JP6024980B2 - ロードポートユニット及びefemシステム - Google Patents
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- 収容物を収容したポッドより蓋を取外し、前記収容物の前記ポッドから受渡しゾーンへ取出しを可能とするロードポートユニットであって、
前記受渡しゾーンを外部空間と隔置する壁を構成するベースと、
前記ベースに設けられる開口部と、
前記開口部の開閉、及び前記ポッドに対する蓋の固定及び固定の解除を行って前記ポッドからの前記蓋の取外し及び取付け、可能なドアと、
前記ドアと前記ベースにおける前記受渡しゾーンでの密着及び前記受渡しゾーンの前記外部空間に対する密閉を担保する第一のシール部材と、
前記ポッドと前記ベースにおける前記外部空間での密着を担保する第二のシール部材と、を有し、
前記第二のシール部材におけるシール領域により形成される仮想面に対して前記ドアの前記外部空間側の面が前記外部空間側に突出し、
前記第二のシール部材は、前記蓋と前記ドアとが当接後に前記受渡しゾーンに向けて移動することにより、前記ポッドと前記ベースにおける前記外部空間に対する密着をなすことを特徴とするロードポートユニット。 - 前記ドアが前記蓋と当接して前記蓋を保持した後の前記ドアの動作に同期して前記ポッドを前記開口部に向けて駆動させる同期制御手段を更に有することを特徴とする請求項1に記載のロードポートユニット。
- 収容物に対して処理を行う処理室に対して処理室側インターフェースを介して接続されるEFEMシステムであって、
前記処理室側インターフェースと、
前記収容物を収容したポッドより蓋を取外し、前記収容物の前記ポッドから受渡しゾーンへ取出しを可能とするロードポートユニットであって、
前記受渡しゾーンを外部空間と隔置する壁を構成するベースと、
前記ベースに設けられる開口部と、
前記開口部の開閉、及び前記ポッドに対する蓋の固定及び固定の解除を行って前記ポッドからの前記蓋の取外し及び取付け、可能なドアと、
前記ドアと前記ベースにおける前記受渡しゾーンでの密着及び前記受渡しゾーンの前記外部空間に対する密閉を担保する第一のシール部材と、
前記ポッドと前記ベースにおける前記外部空間での密着を担保する第二のシール部材と、を有し、
前記第二のシール部材におけるシール領域により形成される仮想面に対して前記ドアの前記外部空間側の面が前記外部空間側に突出するロードポートユニットと、
前記受渡しゾーンに対してファンフィルタユニットを介して循環させて不活性ガスを供給するEFEMユニットと、を有することを特徴とするEFEMシステム。 - 前記ロードポートユニットにおいて、前記ドアが前記蓋と当接して前記蓋を保持した後の前記ドアの動作に同期して前記ポッドを前記開口部に向けて駆動させる同期制御手段を更に有することを特徴とする請求項3に記載のEFEMシステム。
- 前記受渡しゾーンに供給する不活性ガスの供給量が過剰な場合に、過剰な不活性ガスを排出可能なリリース弁を更に有することを特徴とする請求項3又は4に記載のEFEMシステム。
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