JP2013110370A - 天井設置型の物品搬送設備 - Google Patents
天井設置型の物品搬送設備 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013110370A JP2013110370A JP2011256593A JP2011256593A JP2013110370A JP 2013110370 A JP2013110370 A JP 2013110370A JP 2011256593 A JP2011256593 A JP 2011256593A JP 2011256593 A JP2011256593 A JP 2011256593A JP 2013110370 A JP2013110370 A JP 2013110370A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- branch
- path
- travel
- rail
- state
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009434 installation Methods 0.000 title abstract description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 26
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 13
- 230000036544 posture Effects 0.000 abstract 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 172
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66B—ELEVATORS; ESCALATORS OR MOVING WALKWAYS
- B66B3/00—Applications of devices for indicating or signalling operating conditions of elevators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G35/06—Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67715—Changing the direction of the conveying path
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Leg Units, Guards, And Driving Tracks Of Cranes (AREA)
Abstract
【解決手段】物品搬送車が同じ方向に向けて走行する複数の走行経路4A,4Bが、経路横幅方向に並べた状態で天井側に設けられ、複数の走行経路4A,4Bにおける隣り合う一対の走行経路4A,4Bのうちの一方側走行経路4Aから他方側走行経路4Bに物品搬送車が分岐走行する第1分岐経路5A及び他方側走行経路4Bから一方側走行経路4Aに物品搬送車が分岐走行する第2分岐経路5Bが、平面視において走行経路4A,4Bに対して傾斜する傾斜姿勢で、一方側走行経路4Aと他方側走行経路4Bとを接続するように設けられ、第1分岐経路5Aと第2分岐経路5Bとが、平面視にて、交差する形態で設けられている。
【選択図】図7
Description
すなわち、例えば、複数の走行経路の一つが、基板に対して複数種の処理を行う複数の基板処理装置の搬出入部を経由する状態で配設されて、物品搬送車が物品を複数の基板処理装置に対して搬送することになり、そして、一つの走行経路を走行する物品搬送車が、基板処理装置の搬出入部に対応する箇所に停止していても、後続の物品搬送車は、別の走行経路を通して走行することによって、停止している物品搬送車を追い越し、その後、複数の基板処理装置の搬出入部を経由する一つの走行経路に分岐して走行する形態で、物品の搬送を行えることになる。
ちなみに、この特許文献1においては、隣り合う一対の走行経路のうちの、一方の走行経路が2つの基板処理装置の搬出入部を経由する状態で設けられることが例示されているが、この一方の走行経路を一方側走行経路とすると、この一方側走行経路から他方側走行経路に物品搬送車を分岐する第1分岐経路を、隣接する基板処理装置の間に相当する箇所に設け、他方側走行経路から一方側走行経路に物品搬送車を分岐する第2分岐経路を、2の基板処理装置のうちの搬送上手側の基板処理装置よりも搬送上手側に相当する箇所に設けることが例示されている。
複数の前記走行経路における隣り合う一対の走行経路のうちの一方側走行経路から他方側走行経路に前記物品搬送車が分岐走行する第1分岐経路及び前記他方側走行経路から前記一方側走行経路に前記物品搬送車が分岐走行する第2分岐経路が、平面視において前記走行経路に対して傾斜する傾斜姿勢で、前記一方側走行経路と前記他方側走行経路とを接続するように設けられたものであって、
その第1特徴構成は、前記第1分岐経路と前記第2分岐経路とが、平面視にて、交差する形態で設けられている点を特徴とする。
したがって、物品の搬送元から物品の搬送先に至る種々の走行予定ルートを想定しながら、第1分岐経路と第2分岐経路との設置箇所を、物品の搬送を極力効率良く行える走行予定ルートを確保できる箇所に定めるにあたり、一対の走行経路の各所に、第1分岐経路及び第2分岐経路を同時に設置した場合を仮定しながら、物品の搬送を極力効率良く行える走行予定ルートを確保するために設置が必要となる箇所を抽出すればよいものとなり、種々の走行予定ルートを想定しながら、第1分岐経路と第2分岐経路との設置箇所を定める作業が簡単な作業となるため、設備策定作業の簡素化を図ることができる。
複数の前記走行経路が、複数重の環状となる状態で設けられている点を特徴とする。
前記物品搬送車が、走行部と、その走行部の下方に位置する物品保持部とを備える形態に構成され、
前記走行部が、前後両側箇所の夫々に、左右の走行輪、及び、上下軸心周りで回転する左右の案内輪を備える形態に構成され、
前記走行経路に沿って配設されるガイドレールが、レール横幅方向に間隔を隔てる状態で左右一対のレール部を備えるように構成され、
前記左右一対のレール部が、前記走行輪が走行する走行面及び前記案内輪を案内する案内面を備えるように構成され、
前記左右一対のレール部のうちの、前記第1分岐経路及び前記第2分岐経路が存在する側に位置する分岐側レール部が、前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路の入口部と前記第2分岐経路又は前記第1分岐経路の出口部との間に相当する分岐経路形成箇所においては、前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路の入口側部分及び出口側部分に沿う状態となり、かつ、前記第1分岐経路と前記第2分岐経路との交差部分に相当する箇所にて分断された状態となるように設けられ、
前記一方側走行経路又は他方側走行経路を走行する前記物品搬送車の走行方向を前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路に向けて分岐させる分岐走行状態と非分岐走行状態とに切換える走行方向切換え手段、
前記一方側走行経路又は前記他方側走行経路における前記分岐経路形成箇所に相当する部分を走行する前記物品搬送車が前記分岐側レール部側に傾くことを抑制する状態に案内する非分岐用補助案内手段、
前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路における前記分岐側レール部の非存在箇所において前記物品搬送車を受止め支持する補助受止め手段、及び、
前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路を走行する前記物品搬送車の左右方向での傾きを抑制すべく、前記物品搬送車に対して案内作用する分岐走行用補助案内手段が設けられている点を特徴とする。
