JP2011234203A - 圧電発振器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の圧電発振器の製造方法は、素子搭載部材の一方の主面に設けられている2個一対の圧電振動素子搭載パッドに圧電振動素子を導電性接着剤によって搭載する圧電振動素子搭載工程と、蓋部材と素子搭載部材とを接合する蓋部材接合工程と、素子搭載部材の他方の主面に設けられている集積回路素子搭載パッドと接続されており、素子搭載部材側に設けられる第1の金属層とこの第1の金属層上に設けられる第2の金属層とにより構成されている配線パターンの内の第1の金属層を除去する第1の金属層除去工程と、集積回路素子を素子搭載部材の他方の主面に設けられている集積回路素子搭載パッドに搭載する集積回路素子搭載工程と、を含むことを特徴とするものである。
【選択図】図4
Description
素子搭載部材は、基板部と、第1の枠部と、第2の枠部で主に構成されている。
この素子搭載部材は、基板部の一方の主面に第1の枠部が設けられて第1の凹部空間が形成され、基板部の他方の主面に第2の枠部が設けられて第2の凹部空間が形成されている。
また、第1の枠部は、基板部の一方の主面の外周を囲繞するように設けられた封止用導体膜の主面にロウ付けなどにより接合される。
2個一対の圧電振動素子搭載パッドは、第1の凹部空間内に露出する基板部の一方の主面に設けられている。
集積回路素子搭載パッドは、第2の凹部空間内に露出する基板部の他方の主面に設けられている。
また、配線パターンは、第2の凹部空間内露出する基板部の他方の主面に設けられ、前記集積回路素子搭載パッドと接続されている。
また、基板部は、積層構造となっており、基板部の内層には、内部配線パターン等が設けられている。
前記配線パターンと前記内部配線パターンとにより圧電振動素子搭載パッドは、素子搭載部材の第2の凹部空間内に露出する基板部の他方の主面に設けられている集積回路素子搭載パッドと接続している。
素子搭載部材の一方の主面に設けられている圧電振動素子搭載パッドに圧電振動素子を搭載する圧電振動素子搭載工程と、前記素子搭載部材の第1の枠部と蓋部材とを接合する蓋部材接合工程と、素子搭載部材の他方の主面に設けられている集積回路素子搭載パッドに集積回路素子を搭載する集積回路素子搭載工程と、を有している(例えば、特許文献2参照)。
また、圧電振動素子搭載パッドと集積回路素子搭載パッドを電気的に接続させるために、配線パターンを素子搭載部材の他方の主面に設けず、内部配線パターンのみで設けると、素子搭載部材の積層数が増えてしまい、圧電発振器を薄型化することができないといった課題があった。
また、圧電振動素子搭載パッドと集積回路素子搭載パッドを電気的に接続させるために、内部配線パターンのみで設ける必要がないため、素子搭載部材の積層数が増えることがなくなる。よって、圧電発振器を薄型化することができる。
水晶素板121は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状で平面形状が例えば四角形となっている。
励振用電極122は、前記水晶素板121の表裏両主面に金属を所定のパターンで被着・形成したものである。
このような圧電振動素子120は、その両主面に被着されている励振用電極122から延出する引き出し電極124と後述する第1の凹部空間K1内底面に形成されている後述する圧電振動素子搭載パッド111とを、導電性接着剤DSを介して電気的且つ機械的に接続することによって第1の凹部空間K1に搭載される。このときの引き出し電極124が設けられた一辺とは反対側の端辺を圧電振動素子120の自由端である先端部123とする。
また、集積回路素子140には、可変容量素子に周囲温度に応じた制御電圧を印加して温度変化による発振回路の発振周波数の変動を補償するため、3次関数発生回路及び記憶素子部により温度補償回路部が設けられており、3次関数発生回路には、温度センサが接続されている。
この温度センサは、検出した温度と、温度センサに印加させる電圧値とに基づいて生成される温度データ信号(電圧値)が3次関数発生回路に出力される構成となっている。
また、第1の枠部110bは、基板部110aの一方の主面の外周を囲繞するように設けられた封止用導体膜HM上にロウ付けなどにより接続される。
また、集積回路素子搭載パッド112は、第2の凹部空間K2内で露出した基板部110aの他方の主面に設けられている。
また、配線パターン113は、第2の凹部空間K2内で露出した基板部110aの他方の主面に設けられ、前記集積回路素子搭載パッド112と接続されている。
また、水晶振動素子測定用端子114は、第2の凹部空間K2内で露出した基板部110aの他方の主面に設けられている。
外部接続用電極端子Gは、素子搭載部材110の第2の枠部110cの他方の主面の4隅に設けられている。
つまり、第1の金属層112aは、基板部110aの表面上に設けられている。また、第2の金属層112bは、前記第1の金属層112bの上に設けられている。
