JP2007227614A - 情報管理方法、情報管理システム、プログラム、記録媒体、パターン検査装置及び基板検査装置 - Google Patents
情報管理方法、情報管理システム、プログラム、記録媒体、パターン検査装置及び基板検査装置 Download PDFInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 125
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 86
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 323
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 132
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 89
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 64
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 58
- 238000007726 management method Methods 0.000 claims description 40
- 230000010365 information processing Effects 0.000 claims description 25
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 24
- 238000005457 optimization Methods 0.000 claims description 24
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 20
- 230000006872 improvement Effects 0.000 claims description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 2
- 238000012938 design process Methods 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 52
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 44
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 227
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 75
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 54
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 51
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 42
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 30
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 23
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 20
- 230000008859 change Effects 0.000 description 19
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 9
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 4
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】ウエハの検査で異常が発生した場合、露光装置において、異常箇所に該当する部分のレチクル検査を行って、解析装置に送信する。そして、ウエハの異常と、レチクルの異常との相関をとり、ウエハの異常の原因がレチクルにあるか否かを判断する。さらに、ウエハの異常の原因が、レチクル上の異物にある場合には、それを取り除き、レチクルパターンの欠陥にある場合には、レチクルを交換する。また、必要に応じて、レチクル検査の異常判定レベルを調整する。
【選択図】図4
Description
露光装置100では、上記各制御系の動作を規定するファクタが幾つかパラメータ化されており、それらの値を、適切な範囲内で自由に設定することができるようになっている。制御系パラメータは、その設定値を変更する際に、プロセスを一旦停止して装置調整が必要となる調整系パラメータと、装置調整を必要としない非調整系パラメータとに大別される。
OPCマスクとは、光近接効果補正法(Optical Proximity Correction:OPC)を利用したマスクのことである。通常のマスクを単に微細化しても、微細パターンでの光量不足や隣接パターンからの光の影響により、露光パターン異常が発生する可能性がある。この現象を光近接効果という。これらの現象を防止するために、マスクパターンの角に小さい図形を付加したり、密集部と粗な箇所のパターンサイズを変化させる技法が、光近接効果補正法(Optical Proximity Correction:OPC)である。OPCマスクでは、例えば、パターンのエッジにジョグと呼ばれる段差を作り、ウエハ上の露光パターンの形状が設計パターンの形状に近くなるように、ジョグの長さや大きさを調整する。
位相シフトマスクは、例えば、マスクパターンの透過部を隣接する透過部とは異なる物質とすることにより、透過光に180°の位相差を与えたマスクである。よって、パターン遮光部では、回折した180°位相の異なる透過光同士が打ち消し合い、光強度が小さくなり、その結果、像面上のパターンコントラストが向上する。位相シフトマスクとしては、例えば、レベンソン型(基板掘り込み式、両掘り込み式、シフタ式)、補助パターン型、リム型、ハーフ・トーン型、クロム・レス型などの様々なタイプがある。