本第3特徴構成の場合には、ガイドレールの左右一対のレール部を設置状態に維持し続けながら、非分岐走行形態、第1分岐走行形態、及び、第2分岐走行形態に切換えるようにするものであるから、大型の枠体を位置変更操作する必要がないため、非分岐走行形態、第1分岐走行形態、及び、第2分岐走行形態に切換えるための構成、つまり、物品搬送車を一方側走行経路又は他方側走行経路に沿って分岐させずに走行させることや物品搬送車を第1分岐経路又は物品搬送車を第2分岐経路に沿って分岐走行させることを行うための構成の簡素化を図ることができるのである。
前記一方側の走行経路に対応する前記分岐側レール部における前記第1分岐経路の入口側部分に沿う一方側第1レール部分、前記一方側の走行経路に対応する前記分岐側レール部における前記第2分岐経路の出口側部分に沿う一方側第2レール部分、前記他方側の走行経路に対応する前記分岐側レール部における前記第2分岐経路の入口側部分に沿う他方側第1レール部分、及び、前記他方側の走行経路に対応する前記分岐側レール部における前記第1分岐経路の出口側部分に沿う他方側第2レール部分に対応させて、一対の可動レールが設けられ、
前記一対の可動レールが、いずれか一つの可動レールを前記一方側第1レール部分に連なって前記第1分岐経路に沿って経路下手側に伸びる状態とし、かつ、残りの可動レールを前記他方側第2レール部分に連なって前記第1分岐経路に沿って経路上手側に伸びる状態とする第1分岐経路形成状態と、いずれか一つの可動レールを前記他方側第1レール部分に連なって前記第2分岐経路に沿って経路下手側に伸びる状態とし、かつ、残りの可動レールを前記一方側第2レール部分に連なって前記第2分岐経路に沿って経路上手側に伸びる状態とする第2分岐経路形成状態とに切換え自在に構成され、
前記補助受止め手段が、前記一対の可動レールにて前記物品搬送車を受け止め支持する形態に構成されている点を特徴とする。
前記走行部の前記走行輪よりも上方側箇所に、経路切換え用の被案内体が装備され、
前記被案内体を受止める上部ガイドレールが、前記分岐走行状態に切換えるための分岐用案内面、及び、前記非分岐走行状態に切換えるための非分岐用案内面を備える状態で設けられ、
前記走行方向切換え手段が、前記被案内体を前記分岐用案内面にて案内する状態と前記非分岐用案内面にて案内する状態とに切換えることによって、前記分岐走行状態と前記非分岐走行状態とに切換えるように構成され、
前記非分岐用案内面が、前記物品搬送車が前記分岐側レール部側に傾くことを抑制する状態で、前記分岐経路形成箇所に相当する部分において前記被案内体を受け止めるように設けられ、
前記非分岐用補助案内手段が、前記非分岐用案内面にて前記被案内体を受け止める形態にて、前記物品搬送車が前記分岐側レール部側に傾くことを抑制する状態に案内するように構成されている点を特徴とする。
そして、走行方向切換え手段が、被案内体を分岐用案内面にて案内する状態と非分岐用案内面にて案内する状態とに切換えることによって、分岐走行状態と非分岐走行状態とに切換えることになる。
そして、非分岐用補助案内手段が、非分岐用案内面にて被案内体を受け止める形態にて、物品搬送車が分岐側レール部側に傾くことを抑制する状態に案内することになる。
前記分岐用案内面として、
前記一方側第1レール部分に対して前記左右の走行輪のうちの一方側を載置し且つ他方側を浮上させて走行する前記走行部が浮上状態となる前記走行輪側に傾くことを抑制する状態で前記被案内体を受け止める一方側第1分岐用案内面、
前記他方側第2レール部分に対して前記左右の走行輪のうちの一方側を載置し且つ他方側を浮上させて走行する前記走行部が浮上状態となる前記走行輪側に傾くことを抑制する状態で前記被案内体を受け止める他方側第1分岐用案内面、
前記他方側第1レール部分に対して前記左右の走行輪のうちの一方側を載置し且つ他方側を浮上させて走行する前記走行部が浮上状態となる前記走行輪側に傾くことを抑制する状態で前記被案内体を受け止める他方側第2分岐用案内面、及び、
前記一方側第2レール部分に対して前記左右の走行輪のうちの一方側を載置し且つ他方側を浮上させて走行する前記走行部が浮上状態となる前記走行輪側に傾くことを抑制する状態で前記被案内体を受け止める一方側第2分岐用案内面を備えるように構成され、
前記分岐走行用補助案内手段が、前記物品搬送車が前記第1分岐経路を走行するときには、前記一方側第1分岐用案内面及び前記他方側第1分岐用案内面にて、前記被案内体を受け止め、且つ、前記物品搬送車が前記第2分岐経路を走行するときには、前記他方側第2分岐用案内面及び前記一方側第2分岐用案内面にて、前記被案内体を受け止める形態にて、前記物品搬送車に対して案内作用するように構成されている点を特徴とする。
そして、分岐走行用補助案内手段が、物品搬送車が第1分岐経路を走行するときには、一方側第1分岐用案内面及び他方側第1分岐用案内面にて、被案内体を受け止め、且つ、物品搬送車が第2分岐経路を走行するときには、他方側第2分岐用案内面及び一方側第2分岐用案内面にて、被案内体を受け止める形態にて、前記物品搬送車に対して案内作用することになる。
前記上部ガイドレールにおける前記分岐用案内面を形成する部分のうちの一部の姿勢変更部が、前記一方側第1分岐用案内面と前記他方側第1分岐用案内面とを前記第1分岐経路の長手方向で重複させる第1状態と、前記他方側第2分岐用案内面と前記一方側第2分岐用案内面とを前記第2分岐経路の長手方向に重複させる第2状態とに切換え自在に構成されている点を特徴とする。
また、物品搬送車を第2分岐経路に沿って分岐走行させるときには、姿勢変更部を第2状態に切換えて、他方側第2分岐用案内面と一方側第2分岐用案内面とを第2分岐経路の長手方向で重複させるようにして、他方側第2分岐用案内面にて受止められている被案内体が一方側第2分岐用案内面に受止められる状態に変化することを適正通り行わせることができる。
一つの駆動手段が、前記一対の可動レールを前記第1分岐経路形成状態とし、かつ、前記姿勢変更部を前記第1状態とする第1分岐状態と、前記一対の可動レールを前記第2分岐経路形成状態とし、かつ、前記姿勢変更部を前記第2状態とする第2分岐状態とに切換えるべく、前記一対の可動レール及び前記姿勢変更部に連係されている点を特徴とする。
次に、本発明の天井設置型の物品搬送設備の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図2〜図4に示すように、ガイドレール1を備えた走行ガイド部Lが、クリーンルームの天井側に設けられ、走行ガイド部Lに沿って走行する物品搬送車2が設けられている。
本実施形態においては、物品搬送車2は、半導体基板を収納した容器を物品Bとして搬送するように構成されている。
2つの環状の走行経路4は、経路横幅方向に並べた状態で、かつ、複数重(2重)の環状となる状態で設けられ、物品搬送車2が、これら走行経路4を同じ方向に向けて走行するように設けられている。尚、図1においては、物品搬送車2の走行方向を、矢印にて示している。
ちなみに、2つの環状の走行経路4の夫々は、平面視において、長方形の4つの角部を円弧状にした長四角状に形成されている。
2重の環状となる一対の走行経路4の間には、一方側走行経路4Aから他方側走行経路4Bに物品搬送車2が分岐走行する第1分岐経路5A及び他方側走行経路4Bから一方側走行経路4Aに物品搬送車2が分岐走行する第2分岐経路5Bが設けられている。
つまり、第1分岐経路5A及び第2分岐経路5Bにて、X字状分岐箇所が形成され、そして、そのX字状分岐箇所が、走行経路4の長手方向に沿って、複数設けられている。
尚、第1分岐経路5A及び第2分岐経路5Bの具体構成、つまり、X字状分岐箇所の具体構成については、後述する。
また、複数の物品処理部Pとしては、半導体基板に対して異なる処理を行う複数種が存在することになる。
すなわち、一対の走行経路4のうちの他方側走行経路4Bを、物品搬送車2を連続して走行させる連続走行用の走行経路として用い、一方側走行経路4Aを、保管部Rとの間で物品Bを移載するために物品搬送車2を物品移載箇所にて停止させる物品移載用の走行経路として用いるようにする。
また、他方側走行経路4Bを走行する物品搬送車2を、物品処理部Pとの間で物品Bを移載する際には、分岐接続経路7Aを走行させてサブ走行経路3に分岐させ、物品処理部Pとの間での物品Bの移載が終了した物品搬送車2を、合流接続経路7Bを走行させて他方側走行経路4Bに合流走行させることができる。
