KR101374529B1 - 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법 - Google Patents

프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법 Download PDF

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Abstract

프로브 카드를 반송하여 장착할 시 확실히 전달을 행할 수 있어, 프로브 카드의 파손 등의 발생을 억제할 수 있는 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 제공한다. 카드 클램프 기구와, 웨이퍼 척과, 하면에 위치 조정용 마크가 설치된 트레이와, 트레이를 지지 가능한 트레이 지지 기구와, 카메라와, 트레이를 트레이 지지 기구와의 전달 위치로 반입시키기 위한 이동 기구와, 이동 기구에 의해 전달 위치에 배치된 트레이의 위치 조정용 마크를 카메라에 의해 촬상하여 그 위치를 검출하고, 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있을 경우에는, 이동 기구로부터 트레이 지지 기구로의 프로브 카드의 전달을 행하고, 소정의 범위 외에 있을 경우에는, 프로브 카드의 전달을 중지하는 제어 수단을 구비하고 있다.

Description

프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법{PROBE APPARATUS AND PROVIDING METHOD FOR PROBE CARD OF PROBE APPARATUS}
본 발명은, 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 제조 공정에서는, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 반도체 디바이스의 전기적인 검사를 행하기 위한 프로브 장치가 이용되고 있다. 이러한 프로브 장치에서는, 반도체 웨이퍼 상의 전극 패드에 접촉되는 다수의 프로브가 설치된 프로브 카드를 이용하고 있다.
그리고, 이 프로브 카드의 프로브를 개재하여 테스터로부터 피측정 반도체 디바이스로 검사 신호를 공급하고, 피측정 반도체 디바이스로부터의 신호를 측정함으로써 피측정 반도체 디바이스의 전기적인 검사를 행하도록 되어 있다. 또한, 프로브 카드를 교환함으로써, 상이한 종류의 피측정 반도체 디바이스에 대응하도록 되어 있다.
또한, 상기한 프로브 카드를 반송용의 트레이에 재치(載置)하고, 이 트레이 및 트레이에 재치된 프로브 카드를 반도체 웨이퍼를 재치하여 이동시키기 위한 웨이퍼 척의 구동 기구를 이용하여 반송하고, 카드 클램프 기구에 장착하도록 구성된 프로브 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
일본특허공개공보 2001-024039호
상기한 바와 같이, 종래부터 웨이퍼 척의 구동 기구를 이용하여 반송용의 트레이에 재치한 프로브 카드를 반송하고, 프로브 카드를 카드 클램프 기구에 장착하는 것이 행해지고 있다. 이 경우, 트레이 및 프로브 카드를 슬라이드 기구 등을 구비한 암 등에 재치하여 프로브 장치(하우징) 내의 소정의 전달 위치에 배치하고, 이 트레이 및 프로브 카드를 웨이퍼 척의 주위에 설치된 트레이 지지 기구에 의해 수취하는 전달이 필요하다. 종래, 이러한 전달 위치에 대해서는, 기구부를 조정하여 정밀도를 높이는 방법이 사용되고 있다. 그러나 예를 들면, 조정 불량, 부품 불량, 경시 변화 등으로 조정 완료된 위치가 이탈하는 경우가 있고, 그 상태에서 프로브 카드의 전달을 행하면, 전달이 정상적으로 행해지지 않아, 고가의 프로브 카드의 파손 등이 발생할 가능성이 있다.