露光装置100内には、露光に用いられるレチクルを、ステージに保持する前に検査するレチクル検査器130が設けられている。レチクル検査器130は、レチクルのデバイスパターン上に付着した異物の有無及びデバイスパターンの欠陥を検出する。まず、レチクル検査器130は、レチクルのデバイスパターンを、レーザでスキャンして、その反射光や散乱光を検出し、反射光又は散乱光の強度変化によって、デバイスパターン上の異物を検出する。また、レチクル検査器130は、照明光により照明されたデバイスパターンを撮像し、その撮像結果に基づいて、パターン欠陥を検出する。デバイスパターンの画像としては、パターンを透過した光に基づく撮像データと、パターンを反射した光に基づく撮像データとを取得することができるようになっている。ここで、レチクル検査器は、露光装置100の外に接続されていてもよい。
トラック200は、露光装置100を囲むチャンバ(不図示)に接するように配置されている。トラック200は、内部に備える搬送ラインにより、主として露光装置100に対するウエハの搬入・搬出を行っている。
トラック200内には、レジスト塗布及び現像を行うコータ・デベロッパ(C/D)110が設けられている。C/D110は、ウエハ上に対しフォトレジストの塗布及び現像を行う。C/D110は、これらの処理状態を観測し、その観測データをログデータとして記録することができるようになっている。観測可能な処理状態としては、例えば、レジスト塗布膜厚均一性、現像モジュール処理、PEB(Post-Exposure-Bake)の温度均一性(ホットプレート温度均一性)、ウエハ加熱履歴管理(PEB処理後のオーバベークを回避、クーリングプレート)の各状態がある。C/D110も、その装置パラメータの設定により、その処理状態をある程度調整することができるようになっている。このような装置パラメータには、例えば、ウエハ上のレジストの塗布むらに関連するパラメータ、例えば、設定温度、ウエハの回転速度、レジストの滴下量や滴下間隔などの装置パラメータがある。
トラック200内には、露光装置100でのウエハの露光前後(すなわち、事前、事後)において、そのウエハに対する様々な測定検査を行うことが可能な複合的なウエハ検査器120が設けられている。ウエハ検査器120は、露光装置100やC/D110とは、独立して動作可能である。ウエハ検査器120は、露光前に測定を行う事前測定検査処理と、露光後に測定を行う事後測定検査処理とを行う。
解析装置500は、露光装置100、トラック200とは独立して動作する装置である。解析装置500は、デバイス製造処理システム1000内の通信ネットワークと接続されており、外部とデータ送受信が可能となっている。解析装置500は、この通信ネットワークを介して各種装置から各種データ(例えばその装置の処理内容)を収集し、ウエハに対するプロセスに関するデータの解析を行う。このような解析装置500を実現するハードウエアとしては、例えばパーソナルコンピュータを採用することができる。この場合、解析処理は、解析装置500のCPU(不図示)で実行される解析プログラムの実行により実現される。この解析プログラムは、CD−ROMなどのメディア(情報記録媒体)により供給され、PCにインストールされた状態で実行される。
(1)露光量誤差最小値と同期精度誤差最良値でのテーブル群の像高fkのテーブル1
(2)露光量誤差最小値と同期精度誤差最悪値でのテーブル群の像高fkのテーブル2
(3)露光量誤差最大値と同期精度誤差最良値でのテーブル群の像高fkのテーブル3
(4)露光量誤差最大値と同期精度誤差最悪値でのテーブル群の像高fkのテーブル4
波面収差変化表は、レチクル上のパターンの投影像の形成状態に影響を与える調整パラメータの単位調整量の変化を、投影光学系の視野内(すなわち露光領域内)の複数の計測点それぞれに対応する結像性能、例えば上述したツェルニケ多項式の第1項〜第37項の係数の変動量との関係を示すデータを所定の規則に従って並べたデータ群から成る変化表である。波面収差変化表の要素は、投影光学系と実質的に等価なモデルを用いて、シミュレーションを行い、このシミュレーション結果として取得することができる。調整パラメータは、上述した通り、投影光学系内の5つの可動レンズの6自由度の駆動量、露光用照明光の波長、ウエハ面(すなわちウエハステージWST)のZ、θx、θyの駆動量である。
結像性能感度表は、それぞれ異なる露光条件、すなわち光学条件(露光波長、最大N.A.、使用N.A、照明N.A、照明系開口絞りの開口形状、照明σなど)、評価項目(マスクの種類、線幅、評価量、パターンの情報など)と、これらの光学条件と評価項目との組合せにより定まる複数の露光条件下でそれぞれ求めた、投影光学系の結像性能、例えば諸収差(あるいはその指標値)のツェルニケ多項式の各項、例えば第1項〜第37項の1λ当りの変化量から成る計算表、すなわちツェルニケ感度表を含むデータベースである。ツェルニケ感度表は、Zernike Sensitivityとも呼ばれる。そこで、複数の露光条件下におけるツェルニケ感度表から成るファイルは、「ZSファイル」とも呼ばれている。
図1に戻り、デバイス製造処理装置群900としては、CVD(Chemical Vapor Deposition:化学気相成長法)装置910と、エッチング装置920と、化学的機械的研磨を行いウエハを平坦化する処理を行うCMP(Chemical Mechanical Polishing:化学機械研磨)装置930と、酸化・イオン注入装置940とが設けられている。CVD装置910は、ウエハ上に薄膜を生成する装置であり、エッチング装置920は、現像されたウエハに対しエッチングを行う装置である。また、CMP装置930は、化学機械研磨によってウエハの表面を平坦化する研磨装置である。酸化・イオン注入装置940は、ウエハの表面に酸化膜を形成し、又はウエハ上の所定位置に不純物を注入するための装置である。また、CVD装置910、エッチング装置920、CMP装置930及び酸化・イオン注入装置940も、露光装置100などと同様に複数台設けられており、相互間でウエハを搬送可能とするための搬送経路が設けられている。デバイス製造処理装置群900には、この他にも、プロービング処理、リペア処理、ダイシング処理、パッケージング処理、ボンディング処理などを行う装置も含まれている。
