JP2003297903A

JP2003297903A - Ｆｏｕｐクランプ機構

Info

Publication number: JP2003297903A
Application number: JP2002098916A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Seki; 廣実関
Original assignee: Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2002-04-01
Filing date: 2002-04-01
Publication date: 2003-10-17
Anticipated expiration: 2022-04-01
Also published as: JP4105883B2

Abstract

(57)【要約】【課題】クランプの仕様に関する規格の要求を満たし
つつコンパクト化を図る。【解決手段】ＦＯＵＰ２をクランプしてスライドテー
ブル３に押さえ付けるクランプ部材４と、クランプ部材
４をクランプ可能位置とこのクランプ可能位置から退避
した非クランプ位置との間で回動させる第１のカム部材
５ｂと、クランプ部材４をクランプ可能位置にてＦＯＵ
Ｐ２を押さえ付けるように引込みクランプさせる第２の
カム部材と、第１のカム部材５ｂおよび第２のカム部材
を順次動作させる唯一の動作源であるアクチュエータ７
とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＦＯＵＰ（Front
Open Unified Pod）をクランプする装置に関する。さら
に詳述すると、本発明はＦＯＵＰをロードポートにドッ
キングさせて密着した状態で蓋を開け、クリーン度が保
たれた状況下で基板を搬送する際、ＦＯＵＰを移動させ
るスライドテーブル上の所定位置にこのＦＯＵＰを固定
するための機構の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、回路原版用基板、液晶ディスプレ
イパネル用基板やプラズマディスプレイパネル用基板等
の表示パネル基板（ガラス基板）、ハードディスク用基
板（磁性体基板）、半導体装置等の電子デバイス用のウ
ェハ（あるいは樹脂基板）等の基板１０２を収納、運搬
および保管する基板収納治具であるＦＯＵＰ１０１とそ
れを開閉するロードポート機構を備えた基板収納治具搬
送装置が利用されている（図７参照）。

【０００３】このような基板収納治具搬送装置において
は、ＦＯＵＰ１０１から例えばＦＩＭＳ（Front openin
g Interface Mechanical Standard）へと基板１０２を
搬送する際、ＦＩＭＳ内部へのパーティクル（異物微粒
子）の侵入防止と化学的な汚染防止を図ることにより集
積回路を高歩留まりで生産することが要求される。そこ
で、従来、ＦＯＵＰ１０１をスライドテーブルに置載
し、ＦＩＭＳ側に搬送し、ドア１０３をポートドアに押
し付けるようにして密閉状態でロードポートにドッキン
グするようにしているが、この場合、ＦＯＵＰ１０１が
ずれたり傾いたりすると密閉状態が保たれ得ないことか
ら、ＦＯＵＰ１０１はこの押し付け力に左右されない程
度の力でスライドテーブル上の所定位置に固定されてい
る必要がある。このようにＦＯＵＰ１０１をスライドテ
ーブル上に固定するための一手段としては、従来、ＦＯ
ＵＰ底部のクランプ用凹部１０４にクランプレバーの爪
を引っ掛け、この爪を引込むようにしてスライドテーブ
ルに押し付けるというクランプ機構が用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＦＯＵ
Ｐ１０１についての規格を定めるＳＥＭＩ（Semiconduc
tor Equipment and Materials International）がクラ
ンプ用凹部１０４の形状についても規格化しているとい
う現状から、従来のＦＯＵＰクランプ機構は、以下に示
すような種々の要求、すなわち、ＳＥＭＩの規格化するクランプ用凹部１０４を利用し
てＦＯＵＰ１０１をクランプできることＳＥＭＩによりロードポート高さ、スライドテーブル
の面積が決められているため、ロードポートの他機能と
干渉の可能性がある高さを抑えた、可能な限りコンパク
トなクランプ機構であることスライドテーブル下部のカバーの開口部は最小に抑え
ること。ＳＥＭＩの規定するクランプ力（１７５Ｎ以上）を確
保すること。といった要求があるのに対し、これらを全て満足するこ
とが困難だという点で問題がある。

【０００５】そこで、本発明は、クランプの仕様に関す
る規格の要求を満たしつつコンパクト化を図ることので
きるＦＯＵＰクランプ機構を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、複数の基板を収納可能なＦ
ＯＵＰが置載されるスライドテーブルの所定位置にＦＯ
ＵＰをクランプして固定するＦＯＵＰクランプ機構にお
いて、ＦＯＵＰをクランプしてスライドテーブルに押さ
え付けるクランプ部材と、クランプ部材をクランプ可能
位置とこのクランプ可能位置から退避した非クランプ位
置との間で回動させる第１のカム部材と、クランプ部材
をクランプ可能位置にてＦＯＵＰを押さえ付けるように
引込みクランプさせる第２のカム部材と、第１のカム部
材および第２のカム部材を順次動作させる唯一の動作源
であるアクチュエータとを備えてなることを特徴とする
ものである。