走行ガイド部Lのガイドレール1は、走行経路4やサブ走行経路3に沿って延びるように配設されるものであって、図3に示すように、走行レール用支持体8により天井部に吊下げ状態で設置され、また、図3及び図4に示すように、レール横幅方向に間隔を隔てる状態で左右一対のレール部1aを備えるように構成されている。
走行部10が、前後に並ぶ前方走行部10Fと後方走行部10Rとから構成され、それら前方走行部10F及び後方走行部10Rの夫々から下方に延出される上下方向に沿う連結軸12が、左右一対のレール部1a、1aの間を通して下方に伸びる状態で設けられている。
そして、車体本体部9が、前方走行部10F及び後方走行部10Rの夫々に対して、連結軸12の軸心周りで相対回転自在な状態で、連結軸12にて吊下げ支持されている。
尚、案内輪15は、前方走行部10F及び後方走行部10Rの夫々について、台車前後方向に並ぶ状態で2つずつ配設されている。
また、物品搬送車2は、車体本体部9に対して前方走行部10F及び後方走行部10Rが連結軸12の軸心周り(車体上下幅方向に沿う軸心周り)で屈曲することにより、走行経路4の円弧状部分やサブ走行経路3の円弧状部分等の円弧状経路部分をも良好に走行できるようになっている。
尚、上昇位置とは、図2及び図3に示すように、把持部11を車体本体部9の内方の上部に収納した位置であり、下降位置とは、図示は省略するが、把持部11を物品処理部Pや保管部Rの移載用ステーションに近接させた位置である。
そして、台車側制御部は、複数の物品搬送車2の運行を管理する設備管理用コンピュータから、無線通信等により、搬送元のステーション及び搬送先のステーションを指定する搬送指令を受けると、その搬送指令にて指定された搬送元のステーションから搬送先のステーションに物品Bを搬送する搬送処理を行うように構成されている。
そして、台車側制御部は、それら各種センサの検出情報に基づいて、指定された搬送元のステーションに走行することや、搬送元のステーションから指定された搬送先のステーションに走行することを行うために、前方走行部10F及び後方走行部10Rの走行作動を制御するように構成され、また、搬送元のステーションにおいては、搬送元のステーションから物品Bを受け取るために、把持部11の昇降作動や把持具22の姿勢切換作動を制御し、かつ、搬送先のステーションにおいては、搬送先のステーションに物品Bを降ろすために、把持部11の昇降作動や把持具22の姿勢切換作動を制御ように構成されている。
すなわち、図3に示すように、走行ガイド部Lには、物品搬送車2に駆動用電力を供給するための左右一対の給電線24が、左右一対のレール部1a、1aと同様に、走行経路4やサブ走行経路3等に沿って延びる状態で設けられている。
具体的には、左右一対の給電線24が、左右一対のレール部1a、1aの夫々の下端部に、車体横幅方向の内方側に延出する状態で設けられた保持部24Aの先端部に固定支持されている。
そして、給電線24に交流電流を通電することで磁界を発生させ、この磁界により受電部25に駆動用電力を発生させて、無接触状態で物品搬送車2に給電を行うように構成されている。
上部ガイドレール27、28は、図3に示すように、ガイドレール1に連結支持された状態で、ガイドレール1の長手方向に沿って適当間隔おきに設置された逆U字状の枠体8Aに支持されている。
尚、分岐箇所としては、他方側走行経路4Bに分岐接続経路7Aが接続された分岐箇所の他、一方側走行経路4Aに短絡経路6が接続された分岐箇所があり、また、合流箇所としては、他方側走行経路4Bに合流接続経路7Bが接続された合流箇所や、一方側走行経路4Aに短絡経路6が接続された合流箇所がある。
上部ガイドレール27は、分岐箇所においては、物品搬送車2の分岐走行方向を定めるために、ガイド輪26を案内することになり、また、分岐箇所及び合流箇所において、台車横幅方向の一方側のみにガイドレール1が位置する状態になっても、物品搬送車2の姿勢を適正姿勢に維持すべく、ガイド輪26を案内することになる。
また、分岐箇所においては、物品搬送車2を直進走行させる状態と、分岐走行させる状態とに切換える必要があるため、ガイド輪26を上部ガイドレール27にて案内することによって、物品搬送車2の分岐方向を選択できるようになっている。
そして、案内面切換手段29は、駆動部30により揺動アーム31を揺動させることによって、ガイド輪26の位置を台車横幅方向に位置変更させて、ガイド輪26が案内される案内面を、第1案内面27aと第2案内面27bとに切換えるように構成されている。
尚、図4では、案内面切換手段29が、上部ガイドレール27の第2案内面27bにてガイド輪26を案内する状態に切り換えた状態を示している。
そして、案内面切換手段29が、駆動部30により揺動アーム31を揺動させることによって、ガイド輪26の位置を台車横幅方向に位置変更させて、ガイド輪26が案内される案内面を、第1案内面27aと第2案内面27bとに切換えるように構成されている。
図5及び図7に示すように、一方側走行経路4A及び他方側走行経路4Bに沿って配置されるレール部1a、1aのうちの第1分岐経路5A及び第2分岐経路5Bが存在する側に位置する分岐側レール部1Aが、第1分岐経路5A又は第2分岐経路5Bの入口部と第2分岐経路5B又は第1分岐経路5Aの出口部との間に相当する分岐経路形成箇所においては、第1分岐経路5A又は第2分岐経路5Bの入口側部分又は出口側部分に沿う状態となり、かつ、第1分岐経路5Aと第2分岐経路5Bとの交差部分に相当する箇所にて、連結軸12を通過させるために、分断された状態となるように設けられている。
中継リンク39における可動レール35から離れる側の端部には、電動モータ40にて回動操作される駆動リンク41の先端部が枢支連結され、中継リンク39の他端部には、可動レール35が枢支連結されている。
尚、電動モータ40は、レール支持枠36に取付けた支持ブラケット42に支持されている。
そして、案内面切換手段29が、駆動部30により揺動アーム31を揺動させることによって、ガイド輪26の位置を台車横幅方向に位置変更させて、ガイド輪26が案内される案内面を、非分岐用案内面28aと分岐用案内面28bとに切換えることにより、一方側走行経路4A又は他方側走行経路4Bを走行する物品搬送車2を第1分岐経路5A又は第2分岐経路5Bに分岐走行させる状態(図8、図10参照)と、一方側走行経路4A又は他方側走行経路4Bを走行する物品搬送車2を分岐させずに直進走行させる状態(図9参照)に切換えることができるように構成されている。
つまり、一方側走行経路4A又は他方側走行経路4Bにおける分岐経路形成箇所を分岐走行せずに走行する物品搬送車2は、分岐側レール部1Aにて支持されることなく、離間側レール部1Bのみにて支持される状態となるため、分岐側レール部1A側に傾くことになるが、上部ガイドレール28の非分岐用案内面28aにてガイド輪26を受止め案内することにより、物品搬送車2が分岐側レール部1A側に傾くことを抑制するように構成されている。
支持部47Aの上部に操作用アーム49が取付けられ、その操作用アーム49を揺動操作する電動シリンダ50が設けられている。
次に、第2実施形態を説明するが、この第2実施形態は、一対の可動レール35の操作構成が異なる以外は、第1実施形態と同様に構成されるものである。
したがって、重複した記載を省略するために、一対の可動レール35の操作構成についてのみ説明する。
すなわち、一つの電動モータ40が、左右一対の可動レール35の一方側に対応させた状態で設けられている。この電動モータ40には、上下一対の駆動リンク41が装備されており、下方側の駆動リンク41が、第1実施形態と同様に、一方側の可動レール35に対応する中継リンク39の端部に枢支連結されている。
尚、中継揺動リンク52は、支持枠57に、その長手方向の中間部が回転自在に支持されている。支持枠57は、天井部から吊下げ支持される等により設けられることになる。
次に、第3実施形態を説明するが、この第3実施形態は、一対の可動レール35の構成や、上部ガイドレール28における姿勢変更部28Aの構成が異なり、そして、一対の可動レール35及び上部ガイドレール28の姿勢変更部28Aに対する操作構成が異なる以外は、第1実施形態と同様に構成されるものである。
したがって、重複した記載を省略するために、以下、第1実施形態と異なる部分について説明して、第1実施形態と同じ部分については説明を省略する。
尚、被係止体63Aは、図17に示すように、基体枠60に形成した挿通孔74を通して、基体枠60の上方に突出するようになっている。