管理コントローラ160は、露光装置100により実施される露光工程を集中的に管理するとともに、トラック200内のC/D110及びウエハ検査器120の管理及びそれらの連携動作の制御を行う。このようなコントローラとしては、例えば、パーソナルコンピュータを採用することができる。管理コントローラ160は、デバイス製造処理システム1000内の通信ネットワークを通じて、処理、動作の進捗状況を示す情報や、処理結果、測定・検査結果を示す情報を各装置から受信し、デバイス製造処理システム1000の製造ライン全体の状況を把握し、露光工程等が適切に行われるように、各装置の管理及び制御を行う。
ホストシステム(以下、「ホスト」と呼ぶ)600は、デバイス製造処理システム1000全体を統括管理し、露光装置100、C/D110、ウエハ検査器120、デバイス製造処理装置群900を統括制御するメインホストコンピュータである。このホスト600についても、例えばパーソナルコンピュータなどを採用することができる。ホスト600と、他の装置との間は、有線又は無線の通信ネットワークを通じて接続されており、相互にデータ通信を行うことができるようになっている。このデータ通信により、ホスト600は、このシステムの統括制御を実現している。
次に、デバイス製造処理システム1000における一連のプロセスの流れについて説明する。図3には、このプロセスのフローチャートが示されている。このデバイス製造処理システム1000の一連のプロセスは、ホスト600及び管理コントローラ160によってスケジューリングされ管理されている。上述したようにウエハはロット単位で処理されるが、実際には、ロット単位で、ウエハ毎に、図3に示される処理が例えばパイプライン的に繰り返されることになる。
次に、デバイス製造処理システム1000における一連の最適化処理について詳細に説明する。図4には、この最適化処理におけるデータ通信の流れを示すデータフローが示されている。図4に示されるように、ステップ201(図3参照)におけるレチクル検査器130のレチクルの事前測定検査結果のデータは、解析装置500からの要求に応じて、又は自動的に、解析装置500に送られる。また、ステップ215(図3参照)におけるウエハ検査器120のウエハの事後測定検査結果のデータも、解析装置500からの要求に応じて、又は自動的に、解析装置500に送られる。解析装置500は、レチクルの事前測定検査結果と、ウエハの事後測定検査結果とを、不図示の記憶装置に格納するとともに、適当なタイミングで、ステップ217に進み、それらの検査結果を用いた解析処理を行う。この解析処理については詳述する。なお、この解析処理では、必要に応じて、露光装置100に対しデータ要求(処理状態のログデータ)を発して、そのログデータを取得し、取得したログデータに基づいて行われる場合もある。
解析装置500において、行われる解析処理(ステップ217)には、以下の2つがある。
(1)レチクル検査器130の検査条件を最適化するための解析処理
(2)露光装置100などの処理条件を最適化するための解析処理
まず、図5に示されるように、ステップ401において、レチクル検査結果をレチクル検査器130から取得する。この場合、レチクル検査結果としては、もし、レチクルの異常が検出されていれば、その異常が発生したレチクル上の位置、異常の種類(異物か欠陥か)、大きさ、数、検出信号などが含まれている。次のステップ403では、そのレチクル検査結果に基づいて、レチクルに異物や欠陥があるか否かを判断する。この判断が否定されればステップ419に進み、肯定されれば、ステップ405に進む。
次に、解析処理その2について説明する。図7には、解析処理その2のフローチャートが示されている。図7に示されるように、ステップ501では、ウエハ検査結果を取得する。この場合、ウエハ検査結果としては、もし、ウエハの異常が検出されていれば、その異常が発生したウエハ上の位置、異常の種類(異物か欠陥か)、大きさ、数、検出信号などが含まれている。次のステップ503では、ウエハ検査結果を参照し、ウエハ上に異物・欠陥が有るか否かを判断する。この判断が否定されればステップ541に進み、肯定されればステップ505に進む。ステップ505では、レチクル検査結果をレチクル検査器130から取得し、次のステップ507では、レチクル検査結果(レチクル異常)と、ウエハ検査結果(ウエハ欠陥)との相関度を算出し、ステップ509では、相関度が閾値以上であるか否かを算出する。ステップ509の判断が肯定されればステップ511に進み、否定されればステップ517に進む。
Claims (33)
- パターンを検査するパターン検査装置と情報処理装置との間を情報伝達可能に接続し、前記パターンが転写された基板を検査する基板検査装置と前記情報処理装置との間を情報伝達可能に接続する接続工程と;
前記情報処理装置を用いて、前記パターン検査装置の検査内容に関する情報と、前記基板検査装置の検査内容に関する情報とを収集する収集工程と;
前記収集された情報を、前記情報処理装置を用いて管理する管理工程と;を含む情報管理方法。 - 前記パターン検査装置の検査内容に関する情報と、前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関を、情報処理装置を用いて判定する検査間相関判定工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の情報管理方法。
- 前記パターン検査装置の検査結果と前記基板検査装置の検査結果とのいずれかで異常が認められた場合、又は、任意のタイミングで、前記検査間相関判定工程を行うことを特徴とする請求項2に記載の情報管理方法。