第1の金属層112aは、例えば、ニッケル(Ni)及び金(Au)により形成され、第2の金属層112bは、例えば、タングステンにより形成されている。
第1の金属層113aは、基板部110aの表面上に設けられている。また、第2の金属層113bは、前記第1の金属層113aの上に設けられている。
第1の金属層113aは、例えば、ニッケル(Ni)及び金(Au)により形成され、第2の金属層113bは、例えば、タングステンにより形成されている。
この配線パターン113の一部である集積回路素子搭載パッド112との境界箇所の第1の金属層113aが除去されている。
第1の金属層113aの厚みが、例えば、1〜10μmであり、第2の金属層113bの厚みが、例えば、5〜25μmである。
本発明の圧電発振器の製造方法は、圧電振動素子搭載工程と、蓋部材接合工程と、第1の金属層除去工程と、集積回路素子搭載工程とで構成されている。
図4(a)に示すように、圧電振動素子搭載工程は、素子搭載部材110の一方の主面に設けられている2個一対の圧電振動素子搭載パッド111に前記圧電振動素子120を導電性接着剤DSによって搭載する工程である。
図4(b)に示すように、蓋部材接合工程は、蓋部材130と素子搭載部材110とを接合する工程である。
蓋部材130は、窒素雰囲気中や真空雰囲気中で、素子搭載部材110の第1の枠部110b上に載置され、所定電流を印加したローラ電極(図示せずに)を蓋部材130の縁に沿って全周を移動させることで、第1の枠部110bの表面の金属と蓋部材130の金属の一部とが溶接されるシーム溶接を行うことにより、素子搭載部材110の第1の枠部110bに接合される。
図5(a)、図6(a)及び図6(b)に示すように、第1の金属層除去工程は、前記素子搭載部材110の他方の主面に設けられている集積回路素子搭載パッド112と接続されており、第1の金属層113aと第2の金属層113bにより構成されている配線パターン113の第1の金属層113aを除去する工程である。
つまり、前記素子搭載部材110の他方の主面に設けられている配線パターン113の一部である集積回路素子搭載パッド112との境界箇所の第1の金属層113aが、レーザー装置(図示せず)による所定のレーザ光を間欠照射することにより、除去されている。
つまり、集積回路素子搭載パッド112の第1の金属層112aと配線パターン113の第1の金属膜113aとは、接続されていない状態になるようにすることである。
この境界箇所は、前記集積回路素子搭載パッド112と配線パターン113とが接している箇所のことである。また、集積回路素子搭載パッド112と配線パターン113との境界箇所は、溝形状となっている。
前記配線パターン113の第1の金属層113aは、基板部110aの表面上に設けられている。また、第2の金属層113bは、前記第1の金属層113aの上に設けられている。
また、第1の金属層113aの厚みが、例えば、1〜10μmであり、第2の金属層113bの厚みが、例えば、5〜25μmである。つまり、所定のレーザ光にて、第1の金属層113aの厚み、例えば、1〜10μmを除去することになる。
レーザ装置としては、例えば、炭酸ガスレーザ、YAGレーザ、YVO4レーザ、半導体レーザ、エキシマレーザ、グリーンレーザ等を用いることができる。
図5(b)及び図6(c)に示すように、集積回路素子搭載工程は、集積回路素子140を前記素子搭載部材110の他方の主面に設けられている集積回路素子搭載パッド112に搭載する工程である。
素子搭載部材110の第2の凹部空間K2内に露出する集積回路素子搭載パッド112に導電性接合材DZを塗布し、その導電性接合材DZに集積回路素子140を載置する。前記集積回路素子140を載置した後、前記導電性接合材DZに熱を印加し、前記導電性接合材DZを溶融して接合することで、集積回路素子140は、前記素子搭載部材110の他方の主面に設けられている集積回路素子搭載パッド112に搭載する。
また、集積回路素子搭載パッド112に導電性接合材DZを形成する方法としては、印刷する箇所に開口部が設けられているマスク治具(図示せず)を用いた印刷手法を用いても構わない。
また、圧電振動素子搭載パッド111と集積回路素子搭載パッド112を電気的に接続させるために、内部配線パターン(図示せず)のみで設ける必要がないため、素子搭載部材110の積層数が増えることがなくなる。よって、圧電発振器100を薄型化することができる。
例えば、前記した本実施形態では、圧電振動素子を構成する圧電素材として水晶を用いた場合を説明したが、他の圧電素材として、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムまたは、圧電セラミックスを圧電素材として用いた圧電振動素子でも構わない。
この場合、第1の枠部の開口側頂面の全周には、環状の封止用導体パターンが形成され、蓋部材は、この封止用導体パターン上に配置接合される。
