JP2012019188A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置100は、セルエリア105を取囲む終端エリア107を備えている。セルエリア105には、メイントレンチ113が形成されている。終端エリア107には、セルエリア105を取囲む終端トレンチ161〜163が形成されている。終端トレンチ161は、終端トレンチの最内周側に位置している。ドリフト領域112の表面には、ボディ領域141が積層されている。メイントレンチ113はドリフト領域112に達すると共に、その内部にゲート電極122が形成されている。終端トレンチ161は、ドリフト領域112に達している。終端トレンチ161の側壁および底面は酸化膜171で被覆されている。終端トレンチ161の底面を被覆する酸化膜171の表面は、埋め込み電極124で被覆されている。ゲート電圧が埋め込み電極124に印加されている。
【選択図】 図2
Description
第1の終端トレンチの外周側の側壁に被覆されている第1の絶縁層の表面と、導電層の第1の端部との間には、導電層が被覆されていないことで、トレンチ形状の領域が形成されている場合がある。そして、本願に開示される半導体装置では、当該トレンチ形状の領域が、上層絶縁層によって埋められる際に、ボイドが存在しない状態で埋められる。よって、電界強度を緩和する効果をより高めることができる。
(特徴1)セルエリアに形成されている半導体構造はMOSFET構造である。
(特徴2)セルエリアに形成されている半導体構造はIGBT構造である。
(特徴3)第1導電型のボディ層はエピタキシャル成長により形成される。SiCは、Siに比して不純物の拡散係数が小さいため、不純物拡散によりボディ層を形成することは困難である。よって、エピタキシャル成長によりボディ層を形成することが好ましい。これにより、半導体基板の全面にボディ領域が形成されるため、終端エリアにおいて、ドリフト領域の表面にボディ領域が積層されている構造となる。
(特徴4)導電層は、ポリシリコンまたはアルミニウムである。ポリシリコンやアルミニウムは、ゲート電極を形成する一般的な材料である。よって、ゲート電極の形成工程と、導電層の形成工程とを共通の工程で同時に行うことが可能となる。よって、半導体装置の製造工程を簡略化することができる。
(特徴5)第2の拡散層は、ドリフト領域の表面に積層されているボディ領域と分離している。これにより、第2の拡散層がボディ領域と接している場合に比して、第2の拡散層をドリフト領域内のより深い位置に形成することができる。すると、第2の拡散層とドリフト領域とのPN接合部での空乏層を、ドリフト領域側により伸ばすことができる。よって、セルエリアの周辺部から延伸する空乏層をFLRの外側に広げる効果を、さらに高めることができる。
(特徴6)第1の終端トレンチと第1の終端トレンチに隣接する終端トレンチとの間の第1のトレンチ間距離が、
互いに隣接するメイントレンチ間の第3のトレンチ間距離よりも狭くされている。第1の終端トレンチとそれと隣接する終端トレンチとの間の領域は、互いに隣接するメイントレンチ間の領域に比して、半導体中に形成される空乏層が拡がりにくい。よって、第1のトレンチ間距離を第3のトレンチ間距離よりも狭くすることにより、より空乏層が拡がりやすくすることができ、FLRの作用をより有効に発揮させることが可能となる。
(特徴7)第1の終端トレンチと、第1の終端トレンチに隣接する第2の終端トレンチとの間に存在するドリフト領域の少なくとも一部に、第1導電型の第3の拡散層が形成されており、第3の拡散層は第1の拡散層と分離している。第3の拡散層が形成されていることで、第3の拡散層とドリフト領域とのPN接合部での空乏層が、ドリフト領域側に伸びている。これにより、セルエリアの周辺部から延伸する空乏層をFLRの外側に広げる効果を、より高めることができる。よって、終端部の耐圧をより確実に確保することが可能となる。
図12に示すように、半導体装置100bでは、終端トレンチ161の側壁および底面は、酸化膜171で被覆されている。また、終端トレンチ161の側壁および底面を被覆している酸化膜171の表面には、埋め込み電極124cが形成されている。埋め込み電極124cの材料は、ポリシリコンである。また埋め込み電極124cは、ゲート配線Gに接続されている。
半導体装置100bをオフしたときに、ゲート電極122に印加される電位と同電位の電位が埋め込み電極124cに印加されると、終端トレンチ161のチップ外側方向の側壁を被覆している絶縁層に電界が集中する。
しかし、本願の半導体装置100bでは、層間絶縁層172が被覆されている分だけ、終端トレンチ161のチップ外側方向の側壁部分の絶縁層の厚さが厚くされている。すなわち、終端トレンチ161のチップ外側方向の側壁部分の絶縁層(酸化膜171および層間絶縁層172)の厚さT22が、厚さT1および厚さT11よりも厚くされている。これにより、終端トレンチ161のチップ外側方向の側壁を被覆している絶縁層への電界強度を緩和することができる。よって、終端エリア107の耐圧を向上させることが可能となる。
101: 表面
102: 半導体基板
104: 外周
105: セルエリア
107: 終端エリア
111: ドレイン領域
112: ドリフト領域
113: メイントレンチ
122: ゲート電極
124:埋め込み電極
133: ソース電極