- 前記検査間相関判定工程において相関が認められ、かつ、前記基板検査装置の検査結果で異常が認められた場合に、前記パターンの状態を改善する改善工程をさらに含むことを特徴とする請求項2又は3に記載の情報管理方法。
- 前記改善工程では、
前記パターンのクリーニング及び前記パターンの交換のいずれかを行うことを特徴とする請求項4に記載の情報管理方法。 - 前記検査間相関判定工程において相関が認められず、かつ、一方の検査装置で異常が認められた場合に、他方の検査装置の検査条件を最適化する最適化工程をさらに含むことを特徴とする請求項2又は3に記載の情報管理方法。
- 前記検査条件は、異常を判別するための閾値であることを特徴とする請求項6に記載の情報管理方法。
- 前記パターン検査装置の検査結果で異常が認められ、かつ、前記基板検査装置の検査結果で異常が認められていなかった場合に、前記パターン検査装置の検査条件を最適化する最適化工程をさらに含むことを特徴とする請求項2又は3に記載の情報管理方法。
- 前記基板を加工する少なくとも1つの加工装置と前記情報処理装置との間を情報伝達可能に接続する接続工程と;
前記加工装置による前記基板の加工内容に関する情報を収集する収集工程と;
前記検査間相関判定工程で相関が認められなかった場合に、前記加工装置の加工内容に関する情報と、前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関を判定する加工検査間相関判定工程と;をさらに含むことを特徴とする請求項2又は3に記載の情報管理方法。 - 前記加工検査間相関判定工程で相関が認められた場合に、その相関が認められた加工装置の加工内容を最適化する最適化工程をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の情報管理方法。
- 前記検査間相関判定工程で相関が認められず、かつ、前記加工検査間相関判定工程で相関が認められなかった場合に、前記パターンを変更する変更工程をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の情報管理方法。
- 前記変更工程では、
複数の異なるパターンの中から、1つのパターンを選択することを特徴とする請求項11に記載の情報管理方法。 - 前記変更工程では、
前記パターンの形状及び光学特性の少なくとも一方を変更することを特徴とする請求項11に記載の情報管理方法。 - 前記収集された情報に基づいて、前記情報処理装置を用いて、一方の検査装置の検査内容に関する情報に基づいて、他方の検査装置の検査内容の検査条件を最適化する最適化工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の情報管理方法。
- 前記パターン検査装置の検査結果と前記基板検査装置の検査結果とのいずれかで異常が認められた場合、又は、任意のタイミングで、前記最適化工程を行うことを特徴とする請求項14に記載の情報管理方法。
- 前記最適化工程では、
一方の検査装置の検査結果で異常が認められた場合に、その異常に対応する部分に対して検査が重点的に行われるように、他方の検査装置の検査条件を最適化することを特徴とする請求項14又は15に記載の情報管理方法。 - 前記収集工程では、
前記パターン検査装置及び前記基板検査装置との少なくとも一方で異常が検出された場合には、その異常に関する情報のみを収集することを特徴とする請求項1〜16のいずれか一項に記載の情報管理方法。 - 前記基板に前記パターンを転写する転写装置を含む少なくとも1つの加工装置と、前記情報処理装置との間を情報伝達可能に接続する接続工程と;
前記加工装置の処理内容に関する情報を収集する収集工程と;
前記パターン検査装置の検査内容に関する情報と、前記加工装置の処理内容に関する情報と、前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関関係を考慮して、パターンの設計情報を作成する設計工程と;をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の情報管理方法。 - 前記パターン検査装置の検査内容に関する情報と前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関関係に基づいて、前記パターンの状態を改善し、
前記加工装置の処理内容に関する情報と、前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関関係に基づいて、前記加工装置の処理条件を最適化した状態で、
前記基板検査装置の検査内容に関する情報に基づいて、前記パターンの設計情報を作成することを特徴とする請求項18に記載の情報管理方法。 - 前記パターンの設計情報は、前記パターンの形状及び光学特性の少なくとも一方に関する情報を含むことを特徴とする請求項18又は19に記載の情報管理方法。
- 基板上に転写されるパターンを検査するパターン検査装置と;
前記パターンが転写された基板を検査する基板検査装置と;
前記パターン検査装置及び前記基板検査装置と情報伝達可能に接続され、前記パターン検査装置の検査内容に関する情報と、前記基板検査装置の検査内容に関する情報とを収集し、前記収集された情報を管理する前記情報処理装置とを備える情報管理システム。 - 前記情報処理装置は、
さらに、前記パターン検査装置の検査内容に関する情報と、前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関を判定することを特徴とする請求項21に記載の情報管理システム。 - 前記情報処理装置と情報伝達可能に接続され、前記基板を加工する少なくとも1つの加工装置をさらに備え、
前記情報処理装置は、前記加工装置による前記基板の加工内容に関する情報を収集し、
さらに、前記検査間相関判定工程で相関が認められなかった場合に、前記加工装置の加工内容に関する情報と前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関を判定することを特徴とする請求項22に記載の情報管理システム。 - 前記情報処理装置は、一方の検査装置の検査内容に関する情報とに基づいて、他方の検査装置の検査内容に検査条件を最適化することを特徴とする請求項21に記載の情報管理システム。
