JP2011255428A

JP2011255428A - 加工装置

Info

Publication number: JP2011255428A
Application number: JP2010129584A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Tanaka; 英明田中
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-06-07
Filing date: 2010-06-07
Publication date: 2011-12-22

Abstract

【課題】作業者の身長によらずコマンドの入力及び操作画面の読み取りが容易な表示モニタを備えた加工装置を提供することである。
【解決手段】被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を収容するハウジングと、該加工手段の動作条件を入力する操作画面を表示する該ハウジングに配設された表示モニタとを備えた加工装置であって、該表示モニタを支持するアームと、該表示モニタを傾き自在に該アームの一端部に連結する第１連結部と、該ハウジングに該アームの他端部を鉛直方向に回動可能に連結する第２連結部と、を具備したことを特徴とする。
【選択図】図５

Description

本発明は、被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段の動作条件を入力設定する操作画面を表示する表示モニタとを備えた加工装置に関する。

多くの産業機械や製造装置では、加工手段等の駆動機構はハウジング中に収容されている。そして、ハウジングには加工手段の動作条件等を入力するための操作ボタンや、入力設定された動作条件や加工手段の動作状況を表示するための表示手段が配設されている。

例えば、半導体製造工程等で使用される切削装置や研削装置では、特開２００１−１０８４０１号公報に開示されるように、切削ブレードや研削ホイールが装着されたスピンドルやチャックテーブル等の動作条件、被加工物を洗浄する洗浄ユニットの動作条件等を入力する操作ボタンと、入力された動作条件や顕微鏡で撮像した加工結果を表示する表示モニタを有している。

一方、近年では装置の小型化や見栄えを考慮して、動作条件を入力する操作ボタンに替わって、入力された動作条件や加工結果の表示のみでなく、動作条件を入力可能なタッチパネル式の表示モニタが広く採用されており、一般的に表示モニタはハウジングの側壁に固定されている（例えば、特開２００９−１９４３２６号公報）。

特開２００１−１０８４０１号公報特開２００９−１９４３２６号公報

しかし、多くの産業機械や製造装置では、ハウジングの側壁は垂直であり、このような側壁にタッチパネル式の表示モニタを配設すると、作業者の身長によっては入力がしづらい上、表示が読みがたいという問題がある。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者の身長によらず動作条件等の入力及び表示画面の読み取りが容易な表示モニタを備えた加工装置を提供することである。

本発明によると、被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を収容するハウジングと、該加工手段の動作条件を入力する操作画面を表示する該ハウジングに配設された表示モニタとを備えた加工装置であって、該表示モニタを支持するアームと、該表示モニタを傾き自在に該アームの一端部に連結する第１連結部と、該ハウジングに該アームの他端部を鉛直方向に回動可能に連結する第２連結部と、を具備したことを特徴とする加工装置が提供される。

本発明の加工装置では、表示モニタを任意の位置に位置づけられるため、作業者の身長によらず、どの作業者でも動作条件等の入力及び表示画面の読み取りが容易となる。

本発明実施形態に係る加工装置の外観斜視図である。図１に示した加工装置の要部拡大図である。加工装置の側面図である。図３のＡ部分の拡大図である。表示パネルが移動する様子を示した加工装置の外観斜視図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る加工装置２の外観斜視図が示されている。加工装置２は例えば切削装置から構成され、図示しない骨組み内に切削装置の機械的構成要素であるチャックテーブル、切削ブレードを備えた切削ユニット、ウエーハの切削すべき領域を検出する撮像装置を備えたアライメントユニット、スピンナ洗浄装置、ウエーハを搬送する搬送装置等が収容されている。

符号４，６，８は加工装置２の骨組みに取り外し可能に装着された外装カバーであり、これらの外装カバー４，６，８及び骨組みに固定された複数のパネル１０によりハウジング１２が構成される。

１４は加工装置２の稼動状況を表示する表示ランプであり、加工装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。１６は非常停止ボタンであり、作業者がこの非常停止ボタン１６を押すと加工装置２の作動を直ちに停止することができる。

加工装置２の操作側には、観音開きに開閉可能な扉１８とスライド式に開閉される扉２０が設けられている。例えば、加工装置２のチャックテーブルにウエーハを装着したり、又はスピンドルに装着された切削ブレードを交換したい等の場合には、これらの扉１８，２０を開閉して作業を実施する。

２２はタッチパネル式の表示モニタであり、取付け手段２４によりハウジング１２の側壁を構成する外装カバー８に移動可能に取り付けられている。作業者が表示モニタ２２に表示された情報にタッチすることにより、加工装置２に動作条件等のコマンドを入力することができるとともに、加工装置２の稼動状況がこの表示モニタ２２上に表示される。

図２の拡大図に示すように、表示モニタ２２の取付け手段２４はアーム２６を含んでおり、アーム２６はハウジング１２の外装パネル８に、第２連結部２８により鉛直方向、即ち矢印Ａ方向に回動可能に取り付けられるとともに、矢印Ｂ方向に旋回可能に取り付けられている。

即ち、アーム２６の一端に固定されたブロック３０が一対のブラケット３２に回動可能に取り付けられているとともに、ブラケット３２はハウジング１２の外装パネル８に固定した支持部材３４に対して矢印Ｂ方向に旋回可能に取り付けられている。ブラケット３２は支持部材３４に対して固定的に取り付けられていてもよい。

図３のＡ部分の拡大図である図４に示すように、アーム２６の他端部はボールジョイント３６によりあらゆる方向に回動自在に連結されている。即ち、アーム２６の他端部にはボール３８が固定されており、表示モニタ２２の背面にボール３８を受け入れるソケット４０が取り付けられていて、ボール３８とソケット４０とでボールジョイントを構成する。

表示モニタ２２の取付け手段２４が上述したように構成されているため、図５に示すように、作業者は自分の身長に合わせて表示モニタ２２を移動して、動作条件等のコマンドを入力できるとともに、加工装置２の稼働状況を確認することができる。

上述した実施形態では、取付け手段２４のアーム２６は一本のロッドから形成されているが、アーム２６を屈曲可能に形成してもよい。

上述した実施形態では、表示モニタ２２を任意の位置に位置づけられるため、作業者の身長によらず、どの作業者でも動作条件等のコマンドの入力及び操作画面の読み取りが容易となる。

２加工装置
４，６，８外装カバー
１２ハウジング
２２タッチパネル式表示モニタ
２４取付け手段
２６アーム
２８第２連結部
３６ボールジョイント（第１連結部）

Claims

被加工物に加工を施す加工手段と、該加工手段を収容するハウジングと、該加工手段の動作条件を入力する操作画面を表示する該ハウジングに配設された表示モニタとを備えた加工装置であって、
該表示モニタを支持するアームと、
該表示モニタを傾き自在に該アームの一端部に連結する第１連結部と、
該ハウジングに該アームの他端部を鉛直方向に回動可能に連結する第２連結部と、
を具備したことを特徴とする加工装置。