミラー部１１０、支持梁１２０、固定部１４０及び圧電駆動部１３０を備える。ミラー部１１０は、揺動軸線ＡＲの周りに揺動される。支持梁１２０は、ミラー部１１０から延出する。支持梁１２０は、固定部１４０に連結される。圧電駆動部１３０は、固定部１４０から支持梁１２０の一部に亘って設けられる。支持梁１２０は、揺動軸線ＡＲに対して対称配置され、固定部１４０に接続される一対の梁部分１２３を有する。一対の梁部分１２３は、第１部分１２３ａと、屈曲部分１２３ｂとを有する。第１部分１２３ａは、ミラー部１１０から離れる方向に、揺動軸線ＡＲに沿って伸張する。屈曲部分１２３ｂは、第１部分１２３ａに接続され、揺動軸線ＡＲから離間する方向及び揺動軸線ＡＲに沿う方向に屈曲する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、レーザープリンタや画像表示装置に用いられる光スキャナ、特にＭＥＭＳミラーを有する光スキャナに関する。

従来、レーザープリンタや光を走査して画像を表示する画像表示装置等には、光スキャナが利用されてきた。一般に、この光スキャナとしては、ポリゴンミラーを用いるものやガルバノミラー、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ−Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）ミラーを用いるものが存在する。特に、ＭＥＭＳミラーを用いた光スキャナは、光の反射面が一面だけで良く、またミラー、トーションバー、支持枠を一体加工できるので、ポリゴンミラー及びガルバノミラーを用いた光スキャナに対し小型化、軽量化が可能になる。

ＭＥＭＳミラーを用いた光スキャナ（以下、単に光スキャナとも表記する）の機械的構造に関する発明が、今日までに多く出願されている。その一例として、特許文献１に記載された光スキャナを図６に示す。光スキャナ５００は、基体５１０と台座５２０とに分けられる。基体５１０の中心には、ミラー部５１１が位置する。ミラー部５１１は一対の第１弾性梁５１２によって両持支持される。一対の第１弾性梁５１２は、二股に分かれた第２弾性梁５１３に夫々接続される。第２弾性梁５１３は、固定部５１４に接続される。ミラー部５１１、第１弾性梁５１２及び第２弾性梁５１３を揺動させるための圧電駆動部５３０は、第２弾性梁５１３の上面から固定部５１４に亘り形成される。台座５２０は、固定部５１４と台座接合部５２１とが接合されるようにして、基体５１０の下に設けられる。

光スキャナ５００の動作を説明する。圧電駆動部５３０に含まれる圧電素子は、電圧が印加されることで分極する。圧電素子の分極によって、圧電駆動部５３０は、第２弾性梁５１３の長手方向へ伸び、又は縮む。圧電駆動部５３０は第２弾性梁５１３及び固定部５１４に固定されているので、圧電駆動部５３０の伸縮は、第２弾性梁５１３が基体５１０の厚み方向に変形する撓み変形に変換される。即ち、圧電駆動部５３０は、ユニモルフとして働く。第２弾性梁５１３の撓み変形は、第１弾性梁５１２と第２弾性梁５１３との連結位置を介して、第１弾性梁５１２，第２弾性梁５１３及びミラー部５１１を揺動させるための回転トルクに変換される。

特開２００３−５７５８６号公報

例えば光スキャナが画像表示装置に用いられる場合、表示画像の画角はミラー部の変位量に依存する。従って、大きな画像や精緻な画像を表示するためには、ミラー部の変位量は大きいほど望ましい。