次に、別実施形態を列記する。
(1)上記第1〜第3実施形態では、物品搬送車2の走行部10が、分割された前方走行部10F及び後方走行部10Rから構成される場合を例示したが、走行部10を分割しない形態で構成して実施してもよい。
この場合、走行部10に、車体前後の左右の走行輪14に加えて、補助の左右走行輪を車体前後方向に沿って装備して、左右の走行輪14がガイドレール1や可動レール35から浮上しても、補助の左右走行輪をガイドレール1に載置させて、走行部10の姿勢を安定させるようにするとよい。
1a レール部
1A 分岐側レール部
4 走行経路
4A 一方側走行経路
4B 他方側走行経路
5A 第1分岐路
5B 第2分岐路
2 物品搬送車
10 走行部
14 走行輪
15 案内輪
28 上部ガイドレール
28a 非分岐用案内面
28b 分岐用案内面
28A 姿勢変更部
35 可動レール
58 駆動手段
D1 一方側第1レール部分
D2 一方側第2レール部分
E1 他方側第1レール部分
E2 他方側第2レール部分
F1 一方側第1分岐用案内面
F2 一方側第2分岐用案内面
G1 他方側第1分岐用案内面
G2 他方側第2分岐用案内面
Claims (8)
- 物品搬送車が同じ方向に向けて走行する複数の走行経路が、経路横幅方向に並べた状態で天井側に設けられ、
複数の前記走行経路における隣り合う一対の走行経路のうちの一方側走行経路から他方側走行経路に前記物品搬送車が分岐走行する第1分岐経路及び前記他方側走行経路から前記一方側走行経路に前記物品搬送車が分岐走行する第2分岐経路が、平面視において前記走行経路に対して傾斜する傾斜姿勢で、前記一方側走行経路と前記他方側走行経路とを接続するように設けられた天井設置型の物品搬送設備であって、
前記第1分岐経路と前記第2分岐経路とが、平面視にて、交差する形態で設けられている天井設置型の物品搬送設備。 - 複数の前記走行経路が、複数重の環状となる状態で設けられている請求項1記載の天井設置型の物品搬送設備。
- 前記物品搬送車が、走行部と、その走行部の下方に位置する物品保持部とを備える形態に構成され、
前記走行部が、前後両側箇所の夫々に、左右の走行輪、及び、上下軸心周りで回転する左右の案内輪を備える形態に構成され、
前記走行経路に沿って配設されるガイドレールが、レール横幅方向に間隔を隔てる状態で左右一対のレール部を備えるように構成され、
前記左右一対のレール部が、前記走行輪が走行する走行面及び前記案内輪を案内する案内面を備えるように構成され、
前記左右一対のレール部のうちの、前記第1分岐経路及び前記第2分岐経路が存在する側に位置する分岐側レール部が、前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路の入口部と前記第2分岐経路又は前記第1分岐経路の出口部との間に相当する分岐経路形成箇所においては、前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路の入口側部分及び出口側部分に沿う状態となり、かつ、前記第1分岐経路と前記第2分岐経路との交差部分に相当する箇所にて分断された状態となるように設けられ、
前記一方側走行経路又は他方側走行経路を走行する前記物品搬送車の走行方向を前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路に向けて分岐させる分岐走行状態と非分岐走行状態とに切換える走行方向切換え手段、
前記一方側走行経路又は前記他方側走行経路における前記分岐経路形成箇所に相当する部分を走行する前記物品搬送車が前記分岐側レール部側に傾くことを抑制する状態に案内する非分岐用補助案内手段、
前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路における前記分岐側レール部の非存在箇所において前記物品搬送車を受止め支持する補助受止め手段、及び、
前記第1分岐経路又は前記第2分岐経路を走行する前記物品搬送車の左右方向での傾きを抑制すべく、前記物品搬送車に対して案内作用する分岐走行用補助案内手段が設けられている請求項1又は2記載の天井設置型の物品搬送設備。 - 前記一方側の走行経路に対応する前記分岐側レール部における前記第1分岐経路の入口側部分に沿う一方側第1レール部分、前記一方側の走行経路に対応する前記分岐側レール部における前記第2分岐経路の出口側部分に沿う一方側第2レール部分、前記他方側の走行経路に対応する前記分岐側レール部における前記第2分岐経路の入口側部分に沿う他方側第1レール部分、及び、前記他方側の走行経路に対応する前記分岐側レール部における前記第1分岐経路の出口側部分に沿う他方側第2レール部分に対応させて、一対の可動レールが設けられ、
前記一対の可動レールが、いずれか一つの可動レールを前記一方側第1レール部分に連なって前記第1分岐経路に沿って経路下手側に伸びる状態とし、かつ、残りの可動レールを前記他方側第2レール部分に連なって前記第1分岐経路に沿って経路上手側に伸びる状態とする第1分岐経路形成状態と、いずれか一つの可動レールを前記他方側第1レール部分に連なって前記第2分岐経路に沿って経路下手側に伸びる状態とし、かつ、残りの可動レールを前記一方側第2レール部分に連なって前記第2分岐経路に沿って経路上手側に伸びる状態とする第2分岐経路形成状態とに切換え自在に構成され、
前記補助受止め手段が、前記一対の可動レールにて前記物品搬送車を受け止め支持する形態に構成されている請求項3記載の天井設置型の物品搬送設備。 - 前記走行部の前記走行輪よりも上方側箇所に、経路切換え用の被案内体が装備され、
前記被案内体を受止める上部ガイドレールが、前記分岐走行状態に切換えるための分岐用案内面、及び、前記非分岐走行状態に切換えるための非分岐用案内面を備える状態で設けられ、
前記走行方向切換え手段が、前記被案内体を前記分岐用案内面にて案内する状態と前記非分岐用案内面にて案内する状態とに切換えることによって、前記分岐走行状態と前記非分岐走行状態とに切換えるように構成され、
前記非分岐用案内面が、前記物品搬送車が前記分岐側レール部側に傾くことを抑制する状態で、前記分岐経路形成箇所に相当する部分において前記被案内体を受け止めるように設けられ、
前記非分岐用補助案内手段が、前記非分岐用案内面にて前記被案内体を受け止める形態にて、前記物品搬送車が前記分岐側レール部側に傾くことを抑制する状態に案内するように構成されている請求項4記載の天井設置型の物品搬送設備。 - 前記分岐用案内面として、
前記一方側第1レール部分に対して前記左右の走行輪のうちの一方側を載置し且つ他方側を浮上させて走行する前記走行部が浮上状態となる前記走行輪側に傾くことを抑制する状態で前記被案内体を受け止める一方側第1分岐用案内面、
前記他方側第2レール部分に対して前記左右の走行輪のうちの一方側を載置し且つ他方側を浮上させて走行する前記走行部が浮上状態となる前記走行輪側に傾くことを抑制する状態で前記被案内体を受け止める他方側第1分岐用案内面、
前記他方側第1レール部分に対して前記左右の走行輪のうちの一方側を載置し且つ他方側を浮上させて走行する前記走行部が浮上状態となる前記走行輪側に傾くことを抑制する状態で前記被案内体を受け止める他方側第2分岐用案内面、及び、
前記一方側第2レール部分に対して前記左右の走行輪のうちの一方側を載置し且つ他方側を浮上させて走行する前記走行部が浮上状態となる前記走行輪側に傾くことを抑制する状態で前記被案内体を受け止める一方側第2分岐用案内面を備えるように構成され、
前記分岐走行用補助案内手段が、前記物品搬送車が前記第1分岐経路を走行するときには、前記一方側第1分岐用案内面及び前記他方側第1分岐用案内面にて、前記被案内体を受け止め、且つ、前記物品搬送車が前記第2分岐経路を走行するときには、前記他方側第2分岐用案内面及び前記一方側第2分岐用案内面にて、前記被案内体を受け止める形態にて、前記物品搬送車に対して案内作用するように構成されている請求項5に記載の天井設置型の物品搬送設備。 - 前記上部ガイドレールにおける前記分岐用案内面を形成する部分のうちの一部の姿勢変更部が、前記一方側第1分岐用案内面と前記他方側第1分岐用案内面とを前記第1分岐経路の長手方向で重複させる第1状態と、前記他方側第2分岐用案内面と前記一方側第2分岐用案内面とを前記第2分岐経路の長手方向に重複させる第2状態とに切換え自在に構成されている請求項6記載の天井設置型の物品搬送設備。
