JP2014081762A

JP2014081762A - 加工装置

Info

Publication number: JP2014081762A
Application number: JP2012228705A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Saito; 孝広斉藤
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-10-16
Filing date: 2012-10-16
Publication date: 2014-05-08

Abstract

【課題】作業者の加工装置の取扱いの習熟度によらず、加工装置への操作指令の入力を容易に可能とするための技術を提供する。
【解決手段】被加工物に加工を施す加工装置であって、被加工物を保持する保持手段と、保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、加工手段を操作する操作指令を入力するための複数のボタンを備えた入力手段と、入力手段で操作指令を入力する複数の入力画面をそれぞれ表示する表示手段と、を備え、入力手段は、第一の入力画面を表示手段に表示させる第一のジャンプボタンを有する、加工装置とする。
【選択図】図３

Description

本発明は、操作指令を入力する入力手段を備えた加工装置に関し、より詳しくは、加工装置への操作指令の入力を容易に可能とするための技術に関する。

従来、例えば、半導体製造工程や電子部品製造工程で用いられる加工装置として、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置等の各種の加工装置が知られている。

そして、加工装置で被加工物に加工を施すためには、加工装置に加工条件を入力することに加え、加工装置側の各種設定を行う必要がある。このような各種設定は、タッチパネル式の表示モニタで行われる構成が知られており、この表示モニタに関連する技術について開示する文献も存在する（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０１２−０００７０１号公報

特に半導体製造工程や電子部品製造工程で使用される切削装置、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、バイト切削装置、洗浄装置、テープマウント装置、分割装置等々、各種の加工装置では、加工を開始する前に加工工具の取り付けや原点出し等、多くの作業が必要とされるものであり、この作業を実施するための各種設定作業も必要となる。

ここで、ある特定の設定作業を特許文献１に開示されるような表示モニタで実行する場合には、作業者は、当該特定の設定作業を行うための入力画面を表示させた上で、操作指令を入力する必要がある。

しかしながら、作業者の習熟度が低い場合などでは、表示モニタにおいて入力画面に辿り着くことが困難となり、操作指令の入力がままならないという状況が生じる恐れがある。例えば、トップメニュー画面の状態から、複数回のボタン操作によって複数回画面を切り替えるなどして、ようやく所望の入力画面に辿り着くような構成では、操作指令を開始するまでに時間を要してしまい、また、一度ボタン操作を誤ってしまうと最初からやり直さなければならないことにもなる。

近年では、加工装置の機能の拡充とともに作業の種類や手順も増加、複雑化してきており、操作指令入力画面も多岐に渡って存在しているため、特に、加工装置の取扱いの習熟度が低い作業者では、都度適切な入力画面に辿り着くまでに非常に時間を要するといった課題があった。

さらに、加工装置の取扱いの習熟度が高い作業者であっても、多岐に渡る入力画面を都度切替えて目的の入力画面を表示させることは、非常に手間がかかるものであった。

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者の加工装置の取扱いの習熟度によらず、加工装置への操作指令の入力を容易に可能とするための技術を提供することである。

請求項１に記載の発明によると、
被加工物に加工を施す加工装置であって、
被加工物を保持する保持手段と、
保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、
加工手段を操作する操作指令を入力するための複数のボタンを備えた入力手段と、
入力手段で操作指令を入力する複数の入力画面をそれぞれ表示する表示手段と、
を備え、
入力手段は、第一の入力画面を表示手段に表示させる第一のジャンプボタンを有する、加工装置が提供される。

また、請求項２に記載の発明によると、
複数のボタンが同時に押されることで第一のジャンプボタンとして作用する、
ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置が提供される。

また、請求項３に記載の発明によると、
第一のジャンプボタンが押されることで表示される第一の入力画面は、
設定変更可能となっている、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の加工装置が提供される。

本発明の加工装置では、第一の入力画面を表示する第一のジャンプボタンを有するため、習熟度によらず容易に目的の入力画面（第一の入力画面）を表示させることができ、操作指令入力作業の作業効率が向上する。

また、請求項２に記載の発明によれば、複数ボタンの組み合わせで第一のジャンプボタンとするため、ボタン数を増やす必要がなく、入力手段をコンパクトに構成できる。

また、請求項３に記載の発明によれば、例えば作業者毎によく使う入力画面にジャンプできるように、第一のジャンプボタンを任意に設定することができるため、作業者毎に作業性を向上させることができる。

本発明の実施に適した加工装置（切削装置）の斜視図である。制御装置の構成について示すブロック図である。制御装置の構成とジャンプキー×入力画面テーブルについて示す図である。入力画面の階層について説明する図である。トップメニュー画面の構成例について示す図である。入力画面の構成例について示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。加工装置の一例として、半導体ウェーハの切削装置２の外観斜視図が図１に示されている。切削装置２は、切削ブレードを有する切削ユニット１０等の加工手段がハウジング８内に収容された加工装置本体４と、加工装置本体４のハウジング８に装着された表示モニタ６などを有して構成される。