141: ボディ領域
161〜163 終端トレンチ
171 酸化膜
D : ドレイン配線
S : ソース配線
G : ゲート配線
Claims (20)
- セルエリアと、そのセルエリアを取囲んでいる終端エリアを有するSiCの半導体基板を備えており、
セルエリアには、複数のメイントレンチが形成されており、
終端エリアには、セルエリアを取囲んでいる1又は複数の終端トレンチが形成されており、
1又は複数の終端トレンチは、その最内周側に第1の終端トレンチを有しており、
第1の終端トレンチより内周側の領域の半導体基板では、第2導電型のドリフト領域の表面に第1導電型のボディ領域が積層されており、
メイントレンチは、半導体基板の表面からボディ領域を貫通してドリフト領域に達すると共に、その内部にゲート電極が形成されており、
第1の終端トレンチは、半導体基板の表面からボディ領域を貫通してドリフト領域に達しており、
第1の終端トレンチの側壁および底面は第1の絶縁層で被覆されており、
第1の絶縁層のうち少なくとも第1の終端トレンチの底面を被覆する部分の表面の少なくとも一部が導電層で被覆されており、
少なくともゲート電極にオン電位が印加されていない期間において、ゲート電極またはソース電極に印加される電位と同電位の電位が導電層に印加されている
ことを特徴とする半導体装置。 - 終端エリアには、セルエリアを取囲んでいる複数の終端トレンチが形成されており、
その複数の終端トレンチは、最内周側に配置される第1の終端トレンチと、その第1の終端トレンチの外周側に配置される1又は複数の第2の終端トレンチを有しており、
第1の終端トレンチの外周側の領域の半導体基板でも、第2導電型のドリフト領域の表面に第1導電型のボディ領域が積層されており、
第2の終端トレンチは、第1の終端トレンチの外周を取り囲んでおり、第1の終端トレンチよりも狭い幅を有し、ボディ領域の表面からボディ領域を貫通してドリフト領域に達しており、その内部が絶縁体で充填されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - メイントレンチの底面を被覆している第2の絶縁層をさらに備え、
第1の絶縁層の底面を被覆する部分の厚さは、第2の絶縁層の厚さよりも薄くされていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。 - 半導体基板の表面に臨む範囲に形成されており、メイントレンチに隣接すると共に、ボディ領域によってドリフト領域から分離されている第2導電型の半導体領域と、
ボディ領域の表面に形成されているとともに、前記半導体領域に導通しているコンタクト領域とをさらに備え、
第1の終端トレンチによって取り囲まれた領域の外側にはコンタクト領域が形成されていないことを特徴とする請求項1ないし3の何れか1項に記載の半導体装置。 - 第1の終端トレンチと第2の終端トレンチの深さは同一とされていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 第1の終端トレンチと第1の終端トレンチに隣接する終端トレンチとの間の第1のトレンチ間距離は、
第1の終端トレンチと第1の終端トレンチに隣接するメイントレンチとの間の第2のトレンチ間距離よりも狭くされていることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 - 第3の絶縁層によってメイントレンチの上部が塞がれており、
導電層はアルミニウムを含んでおり、
導電層は、第1の終端トレンチの底面および側壁を被覆している第1の絶縁層の表面と、第1の終端トレンチより内周側の領域のボディ領域の表面と、メイントレンチを塞いでいる第3の絶縁層の表面とを、連続して被覆しており、
導電層には、ソース電極に印加される電位と同電位の電位が印加されていることを特徴とする請求項1ないし6の何れか1項に記載の半導体装置。 - 第1の終端トレンチの外周側の側壁を被覆している第1の絶縁層の厚さは、第1の終端トレンチの内周側の側壁および底面を被覆している第1の絶縁層の厚さよりも厚くされていることを特徴とする請求項1ないし7の何れか1項に記載の半導体装置。
- 第1の絶縁層は、下層絶縁層および上層絶縁層を備えており、
第1の終端トレンチの側壁および底面は下層絶縁層で被覆されており、
導電層には、第1の端部が形成されており、
導電層は第1の端部よりも内周側の領域に形成されており、
第1の端部の位置は、前記半導体装置を垂直上方から観測したときに、第1の終端トレンチの外周側の側壁に被覆されている第1の絶縁層の表面の位置よりも内周側に位置しており、
第1の終端トレンチの側壁を被覆している下層絶縁層の表面と、下層絶縁層の表面を被覆している導電層の表面および側壁と、導電層の第1の端部よりも外周側の領域において第1の終端トレンチの底面を被覆している下層絶縁層の表面と、が上層絶縁層で被覆されていることを特徴とする請求項1ないし8の何れか1項に記載の半導体装置。 - 第1の終端トレンチの外周側の側壁に被覆されている下層絶縁層の表面から導電層の第1の端部までの距離は、第1の終端トレンチの外周側の側壁に被覆されている下層絶縁層の表面から導電層の第1の端部までの領域が、導電層を被覆している上層絶縁層によって、ボイドが存在しない状態で埋められる距離であることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。
