JPH02119156A - ウェーハ試験方法 - Google Patents
ウェーハ試験方法Info
- Publication number
- JPH02119156A JPH02119156A JP63272235A JP27223588A JPH02119156A JP H02119156 A JPH02119156 A JP H02119156A JP 63272235 A JP63272235 A JP 63272235A JP 27223588 A JP27223588 A JP 27223588A JP H02119156 A JPH02119156 A JP H02119156A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer stage
- probe card
- stage
- directions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェーハ試験方法に関し、特にウェーハ段階に
てペレットの試験を行うウェーハ試験方法に関する。
てペレットの試験を行うウェーハ試験方法に関する。
従来、この種のウェーハ試験方法では、第2図に示すプ
ローバ本体10.を用いプローブカード8を固定として
上面にウェーハ9を載置したウェーハステージ2を外部
から供給される駆動電力により回転するパルスモータ4
により、水平面に沿って横軸X方向と縦軸Y方向に移動
することにより、ウェーハ9上の全ペレットをプローブ
カード8の探針と接触させて試験を行っていた。
ローバ本体10.を用いプローブカード8を固定として
上面にウェーハ9を載置したウェーハステージ2を外部
から供給される駆動電力により回転するパルスモータ4
により、水平面に沿って横軸X方向と縦軸Y方向に移動
することにより、ウェーハ9上の全ペレットをプローブ
カード8の探針と接触させて試験を行っていた。
上述した従来のウェーハ試験方法では、プローブカード
が固定となっているので、ウェーハステージは最小限ウ
ェーハ外径分の動作範囲を必要とする。その為、ウェー
ハ外径が大きくなるにしたがってウェーハステージの動
作範囲を大きくする必要があり、その結果、装置寸法が
大きくなりクリーンルームへの設置スペースを広く取る
必要が生じるという欠点がある。
が固定となっているので、ウェーハステージは最小限ウ
ェーハ外径分の動作範囲を必要とする。その為、ウェー
ハ外径が大きくなるにしたがってウェーハステージの動
作範囲を大きくする必要があり、その結果、装置寸法が
大きくなりクリーンルームへの設置スペースを広く取る
必要が生じるという欠点がある。
本発明のウェーハ試験方法は、ウェーハ段階でペレット
の試験を行うプローバのウェーハステージを水平面に沿
って縦軸及び横軸方向に移動し、前記ウェーハステージ
の移動に同期してプローブカードを前記縦軸及び横軸方
向のそれぞれ逆方向に移動するように構成される。
の試験を行うプローバのウェーハステージを水平面に沿
って縦軸及び横軸方向に移動し、前記ウェーハステージ
の移動に同期してプローブカードを前記縦軸及び横軸方
向のそれぞれ逆方向に移動するように構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例に用いるプローバのブロック
図である。
図である。
第1図に示すように、プローバ本体10は10−ブカー
ド8を下面側に固定し水平面に沿って横軸X及び縦軸Y
方向と上下方向に移動できるプローブカードステージ1
と、上面に試験されるウェーハ9を載置して水平面に沿
って横軸X及び縦軸Y方向へ移動できるウェーハステー
ジ2と、プローブカードステージ1を移動させるパルス
モータ3と、ウェーハステージ2を移動させるパルスモ
ータ4とを備える。パルスモータ3及び4はそれぞれ図
示しないCPUから供給される移動量情報に基づき、同
期制御部7で作成されるそれぞれの移動量情報を受けて
、駆動電力を出力する駆動回路ら及び6により同一タイ
ミングで独立して駆動される。
ド8を下面側に固定し水平面に沿って横軸X及び縦軸Y
方向と上下方向に移動できるプローブカードステージ1
と、上面に試験されるウェーハ9を載置して水平面に沿
って横軸X及び縦軸Y方向へ移動できるウェーハステー
ジ2と、プローブカードステージ1を移動させるパルス
モータ3と、ウェーハステージ2を移動させるパルスモ
ータ4とを備える。パルスモータ3及び4はそれぞれ図
示しないCPUから供給される移動量情報に基づき、同
期制御部7で作成されるそれぞれの移動量情報を受けて
、駆動電力を出力する駆動回路ら及び6により同一タイ
ミングで独立して駆動される。
CPUからの移動量情報により同期制御部7はプローブ
カードステージ1とウェーハステージ2の横軸X及び縦
軸Y方向の移動量について分配し、かつ、移動方向を指
定して各駆動回路5,6に信号を送る。パルスモータ3
,4はそれぞれプローブカードステージ1とウェーハス
テージ2に独立して存在し、同一のタイミングでそれぞ
れのステージを駆動する。
カードステージ1とウェーハステージ2の横軸X及び縦
軸Y方向の移動量について分配し、かつ、移動方向を指
定して各駆動回路5,6に信号を送る。パルスモータ3