切削ユニット１０に隣接してチャックテーブル１２がＸ軸方向に移動可能に配設されている。１４は内部にウェーハ２２を複数収容可能なカセット２４を載置するカセット載置台（エレベータ）であり、上下方向に移動可能に構成されている。なお、加工時にウェーハ２２を保持する保持手段としては、チャックテーブル１２のようにテーブルで構成する他、エッジクランプ（端を挟持する形態）による保持手段が使用されることも考えられる。

図２の概略図に示されるように、切削装置２には、切削装置２を自動制御するための制御装置３０が設けられている。制御装置３０はマイクロコンピュータによって構成されており、制御プログラムに従って演算処理するＣＰＵ（中央処理装置）３１と、制御プログラムや各種データベース等を格納するＲＯＭ（リードオンリーメモリ）３２と、演算結果等を格納する読み書き可能なＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）３３と、入出力インターフェース３４とを備えて構成される。

ＲＯＭ３２には、切削ユニット１０などを自動制御するための制御プログラムや、制御プログラムによって読み出されることが想定される各種データベースが記憶される。

ＲＡＭ３３は、制御プログラムや各種データの読み込みや、オペレータにより入力される加工条件の一時的な記憶などを行う。

入出力インターフェース３４には、加工条件や装置を操作する操作指令を入力する入力手段として機能するとともに、各種情報を表示する表示手段としても機能する表示モニタ６（図１参照）が接続されている。なお、二つの表示モニタを備えるなどによって、入力手段と表示手段をそれぞれ個別に設ける構成としてもよい。

入出力インターフェース３４には、切削ユニット１０を回転させるモータや、チャックテーブル１２を移動させるモータなどの各種駆動装置が接続されており、制御プログラムの実行による演算結果に基づいて、各種駆動装置が加工条件に則って駆動されるようになっている。

図３は、本発明において特徴的な機能について説明する機能ブロック図である。この図３では、制御装置３０と、表示モニタ６が示されている。

そして、この図３に示すように、制御装置３０においては、図２に示すＣＰＵ３１、ＲＯＭ３２、ＲＡＭ３３により、入力画面データベース３６と、ジャンプキー判定部３７と、ジャンプキー×入力画面テーブル３８と、ジャンプキー登録部３９と、入力画面読出部４０として、それぞれ機能する各種機能部が構成される。

入力画面データベース３６には、図４に示すように、複数の入力画面５７ａ〜５７ｘが格納されている。また、図４では画面の階層の概念を説明するために樹形図の態様で表現しており、図５に示されるようなトップメニュー画面５７ａ（入力画面）での操作指令に応じて表示される入力画面５７ｂ〜５７ｅが、トップメニュー画面５７ａの配下に関連付けられることを表現している。また、表示モニタ６が実際に操作される場合に、トップメニュー画面５７ａから操作を進めることによって、その配下にある入力画面へと移動できることを表現している。

また、図３において、入力画面データベース３６に格納される各入力画面には、ジャンプキーＪＫに一対一で対応するための画面キーＧＫが情報として付与されている。ジャンプキーＪＫは、例えば、図５におけるボタンＦ１を押した際に出力されるキー（Ｆ１）であって、画面キーＧＫは、図６において示される入力画面５７ｘを特定するためのキー（００１）である。

そして、図３において、ジャンプキー×入力画面テーブル３８には、ジャンプキーＪＫと画面キーＧＫを一対一で対応させて記憶するためのデータテーブルが格納されている。具体的には、例えば、登録番号Ｔ００１ではジャンプキーＪＫ＝Ｆ１が特定されると画面キーＧＫ＝００１が特定される、登録番号Ｔ００２ではジャンプキーＪＫ＝Ｆ２が特定されると画面キーＧＫ＝００２が特定される、というようになっている。つまり、ジャンプキーＪＫと画面キーＧＫが紐付けて記憶されている。

また、ジャンプキー×入力画面テーブル３８に記憶される情報は、ジャンプキー登録部３９によって更新することができるようになっている。つまり、例えば、登録番号Ｔ００１についてジャンプキーＪＫ＝Ｆ１と画面キーＧＫ＝００１を一対一で対応させて記憶されていたものを、登録番号Ｔ００１についてジャンプキーＪＫ＝Ｆ１と画面キーＧＫ＝００２を一対一で対応させるように変更するといったことである。

また、ジャンプキー登録部３９によって、ジャンプキー×入力画面テーブル３８に対し、新たに、登録番号Ｔ１０１としてジャンプキーＪＫ＝Ｃｔｒｌ＋Ｆ１と画面キーＧＫ＝Ｃ００１を一対一で新規登録するといったことも可能となっている。このジャンプキー登録部３９の操作は、作業者が表示モニタ６によって操作できるようになっている。

このようなジャンプキー登録部３９によるジャンプキー×入力画面テーブル３８の更新、新規登録は、例えば、図６において、入力画面５７ｘ（画面キーＧＫ＝００１）が表示されている場合において、ジャンプキーＪＫとして割り付けたいボタン（例えば、ボタンＦ１や、ボタンＣｔｒｌとボタンＦ１の二つのボタン）を数秒間長押しすることによって、行うこととすることができる。