본 발명은, 상기 종래의 사정에 대처하여 이루어진 것이며, 프로브 카드를 반송하여 장착할 시 확실히 전달을 행할 수 있어, 프로브 카드의 파손 등의 발생을 억제할 수 있는 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 프로브 장치의 일태양은, 다수의 프로브를 가지는 프로브 카드를 착탈 가능하게 고정하는 카드 클램프 기구와, 반도체 웨이퍼를 재치 가능하고, 구동 기구를 구동함으로써 상기 카드 클램프 기구에 고정된 상기 프로브 카드의 상기 프로브에, 상기 반도체 웨이퍼에 형성된 전극을 접촉시키는 웨이퍼 척과, 상면에 상기 프로브 카드가 재치되고, 하면에 위치 조정용 마크가 설치된 트레이와, 상기 웨이퍼 척의 주위에 설치되고, 상기 구동 기구에 의해 이동 가능하고, 상기 트레이를 지지하기 위한 트레이 지지 기구와, 상기 위치 조정용 마크를 촬상(撮像) 가능한 카메라와, 상기 트레이를, 상기 트레이 지지 기구와의 전달 위치로 반입시키기 위한 이동 기구와, 상기 이동 기구에 의해 상기 전달 위치에 배치된 상기 트레이의 상기 위치 조정용 마크를 상기 카메라에 의해 촬상하여 상기 위치 조정용 마크의 위치를 검출하고, 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있을 경우에는, 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 행하고, 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 외에 있을 경우에는, 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 중지하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법의 일태양은, 다수의 프로브를 가지는 프로브 카드를 착탈 가능하게 고정하는 카드 클램프 기구와, 반도체 웨이퍼를 재치 가능하고, 구동 기구를 구동함으로써 상기 카드 클램프 기구에 고정된 상기 프로브 카드의 상기 프로브에, 상기 반도체 웨이퍼에 형성된 전극을 접촉시키는 웨이퍼 척과, 상면에 상기 프로브 카드가 재치되고, 하면에 위치 조정용 마크가 설치된 트레이와, 상기 웨이퍼 척의 주위에 설치되고, 상기 구동 기구에 의해 이동 가능하고, 상기 트레이를 지지하기 위한 트레이 지지 기구와, 상기 위치 조정용 마크를 촬상 가능한 카메라와, 상기 트레이를, 상기 트레이 지지 기구와의 전달 위치로 반입시키기 위한 이동 기구를 구비한 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법으로서, 상기 이동 기구에 의해 상기 전달 위치에 배치된 상기 트레이의 상기 위치 조정용 마크를 상기 카메라에 의해 촬상하여 상기 위치 조정용 마크의 위치를 검출하고, 검출한 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있을 경우에는, 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 행하고, 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 외에 있을 경우에는, 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 중지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 프로브 카드를 반송하여 장착할 시 확실히 전달을 행할 수 있어, 프로브 카드의 파손 등의 발생을 억제할 수 있는 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 구성을 모식적으로 도시한 도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 설명하기 위한 도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 설명하기 위한 도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 설명하기 위한 도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 설명하기 위한 도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 설명하기 위한 도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 설명하기 위한 도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법을 설명하기 위한 도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법의 순서도이다.
이하에, 본 발명의 일실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
우선 도 1을 참조하여, 반도체 웨이퍼에 형성된 반도체 디바이스의 검사를 행하는 프로브 장치의 구성에 대하여 설명한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 프로브 장치(1)는 하우징(2)을 구비하고 있고, 이 하우징(2) 내에는 반도체 웨이퍼(W)를 재치하기 위한 웨이퍼 척(10)이 설치되어 있다. 이 웨이퍼 척(10)은 구동 기구(11)를 구비하고 있고, x, y, z 및 θ 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
웨이퍼 척(10)의 상방에 위치하는 하우징(2)에는 원형의 개구부가 형성되어 있고, 이 원형의 개구부의 주연부를 따라 인서트 링(12)이 설치되어 있다. 이 인서트 링(12)에는 카드 클램프 기구(13)가 설치되어 있고, 이 카드 클램프 기구(13)에 의해 프로브 카드(20)가 착탈 가능하게 보지(保持)되어 있다.
프로브 카드(20)는, 배선 기판 및 이 배선 기판과 전기적으로 접속된 복수의 프로브(도시하지 않음) 등으로 구성되어 있고, 프로브 카드(20)의 프로브는, 반도체 웨이퍼(W) 상에 형성된 반도체 디바이스의 전극에 대응하여 설치되어 있다.
웨이퍼 척(10)의 주위에는, 프로브 카드(20)를 재치하여 반송하기 위한 트레이(21)를 지지하기 위한 트레이 지지 기구(14)가 설치되어 있고, 후술하는 바와 같이 이 트레이 지지 기구(14) 상에, 프로브 카드(20)가 재치된 트레이(21)를 지지하고, 웨이퍼 척(10)의 구동 기구(11)를 구동함으로써 프로브 카드(20) 및 트레이(21)를 반송할 수 있도록 되어 있다.