- 前記情報処理装置と情報伝達可能に接続され、前記基板に前記パターンを転写する転写装置を含む少なくとも1つの加工装置をさらに備え、
前記情報処理装置は、前記加工装置の処理内容に関する情報を収集し、前記パターン検査装置の検査内容に関する情報と、前記加工装置の処理内容に関する情報と、前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関関係を考慮して、パターンの設計情報を作成することを特徴とする請求項21に記載の情報管理システム。 - パターンを検査するパターン検査装置から検査内容に関する情報を収集する手順と、
前記パターンが転写された基板を検査する基板検査装置から検査内容に関する情報を収集する手順と、
前記パターン検査装置から収集された情報と前記基板検査装置から収集された情報とを管理する手順とを、コンピュータに実行させるプログラム。 - 前記パターン検査装置から収集された情報と、前記基板検査装置から収集された情報との相関を判定する手順を、さらにコンピュータに実行させることを特徴とする請求項26に記載のプログラム。
- 前記基板を加工する少なくとも1つの加工装置から加工内容に関する情報を収集する手順と、
前記パターン検査装置から収集された情報と前記基板検査装置から収集された情報との相関が認められなかった場合に、前記加工装置の加工内容に関する情報と前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関を判定する手順をさらにコンピュータに実行させることを特徴とする請求項27に記載のプログラム。 - 収集された一方の検査装置の検査内容に関する情報に基づいて、他方の検査装置の検査内容の検査条件を最適化する手順をさらにコンピュータに実行させることを特徴とする請求項26に記載のプログラム。
- 前記基板に前記パターンを転写する転写装置を含む少なくとも1つの加工装置から当該加工装置の加工内容に関する情報を収集する手順と;
前記パターン検査装置の検査内容に関する情報と、前記加工装置の加工内容に関する情報と、前記基板検査装置の検査内容に関する情報との相関を求める手順と;
求められた前記相関に基づいて、パターンの設計情報を作成する手順と;をさらにコンピュータに実行させることを特徴とする請求項26に記載のプログラム。 - 請求項26〜30のいずれか一項に記載のプログラムをコンピュータシステムで読み取り可能に記録する記録媒体。
- 基板上に転写されるパターンを検査するパターン検査装置であって、
前記パターンが転写された基板を検査する基板検査装置での検査内容に関する情報を受信する受信装置を備え、
前記パターンの検査に関する情報と前記基板検査装置での検査内容に関する情報との相関に基づいて、前記基板の検査方法を最適化するパターン検査装置。 - パターンが転写された基板を検査する基板検査装置であって、
前記パターンを検査するパターン検査装置での検査内容に関する情報を受信する受信装置を備え、
前記基板の検査に関する情報と前記パターン検査装置での検査内容に関する情報との相関に基づいて、前記基板の検査方法を最適化する基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006046575A JP5152612B2 (ja) | 2006-02-23 | 2006-02-23 | 情報管理方法、情報管理システム、プログラム、記録媒体、パターン検査装置及び基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007227614A true JP2007227614A (ja) | 2007-09-06 |
JP5152612B2 JP5152612B2 (ja) | 2013-02-27 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5152612B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011176119A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Canon Inc | 露光条件及びマスクパターンのうち少なくとも一方を決定する決定方法及びプログラム |
JP2012093235A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム |
JP2015026671A (ja) * | 2013-07-25 | 2015-02-05 | 大日本印刷株式会社 | 欠陥解析方法、凹凸パターン構造体の製造方法及びインプリントシステム |
JP2017167310A (ja) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 株式会社ニコン | 評価装置及び評価方法、表示装置及び表示方法、露光装置及び露光方法、露光システム、デバイス製造装置、並びに、コンピュータプログラム |
CN109148330A (zh) * | 2017-06-28 | 2019-01-04 | 东京毅力科创株式会社 | 热处理装置、热处理装置的管理方法以及存储介质 |
US10276459B2 (en) | 2017-03-16 | 2019-04-30 | Toshiba Memory Corporation | Measurement method, measurement program, and measurement system |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01239922A (ja) * | 1988-03-22 | 1989-09-25 | Seiko Epson Corp | パターン欠陥検査装置 |