本発明は、大きなミラー部の変位量を得られる光スキャナを提供することを目的とする。

本発明を反映した第１の課題解決手段は、揺動軸線の周りに揺動され、入射する光を所定方向に走査するミラー部と、前記ミラー部から延出する支持梁と、前記支持梁が連結される固定部と、前記固定部から前記支持梁の一部に亘って設けられ、前記ミラー部及び前記支持梁を揺動駆動させる圧電駆動部とを備え、前記支持梁は、前記揺動軸線に対して対称になるように配置され、前記固定部に接続される一対の梁部分を有し、前記一対の梁部分は、前記ミラー部から離れる方向に、前記揺動軸線に沿って伸張する第１部分と、前記第１部分に接続され、前記揺動軸線を含む平面上で前記揺動軸線から離間する方向及び前記揺動軸線に沿う方向に屈曲し、前記固定部に接続される屈曲部分を有する、ことを特徴とする。

本発明を反映した第２の課題解決手段は、前記屈曲部分は、その一端が前記第１部分に接続され、前記揺動軸線から離間する方向に伸張する第２部分と、その一端が前記第２部分の他端に接続され、前記ミラー部に近づく方向に、前記揺動軸線に沿って伸張し、その他端が前記固定部に接続される第３部分とを有する、ことを特徴とする。

本発明を反映した第３の課題解決手段は、前記第３部分は、前記第３部分の前記揺動軸線に沿う方向の長さが、前記第１部分の前記揺動軸線に沿う方向の長さよりも長くなるように形成される、ことを特徴とする。

本発明を反映した第４の課題解決手段は、前記圧電駆動部は、少なくとも前記固定部から前記第３部分を介して前記第２部分に亘って設けられる、ことを特徴とする。

本発明を反映した第５の課題解決手段は、前記支持梁はさらに、前記ミラー部にその一端が接続され、前記揺動軸線に沿う方向に伸長するミラー接続部分と、前記ミラー接続部分の他端に接続され、前記揺動軸線を含む平面上で前記揺動軸線に直交する方向に伸長する梁接続部分とを有し、前記第１部分は、その一端が前記梁連結部分の両端に接続され、その他端が前記第２部分の一端に接続される、ことを特徴とする。

本発明を反映した第１の課題解決手段では、一対の梁部分が屈曲部分を有するので、後記する実施形態に示されるように、大きなミラー部の変位量を得ることが可能になる。

本発明を反映した第２の課題解決手段では、屈曲部分は、揺動軸線から離間する方向に伸張する第２部分と、ミラー部に近づく方向に揺動軸線に沿って伸張する第３部分とを有する。換言すれば、一対の梁部は、第１部分によってミラー部から離間し、第２部分及び第３部分によってミラー部に近づく方向に１回折り返されている構成である。後記する実施形態に示されるように、屈曲部分の折り返される回数は、１回の場合において大きなミラー部の変位量を得ることが可能になる。

本発明を反映した第３の課題解決手段では、第３部分の揺動軸線に沿う方向の長さが、第１部分の前記揺動軸線に沿う方向の長さよりも長くなる。この構成によって、後記する実施形態に示されるように、大きなミラー部の変位量を得ることが可能になる。

本発明を反映した第４の課題解決手段では、圧電駆動部が、少なくとも固定部から第２部分に亘って設けられる。この構成によって、圧電駆動部で発生した動力を、効率よくミラーに伝達することが可能になる。従って、大きなミラー部の変位量を得ることが可能になる。

本発明を反映した第５の課題解決手段では、支持梁が、ミラー接続部分と、梁接続部分とを含む。一対の梁部は、圧電駆動部で発生した動力によって、撓み変形をする。この撓み変形は、梁連結部分を介することで、ミラー部の揺動に効率良く変換される。従って、これらの構成を屈曲部分に加えて有することによって、さらに大きなミラー部の変位量を得ることが可能になる。

本発明の第１の実施形態に係る、光スキャナ１００の平面図。 第１の実施形態に係る、屈曲部分１２３ｂの折り返し回数を変化させた場合の、支持梁１２０周辺の光スキャナ１００の平面図。 第１の実施形態に係る、屈曲部分１２３ｂの折り返し回数と光学振れ角との関係を示す図。 第１の実施形態に係る、光スキャナ１００の支持梁１２０周辺の拡大平面図。 第１の実施形態に係る、第３部分１２３ｂ−２の長さと光学振れ角との関係を示す図。 第１の実施形態の変形例である光スキャナ２００の平面図。 特許文献１における従来の光スキャナの一例を示した図。