- 一つの駆動手段が、前記一対の可動レールを前記第1分岐経路形成状態とし、かつ、前記姿勢変更部を前記第1状態とする第1分岐状態と、前記一対の可動レールを前記第2分岐経路形成状態とし、かつ、前記姿勢変更部を前記第2状態とする第2分岐状態とに切換えるべく、前記一対の可動レール及び前記姿勢変更部に連係されている請求項7記載の天井設置型の物品搬送設備。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011256593A JP5527619B2 (ja) | 2011-11-24 | 2011-11-24 | 天井設置型の物品搬送設備 |
TW101141287A TWI564987B (zh) | 2011-11-24 | 2012-11-07 | 物品搬送設備 |
US13/680,384 US8701864B2 (en) | 2011-11-24 | 2012-11-19 | Article transport facility |
KR1020120133693A KR102031806B1 (ko) | 2011-11-24 | 2012-11-23 | 물품 반송 설비 |
CN201210480733.0A CN103129934B (zh) | 2011-11-24 | 2012-11-23 | 物品输送设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011256593A JP5527619B2 (ja) | 2011-11-24 | 2011-11-24 | 天井設置型の物品搬送設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013110370A true JP2013110370A (ja) | 2013-06-06 |
JP5527619B2 JP5527619B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=48490480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011256593A Active JP5527619B2 (ja) | 2011-11-24 | 2011-11-24 | 天井設置型の物品搬送設備 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8701864B2 (ja) |
JP (1) | JP5527619B2 (ja) |
KR (1) | KR102031806B1 (ja) |
CN (1) | CN103129934B (ja) |
TW (1) | TWI564987B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160115721A (ko) * | 2015-03-26 | 2016-10-06 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
KR20160119711A (ko) | 2015-04-06 | 2016-10-14 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
WO2016178347A1 (ja) * | 2015-05-01 | 2016-11-10 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫及び懸垂式スタッカクレーン |
KR20170061608A (ko) | 2015-11-26 | 2017-06-05 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5630661B2 (ja) * | 2011-12-19 | 2014-11-26 | 株式会社ダイフク | 天井設置型の物品搬送設備 |
JP5582366B2 (ja) * | 2012-05-23 | 2014-09-03 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR101829650B1 (ko) * | 2014-01-07 | 2018-02-19 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 이동 재치 장치 및 이동 재치 장치의 제어 방법 |
IL230866A0 (en) * | 2014-02-06 | 2014-09-30 | Dan Yehuda Schlesinger | Device for surface transportation |
JP6304122B2 (ja) * | 2015-05-13 | 2018-04-04 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR20190128266A (ko) | 2015-05-29 | 2019-11-15 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 반송 시스템 및 반송 시스템의 제어 방법 |
TWI554464B (zh) * | 2015-06-22 | 2016-10-21 | 盟立自動化股份有限公司 | 運輸裝置及使用該運輸裝置之運輸系統 |
CN108698757B (zh) * | 2016-03-03 | 2020-11-24 | 村田机械株式会社 | 输送*** |
CN109415171B (zh) * | 2016-06-21 | 2019-10-18 | 尤妮佳股份有限公司 | 产品输送设备 |
KR102575953B1 (ko) | 2016-11-25 | 2023-09-07 | 세메스 주식회사 | 자기 부상 이송 장치 |
CN106743275A (zh) * | 2016-12-31 | 2017-05-31 | 长沙高汇环保科技有限公司 | 全自动多功能收发装置的物品分发回收方法 |
JP6677187B2 (ja) * | 2017-01-31 | 2020-04-08 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR101957960B1 (ko) | 2017-06-14 | 2019-07-04 | 세메스 주식회사 | 자기 부상 이송 장치 |
KR102283382B1 (ko) | 2017-06-26 | 2021-07-29 | 세메스 주식회사 | 비히클 유지 보수용 승강 장치 |
JP6897407B2 (ja) * | 2017-08-04 | 2021-06-30 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CN108217472A (zh) * | 2018-02-28 | 2018-06-29 | 冠亚机械工业(昆山)有限公司 | 一种厂房用电动葫芦搬运*** |
US10947049B2 (en) | 2018-04-06 | 2021-03-16 | Sst Systems, Inc. | Conveyor system with automated carriers |
KR102058945B1 (ko) * | 2018-05-31 | 2019-12-24 | 에이피에스홀딩스 주식회사 | 이송 시스템 |
US10583985B2 (en) * | 2018-08-07 | 2020-03-10 | Daifuku Co., Ltd. | Article storage facility |
KR102169581B1 (ko) | 2018-08-07 | 2020-10-23 | 세메스 주식회사 | 비히클 유지 보수용 승강 장치 |
CN113165671B (zh) * | 2018-11-28 | 2024-02-02 | 村田机械株式会社 | 行驶车*** |
KR102172066B1 (ko) | 2018-12-06 | 2020-10-30 | 세메스 주식회사 | 비히클 유지 보수용 승강 장치 |
CN110498201A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-11-26 | 湖北九州云仓科技发展有限公司 | 一种小订单货物悬挂链出库运输***及方法 |