,4はそれぞれプローブカードステージ1とウェーハス
テージ2に独立して存在し、同一のタイミングでそれぞ
れのステージを駆動する。
前述した第2図のプローバでの移動量(ウェーハステー
ジのみの移動量)をX=A、Y=Bとすると、ウェーハ
ステージ2がX=A/2゜Y=B/2でプローブカード
ステージ1がX=−A/2.Y=−B/2となり、半分
の移動量と互に反対方向への駆動により、従来方法の移
動量を満足することになり、ウェーハ外径が大きくなっ
てもプローバの外形を小型化できる。
ジのみの移動量)をX=A、Y=Bとすると、ウェーハ
ステージ2がX=A/2゜Y=B/2でプローブカード
ステージ1がX=−A/2.Y=−B/2となり、半分
の移動量と互に反対方向への駆動により、従来方法の移
動量を満足することになり、ウェーハ外径が大きくなっ
てもプローバの外形を小型化できる。
以上説明したように本発明は、プローブカードをウェー
ハステージと同期させて水平面に沿って横軸及び縦軸方
向に互に反対方向に移動させることにより、ウェーハ外
径の大型化に伴いプローバ本体が大型化することを防止
でき、従って、クリーンルーム内の設置スペースを小さ
くできる効果がある。
ハステージと同期させて水平面に沿って横軸及び縦軸方
向に互に反対方向に移動させることにより、ウェーハ外
径の大型化に伴いプローバ本体が大型化することを防止
でき、従って、クリーンルーム内の設置スペースを小さ
くできる効果がある。
第1図は本発明の一実施例に用いるプローバのブロック
図、第2図は従来のウェーハ試験方法の一例に用いる1
0−バのブロック図である。 1・・・プローブカードステージ、2・・・ウェーハス
テージ、3,4・・・パルスモータ、5.6・・・駆動
回路、7・・・同期制御部、8・・・スロープカード、
9・・・ウェーハ、10.10.・・・プローバ本体、
11・・・制御部。 第7図 第2図
図、第2図は従来のウェーハ試験方法の一例に用いる1
0−バのブロック図である。 1・・・プローブカードステージ、2・・・ウェーハス
テージ、3,4・・・パルスモータ、5.6・・・駆動
回路、7・・・同期制御部、8・・・スロープカード、
9・・・ウェーハ、10.10.・・・プローバ本体、
11・・・制御部。 第7図 第2図
Claims (1)
- ウェーハ段階でペレットの試験を行うプローバのウェー
ハステージを水平面に沿って縦軸及び横軸方向に移動し
、前記ウェーハステージの移動に同期してプローブカー
ドを前記縦軸及び横軸方向のそれぞれ逆方向に移動する
ことを特徴とするウェーハ試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63272235A JPH02119156A (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | ウェーハ試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63272235A JPH02119156A (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | ウェーハ試験方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02119156A true JPH02119156A (ja) | 1990-05-07 |
Family
ID=17511006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63272235A Pending JPH02119156A (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | ウェーハ試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02119156A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02210276A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-21 | Tokyo Electron Ltd | プローバ及びプロービング方法 |
JP2013201390A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
-
1988
- 1988-10-27 JP JP63272235A patent/JPH02119156A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02210276A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-21 | Tokyo Electron Ltd | プローバ及びプロービング方法 |
JP2013201390A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
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