JP2012030333A - ホルダ部とデバイス部を有する構造体及びその固定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】構造体はホルダ部1とデバイス部2と、を有する。デバイス部2は、一体的に形成された接着部3と弾性部4と支持部5とを備え、支持部5は弾性部4で接着部3に対して弾性支持される。ホルダ部1は、周辺部より高い段差部6を有する。接着部3は、ホルダ部1の周辺部に固定され、支持部5は、弾性変形した弾性部4の復元力により段差部6に当接させられている。
【選択図】図1
Description
(実施形態1)
図1(a)、(b)、(c)を用いて、本発明の実施形態1を説明する。図1(a)はマイクロ構造体の上面図、(b)、(c)は、図1(a)のA−A’線、B−B’線それぞれでの断面図である。図1(a)に示すように、本実施形態のマイクロ構造体は、ホルダ部1と、破線で囲んだデバイス部2で構成される。デバイス部2は、接着部3、弾性部であるバネ部4、支持部5を有しており、図示の通り、長方形状の支持部5とこれを三方においてコの字状に取り囲む接着部3とは、バネ部4で連結されている。ここで、バネ部4は、図1(a)紙面法線方向にコンプライアンスを有する弾性変形可能な多重に折れ曲がった構造等を有するバネであり、接着部3と支持部5をこの方向(厚み方向)に変位可能に相互に弾性支持している。図示例では、支持部5の左右に、それぞれ一対のバネ部4が設けられている。デバイス部2は、同一の部材から一体的に形成されている。
図2(a)、(b)、(c)を用いて本発明の実施形態2を説明する。図2(a)は、本実施形態のマイクロ構造体の上面図、(b)、(c)は(a)のE−E’線、F−F’線でのそれぞれの断面図を示している。以下、前述の実施形態1と同じ機能を有する個所には、同じ記号を付す。
図3(a)、(b)を用いて、本発明の実施形態3を説明する。図3(a)は本実施形態のマイクロ構造体の上面図、図3(b)は(a)のC−C’線での断面図である。ここでも、前述の実施形態と同じ機能を有する個所には、同じ記号を付す。本実施形態は、実施形態1のマイクロ構造体に、支持部で可動に支持された可動部とこれを駆動するアクチュエータ部を設けたマイクロアクチュエータである。図3(a)に示すように、可動部9は、ねじりバネ8によって支持部5に対して揺動可能に弾性支持されている。そして、図3(b)に示す通り、可動部9は永久磁石10を有している。一方、永久磁石10と離間して、コイル11が図示の通り設置されている。永久磁石10とコイル11は可動部9を駆動するためのアクチュエータ部である。コイル11に電流を通電して発生する磁場により、永久磁石10にトルクが発生し、可動部9を駆動することができる。
図5(a)、(b)を用いて、本発明の実施形態4を説明する。図5(a)は本実施形態のマイクロ構造体の上面図、図5(b)は(a)のD−D’線での断面図である。ここでも、前述の実施形態と同じ機能を有する個所には、同じ記号を付す。本実施形態では、実施形態2のマイクロ構造体のように段差部6が2つの高さ水準を有している。そして、固定櫛歯13、可動櫛歯14が、図5(a)に示すように、離隔して噛み合うように対向して形成されている。ここで、固定櫛歯13と可動櫛歯14が連結されている支持部5はそれぞれ異なる高さ水準で支持されており、図5(b)に示すように、固定櫛歯13より可動櫛歯14が低く固定されている。このように、固定櫛歯13と可動櫛歯14には図5(a)の紙面法線方向に段差が形成されている。そして、それぞれの支持部5は、接着部3に設けられた絶縁部12によって電気的に絶縁されている。また、図5(a)に示すように、電極パッド17A、17Bが接着部3に形成されている。電極パッド17A、17Bを電源に接続することにより、それぞれ固定櫛歯13、可動櫛歯14に電圧を印加できる。
Claims (6)
- ホルダ部とデバイス部と、を有する構造体であって
前記デバイス部は、一体的に形成された接着部と弾性部と支持部と、を備え、前記支持部は前記弾性部で前記接着部に対して弾性支持され、
前記ホルダ部は、当該ホルダ部の周辺部より高い段差部を有し、
前記接着部は、前記ホルダ部の前記周辺部に固定され、
前記支持部は、弾性変形した前記弾性部の復元力により前記段差部に当接させられていることを特徴とする構造体 - 前記接着部と弾性部と支持部と、は、一体的に平板状の同一部材から形成されていることを特徴とする請求項1に記載の構造体
- 前記ホルダ部は複数の前記段差部を有し、前記デバイス部は複数の前記支持部を有し、
前記複数の段差部は、前記周辺部に対して異なる高さ水準を有し、
前記複数の支持部は、前記異なる高さ水準の段差部に当接させられていることを特徴とする請求項1または2に記載の構造体。 - 前記デバイス部は、前記支持部で可動に支持された可動部と前記可動部を駆動するためのアクチュエータ部を有することを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の構造体。
- 前記デバイス部は、前記支持部で可動に支持されたセンサ部を有することを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の構造体。
- 基板から、接着部と支持部と弾性部と、を有するデバイス部を作成する工程と、
当該ホルダ部の周辺部より高い段差部を有するホルダ部を作成する工程と、
前記段差部と前記支持部とが接触可能になるように、前記デバイス部と前記ホルダ部とを位置調整する工程と、
前記接着部を前記ホルダの前記周辺部に固定し、弾性変形した前記弾性部の復元力により前記段差部に前記支持部を当接させる工程と、
を含むことを特徴とする構造体の固定方法
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