또한 웨이퍼 척(10)의 측방에는, 상방을 향해 배치되고, 상부의 화상을 촬상 가능한 카메라(15)가 설치되어 있다. 이 카메라(15)는, 예를 들면 CCD 카메라 등으로 이루어지고, 종래부터 프로브 카드의 프로브 등을 촬상하여 프로브와의 위치 조정을 행하는 것을 주목적으로 하여 설치되어 있다. 본 실시예에서는 후술하는 바와 같이, 이 카메라(15)를 프로브 카드(20)의 장착 공정에서 사용한다.
하우징(2)의 일방의 측벽부, 본 실시예에서는 프런트측(도 1 중 우측)의 측벽부에는, 하우징(2)의 외부로부터 프로브 카드(20)를 하우징(2) 내로 반입 및 반출시키기 위한 반입 반출구(2a)가 형성되어 있다. 또한 이 반입 반출구(2a)의 하방에는, SACC(Semi Automatic Probe Card Changer)를 구성하기 위한 암(16)이 설치되어 있다. 이 암(16)은, 도면 중 화살표로 나타낸 바와 같이, 하우징(2)의 벽면 부분에 설치된 지축을 중심으로 상하 방향으로 회동(回動) 가능하게 되어 있다. 도 1에는, 이 암(16)을 상측으로 회동시켜 고정한 상태를 도시하고 있다.
암(16) 상에는 도 1 중에 화살표로 나타낸 바와 같이, 수평 방향으로 이동 가능한 슬라이드 기구(17)가 설치되어 있다. 이 슬라이드 기구(17)는 선단측(도 1 중 좌측)이 양다리의 포크 형상으로 이루어지고, 이 선단측의 포크 형상의 부분에 트레이(21)를 지지할 수 있도록 되어 있다. 또한 트레이(21)는, 그 상면에 프로브 카드(20)를 재치 가능하게 되어 있고, 프로브 카드(20)를 반송할 시에는, 이 트레이(21) 상에 프로브 카드(20)를 재치하여 반송한다.
그리고 슬라이드 기구(17)에 의해, 프로브 카드(20)가 재치된 트레이(21)를 반입 반출구(2a)로부터 하우징(2) 내의 전달 위치까지 반입하고, 이 전달 위치에서 웨이퍼 척(10)의 구동 기구(11)를 구동함으로써, 프로브 카드(20)가 재치된 트레이(21)를 트레이 지지 기구(14) 상으로 전달하도록 되어 있다.
또한 도 1 중 점선으로 나타낸 바와 같이, 프로브 카드(20)의 상방에는, 검사용의 신호를 보내고, 또한 반도체 디바이스로부터의 신호를 검출하여 반도체 디바이스 상태를 검사하기 위한 테스터에 접속된 테스트 헤드(30)가 설치된다.
상기 구성의 프로브 장치(1)는, CPU 등을 구비한 제어부(40)에 의해 그 동작이 통괄적으로 제어된다. 이 제어부(40)는, 조작부(41)와 기억부(42)를 구비하고 있다.
조작부(41)는, 공정 관리자가 프로브 장치(1)를 관리하기 위하여 커멘드의 입력 조작을 행하는 키보드 및 프로브 장치(1)의 가동 상황을 가시화하여 표시하는 디스플레이 등으로 구성되어 있다.
기억부(42)에는, 프로브 장치(1)에서 실행되는 각종 동작(예를 들면, 후술하는 프로브 카드의 장착)을 제어부(40)의 제어로 실현하기 위한 제어 프로그램(소프트웨어) 및 검사 조건 데이터 등이 기억된 레시피가 저장되어 있다. 그리고, 필요에 따라 조작부(41)로부터의 지시 등으로 임의의 레시피를 기억부(42)로부터 호출하여 제어부(40)에 실행시킴으로써, 제어부(40)의 제어 하에서 프로브 장치(1)에서의 각종 동작이 행해진다. 또한, 제어 프로그램 및 처리 조건 데이터 등의 레시피는, 컴퓨터로 판독 가능한 컴퓨터 기록 매체(예를 들면 하드 디스크, CD, 플렉서블 디스크, 반도체 메모리 등) 등에 저장된 상태의 것을 이용하거나, 혹은 다른 장치로부터, 예를 들면 전용 회선을 통하여 수시 전송시켜 온라인으로 이용하는 것도 가능하다.
