JP3762415B2 - バーンイン装置の状態診断方法 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の実施の形態にかかるバーンイン装置の全体概要構成を示すブロック図である。DA変換器の構成を示すブロック図である。図1において、このバーンイン装置1は、大きくは、バーンイン試験の全体を制御する試験制御部10、この試験制御部10に接続されDUT32に対して電源電圧の出力および測定などを行うデバイス電源ユニット20、試験制御部10に接続されバーンイン試験時の温度調整を行う温度調整ユニット40、デバイス電源ユニット20に接続されDUT32が配置される測定部30、温度調整ユニット40に接続される電源50、および温度調整ユニット40の制御のもとに温度制御を行う温度制御部60を有する。
(フォース電圧−センス電圧)/電流値>所定の抵抗値
を満足する場合には、コネクタ33が接触不良であると検出する。また、電流が流れているのに、フォース電圧とセンス電圧とに差がない場合には、DUT32とデバイス電源21との間のセンス線が未接続状態であることを検出する。これらの異常を検出した場合、試験制御部10は、デバイス電源21をオフする制御を行う。これによって、DUTに大電流を流すバーンイン試験時にコネクタなどの接触不良による発熱や焼損を防止することができる。
10 試験制御部
20 デバイス電源ユニット
21 デバイス電源
22 オン/オフ制御部
23 電流測定部
24 電圧設定部
25 電圧測定部
26 過電圧/過電流検出値設定部
30 測定部
31 測定ボード
32 DUT
33 コネクタ
40 温度調整ユニット
41 温度測定部
42 ヒータ回路
43 ヒータ制御回路
43a テーブル
44 ヒータ電力制限部
50 電源
60 温度制御部
61 温度制御ブロック
62 ヒータ
63 PTセンサ
64 冷却部
71 トランジスタ
72 FET
73 電圧平滑回路
74 コンパレータ
75 DAコンバータ
D1 ツェナーダイオード
D2 ダイオード
R1,R2 抵抗
L インダクタ
C コンデンサ
Claims (5)
- バーンイン試験時に、該バーンイン試験を行う各種の被測定デバイスに対してそれぞれヒータおよび温度センサを接触させ、該ヒータの消費電力を制御して前記被測定デバイスの温度調整を行いつつ前記バーンイン試験を行うバーンイン装置の状態診断を該バーンイン装置の稼働状態中に行うバーンイン装置の状態診断方法において、
前記各種の被測定デバイスに接触する各ヒータおよび温度センサを有した温度制御ブロックにおける前記温度センサの検出結果と前記ヒータの消費電力と前記各種の被測定デバイスへの印加電圧とをもとに、当該バーンイン装置の状態診断を行うことを特徴とするバーンイン装置の状態診断方法。 - 前記温度制御ブロックが前記各種の被測定デバイスに接触しない状態での前記温度センサの検出結果をもとに前記温度センサの精度を診断することを特徴とする請求項1に記載のバーンイン装置の状態診断方法。
- 前記温度制御ブロックが前記各種の被測定デバイスに接触しない状態のときに、前記ヒータへの通電オフ時の温度と前記ヒータに所定電力を与えた時の温度との温度差をもとに、前記ヒータの電源から前記ヒータまでの配線あるいは回路の障害の有無を診断することを特徴とする請求項1に記載のバーンイン装置の状態診断方法。
- 前記温度制御ブロックが前記各種の被測定デバイスに接触した状態のときに、前記被測定デバイスに印加されているフォース電圧とセンス電圧との電圧差を検出するとともに電圧が印加されるデバイス部分の電流値を検出し、前記電圧差を前記電流値で除算した値が所定の抵抗値を超えているか否かを判断し、超えている場合に、前記電圧源と前記被測定デバイスとの間の配線あるいは回路に障害が発生していると診断することを特徴とする請求項1に記載のバーンイン装置の状態診断方法。
- 前記温度制御ブロックが前記各種の被測定デバイスに接触した状態のときに、前記被測定デバイスに印加されているフォース電圧とセンス電圧との電圧差を検出するとともに電圧が印加されるデバイス部分の電流値を検出し、前記電流値を参照して前記デバイス部分に電流が流れている場合であって、前記フォース電圧と前記センス電圧との電圧差がない場合、前記電圧源と前記被測定デバイスとの間に設けられてセンス電圧を流すセンス線が未接続状態であると診断することを特徴とする請求項1に記載のバーンイン装置の状態診断方法。
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