TWI733528B (zh) * | 2020-04-08 | 2021-07-11 | 盟立自動化股份有限公司 | 懸吊式搬運設備、及懸吊式搬運設備的導引裝置與方向保持模組 |
CN113816087A (zh) * | 2021-09-30 | 2021-12-21 | 弥费实业(上海)有限公司 | 行走装置及空中运输车 |
TWI836353B (zh) * | 2022-02-22 | 2024-03-21 | 達步施企業股份有限公司 | 物流輸送系統 |
EP4339140A1 (de) * | 2022-09-14 | 2024-03-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung, weiche, verfahren, computersystem, computerprogrammprodukt |
CN117894725B (zh) * | 2024-03-15 | 2024-05-14 | 华芯智上半导体设备(上海)有限公司 | 自动化物料传输*** |
Citations (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62180818A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-08 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | 角レ−ル用切換部方式 |
JPH0899792A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 無人搬送システムの分岐部における無人車の走行制御方法及び装置 |
JPH101903A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-01-06 | H S S T Kaihatsu Kk | 桁式軌道用の分岐装置 |
JPH10207543A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Shinko Electric Co Ltd | 軌条式走行台車及び軌条式走行台車を有する搬送装置 |
JP2000059921A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式物品搬送システムの分岐部又は合流部における走行制御方法 |
JP2000227806A (ja) * | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送システムにおける自走式搬送車の運行制御方法 |
WO2001075965A1 (fr) * | 2000-04-05 | 2001-10-11 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement |
JP2001296924A (ja) * | 2000-04-12 | 2001-10-26 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車システム |
JP2001301610A (ja) * | 2000-04-25 | 2001-10-31 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 無人搬送装置 |
JP2002249295A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-09-03 | Fuji Seisakusho:Kk | ホイスト用ガイドレールの分岐装置 |
JP2002270660A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-20 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | ウェハ搬送装置 |
JP2003029837A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-31 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車システム |
JP2003079074A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Daifuku Co Ltd | 搬送設備 |
JP2005001830A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
JP2005196655A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
JP2005225598A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Asyst Shinko Inc | 搬送台車及び搬送装置 |
JP2005266936A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送車の走行制御装置 |
JP2006066723A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Murata Mach Ltd | 搬送車システム |
JP2006087887A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Giken:Kk | 鉄道模型ポイント自動切換用電源制御装置 |
JP2006313461A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Murata Mach Ltd | 搬送台車システム |
JP2007521662A (ja) * | 2003-10-30 | 2007-08-02 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 自動マテリアル・ハンドリングシステム |
JP2008044400A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | Murata Mach Ltd | 搬送台車システム |
JP2010006478A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Asyst Technologies Japan Inc | 走行システム |
JP2010143665A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Murata Machinery Ltd | 走行車システム |
JP2010152766A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Murata Machinery Ltd | 搬送車システム |
WO2011158373A1 (ja) * | 2010-06-18 | 2011-12-22 | ムラテックオートメーション株式会社 | 有軌道台車システム及び有軌道台車システムでの分岐制御方法 |
JP2012240463A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-10 | Murata Machinery Ltd | 有軌道台車システム |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3853068A (en) * | 1973-03-08 | 1974-12-10 | Univ Johns Hopkins | Mechanically linked personal rapid transit system |
JPS5083787U (ja) * | 1973-11-27 | 1975-07-17 | ||
CH621991A5 (ja) * | 1977-09-14 | 1981-03-13 | Oerlikon Buehrle Ag | |
