JP2012000701A

JP2012000701A - 加工装置

Info

Publication number: JP2012000701A
Application number: JP2010136284A
Authority: JP
Inventors: Harunobu Yuzawa; 治信湯澤
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-06-15
Filing date: 2010-06-15
Publication date: 2012-01-05

Abstract

【課題】加工装置に関する情報を表示ウィンドウ上に表示しつつ加工装置の操作を可能とする加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置本体と、該加工装置本体の動作条件を入力する操作画面２１を表示する表示モニタ６とを備えた加工装置であって、該操作画面は、操作ボタンを有する操作ウィンドウ２２と、該操作ウィンドウの少なくとも一部に重なって、該加工装置本体の情報を表示する表示ウィンドウ３２と、該操作ウィンドウ上に表示される透過ボタン２４とを含み、該透過ボタンを有効にした場合に該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウ下の該操作ウィンドウを可視表示するとともに該表示ウィンドウ下の該操作ウィンドウへの入力を許容し、該透過ボタンを無効にした場合に該表示ウィンドウを不透明表示にするとともに該表示ウィンドウ下の該操作ウィンドウへの入力を禁止する制御手段、を具備した。
【選択図】図４

Description

本発明は、被加工物に加工を施す加工手段を有する加工装置本体と、加工装置本体の動作条件を入力する操作画面を表示する表示モニタとを備えた加工装置に関する。

例えば、半導体デバイス製造プロセスでは、半導体ウエーハ上に複数のＩＣやＬＳＩ等の回路素子が形成される。複数の回路素子が形成された半導体ウエーハの裏面を研削装置で研削してウエーハを所定の厚みへと薄化した後、切削装置で切削して個々の回路素子へと分割することで半導体デバイスを製造している。

これらの切削装置や研削装置では、特開２００１−１０８４０１号公報に開示されるように、切削ブレード又は研削ホイールが装着されたスピンドル及びチャックテーブル等の可動機構の動作条件や、同じく可動機構である被加工物を洗浄するための洗浄部の動作条件等を入力する操作ボタンと、入力された動作条件や顕微鏡で撮像した加工結果等の装置情報を表示する表示モニタを備えている。

一方、近年では装置の小型化や見栄えを考慮して、動作条件等の情報の入力及び動作条件や加工結果の表示を可能とした操作画面を表示するタッチパネル式の表示モニタが広く採用されている（例えば、特開２００９−１９４３２６号公報）。

特開２００１−１０８４０１号公報特開２００９−１９４３２６号公報

ところが、タッチパネル式の表示モニタでは、加工装置を操作するための操作ボタンが配設された操作ウィンドウ上に、加工装置の情報を表示する表示ウィンドウが表示される場合がある。

この場合には、操作ウィンドウが表示ウィンドウで覆い隠されるため、加工装置の情報を表示ウィンドウ上で確認しながら操作ウィンドウ上に配設された操作ボタンを操作して加工装置を操作できないという問題がある。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加工装置に関する情報を表示ウィンドウ上に表示しつつ操作ウィンドウ上に表示された操作ボタンで加工装置の操作を可能とする加工装置を提供することである。

本発明によると、被加工物に加工を施す加工装置本体と該加工手段を収容するハウジングとを有する加工装置本体と、該加工手段の動作条件を入力する操作画面を表示する該ハウジングに配設された表示モニタとを備えた加工装置であって、該操作画面は、該加工装置本体を操作するための操作ボタンを有する操作ウィンドウと、該操作ウィンドウの少なくとも一部に重なって該操作ウィンドウ上に出現し、該加工装置本体の情報を表示する表示ウィンドウと、出現した該表示ウィンドウに重ならない位置の該操作ウィンドウ上に表示される透過ボタンとを含み、該透過ボタンを有効にした場合に、該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウを可視表示するとともに該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウへの入力を許容し、該透過ボタンを無効にした場合に、該表示ウィンドウを不透明表示にするとともに該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウへの入力を禁止する制御手段、を具備したことを特徴とする加工装置が提供される。

