JP2015072998A - 強誘電体メモリ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(付記1)半導体基板と、前記半導体基板の上方に形成された第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜の上に形成され、前記第1絶縁膜側から順に積層された下部電極/強誘電体膜/上部電極を備えた強誘電体キャパシタと、前記強誘電体キャパシタの側面及び上面を被覆する第2絶縁膜と、を有し、前記第2絶縁膜に設けられ、前記下部電極に達するコンタクトホールと、前記コンタクトホールの壁面を覆う水透過防止膜と、前記コンタクトホール内に前記水透過防止膜を介して埋め込まれた引出電極とを有することを特徴とする強誘電体メモリ。
(付記2)前記水透過防止膜はAl2O3膜であることを特徴とする付記1に記載の強誘電体メモリ。
(付記3)前記下部電極はPtからなることを特徴とする付記1または付記2に記載の強誘電体メモリ。
(付記4)前記第2絶縁膜はSi(OC2H5)4を原料ガスとした気相成長方法により形成された酸化シリコン膜であることを特徴とする付記1乃至付記3のいずれか1に記載の強誘電体メモリ。
(付記5)前記第2絶縁膜と少なくとも前記下部電極との間にAl2O3膜からなる保護膜が介在していることを特徴とする付記4に記載の強誘電体メモリ。
(付記6)半導体基板の上方に第1絶縁膜を形成する工程と、前記第1絶縁膜の上に、前記第1絶縁膜側から順に下部電極、強誘電体膜及び上部電極を積層して強誘電体キャパシタを形成する工程と、前記強誘電体キャパシタを覆う保護膜を形成する工程と、前記保護膜を覆う第2絶縁膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜上にマスク膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜及び前記マスク膜を選択的にエッチングしてコンタクトホールを形成する工程と、前記コンタクトホールの内面及び前記マスク膜を覆う水透過防止膜を形成する工程と、前記コンタクトホールの底の前記保護膜及び前記水透過防止膜と、前記第2絶縁膜上の前記水透過防止膜及び前記マスク膜をエッチングして除去する工程と、前記コンタクトホール内に、前記下部電極と電気的に接続する導電性部材を形成する工程とを有することを特徴とする強誘電体メモリの製造方法。
(付記7)前記水透過防止膜はAl2O3膜であることを特徴とする付記6に記載の強誘電体メモリの製造方法。
(付記8)前記下部電極はPtからなることを特徴とする付記6または付記7に記載の強誘電体メモリの製造方法。
(付記9)前記保護膜はAl2O3膜であることを特徴とする付記1乃至付記3のいずれか1に記載の強誘電体メモリの製造方法。
(付記10)前記第2絶縁膜の形成工程が、Si(OC2H5)4を原料ガスとした気相成長方法により酸化シリコン膜を形成する工程であることを特徴とする付記6乃至付記9のいずれか1に記載の強誘電体メモリの製造方法。
2 密着層
3 強誘電体キャパシタ
4 下部電極
5 強誘電体膜
6 上部電極
7 保護膜
8 第2絶縁膜
9 水透過防止膜
10 バリアメタル
11 埋込導電体膜
12 下部電極用プラグ
13 上部電極用部プラグ
14 配線
15 Ti膜
16 Al膜
17 Ti膜
21 シリコン基板
22 素子分離絶縁膜
23 p型ウェル領域
24 ゲート絶縁膜
25 ゲート電極
26 保護膜
27 エクステンション領域
28 サイドウォール
29 n型ドレイン領域
30 n型ソース領域
31 カバー絶縁膜
32 第1層間絶縁膜
33,62 密着層
34,63 下部電極
35,64 強誘電体膜
36,65 上部電極
37,66 強誘電体キャパシタ
38,67 保護膜
39 第2層間絶縁膜
40 マスク膜
41 レジストパターン
42 第1コンタクトホール
43 第2コンタクトホール
44 H2O透過防止膜
45 レジストパターン
46 コンタクトホール
47,69 バリアメタル
48,70 W膜
49,71 下部電極用プラグ
50,72 上部電極用プラグ
51 ドレイン電極用プラグ
52 ソース電極用プラグ
53,73 Ti膜
54,74 Al膜
55,75 Ti膜
56,76 金属配線
61,68 層間絶縁膜
77 Al2O3再付着膜
78 Pt再付着膜
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の上方に形成された第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の上に形成され、前記第1絶縁膜側から順に積層された下部電極/強誘電体膜/上部電極を備えた強誘電体キャパシタと、
前記強誘電体キャパシタの側面及び上面を被覆する第2絶縁膜と、を有し、
前記第2絶縁膜に設けられ、前記下部電極に達するコンタクトホールと、
前記コンタクトホールの壁面を覆う水透過防止膜と、
前記コンタクトホール内に前記水透過防止膜を介して埋め込まれた引出電極と
を有することを特徴とする強誘電体メモリ。 - 前記水透過防止膜はAl2O3膜であることを特徴とする請求項1に記載の強誘電体メモリ。
- 前記下部電極はPtからなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の強誘電体メモリ。
- 半導体基板の上方に第1絶縁膜を形成する工程と、
前記第1絶縁膜の上に、前記第1絶縁膜側から順に下部電極、強誘電体膜及び上部電極を積層して強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタを覆う保護膜を形成する工程と、
前記保護膜を覆う第2絶縁膜を形成する工程と、
前記第2絶縁膜上にマスク膜を形成する工程と、
前記第2絶縁膜及び前記マスク膜を選択的にエッチングしてコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールの内面及び前記マスク膜を覆う水透過防止膜を形成する工程と、
前記コンタクトホールの底の前記保護膜及び前記水透過防止膜と、前記第2絶縁膜上の前記水透過防止膜及び前記マスク膜をエッチングして除去する工程と、
前記コンタクトホール内に、前記下部電極と電気的に接続する導電性部材を形成する工程と
を有することを特徴とする強誘電体メモリの製造方法。 - 前記水透過防止膜はAl2O3膜であることを特徴とする請求項4に記載の強誘電体メモリの製造方法。
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JP2013207522A JP2015072998A (ja) | 2013-10-02 | 2013-10-02 | 強誘電体メモリ及びその製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2013
- 2013-10-02 JP JP2013207522A patent/JP2015072998A/ja active Pending
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