以上のような構成により、作業者の任意により、ジャンプキーＪＫと画面キーＧＫの一対一の対応を容易に更新、新規登録することができる。なお、作業者が任意でジャンプキー×入力画面テーブル３８の更新、新規登録することを想定し、当該ジャンプキー×入力画面テーブル３８（ジャンプキーと入力画面の対応表）は、表示モニタ６に表示され得る、或いは、プリントアウトなどで外部出力し得ることとすることが好ましい。

また、図３において、ジャンプキー判定部３７は、表示モニタ６からジャンプキーＪＫが入力されると、ジャンプキー入力画面テーブル３９を参照して当該ジャンプキーＪＫに一対一で対応する画面キーＧＫを抽出する。例えば、ジャンプキーＪＫ＝Ｆ１である場合に、画面キーＧＫ＝００１を抽出する。

また、図３において、入力画面読出部４０は、ジャンプキー判定部３７によって抽出された画面キーＧＫに対応する入力画面を入力画面データベース３６から抽出するとともに、表示モニタ６に、当該入力画面を表示する。例えば、画面キーＧＫ＝００１である場合には、当該００１が固有の情報として付与された入力画面５７ｘ（図６）が表示されることになる。

そして、このようにして、図４に示されるように階層化された複数の入力画面がある中で、この階層を順に掘り下げて入力画面５７ｘに至る手順を踏まずに、入力画面５７ｘを瞬時にジャンプアップさせて、表示モニタ６に表示させることができる。

以上のようにして、本発明を実施することができる。
即ち、被加工物としてのウェーハ２２に加工を施す切削装置（加工装置）２であって、ウェーハ２２被加工物を保持するチャックテーブル（保持手段）１２と、チャックテーブル１２で保持されたウェーハ２２に加工を施す切削ユニット（加工手段）１０と、切削ユニット１０を操作する操作指令を入力するための複数のボタン（Ｆ１，Ｃｔｒｌなど）を備えた表示モニタ（入力手段）６と、表示モニタ６で操作指令を入力する複数の入力画面をそれぞれ表示する表示モニタ（表示手段）６とを備え、表示モニタ６は、第一の入力画面（入力画面５７ｘ）を表示モニタ６に表示させる第一のジャンプボタン（例えば、ボタンＦ１で実施される）を有する、切削装置２が実現される。

これにより、加工装置の取扱いの習熟度によらず、ジャンプボタンを操作することによって、瞬時に所望の入力画面に辿り着くことができ、必要な操作指令の入力のための時間を短縮することが可能となる。また、この時間短縮によって作業者の負担が軽減され、必要な操作指令の入力に関する労力を低減することができる。

なお、以上の実施形態では、タッチパネル式の表示モニタ６によって、入力手段と表示手段とジャンプボタンの各機能が実現されるものとしているが、この例に限らず、各機能を個別に実現するための装置を設ける構成としてもよい。

また、以上の実施形態では、複数のボタン（ボタンＣｔｒｌとボタンＦ１の二つのボタン）が同時に押されることで第一のジャンプボタンとして作用することが可能となっている。

これにより、例えば、従来から存在する、或いは、一般的に設置されるボタンを複数組み合わせることで、ジャンプボタン（ジャンプキーを入力するためのボタン）を実現することができ、ボタン数を増やす必要がなくなって（ボタン数を抑えることが可能となって）、ジャンプボタンを実現するための入力手段（表示モニタ６）をコンパクトに構成することができる。

また、以上の実施形態では、第一のジャンプボタンが押されることで表示される第一の入力画面は、設定変更可能となっている。つまり、ジャンプキー×入力画面テーブル３８の更新、新規登録が可能となっている。

これにより、例えば、作業者毎によく使う入力画面についてジャンプボタンを設定することが可能となり、作業者毎に作業性を向上させることができる。

なお、以上の実施形態では、加工装置として切削装置２を用いて説明したが、このほか、研削装置、研磨装置、レーザー加工装置、洗浄装置、など、各種の加工装置において本発明を実施することは可能である。

２切削装置
６表示モニタ
３０制御装置
３６入力画面データベース
３７ジャンプキー判定部
３８ジャンプキー×入力画面テーブル
３９ジャンプキー登録部
４０入力画面読出部
５７ａトップメニュー画面
５７ｘ入力画面

Claims

被加工物に加工を施す加工装置であって、
被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物に加工を施す加工手段と、
該加工手段を操作する操作指令を入力するための複数のボタンを備えた入力手段と、
該入力手段で操作指令を入力する複数の入力画面をそれぞれ表示する表示手段と、
を備え、
該入力手段は、第一の入力画面を該表示手段に表示させる第一のジャンプボタンを有する、加工装置。
複数のボタンが同時に押されることで前記第一のジャンプボタンとして作用する、
ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
前記第一のジャンプボタンが押されることで表示される前記第一の入力画面は、
設定変更可能となっている、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の加工装置。