好ましくは、前記制御手段は、前記表示ウィンドウを構成する複数の表示ウィンドウ画素の各色と該表示ウィンドウの下で該表示ウィンドウ画素に重なる前記操作ウィンドウ画素の各色との中間色を該表示ウィンドウ画素の色として表示することで、該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウを可視表示する。

本発明の加工装置によると、出現した表示ウィンドウに重ならない位置の操作ウィンドウ上に透過ボタンを有するため、操作画面上で操作ウィンドウに重ねて表示した表示ウィンドウを透過ボタンにより見かけ上半透明表示にすることにより、表示ウィンドウの下の操作ウィンドウを可視表示して、操作ウィンドウへの入力が可能となる。

加工装置の一例である切削装置の外観斜視図である。操作ウィンドウのみ表示されている場合の操作画面の一例を示す図である。操作ウィンドウ上に不透明の表示ウィンドウが重なって表示された状態の操作画面を示す図である。透過ボタンを有効にして表示ウィンドウを見かけ上半透明化した状態の操作画面を示す図である。トップメニューの操作ウィンドウが表示された操作画面を示す図である。操作ウィンドウ上に操作マニュアルが表示された表示ウィンドウが重なって表示された状態の操作画面を示す図である。透過ボタンを有効にして表示ウィンドウを見かけ上半透明化した状態の操作画面を示す図である。図８（Ａ）は操作ウィンドウ上に表示ウィンドウを重ねて表示する状態の説明図、図８（Ｂ）は表示ウィンドウが不透明時に操作画面上に表示される図である。透過ボタンを有効にした際の操作画面の表示状態を説明する説明図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、加工装置の一例である切削装置２の外観斜視図が示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着された表示モニタ６とから構成される。

切削ユニット１０に隣接してチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部に複数のウエーハを収容したカセットを載置するカセット載置台（エレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。

１６は切削装置２の稼働状況を表示する表示ランプであり、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。１８，２０は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン１８，２０を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。

図２を参照すると、表示モニタ６の操作画面２１上に軸動作データを表示する操作ウィンドウ２２が表示された状態が示されている。図２に示す操作ウィンドウ２２は、図５に示したトップメニューの操作ウィンドウ２２Ａでメンテナンス３ボタン３４を押すことにより表示される。

操作ウィンドウ２２は例えば、切削装置２の調整やメンテナンス時に加工手段を含む各可動部を動かすＸ，Ｙ，Ｚ，θ軸やエレベータ、スピンナテーブル等の動作データを入力する種々の入力部と、各軸、エレベータやスピンナテーブルを動かす動作ボタンを有している。

操作ウィンドウ２２はその上辺近傍に、後述する表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にする際に使用する透過ボタン２４、表示ウィンドウ上にマニュアルを表示するマニュアルボタン２６、表示ウィンドウ中に各種センサ類の状態を表示するセンサボタン２８、アラームをクリアする際に使用するアラームクリアボタン３０を有している。

操作ウィンドウ２２について更に説明すると、軸動作部位にＸ軸と、二つのＹ軸（Ｙ１，Ｙ２）と二つのＺ軸（Ｚ１，Ｚ２）を有しており、切削装置が２スピンドルタイプの切削装置２であることを示している。θはチャックテーブルの回転軸である。

図２に示された操作ウィンドウ２２では、現在は着色されているＸ軸３６が選択されている。この状態で例えば＋インデックスボタン３８を押すと、切削ブレードがＸ軸の＋方向に２０ｍｍ動き、＋スキャンボタン４０を押すと、Ｘ軸の＋方向に５０ｍｍ／ｓで動いていくことを示している。下辺近傍に配置された＋インデックスボタン３８及び＋スキャンボタン４０は動作ボタンである。

また、右下隅に配置された数字入力ボタン４２を押すと、数字パレットが出現し、中央部に表示された速度（ｍｍ／ｓ）、インデックス（ｍｍ）とを有する入力部への数字入力が可能となる。