【０００７】また、請求項２記載の発明のＦＯＵＰクラ
ンプ機構は、複数の基板を収納可能なＦＯＵＰと、該Ｆ
ＯＵＰを置載してポートドアに密着させロードポートに
ドッキングさせるスライドテーブルと、爪部をＦＯＵＰ
に引っ掛けることのできるクランプ可能位置とこのクラ
ンプ可能位置から退避した非クランプ位置との間を回動
可能かつクランプ可能位置で軸方向に移動して爪部をＦ
ＯＵＰに引っ掛けるクランプ部材と、該クランプ部材を
回動させる回動機構と、クランプ部材を軸方向に移動さ
せる移動機構と、クランプ部材を回動させてから移動さ
せるようにこれら回動機構および移動機構を順次動作さ
せる唯一の動作源であるアクチュエータとからなること
を特徴としている。

【０００８】ＦＯＵＰクランプ機構を利用する場合、規
格に定められるような形状のクランプ用凹部に対して
は、クランプ部材の爪部を非クランプ位置からクランプ
位置まで逃がす動作と、クランプするためにこのクラン
プ部材を引込む動作の両方からなる複合動作が必要とな
る。これに対し、本願発明にかかるＦＯＵＰクランプ機
構では、回動可能かつ軸方向に移動可能なクランプ部材
の回動動作は第１のカム部材（あるいは回動機構）によ
って行い、移動動作は第２のカム部材（あるいは移動機
構）によって行うと共に、これら一連の動作を唯一のア
クチュエータで実現することにより、必要なクランプ力
を確保しつつ機構のコンパクト化を可能としている。こ
の場合、必要な設置スペース（特に高さ）を抑えること
が可能となるため、スライドテーブル下部のカバー開口
部の大きさを小さく抑えることによってクリーン度を保
ちやすくなる。

【０００９】ここで、請求項２記載の発明における回動
機構は、アクチュエータの動作に応じて位置を変える第
１のカム部材と、この第１のカム部材に追従してクラン
プ部材を回転させるカムフォロアとから構成することが
できる。

【００１０】また、ＦＯＵＰクランプ機構は、第１のカ
ム部材の動作範囲を制限してクランプ部材の回動角を規
制する度当たりを備えていることが好ましい。この場
合、クランプ部材およびその先端部の爪部の回動角が所
定量に制限されることから、爪部を適正なクランプ可能
位置で精度よく停止させることが容易となる。

【００１１】また、このような度当たりを備える場合、
第２のカム部材の動きを第１のカム部材の動きから独立
させ、度当たりによって第１のカム部材の動きが止めら
れた後にこの第２のカム部材が別個独立に動くことを可
能としていることが好ましい。こうした場合、第１のカ
ム部材が完全に停止した後で第２のカム部材を作用させ
ることが可能となることから、回動動作を完全に終了さ
せた後に移動動作させるという順次動作が行いやすくな
る。しかも、両カム部材が互いに別個独立となることか
ら、第１のカム部材の動作位置、動作範囲等にかかわら
ず第２カム部材の動作位置、動作範囲等を調整すること
ができて便宜である。

【００１２】また、ＦＯＵＰには、クランプ部材が挿入
され、かつ回動可能な空間を有するクランプ用凹部が形
成されている場合にもＦＯＵＰクランプ機構を適用する
ことが可能である。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を図面に示す
実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。

【００１４】図１〜図６に、本発明の一実施形態を示
す。本発明にかかるＦＯＵＰクランプ機構１は、ＦＯＵ
Ｐ（Front Open Unified Pod）２をスライドテーブル３
上でクランプするための機構であり、クランプしてスラ
イドテーブル３上の所定位置に固定することにより、Ｆ
ＯＵＰ２をポートドア１０に密着させてロードポート
（図示省略）にドッキングさせる際、ＦＯＵＰ２が傾い
たりずれたりするのを防止してクリーン度を保った気密
状況下で基板９を搬送することを可能としている。

【００１５】以下に示す実施形態では、一体のＦＯＵＰ
２を前後動させてロードポートにドッキングさせるよう
にした形態を説明する（図５参照）。基板搬送ロボット
については特に図示していないが、ここで用いられるロ
ボットは旋回可能なアーム（あるいはハンド）によって
基板９をＦＯＵＰ２から取り出し搬送することができる
公知のものである。本実施形態では、前後動可能なスラ
イドテーブル３を設け、このスライドテーブル３にＦＯ
ＵＰ２を置載して移動させるようにしている。スライド
テーブル３の上面には例えば３箇所の位置決めピン２３
が突設され、ＦＯＵＰ２の底面にはこれら位置決めピン
が嵌る図示しない位置決めピン孔が対応する箇所に設け
られている。ＦＯＵＰ２は、位置決めピン２３によって
定まる所定位置に置載された後、本発明に係るＦＯＵＰ
クランプ機構１によってスライドテーブル３に固定され
る。

