JP2012093235A - 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム - Google Patents
三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012093235A JP2012093235A JP2010240962A JP2010240962A JP2012093235A JP 2012093235 A JP2012093235 A JP 2012093235A JP 2010240962 A JP2010240962 A JP 2010240962A JP 2010240962 A JP2010240962 A JP 2010240962A JP 2012093235 A JP2012093235 A JP 2012093235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dimensional shape
- image
- images
- measuring apparatus
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
【解決手段】三次元形状測定装置1は、メイン光源22が発光した光を縞パターンに変換して測定対象物11上に投影する投影部13と、測定対象物11を撮像する撮像部14と、投影部13が投影する縞パターンの位相を変化させながら、撮像部14に測定対象物11の撮像を繰り返しさせるとともに、縞パターンの画像を複数順に取得する制御部と、メイン光源22の光量の変化量を検出し、当該検出した変化量が所定の値以上である場合に、当該検出した変化量に基づいて前記縞パターンの画像を補正し、当該補正した縞パターンの画像に基づいて、測定対象物11の三次元形状を算出する形状算出部と、を備える。
【選択図】図1
Description
[第1の実施形態]
図1は、本実施形態による三次元形状測定装置1の外観構成を示す斜視図である。図1に示すとおり三次元形状測定装置1は、工業製品又は部品などの測定対象物11を載置するステージ12と、互いに固定された投影部13及び撮像部14とを備える。投影部13の光軸と撮像部14の光軸との間には角度がつけられており、両者の光軸は、ステージ12の基準面上で交差している。このうち撮像部14の光軸はステージ12の基準面に対して垂直である。なお、撮像部14の光軸を垂直にする代わりに投影部13の光軸を垂直してもよい。
また、メイン光源22は、一つの素子として図示しているが複数の光学素子からなる照明光学系で構成されても構わない。その場合、例えば、均一照明を行うためのフライアイレンズやロッドインテグレータ等を用いた照明光学系を有する。
図2において図1に示した要素と同じものには同じ符号を付した。図2に示すとおり、投影部13のメイン光源22と、投影部13のパターン形成部23と、撮像部14の撮像素子26とは、それぞれコンピュータ100の制御部101に接続されている。
なお、この三次元形状算出処理の開始時点では、ステージ12の座標は、適切な座標に調整済みである。
まず、ステップS101において、CPU15が、画像番号mを初期値1に設定する。
次に、ステップS102において、CPU15は、縞パターンの位相シフト量を、現在の画像番号mに対応したシフト量(m−1)π/2に設定する。
そして、CPU15は、算出した初期位相φiの値を、位相画像(位相分布)φにおける画素iの値として記憶部16へ書き込む。
図4(a)は、縞パターンの位相シフト量が0である縞画像IM1を示す。また、図4(b)は、縞パターンの位相シフト量がπ/2である縞画像IM2を示す。また、図4(c)は、縞パターンの位相シフト量がπである縞画像IM3を示す。また、図4(d)は、縞パターンの位相シフト量が3π/2である縞画像IM4を示す。また、図4(e)は、縞パターンの位相シフト量が2π(=0)である縞画像IM5を示す。ここで、縞画像IM1と縞画像IM5とは縞パターンの位相シフト量が等しい。制御部101は、縞画像IM1,IM2,IM3,IM4,IM5をこの順に取得する。時間に応じて光源の光量に変化が生じた場合、光量の変化に応じて縞画像IM1〜IM5の輝度値の平均値も変化する。このため、CPU15は、縞パターンの位相シフト量が等しい縞画像IM1と縞画像IM5との輝度値の平均値の差を算出し、算出した差が所定の閾値Lc以上である場合に、各縞画像IM1〜IM5を補正し、補正した縞画像IM1〜IM5に基づいて、測定対象物11の三次元形状を算出する。
ところで、三次元形状測定装置1全体或いは三次元形状測定装置1を構成する各部の温度変化等によって、パターン形成部23のパネルの濃度の精度や撮像部14の撮像素子26の感度が時間とともに変化することがある。本実施形態による三次元形状測定装置1は、縞画像の差に基づいて各縞画像を補正するため、メイン光源22の光量の変化だけではなく、パターン形成部23のパネルの濃度の精度の変化や撮像部14の撮像素子26の感度の変化にも対応して補正を行うことができる。
例えば、7バケット法では、90度毎に位相を変化させて7枚の縞画像を取得し、同位相の縞画像(1枚目と5枚目、2枚目と6枚目或いは3枚目と7枚目)を比較することによって光量変動を把握することが可能である。具体的には、CPU15は、1枚目の縞画像と5枚目の縞画像との差分から算出した変化比率Δ1と、2枚目の縞画像と6枚目の縞画像との差分から算出した変化比率Δ2と、3枚目の縞画像と7枚目の縞画像との差分から算出した変化比率Δ3とに基づいて全体の変化比率Cを算出する。例えば、CPU15は、全体の変化比率C=(Δ1+Δ2+Δ3/3)とする。次に、CPU15は、全体の変化比率Cを用いて、各縞画像に対する補正係数Cmを夫々算出する。そして、CPU15は、各縞画像に補正係数を乗じて補正した縞画像データに基づいて位相分布を算出する。ここで、1枚目の縞画像と5枚目の縞画像は位相が等しい。また、2枚目の縞画像と6枚目の縞画像は位相が等しい。また、3枚目の縞画像と7枚目の縞画像は位相が等しい。勿論、上記の変化率Δ1、Δ2、Δ3のいずれか1つあるいは2つを用いて全体の変化率を算出してもよい。
一方、9バケット法でも同様に同位相の画像を使用可能である。例えば、制御部101は、90度毎に位相を変化させて9枚の縞画像を取得する。そして、CPU15は、1枚目の縞画像と5枚目の縞画像と9枚目の縞画像との差分から算出した変化比率Δ1と、2枚目の縞画像と6枚目の縞画像との差分から算出した変化比率Δ2と、3枚目の縞画像と7枚目の縞画像との差分から算出した変化比率Δ3と、4枚目の縞画像と8枚目の縞画像との差分から算出した変化比率Δ4と、に基づいて全体の変化比率Cを算出する。例えば、CPU15は、全体の変化比率C=(Δ1+Δ2+Δ3+Δ4/4)とする。次に、CPU15は、全体の変化比率Cを用いて、各縞画像に対する補正係数Cmを夫々算出する。そして、CPU15は、各縞画像に補正係数を乗じて補正した縞画像データに基づいて位相分布を算出する。ここで、1枚目の縞画像と5枚目の縞画像と9枚目の縞画像とは位相が等しい。また、2枚目の縞画像と6枚目の縞画像は位相が等しい。また、3枚目の縞画像と7枚目の縞画像は位相が等しい。また、4枚目の縞画像と8枚目の縞画像は位相が等しい。この場合も、Δ1、Δ2、Δ3、Δ4の全てを用いる必要が無く、いずれか一つあるいは任意の複数の変化率を組み合わせて全体の変化率としてもよい。更に、上記の説明ではΔ1の算出に1枚目、5枚目、9枚目の3枚の縞画像を用いているが、例えば、一枚目と9枚目の2枚の縞画像からΔ1を求めても良い。
また、本実施形態による三次元形状測定装置1は、上述したステップS106において光量差が閾値Lc以上であるか否かを判定し、ステップS107又はS108へ分岐しているが、ステップS106の判定を行わずにステップS104からステップS107の縞画像を補正した縞画像データに基づいて位相分布を算出する処理へ進んでもよい。
次に、この発明の第2の実施形態による三次元形状測定装置3について説明する。本実施形態による三次元形状測定装置3の外観構成は第1の実施形態と同様である。
本実施形態による三次元形状測定装置3は、図2に示す三次元形状測定装置1の構成に加えて、光量検出部47と、ハーフミラー等のビームスプリッター48とを含んで構成される。
ビームスプリッター48は、メイン光源42から入射される光の一部を照射領域に透過し、メイン光源42から入射される光の一部を光量検出部47に反射する。光量検出部47は、ビームスプリッター48から反射された光の光量を検出し、検出した光量を制御部301に出力する。制御部301は、光量検出部47から入力された光量をCPU35に出力する。CPU35は、入力された光量の変化量に基づいて、測定対象物11の三次元形状を算出する。他の構成は第1の実施形態による三次元形状測定装置1の構成と同様なので説明を省略する。
まず、ステップS201において、CPU35が、画像番号mを初期値1に設定する。
次に、ステップS202において、CPU35は、縞パターンの位相シフト量を、現在の画像番号mに対応したシフト量(m−1)π/2に設定する。
一方、ステップS209において、CPU35は、縞画像IM1〜IM5に基づいて位相分布を算出する。位相分布の算出方法は第1の実施形態のステップS108と同様である。
ステップS208又はS209に続いて、ステップS210において、CPU35は、測定対象物11の三次元形状を算出し、フローを終了する。三次元形状の算出方法は第1の実施形態のステップS109と同様である。
また、投影部33のパターン形成部43は、液晶表示素子等の透過型に限らず、反射型液晶素子、DMD(Digital Mirror Device、デジタルミラーデバイス)等の反射型でもよい。パターン形成部43が反射型である場合、光量検出部47は、パターン形成部43により反射された光の光量を検出してもよい。
次に、この発明の第3の実施形態による三次元形状測定装置5について説明する。本実施形態による三次元形状測定装置5の外観構成は第1の実施形態と同様である。
図7は、本実施形態による三次元形状測定装置5の機能構成を示すブロック図である。
本実施形態による三次元形状測定装置5は、図2に示す三次元形状測定装置1の構成に加えて、外気温検出部67と、計時部59とを含んで構成される。
外気温検出部67は、外気温を検出し、検出した外気温を制御部501に出力する。制御部501は、外気温検出部67から入力された外気温をCPU55に出力する。コンピュータ500が備える計時部59は、時刻を計時する。また、記憶部56は、メイン光源62に電力が供給され始めて(メイン光源62を点灯して)からの経過時間と外気温とに対応するメイン光源62の光量を示すルックアップテーブル(LUT)56Aを予め記憶している。CPU55は、計時部59が計時する時刻と制御部501から入力された外気温とに基づいて、位相の等しい縞画像夫々に対応する光量をルックアップテーブル56Aから読み出し、読み出した光量の差に基づいて、測定対象物11の三次元形状を算出する。他の構成は第1の実施形態による三次元形状測定装置1の構成と同様なので説明を省略する。
ここで、CPU55は、メイン光源62に電力が供給され始めた時刻を予め記憶部56に書き込んでいる。
まず、ステップS301において、CPU55が、画像番号mを初期値1に設定する。
次に、ステップS302において、CPU55は、縞パターンの位相シフト量を、現在の画像番号mに対応したシフト量(m−1)π/2に設定する。
次に、ステップS305において、CPU55は、光量Lmを算出する。具体的には、CPU55は、まず、計時部59から取得した時刻と記憶部56に記憶されているメイン光源62に電力が供給された時刻との差から、メイン光源62に電力が供給されてからの経過時間を算出する。そして、CPU55は、算出した経過時間と入力された外気温とに対応する光量をルックアップテーブル56Aから読み出し、読み出した光量を縞画像IMmに対応する光量Lmとする。CPU55は、算出した光量Lmを縞画像IMmに対応付けて記憶部56に書き込む。
一方、ステップS310において、CPU55は、縞画像IM1〜IM5に基づいて位相分布を算出する。位相分布の算出方法は第1の実施形態のステップS108と同様である。
ステップS309又はS310に続いて、ステップS311において、CPU55は、測定対象物11の三次元形状を算出し、フローを終了する。三次元形状の算出方法は第1の実施形態のステップS109と同様である。
また、本実施形態では、メイン光源62に電力を供給してからの経過時間と外気温とに基づいて光量を算出しているが、メイン光源62の電流又は温度を検出し、検出した電流又は温度に基づいて光量を算出してもよい。
図9は、構造物製造システム200のブロック構成図である。構造物製造システム200は、三次元形状測定装置1と、設計装置210と、成形装置220と、制御装置230と、リペア装置240と含んで構成される。なお、本実施形態では、第1の実施形態による三次元形状測定装置1を用いたが、第2の実施形態による三次元形状測定装置3又は第3の実施形態による三次元形状測定装置5を用いてもよい。
成形装置220は、設計装置210から入力された設計情報に基づいて上記構造物を作製する。成形装置220の成形工程には、鋳造、鍛造、または切削等が含まれる。
三次元形状測定装置1は、第1の実施形態において説明したように、作製された前記構造物(測定対象物11)の座標(三次元形状)を算出し、算出した座標を示す情報(形状情報)を制御装置230へ送信する。
まず、ステップS401において、設計装置210が、構造物の形状に関する設計情報を作製する。次に、ステップS402において、成形装置220は、設計情報に基づいて上記構造物を作製する。次に、ステップS403において、三次元形状測定装置1は、作製された上記構造物の形状を算出する。次に、ステップS404において、制御装置230の検査部232は、三次元形状測定装置1で得られた形状情報と、上記設計情報とを比較することにより、構造物が設計情報通りに作成されたか否か検査する。
また、「コンピュータシステム」は、WWWシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境(あるいは表示環境)も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、フラッシュメモリ等の書き込み可能な不揮発性メモリ、CD−ROM等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク(通信網)や電話回線等の通信回線(通信線)のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル(差分プログラム)であっても良い。
Claims (16)
- 光源が発光した光を縞パターンに変換して測定対象物上に投影する投影部と、
前記測定対象物を撮像する撮像部と、
前記投影部が投影する縞パターンの位相を変化させながら、前記撮像部に前記測定対象物の撮像を繰り返しさせるとともに、縞パターンの画像を複数順に取得する制御部と、
前記光源の光量の変化量を検出し、当該検出した変化量が所定の値以上である場合に、当該検出した変化量に基づいて前記縞パターンの画像を補正し、当該補正した縞パターンの画像に基づいて、前記測定対象物の三次元形状を算出する形状算出部と、
を備えることを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項1に記載の三次元形状測定装置において、
前記制御部は、位相の等しい縞パターンの画像を含む縞パターンの画像を複数順に取得し、
前記形状算出部は、前記制御部が取得した位相の等しい縞パターンの画像夫々に対応する前記光源の光量の差を前記変化量として検出する
ことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項2に記載の三次元形状測定装置において、
前記形状算出部は、前記光量の差が所定の閾値以上である場合に、当該光量の差に基づいて補正係数を算出し、当該算出した補正係数を乗じて補正した縞パターンの画像に基づいて、前記測定対象物の三次元形状を算出する
ことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項2又は3に記載の三次元形状測定装置において、
前記形状算出部は、前記光量の差に基づいて、前記制御部が順に取得した縞パターンの画像夫々に対する補正係数を算出する
ことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項4に記載の三次元形状測定装置において、
前記形状算出部は、前記光量の差に基づいて、前記順に取得した画像夫々に対する補正係数の変化比率を算出し、当該変化比率に基づいて前記順に取得した画像夫々に対する補正係数を算出する
ことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項2から5いずれか1項に記載の三次元形状測定装置において、
前記形状算出部は、前記制御部が取得した位相の等しい縞パターンの画像同士の差を前記光源の光量の差とする
ことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項6に記載の三次元形状測定装置において、
前記制御部は、前記縞パターンの位相を90度ずつ順に変化させながら、前記撮像部による撮像を繰り返して、縞パターンの画像を少なくとも5枚取得し、
前記形状算出部は、前記制御部が取得した時間の異なる2枚の画像であって、位相の等しい縞パターンの画像の差を前記光源の光量の差とする
ことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項1から5いずれか1項に記載の三次元形状測定装置において、
前記光源の光量を検出する光量検出部を備え、
前記形状算出部は、前記制御部が縞パターンの画像夫々を取得した際に、前記光量検出部が検出した光量に基づき、前記光源の光量の変化量を検出する
ことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項2から5いずれか1項に記載の三次元形状測定装置において、
前記光源に電力が供給され始めてからの経過時間に対応する前記光源の光量を記憶する記憶部を備え、
前記形状算出部は、前記制御部が位相の等しい縞パターンの画像夫々を取得した時刻に基づいて、前記位相の等しい縞パターンの画像夫々に対応する前記光源の光量を前記記憶部から読み出す
ことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 光源が発光した光を縞パターンに変換して測定対象物上に投影し、前記測定対象物を撮像する三次元形状測定装置における三次元形状測定方法であって、
前記三次元形状測定装置の制御部が、投影する縞パターンの位相を変化させながら、前記測定対象物の撮像を繰り返すとともに、縞パターンの画像を複数順に取得するステップと、
前記三次元形状測定装置の形状算出部が、前記光源の光量の変化量を検出し、当該検出した変化量が所定の値以上である場合に、当該検出した変化量に基づいて前記縞パターンの画像を補正し、当該補正した縞パターンの画像に基づいて、前記測定対象物の三次元形状を算出するステップと、
を有することを特徴とする三次元形状測定方法。 - 構造物の形状に関する設計情報を作製する設計工程と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形工程と、
作製された前記構造物の形状を請求項10に記載の三次元形状測定方法を用いて算出する測定工程と、
前記測定工程で得られた形状情報と、前記設計情報とを比較する検査工程と、
を有することを特徴とする構造物の製造方法。 - 前記検査工程の比較結果に基づいて実行され、前記構造物の再加工を実施するリペア工程を有することを特徴とする請求項11に記載の構造物の製造方法。
- 前記リペア工程は、前記成形工程を再実行する工程であることを特徴とする請求項12に記載の構造物の製造方法。
- 前記リペア工程は、前記検査工程の比較結果に基づいて、前記構造物の不良部位を加工する工程であることを特徴とする請求項12に記載の構造物の製造方法。
- 構造物の形状に関する設計情報を作製する設計装置と、
前記設計情報に基づいて前記構造物を作製する成形装置と、
請求項1から9いずれか1項に記載の三次元形状測定装置と、
前記三次元形状測定装置が算出した前記構造物の形状情報と、前記設計情報とを比較する検査装置と、
を有することを特徴とする構造物製造システム。 - 前記検査装置における比較結果に基づいて、前記構造物の再加工を実施するリペア装置を有することを特徴とする請求項15に記載の構造物製造システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010240962A JP2012093235A (ja) | 2010-10-27 | 2010-10-27 | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010240962A JP2012093235A (ja) | 2010-10-27 | 2010-10-27 | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012093235A true JP2012093235A (ja) | 2012-05-17 |
Family
ID=46386723
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010240962A Pending JP2012093235A (ja) | 2010-10-27 | 2010-10-27 | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012093235A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014084131A1 (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-05 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、構造物製造システム、ステージ装置、形状測定方法、構造物製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
JP2014134437A (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-24 | Nikon Corp | 形状測定装置及び構造物製造システム並びに構造物製造方法 |
CN104751436A (zh) * | 2013-12-27 | 2015-07-01 | 联想(北京)有限公司 | 一种信息处理的方法及一种电子设备 |
JP2015175642A (ja) * | 2014-03-13 | 2015-10-05 | キヤノン株式会社 | 計測装置、および物品の製造方法 |
JP5799481B1 (ja) * | 2014-07-30 | 2015-10-28 | パルステック工業株式会社 | 3次元形状測定装置 |
US9799117B2 (en) | 2013-09-30 | 2017-10-24 | Lenovo (Beijing) Co., Ltd. | Method for processing data and apparatus thereof |
JP2019027921A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 三次元形状測定装置、ロボットシステム、及び三次元形状測定方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005044200A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 画像生成システム及び方法 |
JP2005317526A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-11-10 | Toray Ind Inc | フラットディスプレイ基板の製造方法 |
WO2006100780A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Olympus Corporation | リペア方法及びその装置 |
JP2007101215A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Sunx Ltd | 形状測定方法、形状測定システム及び形状測定装置 |
JP2007227614A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Nikon Corp | 情報管理方法、情報管理システム、プログラム、記録媒体、パターン検査装置及び基板検査装置 |
JP2008051749A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Mitsutoyo Corp | 光波干渉測定装置 |
JP2008309532A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Lasertec Corp | 3次元測定装置及び検査装置 |
JP2009017433A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Seiko Epson Corp | スキャン機器 |
JP2009063537A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Mitsutoyo Corp | 干渉計、及び形状測定方法 |
JP2009180689A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置 |
-
2010
- 2010-10-27 JP JP2010240962A patent/JP2012093235A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005044200A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 画像生成システム及び方法 |
JP2005317526A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-11-10 | Toray Ind Inc | フラットディスプレイ基板の製造方法 |
WO2006100780A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Olympus Corporation | リペア方法及びその装置 |
JP2007101215A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Sunx Ltd | 形状測定方法、形状測定システム及び形状測定装置 |
JP2007227614A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Nikon Corp | 情報管理方法、情報管理システム、プログラム、記録媒体、パターン検査装置及び基板検査装置 |
JP2008051749A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-03-06 | Mitsutoyo Corp | 光波干渉測定装置 |
JP2008309532A (ja) * | 2007-06-13 | 2008-12-25 | Lasertec Corp | 3次元測定装置及び検査装置 |
JP2009017433A (ja) * | 2007-07-09 | 2009-01-22 | Seiko Epson Corp | スキャン機器 |
JP2009063537A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Mitsutoyo Corp | 干渉計、及び形状測定方法 |
JP2009180689A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-08-13 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014084131A1 (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-05 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、構造物製造システム、ステージ装置、形状測定方法、構造物製造方法、プログラム、及び記録媒体 |
JP6020593B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2016-11-02 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、構造物製造システム、ステージシステム、形状測定方法、構造物製造方法、プログラムを記録した記録媒体 |
JPWO2014084131A1 (ja) * | 2012-11-29 | 2017-01-05 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、構造物製造システム、ステージシステム、形状測定方法、構造物製造方法、プログラムを記録した記録媒体 |