JPH0699032B2 (ja) * | 1989-07-26 | 1994-12-07 | ブラザー工業株式会社 | コンベアシステムの搬送体振り分け装置 |
DE4022163A1 (de) * | 1990-07-12 | 1992-01-16 | Licentia Gmbh | Vorrichtung zum aus- u. einschleusen von kleingut aus einem transportband |
DE4226066A1 (de) * | 1992-08-06 | 1994-02-10 | Rsl Logistik Gmbh & Co | Verfahren zum Sortieren |
US6325198B1 (en) * | 1998-06-26 | 2001-12-04 | Eveready Battery Company, Inc. | High speed manufacturing system |
DE10012524A1 (de) * | 2000-03-15 | 2001-09-20 | Wf Logistik Gmbh | Hängefördereinrichtung mit einer Umschleusungsstation |
US6629502B2 (en) * | 2000-09-14 | 2003-10-07 | Daifuku Co., Ltd. | Conveyance system |
US6321138B1 (en) * | 2000-09-15 | 2001-11-20 | Woodson Incorporated | Storage and retrieval system with automated order make up |
TWI233913B (en) * | 2002-06-06 | 2005-06-11 | Murata Machinery Ltd | Automated guided vehicle system |
US20040173438A1 (en) * | 2003-03-07 | 2004-09-09 | Sdi Industries, Inc. | Trolley-less overhead conveyer system |
US6920973B2 (en) * | 2003-06-19 | 2005-07-26 | The Regents Of The University Of Michigan | Integrated reconfigurable manufacturing system |
JP2006051886A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
JP2006241685A (ja) | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 軌道系交通システムのx字形分岐路 |
JP4221603B2 (ja) | 2005-03-31 | 2009-02-12 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP4389181B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2009-12-24 | 株式会社ダイフク | 物品処理設備 |
JP5099454B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2012-12-19 | 株式会社ダイフク | 交差部切換設備 |
JP5686501B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2015-03-18 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CN201808908U (zh) * | 2010-09-30 | 2011-04-27 | 安徽意通电力设备有限公司 | 轻轨悬挂输送轨道的转向装置 |
-
2011
- 2011-11-24 JP JP2011256593A patent/JP5527619B2/ja active Active
-
2012
- 2012-11-07 TW TW101141287A patent/TWI564987B/zh active
- 2012-11-19 US US13/680,384 patent/US8701864B2/en active Active
- 2012-11-23 KR KR1020120133693A patent/KR102031806B1/ko active IP Right Grant
- 2012-11-23 CN CN201210480733.0A patent/CN103129934B/zh active Active
Patent Citations (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62180818A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-08 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | 角レ−ル用切換部方式 |
JPH0899792A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 無人搬送システムの分岐部における無人車の走行制御方法及び装置 |
JPH101903A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-01-06 | H S S T Kaihatsu Kk | 桁式軌道用の分岐装置 |
JPH10207543A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Shinko Electric Co Ltd | 軌条式走行台車及び軌条式走行台車を有する搬送装置 |
JP2000059921A (ja) * | 1998-08-07 | 2000-02-25 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式物品搬送システムの分岐部又は合流部における走行制御方法 |
JP2000227806A (ja) * | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 搬送システムにおける自走式搬送車の運行制御方法 |
WO2001075965A1 (fr) * | 2000-04-05 | 2001-10-11 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement |
JP2001296924A (ja) * | 2000-04-12 | 2001-10-26 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車システム |
JP2001301610A (ja) * | 2000-04-25 | 2001-10-31 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 無人搬送装置 |
JP2002249295A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-09-03 | Fuji Seisakusho:Kk | ホイスト用ガイドレールの分岐装置 |
JP2002270660A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-20 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | ウェハ搬送装置 |
JP2003029837A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-31 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車システム |
JP2003079074A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-14 | Daifuku Co Ltd | 搬送設備 |
