JP2015072993A - 切削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物(11)を保持する保持ステップと、被加工物を第一ブレード(48a)で切削して第一カーフ(13a)を形成するとともに、第一ブレードと対面する第二ブレード(48b)で切削して第二カーフ(13b)を形成する切削ステップと、第一カーフと第二カーフとの状態を検出する検出ステップと、切削ステップの後、検出ステップの前に、切削ステップにおける第一ブレードと第二ブレードとの位置から、第一カーフと第二カーフとの間のカーフ間距離(D1)を算出するカーフ間距離算出ステップと、を備え、検出ステップでは、算出されたカーフ間距離が、第一撮像手段(14a)と第二撮像手段(14b)との最近接距離以上となる場合に、第一撮像手段で第一カーフを撮像するとともに第二撮像手段で第二カーフを撮像する構成とした。
【選択図】図5
Description
11a 表面
11b 裏面
13a 第一カーフ
13b 第二カーフ
15 チッピング
17a 第一カーフ
17b 第二カーフ
21 テープ
23 フレーム
D1,D2 カーフ間距離
2 切削装置
4a,4b チャックテーブル(保持手段)
6a,6b X軸移動機構
8a,8b 柱部
10a,10b 架橋部
12a 第一切削ユニット
12b 第二切削ユニット
14a 第一撮像ユニット(第一撮像手段)
14b 第二撮像ユニット(第二撮像手段)
16a 第一切削ユニット移動機構
16b 第二切削ユニット移動機構
18a 第一撮像ユニット移動機構
18b 第二撮像ユニット移動機構
20a,20b X軸ガイドレール
22a,22b X軸移動テーブル
24a,24b X軸ボールネジ
26a,26b X軸パルスモータ
28a,28b クランプ
30 Y軸ガイドレール
32a,32b Y軸移動テーブル
34a,34b Y軸ボールネジ
36 Y軸パルスモータ
38a,38b Z軸ガイドレール
40a,40b Z軸移動テーブル
42a,42b Z軸パルスモータ
44a,44b アーム部
46a 第一ブレード
46b 第二ブレード
48a,48b スピンドル
50 Y軸ガイドレール
52a,52b Y軸移動テーブル
54a,54b Y軸ボールネジ
56 Y軸パルスモータ
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段で保持された被加工物を切削する第一ブレードと、該第一ブレードに対面して配設された第二ブレードと、該保持手段で保持された被加工物を撮像する第一撮像手段と第二撮像手段と、を備えた切削装置で被加工物を切削する切削方法であって、
被加工物を保持手段で保持する保持ステップと、
該保持手段で保持された被加工物を第一ブレードで切削して第一カーフを形成するとともに、該第一ブレードに対面して配設された第二ブレードで被加工物を切削して第二カーフを形成する切削ステップと、
該切削ステップで形成された該第一カーフと該第二カーフとの状態を検出する検出ステップと、
該切削ステップを実施した後、該検出ステップを実施する前に、該切削ステップにおける該第一ブレードと該第二ブレードとの位置から、該第一カーフと該第二カーフとの間のカーフ間距離を算出するカーフ間距離算出ステップと、を備え、
該検出ステップでは、該カーフ間距離算出ステップで算出された該カーフ間距離が該第一撮像手段と該第二撮像手段とが最も近接しうる距離以上の場合に、該第一カーフを第一撮像手段で撮像するとともに該第二カーフを第二撮像手段で撮像して該第一カーフと該第二カーフとの状態をそれぞれ検出し、該第一撮像手段と該第二撮像手段とが最も近接しうる距離より該カーフ間距離が狭い場合に、該第一撮像手段と該第二撮像手段のうち該第一カーフと該第二カーフとに近い方の撮像手段で該第一カーフと該第二カーフとを撮像して該第一カーフと該第二カーフとの状態をそれぞれ検出することを特徴とする切削方法。
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