WO1997035337A1 (en) * | 1996-03-19 | 1997-09-25 | Hitachi, Ltd. | Process control system |
JPH11102856A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法およびフォトマスクの製造方法 |
JP2003315284A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Mitsubishi Electric Corp | パターン検査装置の感度調整方法 |
WO2005008747A2 (en) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Kla-Tencor Technologies | Methods and systems for inspection of wafers and reticles using designer intent data |
JP2005285898A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toppan Printing Co Ltd | パターン画像判定方法及びその方法を用いたパターン画像判定装置 |
JP2006330270A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Toshiba Corp | マスクデータ作成方法、マスク製造方法および半導体装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-02-23 JP JP2006046575A patent/JP5152612B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01239922A (ja) * | 1988-03-22 | 1989-09-25 | Seiko Epson Corp | パターン欠陥検査装置 |
WO1997035337A1 (en) * | 1996-03-19 | 1997-09-25 | Hitachi, Ltd. | Process control system |
JPH11102856A (ja) * | 1997-09-29 | 1999-04-13 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法およびフォトマスクの製造方法 |
JP2003315284A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Mitsubishi Electric Corp | パターン検査装置の感度調整方法 |
WO2005008747A2 (en) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Kla-Tencor Technologies | Methods and systems for inspection of wafers and reticles using designer intent data |
JP2007536560A (ja) * | 2003-07-03 | 2007-12-13 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | デザイナ・インテント・データを使用するウェハとレチクルの検査の方法およびシステム |
JP2005285898A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Toppan Printing Co Ltd | パターン画像判定方法及びその方法を用いたパターン画像判定装置 |
JP2006330270A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Toshiba Corp | マスクデータ作成方法、マスク製造方法および半導体装置の製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011176119A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-09-08 | Canon Inc | 露光条件及びマスクパターンのうち少なくとも一方を決定する決定方法及びプログラム |
JP2012093235A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム |
JP2015026671A (ja) * | 2013-07-25 | 2015-02-05 | 大日本印刷株式会社 | 欠陥解析方法、凹凸パターン構造体の製造方法及びインプリントシステム |
JP2017167310A (ja) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 株式会社ニコン | 評価装置及び評価方法、表示装置及び表示方法、露光装置及び露光方法、露光システム、デバイス製造装置、並びに、コンピュータプログラム |
US10276459B2 (en) | 2017-03-16 | 2019-04-30 | Toshiba Memory Corporation | Measurement method, measurement program, and measurement system |
CN109148330A (zh) * | 2017-06-28 | 2019-01-04 | 东京毅力科创株式会社 | 热处理装置、热处理装置的管理方法以及存储介质 |
CN109148330B (zh) * | 2017-06-28 | 2024-05-03 | 东京毅力科创株式会社 | 热处理装置、热处理装置的管理方法以及存储介质 |
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