이상과 같이 구성된 프로브 장치(1)를 이용하여, 반도체 웨이퍼(W)에 형성된 반도체 디바이스의 전기적인 검사를 행할 시에는, 반도체 웨이퍼(W)를 웨이퍼 척(10) 상에 재치하고, 웨이퍼 척(10)에 의해 반도체 웨이퍼(W)를 상승시킨다. 그리고, 반도체 웨이퍼(W)의 각 전극을, 프로브 카드(20)의 대응하는 프로브에 접촉시킴으로써, 전기적인 도통을 얻고, 테스트 헤드(30)에 접속된 테스터에 의해 반도체 디바이스의 전기적 특성의 양부가 검사된다.
이어서 도 2 ~ 9를 참조하여, 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법에 대하여 설명한다.
도 2에 도시한 바와 같이, 트레이(21)의 하면측의 소정 위치에는 미리 위치 조정용 마크(22)를 설치한다. 또한 도 2에는, 위치 조정용 마크(22)를 1 개만 도시하고 있지만, 본 실시예에서는, 도 2의 지면에 수직인 방향으로 소정 거리(본 실시예에서는 100 mm) 떨어져 합계 2 개의 위치 조정용 마크(22)가 설치되어 있다. 위치 조정용 마크(22)의 형상은, 카메라(15)에 의해 촬상함으로써 그 위치를 인식할 수 있는 것이면 어떠한 것이어도 된다.
그리고, 슬라이드 기구(17)에 의해 트레이(21) 및 트레이(21) 상에 재치된 프로브 카드(20)를, 도 1에 도시한 반입 반출구(2a)로부터 하우징(2) 내의 소정의 전달 위치에 배치한다. 이와 함께, 전달 위치의 하방에 웨이퍼 척(10)을 이동시키고, 카메라(15)에 의해 위치 조정용 마크(22)를 촬상하여 위치 조정용 마크(22)의 위치를 인식한다(도 9에 나타낸 단계(101)). 이 위치 조정용 마크(22)의 위치의 인식은, 촬상 신호에 기초하여 도 1에 도시한 제어부(40)에서 행해진다.
이어서, 인식된 위치 조정용 마크(22)의 위치에 기초하여, 제어부(40)에서는, 위치 조정용 마크(22)의 위치가, 슬라이드 기구(17)와 트레이 지지 기구(14)의 사이에서 트레이(21)의 전달을 행할 수 있는 전달 가능한 위치의 범위 내에 있는지 여부를 판정한다(도 9에 나타낸 단계(102)).
상기한 판정의 결과, 전달 가능한 위치의 범위 외일 경우에는, 트레이(21)및 트레이(21) 상에 재치된 프로브 카드(20)의 전달을 중지하여 처리를 종료한다(도 9에 나타낸 단계(110)). 또한 프로브 카드(20)의 전달을 중지하기 전에, 구동 기구(11)에 의해 위치의 미세한 조정을 행하고, 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있는지 여부를 확인하도록 해도 된다. 이 경우, 위치의 미세한 조정은 예를 들면, 횡(도 2에서 지면에 수직인 방향)으로 ± 1.6 mm의 범위, 종(도 2에서 지면을 따른 좌우 방향)으로 ± 1.2 mm의 범위에서 행하는 것이 바람직하다.
한편, 전달 가능한 위치의 범위 내일 경우에는, 인식된 위치 조정용 마크(22)의 위치에 기초하여 웨이퍼 척(10)의 구동 기구(11)를 구동하고, 웨이퍼 척(10)및 트레이 지지 기구(14)를 수평 방향으로 이동시켜 적정한 전달 위치에 위치시킨다(도 9에 나타낸 단계(103)).