図３を参照すると、操作ウィンドウ２２上に表示ウィンドウ３２が重ねて表示された状態の操作画面２１が示されている。表示ウィンドウ３２は、例えば、装置に供給されるエアー圧（ＭａｉｎＡｉｒ）や水圧（ＷａｔｅｒＰｒｅｓｓｕｒｅ）、ブレードノズル、シャワーノズル、スプレーノズルから噴出されている水量等を表示し、図２に示す操作ウィンドウ２２でセンサボタン２８を押すことにより表示される。表示ウィンドウ３２は不透明表示であるため、その下の操作ウィンドウ２２は表示ウィンドウ３２により隠されている。

図４を参照すると、透過ボタン２４を押すことにより、表示ウィンドウ３２を見かけ上半透明表示にして、表示ウィンドウ３２の下の操作ウィンドウ２２を可視表示した状態の操作画面２１が示されている。この状態では、表示ウィンドウ３２の下の操作ウィンドウ２２への入力が許容されるため、表示ウィンドウ３２に表示される各センサ類の状態を確認しながら作業者は、例えば、各軸の動作速度やインデックスボタンを押した時に移動するインデックス量の動作データを入力するとともに、インデックスボタンを押して可動部を動かすことができる。即ち、各センサ類の状態を確認しながら可動部を動かしてのメンテナンス作業や調整作業が可能となる。

表示ウィンドウ３２を見かけ上半透明表示する方法の一例については、図８及び図９を参照して後で説明する。表示ウィンドウ３２が見かけ上半透明表示状態で透過ボタン２４を再度押すと、表示ウィンドウ３２は不透明化され、表示ウィンドウ３２の下の操作ウィンドウ２２への入力も禁止される。

尚、透過ボタン２４を押した場合の、表示ウィンドウ３２の選択的な半透明表示又は不透明表示及び操作ウィンドウ２２への入力の可否については、切削装置２のコントローラ（制御手段）２５のメモリに予めプログラムされて格納されている。

図５を参照すると、操作画面２１上にトップメニューの操作ウィンドウ２２Ａが表示された状態が示されている。切削装置２の電源を投入すると、表示モニタ６の操作画面２１にこの操作ウィンドウ２２Ａが表示される。

図５に示した操作ウィンドウ２２Ａでマニュアルボタン２６を押すと、図６に示すように操作ウィンドウ２２Ａ上に操作マニュアルを表示した表示ウィンドウ３２Ａが重ねて表示される。この状態では、表示ウィンドウ３２Ａは不透明表示であるため、表示ウィンドウ３２Ａが重なった下側の操作ウィンドウ２２Ａは表示ウィンドウ３２Ａにより隠される。

図６に示した操作画面２１で透過ボタン２４を押すと、図７に示すように、表示ウィンドウ３２Ａが見かけ上半透明表示されて表示ウィンドウ３２Ａの下の操作ウィンドウ２２Ａが可視表示される。この状態では、可視表示された操作ウィンドウ２２Ａでの入力が許容される。透過ボタン２４を再度押すと、図６に示すように表示ウィンドウ３２Ａは不透明となり、表示ウィンドウ３２Ａの下の操作ウィンドウ２２Ａへの入力は禁止される。

このように、表示ウィンドウ３２Ａで操作マニュアルを表示することにより、表示モニタ６上で操作マニュアルを見ながら切削装置２のオペレーションが可能となる。この場合、紙媒体での操作マニュアルは不要となる。

次に、図８及び図９を参照して、表示ウィンドウ３２Ｂを見かけ上半透明表示にする方法について説明する。複数の表示ウィンドウ画素３３を有する表示ウィンドウ３２Ｂが不透明時には、図８（Ａ）に示すように、複数の操作ウィンドウ画素２３を有する操作ウィンドウ２２Ｂ上に表示ウィンドウ３２Ｂを重ねると、図８（Ｂ）に示すように、操作画面２１上には表示ウィンドウ３２Ｂのみが表示される。

本実施形態の表示ウィンドウ３２Ｂの見かけ上の半透明表示化では、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）の各色を０〜２５５の２５６段階（０：最小２５５：最大）で表す。例えば、輝度最大の赤は（２５５，０，０）で表し、黒は（０，０，０）で表し、白は（２５５，２５５，２５５）で表す。

