JP2013201390A - プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多数のプローブを有するプローブカード20を、着脱自在に固定するカードクランプ機構13と、半導体ウエハを載置可能とされ、駆動機構を駆動することによって前記カードクランプ機構13に固定された前記プローブカード20の前記プローブに、前記半導体ウエハに形成された電極を接触させるウエハチャック10と、前記カードクランプ機構13及び当該カードクランプ機構13に固定された前記プローブカード20を所定距離離れた少なくとも2箇所の位置に移動させるカード移動機構とを具備したプローブ装置1とした。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 多数のプローブを有するプローブカードを、着脱自在に固定するカードクランプ機構と、
半導体ウエハを載置可能とされ、駆動機構を駆動することによって前記カードクランプ機構に固定された前記プローブカードの前記プローブに、前記半導体ウエハに形成された電極を接触させるウエハチャックと、
前記カードクランプ機構及び当該カードクランプ機構に固定された前記プローブカードを所定距離離れた少なくとも2箇所の位置に移動させるカード移動機構と、
を具備したことを特徴とするプローブ装置。 - 請求項1記載のプローブ装置であって、
前記カード移動機構は、X方向又はY方向に離間した2箇所の位置に、前記カードクランプ機構及び当該カードクランプ機構に固定された前記プローブカードを移動可能とされている
ことを特徴とするプローブ装置。 - 請求項1記載のプローブ装置であって、
前記カード移動機構は、X方向に離間した2箇所及びY方向に離間した2箇所の合計4箇所の位置に、前記カードクランプ機構及び当該カードクランプ機構に固定された前記プローブカードを移動可能とされている
ことを特徴とするプローブ装置。 - 請求項1〜3いずれか1項記載のプローブ装置であって、
前記カード移動機構は、前記カードクランプ機構及び当該カードクランプ機構に固定された前記プローブカードをテスタのテストヘッドと共に移動させる
ことを特徴とするプローブ装置。 - 請求項1〜4いずれか1項記載のプローブ装置であって、
前記カード移動機構によって前記カードクランプ機構及び当該カードクランプ機構に固定された前記プローブカードを第1の位置に位置させた状態で、前記ウエハチャックにより前記プローブカードの前記プローブに、前記半導体ウエハに形成された電極を接触させ、
この後、前記カード移動機構によって前記カードクランプ機構及び当該カードクランプ機構に固定された前記プローブカードを第1の位置から所定距離離れた第2の位置に移動し、前記ウエハチャックにより前記プローブカードの前記プローブに、前記半導体ウエハに形成された電極を接触させる制御部を具備した
ことを特徴とするプローブ装置。
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