JP2012030333A5 - - Google Patents
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- ホルダ部とデバイス部と、を有する構造体であって
前記デバイス部は、一体的に形成された接着部と弾性部と支持部と、を備え、前記支持部は前記弾性部で前記接着部に対して弾性支持され、
前記ホルダ部は、当該ホルダ部の周辺部より高い段差部を有し、
前記接着部は、前記ホルダ部の前記周辺部に固定され、
前記支持部は、弾性変形した前記弾性部の復元力により前記段差部に当接させられていることを特徴とする構造体。 - 前記接着部と弾性部と支持部と、は、一体的に平板状の同一部材から形成されていることを特徴とする請求項1に記載の構造体。
- 前記ホルダ部は複数の前記段差部を有し、前記デバイス部は複数の前記支持部を有し、
前記複数の段差部は、前記周辺部に対して異なる高さ水準を有し、
前記複数の支持部は、前記異なる高さ水準の段差部に当接させられていることを特徴とする請求項1または2に記載の構造体。 - 前記デバイス部は、前記支持部で可動に支持された可動部と前記可動部を駆動するためのアクチュエータ部を有することを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の構造体。
- 前記デバイス部は、前記支持部で可動に支持されたセンサ部を有することを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の構造体。
- 基板から、接着部と支持部と弾性部と、を有するデバイス部を作成する工程と、
当該ホルダ部の周辺部より高い段差部を有するホルダ部を作成する工程と、
前記段差部と前記支持部とが接触可能になるように、前記デバイス部と前記ホルダ部とを位置調整する工程と、
前記接着部を前記ホルダの前記周辺部に固定し、弾性変形した前記弾性部の復元力により前記段差部に前記支持部を当接させる工程と、
を含むことを特徴とする構造体の固定方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010173491A JP5618681B2 (ja) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | ホルダ部とデバイス部を有する構造体及びその固定方法 |
US13/193,395 US20120024453A1 (en) | 2010-08-02 | 2011-07-28 | Structure including holder unit and device unit and fixing method for the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010173491A JP5618681B2 (ja) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | ホルダ部とデバイス部を有する構造体及びその固定方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012030333A JP2012030333A (ja) | 2012-02-16 |
JP2012030333A5 true JP2012030333A5 (ja) | 2013-09-12 |
JP5618681B2 JP5618681B2 (ja) | 2014-11-05 |
Family
ID=45525503
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010173491A Expired - Fee Related JP5618681B2 (ja) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | ホルダ部とデバイス部を有する構造体及びその固定方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120024453A1 (ja) |
JP (1) | JP5618681B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6945838B2 (ja) * | 2016-10-27 | 2021-10-06 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 中空構造体の製造方法 |
KR102088261B1 (ko) * | 2019-12-20 | 2020-03-12 | 고려오트론(주) | 수직 쉬프트 방식의 정전 구동기 및 그를 갖는 광 스캐너 |
US20210144483A1 (en) * | 2019-11-07 | 2021-05-13 | Innovative Interface Laboratory Corp. | Single-axis actuator, acoustic wave generator and its array |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6487907B1 (en) * | 1999-07-08 | 2002-12-03 | California Institute Of Technology | Microgyroscope with integrated vibratory element |
US6809529B2 (en) * | 2001-08-10 | 2004-10-26 | Wacoh Corporation | Force detector |
JP2003315698A (ja) * | 2002-04-23 | 2003-11-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 光スイッチ |
JP2005004077A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Ricoh Co Ltd | 光変調装置およびその駆動方法 |
FR2864526B1 (fr) * | 2003-12-26 | 2006-10-13 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'actionnement electrostatique |
US7372348B2 (en) * | 2004-08-20 | 2008-05-13 | Palo Alto Research Center Incorporated | Stressed material and shape memory material MEMS devices and methods for manufacturing |
DE102006040343A1 (de) * | 2006-08-29 | 2008-03-06 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Bauteilen zur Steuerung eines Fluidflusses sowie Bauteile, hergestellt nach diesem Verfahren |
US7851876B2 (en) * | 2006-10-20 | 2010-12-14 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Micro electro mechanical system |
JP2010067587A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-03-25 | Murata Mfg Co Ltd | Memsスイッチ素子およびその製造方法 |
JP2010156574A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Yamaha Corp | Memsおよびmemsの製造方法 |
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2010
- 2010-08-02 JP JP2010173491A patent/JP5618681B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-07-28 US US13/193,395 patent/US20120024453A1/en not_active Abandoned
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