JP2005001830A (ja) * | 2003-06-12 | 2005-01-06 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
JP2007521662A (ja) * | 2003-10-30 | 2007-08-02 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 自動マテリアル・ハンドリングシステム |
JP2005196655A (ja) * | 2004-01-09 | 2005-07-21 | Murata Mach Ltd | 有軌道台車システム |
JP2005225598A (ja) * | 2004-02-12 | 2005-08-25 | Asyst Shinko Inc | 搬送台車及び搬送装置 |
JP2005266936A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送車の走行制御装置 |
JP2006066723A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Murata Mach Ltd | 搬送車システム |
JP2006087887A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Giken:Kk | 鉄道模型ポイント自動切換用電源制御装置 |
JP2006313461A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Murata Mach Ltd | 搬送台車システム |
JP2008044400A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | Murata Mach Ltd | 搬送台車システム |
JP2010006478A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Asyst Technologies Japan Inc | 走行システム |
JP2010143665A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Murata Machinery Ltd | 走行車システム |
JP2010152766A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Murata Machinery Ltd | 搬送車システム |
WO2011158373A1 (ja) * | 2010-06-18 | 2011-12-22 | ムラテックオートメーション株式会社 | 有軌道台車システム及び有軌道台車システムでの分岐制御方法 |
JP2012240463A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-10 | Murata Machinery Ltd | 有軌道台車システム |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160115721A (ko) * | 2015-03-26 | 2016-10-06 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
JP2016184690A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
KR102494075B1 (ko) | 2015-03-26 | 2023-01-30 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
KR20160119711A (ko) | 2015-04-06 | 2016-10-14 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
JP2016196359A (ja) * | 2015-04-06 | 2016-11-24 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
US10023205B2 (en) | 2015-04-06 | 2018-07-17 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility |
TWI687368B (zh) * | 2015-04-06 | 2020-03-11 | 日商大福股份有限公司 | 物品搬送設備 |
WO2016178347A1 (ja) * | 2015-05-01 | 2016-11-10 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫及び懸垂式スタッカクレーン |
JPWO2016178347A1 (ja) * | 2015-05-01 | 2018-02-15 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫及び懸垂式スタッカクレーン |
KR20170061608A (ko) | 2015-11-26 | 2017-06-05 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
US9975705B2 (en) | 2015-11-26 | 2018-05-22 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5527619B2 (ja) | 2014-06-18 |
KR20130057955A (ko) | 2013-06-03 |
TWI564987B (zh) | 2017-01-01 |
US8701864B2 (en) | 2014-04-22 |
CN103129934A (zh) | 2013-06-05 |
KR102031806B1 (ko) | 2019-10-14 |
TW201341287A (zh) | 2013-10-16 |
US20130313070A1 (en) | 2013-11-28 |
CN103129934B (zh) | 2016-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5527619B2 (ja) | 天井設置型の物品搬送設備 | |
JP5686501B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
EP2511150B1 (en) | Item conveyance infrastructure | |
JP5630661B2 (ja) | 天井設置型の物品搬送設備 | |
JP5099454B2 (ja) | 交差部切換設備 | |
JP5477651B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
TWI496727B (zh) | 物品搬送設備(一) | |
KR101943928B1 (ko) | 물품 반송 설비 | |
JP5316907B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
JP6278341B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
JP2002096725A (ja) | 搬送システム | |
JP5344366B2 (ja) | 搬送システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140320 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140320 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140402 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5527619 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |