JP5825254B2 - 形状測定装置及び形状測定方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態として三次元形状測定装置を説明する。
以下、本発明の第2実施形態を説明する。ここでは、第1実施形態との相違点のみを説明する。第1実施形態との相違点は、解析に関するCPU15の動作にある。
以下、上述したkmax通りの測定条件(ここではkmax通りのシャッター速度)の決定方法を説明する。
なお、上記実施形態では、kmax通りの測定条件の間の露光量に差異を設けるために、撮像素子26のシャッター速度を変更したが、光源から撮像素子までの何れかの光路に配置された絞り(開口絞り)の絞り値を変更してもよい。或いは、投影部13の光源パワーを変更してもよい。或いは、光源から撮像素子までの何れかの光路の透過率を変更してもよい(その場合は、透過率の異なる複数のフィルタを装着し、それらのフィルタのうち1つを選択的に光路へ挿入可能な機構を使用するとよい。)。
Claims (8)
- 共通の繰り返し構造を有し、かつ位相の異なる複数種類のパターンを測定対象物上へ順次に投影する投影部と、
前記複数種類のパターンの各々が前記測定対象物へ投影される毎に前記測定対象物を撮像して画像データセットを取得する撮像部と、
測定条件を変化させて複数通りの露光量で前記画像データセットを取得させることにより複数組の前記画像データセットを取得する制御部と、
取得された前記画像データセットの中から、前記測定対象物上の同一領域に関するデータセットであって、セット内の全データが有効輝度範囲内に収まっているものを、適正データセットとして選出する選出部と、
選出された前記適正データセットに基づき、前記測定対象物において前記適正データの取得元となった領域の形状を求める形状算出部と、を備え、
前記選出部は、前記複数組の前記画像データセットのうち、前記撮像部の入出力特性が線形となる前記有効輝度範囲内に輝度値が収まっているデータセットを、前記適正データセットとして選出することを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1に記載の形状測定装置において、
前記選出部は、前記複数組の前記画像データセットの中から前記適正データセットを選出する処理を前記測定対象物上の領域毎に行うことを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の形状測定装置において、
前記選出部は、前記複数組の前記画像データセットのうち、前記有効輝度範囲内に輝度値が収まっており、かつ、他のデータセットと比べて前記露光量の高いデータセットを、前記適正データセットとして選出することを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載の形状測定装置において、
前記制御部は、前記複数通りの露光量の間のピッチを、前記露光量が低いときほど細かく設定することを特徴とする形状測定装置。 - 請求項4に記載の形状測定装置において、
前記制御部は、前記複数通りの露光量の間のピッチを、前記露光量の対数目盛上で均等になるように設定することを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1〜請求項5の何れか一項に記載の形状測定装置において、
前記制御部は、前記複数組の画像データセットの取得に先立ち前記複数通りの露光量の値範囲を設定する設定部を更に備え、
前記設定部は、前記露光量の値範囲の上限値を、前記測定対象物上で最も暗い部分のデータが前記有効輝度範囲内に収まるような値に設定し、かつ、前記露光量の値範囲の下限値を、前記測定対象物上で最も明るい部分のデータが前記有効輝度範囲内に収まるような値に設定することを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1〜請求項6の何れか一項に記載の形状測定装置において、
前記制御部は、前記撮像部の電荷蓄積時間を変化させることにより前記複数通りの露光量を設定することを特徴とする形状測定装置。 - 共通の繰り返し構造を有し、かつ位相の異なる複数種類のパターンを測定対象物上へ順次に投影する投影手順と、
前記複数種類のパターンの各々が前記測定対象物へ投影される毎に前記測定対象物を撮像して画像データセットを取得する撮像手順と、
測定条件を変化させて複数通りの露光量で前記画像データセットを取得させることにより複数組の前記画像データセットを取得する制御手順と、
前記測定対象物上の同一領域に関するデータセットであって、セット内の全データが有効輝度範囲内に収まっているものを、適正データセットとして選出する選出手順と、
選出された前記適正データセットに基づき、前記測定対象物において前記適正データの取得元となった領域の形状を求める形状算出手順と、を含み、
前記選出手順では、前記複数組の前記画像データセットのうち、前記撮像手順での入出力特性が線形となる前記有効輝度範囲内に輝度値が収まっているデータセットを、前記適正データセットとして選出することを特徴とする形状測定方法。
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