US9733070B2 (en) | 2012-11-29 | 2017-08-15 | Nikon Corporation | Shape measuring apparatus, structure manufacturing system, stage apparatus, shape measuring method, structure manufacturing method, program, and recording medium |
JP2014134437A (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-24 | Nikon Corp | 形状測定装置及び構造物製造システム並びに構造物製造方法 |
US9799117B2 (en) | 2013-09-30 | 2017-10-24 | Lenovo (Beijing) Co., Ltd. | Method for processing data and apparatus thereof |
CN104751436A (zh) * | 2013-12-27 | 2015-07-01 | 联想(北京)有限公司 | 一种信息处理的方法及一种电子设备 |
CN104751436B (zh) * | 2013-12-27 | 2017-12-26 | 联想(北京)有限公司 | 一种信息处理的方法及一种电子设备 |
JP2015175642A (ja) * | 2014-03-13 | 2015-10-05 | キヤノン株式会社 | 計測装置、および物品の製造方法 |
JP5799481B1 (ja) * | 2014-07-30 | 2015-10-28 | パルステック工業株式会社 | 3次元形状測定装置 |
JP2019027921A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 三次元形状測定装置、ロボットシステム、及び三次元形状測定方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5140761B2 (ja) | 測定システムを較正する方法、コンピュータプログラム、電子制御装置、及び、測定システム | |
JP2012093235A (ja) | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
US8514389B2 (en) | Inspecting apparatus, three-dimensional profile measuring apparatus, and manufacturing method of structure | |
JP5825254B2 (ja) | 形状測定装置及び形状測定方法 | |
JP3914638B2 (ja) | 形状計測装置 | |
US9980651B2 (en) | Method for the optical three-dimensional measurement of a dental object | |
JP5994787B2 (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム | |
US20200278197A1 (en) | Measurement apparatus, measurement method, system, storage medium, and information processing apparatus | |
JP6061616B2 (ja) | 測定装置及びその制御方法、プログラム | |
JP5016520B2 (ja) | 3次元形状計測方法および装置 | |
WO2012057284A1 (ja) | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
JP2010243438A (ja) | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 | |
JP2009036589A (ja) | 校正用ターゲット、校正支援装置、校正支援方法、および校正支援プログラム | |
JP2008309551A (ja) | 形状測定方法、記憶媒体、および形状測定装置 | |
JP2009180689A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2022505166A (ja) | 対向配置チャネルを有する三次元センサ | |
JP4516949B2 (ja) | 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法 | |
JP2021117228A (ja) | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 | |
JP2008145139A (ja) | 形状計測装置 | |
JP4797109B2 (ja) | 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法 | |
JP2012093234A (ja) | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
JP2010175554A (ja) | 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法 | |
JP2011021970A (ja) | 三次元形状測定装置および三次元形状測定方法 | |
JP2008216039A (ja) | 形状測定方法および形状測定装置 | |
JP6567199B2 (ja) | 距離計測装置、距離計測方法、及び距離計測プログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130919 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140425 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140617 |