【００１６】クランプの対象となるＦＯＵＰ２は、回路
原版用基板、液晶ディスプレイパネル用基板やプラズマ
ディスプレイパネル用基板等の表示パネル基板、ハード
ディスク用基板、半導体装置等の電子デバイス用のウェ
ハ等の基板の用いられるガラス基板、磁性体基板、樹脂
基板等の種々の基板９に適用可能な基板収納治具であ
り、例えば本実施形態では３００ｍｍのウェハ用ポッド
として使用される。本実施形態のＦＯＵＰ２は、ポッド
本体であるＦＯＵＰ筐体２５と、ポッド本体に対する開
閉自在な蓋であって閉じられた状態でＦＯＵＰ筐体２５
のシール面（ＦＯＵＰシール面）とに密着してＦＯＵＰ
筐体２５内部へのパーティクルの侵入防止および化学的
な汚染防止を図る開閉扉部であるドア２６を有してい
る。

【００１７】ＦＯＵＰ筐体２５は、機械的強度の向上を
図るとともに、乾燥温度を上げるために、樹脂に代えて
金属で作られた筐体であって、図示しないＯＨＴ部（Ｏ
ＨＴ：Overhead Hoist Transfer）で掴持して釣り上げ
るためのマッシュルーム２７、スライドテーブル３に突
設された位置決めピン２３が挿入された状態でこの筐体
自体を所定位置に位置決めするための位置決めピン孔を
備えている。

【００１８】ドア２６は、擦れによる金属汚染を抑制す
るために、樹脂または金属を主材として形成されてお
り、密閉性を保つためにドア２６に周設されたシール材
（パッキン）２８、ドア２６の機械的開閉機構であるド
アクランピング機構部２９、基板押さえ機構であるリテ
ーナ３０を備えている。ドアクランピング機構部２９
は、異物や汚染物質混入に起因する異物の問題や化学汚
染を防止するために、樹脂を主材とした構成、または樹
脂でコーティングされた構成となっている。リテーナ３
０は、基板９への金属汚染を防止するために樹脂を主材
として形成されている。ドア２６自体は樹脂でも金属で
もどちらでも良いが、ＦＯＵＰ筐体２５と強く擦れるド
アクランピング機構部２９を樹脂製とすることで金属汚
染を抑えることができる。基板９に直接触れるのはリテ
ーナ３０およびウェハティース部３１のみであるため、
リテーナ３０およびウェハティース部３１の材質を樹脂
にすることで金属汚染を抑えることができる。ドア２６
は、ポートドア１０に受け支えられた状態で、ポートド
ア１０およびドア２６を移動させる図示しない開閉装置
によって開閉される。

【００１９】このＦＯＵＰ２の底部には、少なくともク
ランプ部材４の爪部４ａが収まり、かつ挿入後に回動し
たクランプレバー４の爪部４ａが引っ掛かる被クランプ
段部８ａを備えたクランプ用凹部８が形成されている。
本実施形態のクランプ用凹部８は図２に示すように底面
形状が略矩形であって、かつ内周部（好ましくはポート
ドア１０側を向く内周部）に爪部４ａの一部が入り込む
被クランプ段部８ａが設けられている。このような被ク
ランプ段部８ａに対し、爪部４ａは、図２に想像線で示
す位置（本明細書では非クランプ位置と称する）から９
０度回動しクランプ可能となる実線で示す位置（本明細
書ではクランプ可能位置と称する）となったときその一
部を被クランプ段部８ａのあるスペース内に滑り込ます
ことができる（図１参照）。

【００２０】クランプ部材４はその先端部の爪部４ａを
上述の被クランプ段部８ａに引っ掛けてクランプするこ
とによりＦＯＵＰ２をスライドテーブル３上の所定位置
に固定する部材で、スライドテーブル３に設けられたフ
ランジ付きの軸受１１によって回動可能かつ軸方向に移
動可能に設けられている。本実施形態の場合、爪部４ａ
はクランプ部材４の先端部から着脱可能であって、図示
するようにボルト３２によって固定されている。