図９を参照すると、（Ａ）は表示ウィンドウ３２Ｂを各表示ウィンドウ画素３３に分割した状態の一部を示しており、（Ｂ）は操作ウィンドウ２２Ｂを各操作ウィンドウ画素２３に分割した状態の一部を示している。

例えば、画素１‐ａは表示ウィンドウ３２Ｂが白（２５５，２５５，２５５）で操作ウィンドウ２２Ｂも白（２５５，２５５，２５５）なので、表示ウィンドウ３２Ｂの画素１‐ａに白（２５５，２５５，２５５）を表示する。

一方、画素１‐ｅは表示ウィンドウ３２Ｂが灰色（１２７，１２７，１２７）で操作ウィンドウ２２Ｂが白（２５５，２５５，２５５）なので、表示ウィンドウ３２Ｂの画素１‐ｅには薄い灰色（１９１，１９１，１９１）を表示する。

このようにして、各画素について表示ウィンドウ３２Ｂの色と操作ウィンドウ２２Ｂの色との中間色を表示ウィンドウ３２Ｂに表示することにより、表示ウィンドウ３２Ｂを見かけ上半透明表示にすることができる。

上述した実施形態では、表示モニタ６を切削装置２に装着した例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、表示モニタ６を研削装置、レーザ加工装置等の他の加工装置にも同様に装着することができる。

更に、表示モニタ６を加工装置本体４から取り外し可能に配設してもよい。この場合には、加工装置本体４と表示モニタ６との間で無線通信によりデータの送受信を行うか、或いは表示モニタ６をフレキシブルケーブルにより加工装置本体４に接続する。

上述した実施形態によると、操作ウィンドウ２２が表示ウィンドウ３２が重ならない位置に透過ボタン２４を有するため、透過ボタン２４を押すことにより操作ウィンドウ２２上に表示ウィンドウ３２を見かけ上半透明表示化して重ねて表示することができ、半透明表示化された表示ウィンドウ３２の下の操作ウィンドウ２２への入力が可能となる。

例えば、表示ウィンドウ３２で流量やエア圧、バキューム圧等を表示しつつ、下側の操作ウィンドウ２２で加工装置を操作しての調整や動作確認が可能となる。また、装置の操作マニュアルを半透明化した表示ウィンドウ３２上に表示しつつ、操作ウィンドウ２２で加工装置の操作が可能となる。

２切削装置
４切削装置本体
６表示モニタ
８ハウジング
１０切削ユニット
１２チャックテーブル
２１操作画面
２２操作ウィンドウ
２３操作ウィンドウ画素
２４透過ボタン
２６マニュアルボタン
２８センサボタン
３２表示ウィンドウ
３３表示ウィンドウ画素
３４加工条件データボタン

Claims

被加工物に加工を施す加工手段と該加工手段を収容するハウジングとを有する加工装置本体と、該加工装置本体の動作条件を入力する操作画面を表示する該ハウジングに配設された表示モニタとを備えた加工装置であって、
該操作画面は、該加工装置本体を操作するための操作ボタンを有する操作ウィンドウと、
該操作ウィンドウの少なくとも一部に重なって該操作ウィンドウ上に出現し、該加工装置本体の情報を表示する表示ウィンドウと、
出現した該表示ウィンドウに重ならない位置の該操作ウィンドウ上に表示される透過ボタンとを含み、
該透過ボタンを有効にした場合に、該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウを可視表示するとともに該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウへの入力を許容し、該透過ボタンを無効にした場合に、該表示ウィンドウを不透明表示にするとともに該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウへの入力を禁止する制御手段、を具備したことを特徴とする加工装置。
前記制御手段は、前記表示ウィンドウを構成する複数の表示ウィンドウ画素の各色と該表示ウィンドウの下で該表示ウィンドウ画素に重なる前記操作ウィンドウ画素の各色との中間色を該表示ウィンドウ画素の色として表示することで、該表示ウィンドウを見かけ上半透明表示にして該表示ウィンドウの下の該操作ウィンドウを可視表示することを特徴とする請求項１記載の加工装置。
前記表示ウィンドウでは、前記加工装置本体に配設されたセンサの検出値を表示する請求項１又は２記載の加工装置。