JP2012160734A5 - - Google Patents
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Claims (8)
- インターポーザであって、
第1面及び第2面を有する基板と、
前記基板の前記第1面から前記第2面に延出する第1ホールと、
前記基板の前記第1面から前記第2面に延出し、幅が前記第1ホールの幅と異なる第2ホールと、
前記基板上に位置し、且つ、前記第1ホールの側壁及び前記第2ホールの側壁上にまで延出する第1絶縁層と、
前記基板上の前記第1絶縁層上に位置し、且つ、前記第1ホールの前記側壁上にまで延出する第1導電層とを含み、前記第2ホール内に導電層がないことを特徴とするインターポーザ。 - 前記第1ホールの幅は、前記第2ホールの幅と異なり、前記第1絶縁層は、前記第1ホールおよび前記第2ホールを完全には充填せず、前記第1導電層は、前記第1ホールを完全には充填しないことを特徴とする請求項1に記載のインターポーザ。
- さらに、前記第1導電層と前記第1絶縁層との間に位置する第2絶縁層を含み、前記第2絶縁層は、前記基板の前記第1面上に位置し、前記第2絶縁層の厚みは、前記第1絶縁層の厚みより大きいことを特徴とする請求項1に記載のインターポーザ。
- さらに、前記導電層の表面を被覆する第2導電層と、前記第1導電層の一部を被覆する第2絶縁層を含み、前記第2導電層は、前記第1導電層の他の部分を被覆することを特徴とする請求項1に記載のインターポーザ。
- 前記第1導電層の表面を被覆する第2導電層をさらに備え、前記第2導電層は前記第1導電層の一つの側面を被覆することを特徴とする請求項1に記載のインターポーザ。
- 前記第1導電層の表面を被覆する第2導電層をさらに備え、前記第2導電層の一つの側面は、前記第1導電層の一つの側面とほぼ同一平面上にあることを特徴とする請求項1に記載のインターポーザ。
- 前記第2導電層の材料は前記第1導電層の材料と異なることを特徴とする請求項4、5または6に記載のインターポーザ。
- さらに、前記第1導電層の一部を被覆する第2絶縁層を含むことを特徴とする請求項1に記載のインターポーザ。
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