이어서 도 3에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 척(10)의 구동 기구(11)를 구동하고, 웨이퍼 척(10) 및 트레이 지지 기구(14)를 상승시켜, 트레이 지지 기구(14) 상으로 트레이(21) 및 프로브 카드(20)를 전달한다(도 9에 나타낸 단계(104)).
이어서 도 4에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 척(10)의 구동 기구(11)를 구동함으로써, 웨이퍼 척(10) 및 트레이 지지 기구(14)를 수평 방향으로 이동시키고, 프로브 카드(20)의 중심을 프로브 장치(1)의 프로브 센터 위치로 조정한다(도 9에 나타낸 단계(105)).
이어서 도 5에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 척(10)의 구동 기구(11)를 구동함으로써 웨이퍼 척(10) 및 트레이 지지 기구(14)를 상승시키고, 카드 클램프 기구(13)(도 1 참조)에 의한 클램프 위치에 프로브 카드(20)를 위치시킨다(도 9에 나타낸 단계(106)).
이어서, 클램프 위치에 배치되고 프로브 카드(20)를 카드 클램프 기구(13)(도 1 참조)에 의해 클램프한 후, 도 6에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 척(10)의 구동 기구(11)를 구동함으로써 웨이퍼 척(10) 및 트레이 지지 기구(14)를 하강시키고, 트레이(21)를 하강시킨다(도 9에 나타낸 단계(107)).
이어서 도 7에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 척(10)의 구동 기구(11)를 구동함으로써 웨이퍼 척(10) 및 트레이 지지 기구(14)를 수평 방향으로 이동시키고, 트레이(21)를 전술한 슬라이드 기구(17)와의 전달 위치에 위치시킨다(도 9에 나타낸 단계(108)).
이어서 도 8에 도시한 바와 같이, 웨이퍼 척(10)의 구동 기구(11)를 구동함으로써, 웨이퍼 척(10) 및 트레이 지지 기구(14)를 하강시켜, 트레이(21)를 트레이 지지 기구(14)로부터 슬라이드 기구(17)로 전달하고(도 9에 나타낸 단계(109)), 처리를 종료한다(도 9에 나타낸 단계(110)).
상기의 공정에 의해, 프로브 장치(1)에 대한 프로브 카드(20)의 장착이 종료된다. 이 프로브 카드(20)의 장착 시, 본 실시예에서는 상술한 바와 같이, 트레이(21)에 미리 설치한 위치 조정용 마크(22)를 카메라(15)에 의해 촬상하여 슬라이드 기구(17)에 지지된 트레이(21)의 위치를 인식하고, 트레이(21)의 위치가, 트레이 지지 기구(14)로의 전달 가능한 범위 외에 있을 경우에는, 트레이 지지 기구(14)로의 전달을 중지한다.
따라서, 예를 들면 조정 불량, 부품 불량, 경시 변화 등으로 조정 완료된 전달 위치가 이탈하여 전달 불가능할 경우에는, 슬라이드 기구(17)로부터 트레이 지지 기구(14)로의 트레이(21) 및 프로브 카드(20)의 전달이 행해지지 않는다. 이에 의해, 고가인 프로브 카드의 파손 등이 발생할 가능성을 저감할 수 있다.
또한, 슬라이드 기구(17)에 지지된 트레이(21)의 위치가, 트레이 지지 기구(14)로의 전달 가능한 범위 내에 있을 경우에는, 인식된 트레이(21)의 위치에 기초하여 트레이 지지 기구(14)를 적정한 전달 위치로 이동시키고, 트레이(21) 및 프로브 카드(20)의 트레이 지지 기구(14)로의 전달을 행한다. 따라서, 확실히 트레이(21) 및 프로브 카드(20)의 전달을 행할 수 있다.
이상, 본 발명을 실시예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고, 각종의 변형이 가능한 것은 물론이다.