＜第１の実施形態＞
［光スキャナ１００の構成］
図１は、本発明第１の実施形態に係る光スキャナ１００の平面図である。ｘ方向は、光スキャナ１００の揺動軸線ＡＲに平行な方向である。ｙ方向は、図１における紙面垂直方向である光スキャナ１００の厚み方向及びｘ方向に直交する方向である。光スキャナ１００は、ミラー部１１０、支持梁１２０、圧電駆動部１３０及び固定部１４０を備える。尚、光スキャナ１００は、図示しない台座に接着される。以下、図１を用いて、光スキャナ１００の個々の構成要素について説明を行う。

ミラー部１１０は、入射した光を所定方向に走査するために、揺動軸線ＡＲを中心として揺動可能に構成される。ミラー部１１０の平面視における形状は、略円形である。

支持梁１２０は、揺動軸線ＡＲに沿う方向に、ミラー部１１０から延出する。支持梁１２０は、ミラー部１１０の中心位置を通過するｙ方向に平行な仮想軸線に対して線対称になるように、一対設けられる。支持梁１２０は、ミラー接続部分１２１、梁連結部分１２２及び梁部分１２３を含む。ミラー接続部分１２１の一端は、ミラー部１１０に接続される。ミラー接続部分１２１は、揺動軸線ＡＲに沿う方向に伸長する。ミラー接続部分１２１は、揺動軸線ＡＲを含むように配置される。梁連結部分１２２は、ミラー接続部分１２１の他端に接続され、ｙ方向に伸長する。

梁部分１２３は、第１部分１２３ａ及び屈曲部分１２３ｂを含む。梁部分１２３は、揺動軸線ＡＲに対して線対称となるように、一対設けられる。第１部分１２３ａの一端は、梁連結部分１２２の両端に夫々接続される。第１部分１２３ａは、ミラー部１１０から離れる方向に、揺動軸線ＡＲに沿って伸張する。屈曲部分１２３ｂの一端は、第１部分１２３ａの他端に接続される。屈曲部分１２３ｂは、揺動軸線ＡＲを含む平面上で揺動軸線ＡＲから離間する方向及び揺動軸線ＡＲに沿う方向に屈曲する。屈曲部分１２３ｂの他端は、固定部１４０の突出部分１４０ａに接続される。

屈曲部分１２３ｂは、梁が揺動軸線ＡＲに沿う方向に折り返されながら、揺動軸線ＡＲから離間する方向に伸長する部分である。屈曲部分１２３ｂは、第２部分１２３ｂ−１及び第３部分１２３ｂ−２を含む。第２部分１２３ｂ−１の一端は、第１部分１２３ａの他端に接続される。第２部分１２３ｂ−１は、揺動軸線ＡＲから離間する方向に伸長する。具体的には、第２部分１２３ｂ−１は、揺動軸線ＡＲから離間するように、ｙ方向に沿って伸張する。第３部分１２３ｂ−２の一端は、第２部分１２３ｂ−１の他端に接続される。第３部分１２３ｂ−２は、揺動軸線ＡＲに沿って、ミラー部１１０に近づく方向に伸張する。第３部分１２３ｂ−２の他端は、固定部１４０の突出部１４０ａに接続される。

固定部１４０は、ミラー部１１０及び一組の支持梁１２０の周囲に、四角環状に配置される。即ち、固定部１４０は、ｙ方向に平行な一対の帯状部と、ｘ方向に平行な一対の帯状部とで構成される。固定部１４０は、第３部分１２３ｂ−２が固定されるための、４つの突出部分１４０ａを有する。突出部分１４０ａは、固定部１４０のｙ方向に平行な一対の帯状部のミラー部１１０の近傍から、ミラー部１１０に近づく方向に突出する。尚、固定部１４０は、ミラー部１１０及び支持梁１２０が揺動される際に、固定端として働く。即ち、固定端として働く機能を有していれば、固定部１４０はどの様な形状であっても差し支えない。

