JP2011249652A - ウェーハの平坦加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一次研削工程(ST11)においては、インゴットから切り出して得られたウェーハの両面(一の面、二の面)を研削することで両面の加工歪みを除去して当該加工歪みの大きさの相違に起因する反りを低減する。樹脂塗布工程、うねり形状復帰工程及び樹脂硬化工程(ST12〜ST14)において、ウェーハの両面の表層のうねりの形状を維持した状態で紫外線硬化樹脂によって成形硬化する。一の面、二の面うねり除去工程(ST15、ST17)においては、紫外線硬化樹脂で硬化させたウェーハの表層に生じたうねりを除去する。
【選択図】図2
Description
100 研削装置
101 基台
103a チャックテーブル
103b 保持面
105 研削ユニット
105a 研削砥石
200 樹脂被覆装置
201 基台
202 ステージ
202a 保持面
203 UVランプ
205 シャッタ
206 フィルタ
210 保持手段
210c 押圧パッド
211 保持部
212 紫外線硬化樹脂
213 フィルム
Claims (1)
- インゴットから切り出して得られたウェーハの、切り出しによる一の面及び当該一の面の反対側の二の面に生じる歪みの大きさの違いに起因する反りと、切り出しにより前記一の面及び二の面の表層に生じるうねりとを有した前記ウェーハの両面を平坦に加工する平坦加工方法であって、
前記ウェーハの前記一の面をチャックテーブルの水平保持面に吸引保持することにより前記うねりを矯正して水平にした状態で露呈している前記ウェーハの前記二の面の前記歪みが除去されるまで研削する一方、前記ウェーハの前記二の面を前記水平保持面に吸引保持することにより前記うねりを矯正して水平にした状態で露呈している前記ウェーハの前記一の面の前記歪みが除去されるまで研削し、前記一の面及び二の面に同等の研削歪みを形成する研削工程と、水平な保持面を有するステージ上に載置されたフィルム上に紫外線硬化樹脂を滴下し、前記紫外線硬化樹脂の上に前記研削工程が終了した前記ウェーハの前記二の面を載置すると共に、露呈する前記一の面側から前記ステージ方向へ全面均等の押圧力を付与し、前記ウェーハの前記二の面全面に前記紫外線硬化樹脂を塗布する樹脂塗布工程と、前記紫外線硬化樹脂を塗布した後に、前記一の面側からの前記ステージ方向への押圧力を解除し、前記ウェーハの前記うねりの形状を復帰させるうねり形状復帰工程と、前記うねり形状復帰工程の後に、前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して樹脂を硬化させる樹脂硬化工程と、前記樹脂硬化工程の後に、前記一の面の表層の前記うねりを除去するまで研削する一の面うねり除去工程と、前記うねりが除去され平坦化された前記一の面を基準面として、前記二の面の表層の前記うねりを除去するまで研削する二の面うねり除去工程とを具備することを特徴とするウェーハの平坦加工方法。
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