JP2012058050A - 試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに電源電力を供給する電源部と、被試験デバイスの状態を示す特性値を検出し、特性値を予め定められた閾値と比較する比較部と、比較部における比較結果に基づいて、電源部から被試験デバイスに供給される電源電力を遮断する遮断部と、比較部における閾値、または、特性値を検出する検出タイミングの少なくとも一方を変更する制御部とを備える試験装置を提供する。
【選択図】図1
Description
特許文献1 特開2000−58820号公報
Claims (6)
- 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに電源電力を供給する電源部と、
前記被試験デバイスの状態を示す特性値を検出し、前記特性値を予め定められた閾値と比較する比較部と、
前記比較部における比較結果に基づいて、前記電源部から前記被試験デバイスに供給される前記電源電力を遮断する遮断部と、
前記比較部における閾値、または、前記特性値を検出する検出タイミングの少なくとも一方を変更する制御部と
を備える試験装置。 - 前記制御部は、前記電源部から前記被試験デバイスに電源電力を供給している状態で、前記閾値または前記検出タイミングの少なくとも一方を変更する
請求項1に記載の試験装置。 - 前記比較部は、複数種類の前記特性値を検出し、前記特性値の種類毎に予め定められた前記閾値と比較し、
前記制御部は、いずれの種類の前記特性値の比較結果を用いて、前記遮断部に前記電源電力を遮断させるかについての設定を更に変更する
請求項2に記載の試験装置。 - 前記制御部は、前記特性値の種類毎に設けられ、対応する前記閾値を書き換え可能に格納する閾値格納部を有する
請求項3に記載の試験装置。 - 前記電源部は、前記被試験デバイス内に設けられる複数の被試験素子に対して並列に前記電源電力を供給し、
前記比較部は、前記複数の被試験素子に印加される電圧または電流を、前記閾値と比較し、
前記遮断部は、前記複数の被試験素子の全てに対する前記電源電力の供給を停止する
請求項4に記載の試験装置。 - 前記遮断部は、前記比較部において検出した特性値が範囲外と判定されたときの前記閾値に応じて、前記電源電力を遮断する速度を変化させる
請求項1から5のいずれか一項に記載の試験装置。
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