圧電駆動部１３０は、ミラー部１１０を及び支持梁１２０を揺動駆動する。圧電駆動部１３０は、少なくとも固定部１４０の固定部分１４０ａから、第３部分１２３ｂ−２を介して、第２部分１２３ｂ−１に亘って設けられる。より具体的には、図１において黒点のハッチングで示されるように、圧電駆動部１３０は、第３部分１２３ｂ−２及び第２部分１２３ｂ−１を介して、固定部１４０の突出部１４０ａから第１部分１２３ａの一部に亘って設けられる。この構成によって、圧電駆動部１３０で発生した動力を、効率よくミラー部１１０に伝達することが可能になり、大きなミラー部１１０の変位量を得ることが可能になる。尚、圧電駆動部１３０は、図示しない下部電極、圧電素子及び上部電極を含む。

光スキャナ１００の作用を説明する。まず、下部電極と上部電極との間に交流電圧が周期的に印加されることにより、分極した圧電素子はｘ方向に伸び、又は縮む。圧電駆動部１３０が、固定部１４０の突出部１４０ａから第１部分１２３ａの一部に亘って固定されているので、圧電素子のｘ方向の伸縮は、梁部分１２３の光スキャナ１００の厚み方向への撓み変形に変換される。この撓み変形は、梁連結部分１２２を介して、ミラー部１１０を揺動させるための回転トルクに変換される。ミラー部１１０が揺動されることによって、光スキャナ１００は、ミラー部１１０に入射する光を所定方向に走査することができる。

［光スキャナ１００の製造方法］
光スキャナ１００の製造方法を説明する。まず、厚さ約３０μｍ〜２００μｍの薄長矩形のシリコン基材上において、ミラー部１１０、支持梁１２０及び固定部１４０に対応する部分に、マスキングのためのレジスト膜が形成される。その後、シリコン基材はエッチングされる。エッチングによって、シリコン基材においてレジスト膜が形成されている部分が、ミラー部１１０、支持梁１２０及び固定部１４０として形成される。最後に、レジスト膜が除去されることによって、光スキャナ１００の外形が形成される。

次に、下部電極が、切り抜かれたシリコン基材の上に形成される。具体的には、下部電極は、第３部分１２３ｂ−２及び第２部分１２３ｂ−１を介して、固定部１４０から第１部分１２３ａの一部に亘って、白金（Ｐｔ）や金（Ａｕ）等を０．２μｍ〜０．６μｍの厚さで堆積することで形成される。この堆積には、例えばスパッタや蒸着等の製膜方法が用いられる。

次に、圧電素子が、前記した下部電極の上に形成される。具体的には、圧電素子は、前記した下部電極の上面に圧電素材を１μｍ〜３μｍの厚さで堆積することで形成される。この堆積には、例えばナノサイズの微粒子を吹付けることによって成膜を行うエアロゾルデポジション法（例えば、特開２００７−３１７３７号公報を参照）等の製膜方法が用いられる。本実施形態では、圧電素子として、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が用いられる。

最後に、上部電極が、圧電素子の上に形成される。具体的には、上部電極は、前記した圧電素子の上面に、白金（Ｐｔ）や金（Ａｕ）等を０．２μｍ〜０．６μｍの厚さで堆積することで形成される。この堆積には、下部電極の場合と同様に、スパッタや蒸着等の製膜方法が用いられる。

［折り返し回数と光学振れ角との関係］
本実施形態においては、屈曲部分１２３ｂが設けられることによって、大きなミラー部１１０の変位量が得られる。ここでは、この屈曲部分１２３ｂにおける梁の折り返し回数を変化させ、折り返し回数とミラーの変位量との関係をシミュレーションによって調べる。

図２は、屈曲部分１２３ｂにおける折り返し回数を変化させた場合における、光スキャナ１００の支持梁１２０周辺の平面図である。圧電駆動部１３０は、ｙ方向正側に存在する梁部分１２３の全面に亘って設けられる。尚、簡略化のため、図２において、固定部１４０は省略される。

図２（Ａ）は、屈曲部分１２３ｂの折り返し回数が１回の場合における、支持梁１２０周辺の平面図である。この場合は、屈曲部分１２３ｂが、前記した第２部分１２３ｂ−１及び第３部分１２３ｂ−２を含む状態に相当する。

図２（Ｂ）は、屈曲部分１２３ｂの折り返し回数が２回の場合における、支持梁１２０周辺の平面図である。この場合は、屈曲部分１２３ｂが、揺動軸線ＡＲから離間する方向に第１部分１２３ａから伸長し、さらにミラー部１１０に近づくように揺動軸線ＡＲに沿って伸長し、さらに揺動軸線ＡＲから離間する方向に伸長し、さらにミラー部１１０から離間するように揺動軸線ＡＲに沿って伸長し、その後固定部１４０に接続する状態である。

図２（Ｃ）は、屈曲部分１２３ｂの折り返し回数が３回の場合における、支持梁１２０周辺の平面図である。この場合は、屈曲部分１２３ｂが、揺動軸線ＡＲから離間する方向に第１部分１２３ａから伸長し、さらにミラー部１１０に近づくように揺動軸線ＡＲに沿って伸長し、さらに揺動軸線ＡＲから離間する方向に伸長し、さらにミラー部１１０から離間するように揺動軸線ＡＲに沿って伸長し、さらに揺動軸線ＡＲから離間する方向に伸長し、さらにミラー部１１０に近づくように揺動軸線ＡＲに沿って伸長し、その後固定部１４０に接続する状態である。

図２（Ｄ）は、屈曲部分１２３ｂの折り返し回数が０回の場合における、支持梁１２０周辺の平面図である。この場合は、屈曲部分１２３ｂが存在しない状態に相当する。図２（Ｄ）に示される光スキャナ１００は、本発明の実施形態とは言えないが、屈曲部分１２３ｂが存在する図２（Ａ）〜（Ｃ）の場合と比較するために示される。

図３（Ａ）は、屈曲部分１２３ｂにおける折り返し回数を変化させた際の、光学振れ角の変化をシミュレーションによって調べた結果を示す図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の結果をグラフにした図である。図３（Ｂ）において、横軸がミラーの折り返し回数に、縦軸が光学振れ角にそれぞれ対応する。尚、光学振れ角とは、ミラー部１１０が揺動される場合に、ミラー部１１０に入射する光が走査される角度のことである。即ち、光学振れ角は、ミラー部の変位量と一対一に対応する。また、全ての場合において、圧電駆動部１３０には、４０Ｖの交流電圧が印加される。

図３において、折り返しがなしの場合（図２（Ｄ））よりも、屈曲部分１２３ｂが存在する場合の方が、光学振れ角が大きい。即ち、屈曲部分１２３ｂが設けられることによって、大きなミラー部１１０の変位量が得られることが確認される。さらに、光学振れ角は、折り返し回数が１回の場合に最大となる。折り返し回数が２回以上の場合、光学振れ角は、折り返し回数が増加するに従って減少する。即ち、屈曲部分１２３ｂの折り返し回数は、１回が最も有効である。