1 : 프로브 장치
2 : 하우징
2a : 반입 반출구
10 : 웨이퍼 척
11 : 구동 기구
12 : 인서트 링
13 : 카드 클램프 기구
14 : 트레이 지지 기구
15 : 카메라
16 : 암
17 : 슬라이드 기구
20 : 프로브 카드
21 : 트레이
22 : 위치 조정용 마크
30 : 테스트 헤드
40 : 제어부
41 : 조작부
42 : 기억부

Claims (8)

  1. 다수의 프로브를 가지는 프로브 카드를 착탈 가능하게 고정하는 카드 클램프 기구와,
    반도체 웨이퍼를 재치 가능하고, 구동 기구를 구동함으로써 상기 카드 클램프 기구에 고정된 상기 프로브 카드의 상기 프로브에, 상기 반도체 웨이퍼에 형성된 전극을 접촉시키는 웨이퍼 척과,
    상면에 상기 프로브 카드가 재치되고, 하면에 위치 조정용 마크가 설치된 트레이와,
    상기 웨이퍼 척의 주위에 설치되고, 상기 구동 기구에 의해 이동 가능하고, 상기 트레이를 지지하기 위한 트레이 지지 기구와,
    상기 위치 조정용 마크를 촬상 가능한 카메라와,
    상기 트레이를, 상기 트레이 지지 기구와의 전달 위치로 반입시키기 위한 이동 기구와,
    상기 이동 기구에 의해 상기 전달 위치에 배치된 상기 트레이의 상기 위치 조정용 마크를 상기 카메라에 의해 촬상하여 상기 위치 조정용 마크의 위치를 검출하고, 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있을 경우에는, 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 행하고, 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 외에 있을 경우에는, 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 중지하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어 수단은, 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 중지하기 전에, 상기 구동 기구에 의해 위치의 미세한 조정을 행하고, 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있는지 여부를 확인하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 위치의 미세한 조정은 횡으로 ± 1.6 mm의 범위, 종으로 ± 1.2 mm의 범위에서 행하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 수단은, 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있을 경우에는, 상기 위치 조정용 마크의 위치 검출 결과에 기초하여 상기 트레이 지지 기구를 적정한 전달 위치로 이동시킨 후, 상승시켜 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 프로브 카드의 전달을 행하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
  5. 다수의 프로브를 가지는 프로브 카드를 착탈 가능하게 고정하는 카드 클램프 기구와,
    반도체 웨이퍼를 재치 가능하고, 구동 기구를 구동함으로써 상기 카드 클램프 기구에 고정된 상기 프로브 카드의 상기 프로브에, 상기 반도체 웨이퍼에 형성된 전극을 접촉시키는 웨이퍼 척과,
    상면에 상기 프로브 카드가 재치되고, 하면에 위치 조정용 마크가 설치된 트레이와,
    상기 웨이퍼 척의 주위에 설치되고, 상기 구동 기구에 의해 이동 가능하고, 상기 트레이를 지지하기 위한 트레이 지지 기구와,
    상기 위치 조정용 마크를 촬상 가능한 카메라와,
    상기 트레이를, 상기 트레이 지지 기구와의 전달 위치로 반입시키기 위한 이동 기구를 구비한 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법으로서,
    상기 이동 기구에 의해 상기 전달 위치에 배치된 상기 트레이의 상기 위치 조정용 마크를 상기 카메라에 의해 촬상하여 상기 위치 조정용 마크의 위치를 검출하고,
    검출한 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있을 경우에는, 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 행하고,
    상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 외에 있을 경우에는, 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 중지하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 트레이의 전달을 중지하기 전에, 상기 구동 기구에 의해 위치의 미세한 조정을 행하고, 상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있는지 여부를 확인하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 위치의 미세한 조정은 횡으로 ± 1.6 mm의 범위, 종으로 ± 1.2 mm의 범위에서 행하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법.
  8. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 위치 조정용 마크의 위치가 소정의 범위 내에 있을 경우에는, 상기 위치 조정용 마크의 위치 검출 결과에 기초하여 상기 트레이 지지 기구를 적정한 전달 위치로 이동시킨 후, 상승시켜 상기 이동 기구로부터 상기 트레이 지지 기구로의 상기 프로브 카드의 전달을 행하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법.
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