JP2014192189A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、第1の面を有する半導体基板と、第1の面に位置する少なくとも1つの能動素子と、少なくとも1つの能動素子上に位置する第1の樹脂層と、第1の樹脂層の上面及び第1の樹脂層の側面を覆う第2の樹脂層と、を含む。少なくとも1つの能動素子に電気的に接続され、第1の面に位置する少なくとも1つの電極をさらに含み、第1の樹脂層は、少なくとも1つの電極上に位置する第1の開口を有し、第2の樹脂層は、第1の開口の内側に位置する第2の開口を有するようにしてもよい。
【選択図】図2
Description
この態様によれば、第2の樹脂層が第1の樹脂層の上面及び側面を覆っているので、第1の樹脂層の特定の箇所に応力が集中することが抑制され、第1の樹脂層の破断が抑制される。
これによれば、第1の樹脂層に発生する応力を低減できるので、第1の樹脂層の破断が抑制される。
これによれば、第1の樹脂層の特定の箇所に応力が集中することがさらに抑制され、第1の樹脂層の破断が抑制される。
上述の態様において、第2の樹脂層は、第1の樹脂層よりも線膨張係数が小さくてもよい。
これによれば、第1の樹脂層の第1の開口の周囲においても応力が集中することが抑制され、第1の樹脂層の破断が抑制される。
これによれば、第2の樹脂層の第2の開口を介して再配置配線を接続することができる。
図1は、本発明の1つの実施形態に係る半導体装置の一部を示す平面図である。図2は図1のII−II線における断面図である。図1及び図2に示される半導体装置1は、半導体基板40と、第1の樹脂層10と、第2の樹脂層20と、再配置配線50と、第3の樹脂層30とを備えている。
図3は、参考例に係る半導体装置の一部を示す断面図である。図3において、図1又は図2に示された各構成と対応する部分には、図1又は図2に示された符号の末尾に「a」を付加した符号を示して、詳細な説明を省略する。
また、図3に示される参考例においては、第2の樹脂層20aに開口26aが形成されている。開口26aは、後工程での目印として機能する。
第1の樹脂層10aは、例えば、第2の樹脂層20aより大きい線膨張係数を有する場合に、第2の樹脂層20aから外力を受けることにより、内部に応力が発生する。特に、図3に示される参考例においては、第1の樹脂層10aの上面11aは第2の樹脂層20aに密着しており、第1の樹脂層10aの下面13aは半導体基板40aに密着しており、且つ、第2の樹脂層20aは半導体基板40aに接していない。このため、第1の樹脂層10aは、上面11aと下面13aとで別方向の外力を受けることにより、応力が発生する可能性がある。
第1の樹脂層10aに破断部19aが形成されるのは、以上のような理由によるものと考えられる。
これに対し、図1及び図2に示された実施形態においては、以下のようにして、第1の樹脂層10に破断部が形成されることを抑制している。
まず、図1及び図2に示された実施形態においては、第2の樹脂層20が第1の樹脂層10の上面11及び側面12を覆っている。これによれば、第1の樹脂層10及び第2の樹脂層20の線膨張係数が違っていても、第1の樹脂層10の特定の箇所に応力が集中することを抑制できる。
Claims (7)
- 第1の面を有する半導体基板と、
前記第1の面に位置する少なくとも1つの能動素子と、
前記少なくとも1つの能動素子上に位置する第1の樹脂層と、
前記第1の樹脂層の上面及び前記第1の樹脂層の側面を覆う第2の樹脂層と、
を含む半導体装置。 - 前記第2の樹脂層は、前記第1の面に対する平面視における前記第1の樹脂層の外側の位置で前記第1の面に接している、請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2の樹脂層は、前記第1の樹脂層の上面全体及び前記第1の樹脂層の側面全体を覆っている、請求項1又は請求項2記載の半導体装置。
- 前記第2の樹脂層は、前記第1の樹脂層よりも厚い、
請求項1乃至請求項3のいずれか一項記載の半導体装置。 - 前記第2の樹脂層は、前記第1の樹脂層よりも線膨張係数が小さい、
請求項1乃至請求項4のいずれか一項記載の半導体装置。 - 前記少なくとも1つの能動素子に電気的に接続され、前記第1の面に位置する少なくとも1つの電極をさらに含み、
前記第1の樹脂層は、前記少なくとも1つの電極上に位置する第1の開口を有し、
前記第2の樹脂層は、前記第1の開口の内側に位置する第2の開口を有する、
請求項1乃至請求項5のいずれか一項記載の半導体装置。 - 前記第2の絶縁層上と前記第2の開口内とにまたがって位置し、前記少なくとも1つの電極に電気的に接続された再配置配線をさらに含む、請求項6記載の半導体装置。
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