［屈曲部分１２３ｂの長さと光学振れ角との関係]
前記した様に、屈曲部分１２３ｂの折り返し回数は、１回が最も有効である。ここでは、屈曲部分１２３ｂの折り返し回数が１回の場合において、屈曲部分１２３ｂのｘ方向の長さと光学振れ角との関係を調べる。図４は、光スキャナ１００の支持梁１２０周辺の拡大平面図である。第１部分１２３ａのｘ方向の長さは、長さＬ１とされる。第３部分１２３ｂ−２のｘ方向の長さは、長さＬ２とされる。圧電駆動部１３０は、梁部分１２３の全面に亘って設けられる。尚、簡略化のため、図４において、固定部１４０は省略される。以下、長さＬ２を長さＬ１で除した値である折り返し割合Ｌ２／Ｌ１と、光学振れ角との関係を示す。

図５（Ａ）は、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１を変化させた際の、光学振れ角の変化をシミュレーションによって調べた結果を示す図である。比較のために、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が０％の場合の結果も示される。折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が０％の場合は、図２（Ｄ）に示される場合と同様に、屈曲部分１２３ｂが存在しない状態に相当する。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）の結果をグラフにした図である。図５（Ｂ）において、横軸が折り返し割合Ｌ２／Ｌ１に、縦軸が光学振れ角にそれぞれ対応する。全ての場合において、圧電駆動部１３０には、４０Ｖの交流電圧が印加される。

図５において、屈曲部分１２３ｂ存在しない状態（Ｌ２／Ｌ１＝０％）において、光学振れ角は最小である。そして、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が２５％〜５０％までは、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が増加するに従って、光学振れ角も増加する。折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が７５％の場合において、光学振れ角は、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が５０％の場合よりも減少する。そして、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が１００％以上の領域において、光学振れ角は、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が増加するに従って再び増加する。そして、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が１００％以上の領域における光学振れ角の値は、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が１００％以下の領域における光学振れ角の値よりも大きい。従って、折り返し割合Ｌ２／Ｌ１が１００％以上の領域の場合、換言すれば、第３部分１２３ｂ−２のｘ方向の長さが、第１部分１２３ａのｘ方向の長さよりも長くなるように形成される場合、大きな光学振れ角、即ち大きなミラー部の変位量が得られる。

＜変形例＞
本発明は、今までに述べた実施形態に限定されることは無く、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変形・変更が可能である。以下にその変形の一例を述べる。

前記した実施形態において、光スキャナ１００は、図１に示される様に、ミラー部１１０が一対の支持梁１２０によって両持支持される形状である。しかし、例えば、ミラー部１１０が一本の支持梁１２０によって片持支持される形状であっても良い。要は、梁部分１２３が屈曲部分１２３ｂを有する構成であれば、片持ちでも両持ちでも差し支えない。

前記した実施形態において、光スキャナ１００は、図１に示される様に、ミラー部１１０から伸長するミラー接続部分１２１が梁連結部分１２２に接続され、その梁連結部分１２２に一対の梁部分１２３が接続される。しかし、ミラー接続部分１２１及び梁連結部分１２２が省略されても良い。図６は、第１の実施形態の変形例である光スキャナ２００の平面図である。光スキャナ１００と同様の構成は、同一の図番を付与することで説明を省略する。支持梁２２０は、ミラー部１１０の中心位置を通過するｙ方向に平行な仮想軸線に対して線対称になるように、一対設けられる。支持梁２２０は、ミラー接続部分及び梁連結部分を有さず、一対の梁部分２２３のみを有する。梁部分２２３は、第１部分２２３ａ及び屈曲部分２２３ｂを含む。梁部分２２３は、揺動軸線ＡＲに対して線対称となるように、一対設けられる。第１部分２２３ａの一端は、ミラー部１１０に接続される。第１部分２２３ａは、ミラー部１１０から離れる方向に、揺動軸線ＡＲに沿って伸張する。屈曲部分２２３ｂの一端は、第１部分２２３ａの他端に接続される。屈曲部分２２３ｂは、揺動軸線ＡＲを含む平面上で揺動軸線ＡＲから離間する方向及び揺動軸線ＡＲに沿う方向に屈曲する。屈曲部分２２３ｂの他端は、固定部１４０の突出部分１４０ａに接続される。屈曲部分２２３ｂは、第２部分２２３ｂ−１及び第３部分２２３ｂ−２を含む。第２部分２２３ｂ−１の一端は、第１部分２２３ａの他端に接続される。第２部分２２３ｂ−１は、揺動軸線ＡＲから離間する方向に伸長する。具体的には、第２部分２２３ｂ−１は、揺動軸線ＡＲから離間するように、ｙ方向に沿って伸張する。第３部分２２３ｂ−２の一端は、第２部分２２３ｂ−１の他端に接続される。第３部分２２３ｂ−２は、揺動軸線ＡＲに沿って、ミラー部１１０に近づく方向に伸張する。第３部分２２３ｂ−２の他端は、固定部１４０の突出部１４０ａに接続される。この光スキャナ２００も、本発明の意図する範囲に当然含まれる。