- 第1の終端トレンチの外周側の側壁に被覆されている下層絶縁層の表面から導電層の第1の端部までの距離は、導電層を被覆している上層絶縁層の厚さの2倍であることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
- 第3の絶縁層によってメイントレンチの上部が塞がれており、
導電層はアルミニウムを含んでおり、
導電層には、第1の端部が形成されており、
導電層は第1の端部よりも内周側の領域に形成されており、
第1の端部の位置は、前記半導体装置を垂直上方から観測したときに、第1の終端トレンチの外周側の側壁に被覆されている第1の絶縁層の表面の位置よりも内周側に位置しており、
導電層は、第1の終端トレンチの底面および側壁を被覆している第1の絶縁層の表面と、第1の終端トレンチより内周側の領域のボディ領域の表面と、メイントレンチを塞いでいる第3の絶縁層の表面とを、連続して被覆しており、
導電層には、ソース電極に印加される電位と同電位の電位が印加されており、
第1の終端トレンチの側壁を被覆している第1の絶縁層の表面と、第1の絶縁層の表面を被覆している導電層の表面および側壁と、導電層の第1の端部よりも外周側の領域において第1の終端トレンチの底面を被覆している第1の絶縁層の表面と、が第4の絶縁層で被覆されていることを特徴とする請求項1ないし8の何れか1項に記載の半導体装置。 - 第1の終端トレンチの外周側の側壁に被覆されている第1の絶縁層の表面から導電層の第1の端部までの距離は、第1の終端トレンチの外周側の側壁に被覆されている第1の絶縁層の表面から導電層の第1の端部までの領域が、導電層を被覆している第4の絶縁層によって、ボイドが存在しない状態で埋められる距離であることを特徴とする請求項12に記載の半導体装置。
- 第1の終端トレンチの開口部周辺における半導体基板の表面には、導電層の第2の端部が形成されており、
第1の終端トレンチの外周側に存在する導電層の第2の端部の位置は、前記半導体装置を垂直上方から観測したときに、第1の終端トレンチの外周側の側壁の位置よりも内周側に位置していることを特徴とする請求項1ないし8の何れか1項に記載の半導体装置。 - 第1の終端トレンチの底面に位置するドリフト領域の少なくとも一部に、第1導電型の第1の拡散層が形成されていることを特徴とする請求項1ないし14の何れか1項に記載の半導体装置。
- 第2の終端トレンチは複数備えられており、
互いに隣接する第2の終端トレンチ間に存在するドリフト領域の少なくとも一部に、第1導電型の第2の拡散層が形成されていることを特徴とする請求項2ないし15の何れか1項に記載の半導体装置。 - 第1の拡散層は、第3の端部を有しており、
第1の拡散層は第3の端部よりも内周側の領域に形成されており、
第3の端部の位置は、前記半導体装置を垂直上方から観測したときに、第1の終端トレンチの外周側の側壁の位置よりも外周側に位置していることを特徴とする請求項15または16の何れか1項に記載の半導体装置。 - 第1の拡散層は、第4の端部を有しており、
第1の拡散層は第4の端部よりも外周側の領域に形成されており、
第4の端部の位置は、前記半導体装置を垂直上方から観測したときに、第1の終端トレンチの内周側の側壁の位置よりも外周側に位置していることを特徴とする請求項15ないし17の何れか1項に記載の半導体装置。 - セルエリアと、そのセルエリアを取囲んでいる終端エリアを有する半導体基板を備えており、
セルエリアには、複数のメイントレンチが形成されており、
終端エリアには、セルエリアを取囲んでいる1又は複数の終端トレンチが形成されており、
1又は複数の終端トレンチは、その最内周側に第1の終端トレンチを有しており、
第1の終端トレンチより内周側の領域の半導体基板では、第2導電型のドリフト領域の表面に第1導電型のボディ領域が積層されている半導体装置を製造する方法であって、
第2導電型のドリフト領域の表面に第1導電型のボディ領域が積層されている半導体基板の表面からボディ領域を貫通してドリフト領域に達している複数のメイントレンチをセルエリアに形成するとともに、半導体基板の表面からボディ領域を貫通してドリフト領域に達している1又は複数の終端トレンチをセルエリアを取り囲むように形成するトレンチ形成工程と、
半導体基板の表面に所定厚さの絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
セルエリア内の絶縁膜を選択的に所定量エッチングするエッチング工程と、
メイントレンチ内部および第1の終端トレンチ内部に選択的に導電層を形成する導電層形成工程と、
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - トレンチ形成工程は、第1の終端トレンチを形成すると共に、第1の終端トレンチの外周を取り囲んでおり、第1の終端トレンチよりも狭い幅を有し、ボディ領域の表面からボディ領域を貫通してドリフト領域に達している第2の終端トレンチを形成し、
絶縁膜形成工程で形成される絶縁膜の所定厚さは、第2の終端トレンチが絶縁膜で完全に充填されると共に、第1の終端トレンチが絶縁膜で完全に充填されない厚さであることを特徴とする請求項19に記載の半導体装置の製造方法。
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