この際の蓋部材は、前記素子搭載部材の凹部空間を囲繞するように設けられた封止用導体パターンに相対する箇所に封止部材が設けられている。
110a・・・基板部
110b・・・第1の枠部
110c・・・第2の枠部
111・・・圧電振動素子搭載パッド
112・・・集積回路素子搭載パッド
113・・・配線パターン
112a、113a・・・第1の金属層
112b、113b・・・第2の金属層
120・・・圧電振動素子
121・・・水晶素板
122・・・励振用電極
123・・・先端部
124・・・引き出し電極
130・・・蓋部材
140・・・集積回路素子
100・・・圧電デバイス
K1・・・第1の凹部空間
K2・・・第2の凹部空間
G・・・外部接続用電極端子
HM・・・封止用導体膜
DS・・・導電性接着剤
DZ・・・導電性接合材
Claims (1)
- 素子搭載部材の一方の主面に設けられている2個一対の圧電振動素子搭載パッドに前記圧電振動素子を導電性接着剤によって搭載する圧電振動素子搭載工程と、
蓋部材と前記素子搭載部材とを接合する蓋部材接合工程と、
前記素子搭載部材の他方の主面に設けられている集積回路素子搭載パッドと接続されており、前記素子搭載部材側に設けられる第1の金属層とこの第1の金属層上に設けられる第2の金属層とにより構成されている配線パターンの内の第1の金属層を除去する第1の金属層除去工程と、
集積回路素子を前記素子搭載部材の他方の主面に設けられている集積回路素子搭載パッドに搭載する集積回路素子搭載工程と、を含むことを特徴とする圧電発振器の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014011665A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Kyocera Crystal Device Corp | 圧電装置 |
JP2015126532A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電発振器用基板、圧電発振器及び圧電発振器の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10335522A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ic実装用基板 |
JP3398331B2 (ja) * | 1998-08-31 | 2003-04-21 | 京セラ株式会社 | 温度補償型水晶発振器の製造方法 |
JP2007336320A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Epson Toyocom Corp | 表面実装型圧電デバイスの製造方法 |
JP2009016949A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電発振器 |
JP2009077341A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイスおよび圧電振動子 |
-
2010
- 2010-04-28 JP JP2010103752A patent/JP2011234203A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10335522A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ic実装用基板 |
JP3398331B2 (ja) * | 1998-08-31 | 2003-04-21 | 京セラ株式会社 | 温度補償型水晶発振器の製造方法 |
JP2007336320A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Epson Toyocom Corp | 表面実装型圧電デバイスの製造方法 |
JP2009016949A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電発振器 |
JP2009077341A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイスおよび圧電振動子 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014011665A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Kyocera Crystal Device Corp | 圧電装置 |
JP2015126532A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電発振器用基板、圧電発振器及び圧電発振器の製造方法 |
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