１００，２００，５００ 光スキャナ
１１０，５１１ ミラー部
１２０，２２０ 支持梁
１２１ ミラー接続部分
１２２ 梁連結部分
１２３，２２３ 梁部分
１２３ａ，２２３ａ 第１部分
１２３ｂ，２２３ｂ 屈曲部分
１２３ｂ−１，２２３ｂ−１ 第２部分
１２３ｂ−２，２２３ｂ−２ 第３部分
１３０，５３０ 圧電駆動部
１４０，５１４ 固定部
１４０ａ 突出部分
５１０ 基体
５１２ 第１弾性梁
５１３ 第２弾性梁
５２０ 台座
５２１ 台座接合部
ＡＲ 揺動軸線
Ｌ１ 第１部分１２３ａのｘ方向の長さ
Ｌ２ 屈曲部分１２３ｂのｘ方向の長さ

Claims (5)

1. 揺動軸線の周りに揺動され、入射する光を所定方向に走査するミラー部と、
   前記ミラー部から延出する支持梁と、
   前記支持梁が連結される固定部と、
   前記固定部から前記支持梁の一部に亘って設けられ、前記ミラー部及び前記支持梁を揺動駆動させる圧電駆動部とを備え、
   前記支持梁は、
   前記揺動軸線に対して対称になるように配置され、前記固定部に接続される一対の梁部分を有し、
   前記一対の梁部分は、
   前記ミラー部から離れる方向に、前記揺動軸線に沿って伸張する第１部分と、
   前記第１部分に接続され、前記揺動軸線を含む平面上で前記揺動軸線から離間する方向及び前記揺動軸線に沿う方向に屈曲し、前記固定部に接続される屈曲部分を有する、
   ことを特徴とする光スキャナ。
2. 前記屈曲部分は、
   その一端が前記第１部分に接続され、前記揺動軸線から離間する方向に伸張する第２部分と、
   その一端が前記第２部分の他端に接続され、前記ミラー部に近づく方向に、前記揺動軸線に沿って伸張し、その他端が前記固定部に接続される第３部分とを有する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の光スキャナ。
3. 前記第３部分は、
   前記第３部分の前記揺動軸線に沿う方向の長さが、前記第１部分の前記揺動軸線に沿う方向の長さよりも長くなるように形成される、
   ことを特徴とする請求項２に記載の光スキャナ。
4. 前記圧電駆動部は、少なくとも前記固定部から前記第３部分を介して前記第２部分に亘って設けられる、
   ことを特徴とする請求項２又は３に記載の光スキャナ。
5. 前記支持梁はさらに、
   前記ミラー部にその一端が接続され、前記揺動軸線に沿う方向に伸長するミラー接続部分と、
   前記ミラー接続部分の他端に接続され、前記揺動軸線を含む平面上で前記揺動軸線に直交する方向に伸長する梁接続部分とを有し、
   前記第１部分は、
   その一端が前記梁接続部分の両端の夫々に接続され、
   その他端が前記第２部分の一端に接続される、
   ことを特徴とする請求項２〜４の何れか１項に記載の光スキャナ。