【００２１】また、このクランプ部材４の基端部（爪部
４ａとは逆側の端部）には、回動機構５および移動機構
６のカムに追従してクランプ部材４に所定の回動動作と
移動動作とを行わせる２つのカムフォロワ、具体的に
は、第１のカム５ｂの溝カムに追従してこのクランプ部
材４を回動させるカムフォロワ４ｂと、第２のカム部材
６ｃの引込み用カムに追従してこのクランプ部材４を引
き下げるカムフォロワ４ｃとが設けられている。このう
ち、カムフォロワ４ｂは、クランプ部材４に回転不可能
に固着された径方向に突出するレバー４ｄの先端に取り
付けられた円柱ないし円筒形のカムで、第１のカム部材
５ｂの溝カムの内側に位置し、この第１のカム部材５ｂ
の動きに追従してクランプ部材４を例えば９０度回動さ
せるように設けられている。一方、カムフォロワ４ｃ
は、クランプ部材４の基端部（本実施形態の基端部は、
図示するように先割れ形状となっている）に取り付けら
れたホイール状の従動カムで、ピン４ｅによって回転可
能に支持されており、第２のカム部材６ｃの三角カムの
傾斜面に押されてクランプ部材４を下方に引込む（図４
参照）。

【００２２】回動機構５はクランプ部材４を回動させる
機構であり、移動機構６は回動したクランプ部材４を軸
方向に引込むように設けられた機構で、本実施形態で
は、唯一のアクチュエータ７により、まず回動機構５が
動作し、続いて移動機構６が動作するというように順次
動作するように設けられている。アクチュエータ７はこ
れら回動機構５と移動機構６に所定の動作をさせる駆動
源で、本実施形態では水平方向に所定量ストロークさせ
ることのできる手段（例えばピストンとシリンダからな
る往復動装置）を用いている。このアクチュエータ７に
はブラケット１２がボルト１３によって固定され、この
ブラケット１２に第１のカム部材５ｂや第２のカム部材
６ｃが取り付けられている。また、このブラケット１２
には、ストローク時に横方向へずれないように、スライ
ドテーブル３の底面側のガイドレール１５に沿って案内
されるスライダ１４が設けられている。

【００２３】回動機構５は、水平移動するブラケット１
２およびこのブラケット１２に取り付けられた支持軸５
ａ、この支持軸５ａの先端部にナット２１等で固着され
た第１のカム部材５ｂ等によって構成されている。水平
移動する第１のカム部材５ｂは、スライドテーブル３の
下面に取り付けられた度当たり１７によってストローク
幅が一定幅（具体的にはクランプ部材４の回動角度が９
０度になるようなストローク幅）に規制される。度当た
り１７には度当たり位置を調節可能とするボルト１７ａ
とナット１７ｂが設けられ、第１のカム部材５ｂにはこ
のボルト１７ａの先端と当接する度当たりピン５ｃが設
けられている。

【００２４】上述の支持軸５ａは、ブラケット１２上の
軸受１８によって軸方向にスライド可能に支持されてお
り、ブラケット１２に対し相対移動可能となっている。
この支持軸５ａと第１のカム部材５ｂは、支持軸５ａの
周囲に設けられた圧縮コイルスプリングからなる付勢手
段１９によってブラケット１２から遠ざかるように付勢
されている。この場合、支持軸５ａの端部に設けられた
ストッパ２０がこの支持軸５ａが軸受１８から抜けるの
を防止する抜け止めとして機能している。

【００２５】移動機構６は、水平移動するブラケット１
２およびこのブラケット１２に例えばボルト１６で固着
された第２のカム部材６ｃによって構成されている。引
込み用カム６ｃは、例えば図示するような傾斜面を有す
る三角カムのように、水平移動した際にカムフォロワ４
ｃを介してクランプ部材４を下方に引込むカム形状を有
している。また、第２のカム部材６ｃはクランプ部材４
の先割れ状基端部の隙間に入り込んでカムフォロワ４ｃ
を引込みうる厚さとされている（図３、図４参照）。

【００２６】続いて、本実施形態のＦＯＵＰクランプ機
構１の動きを中心に、ＦＯＵＰ２をスライドテーブル３
に置載してからロードポートにドッキングさせるまでの
動作を説明する。まず、手前側で待機しているスライド
テーブル３にＦＯＵＰ２を位置決めピン２３によって所
定位置に位置決めしつつ置載する（図５参照）。このと
き、クランプ部材４の爪部４ａを含む先端部が横を向い
た状態でクランプ用凹部８に入り込み、非クランプ位置
に位置する（図２参照）。このＦＯＵＰクランプ機構１
を動作させる前の段階において、アクチュエータ７は想
像線で示すようにブラケット１２ならびに第１のカム部
材５ｂと第２のカム部材６ｃをアクチュエータ本体側に
引き寄せている（図１、図３および図４参照）。

【００２７】アクチュエータ７を起動してストロークさ
せると、ブラケット１２、支持軸５ａ、第１のカム部材
５ｂおよび第２のカム部材６ｃ等が一体となって平行移
動する。このとき、第１のカム部材５ｂの溝カムに追従
するカムフォロワ４ｂが、第１のカム部材５ｂが度当た
り１７に当接するまでレバー４ｄを回動させる。これに
伴い、クランプ部材４が図２に示すように回動し、爪部
４ａがクランプ用凹部８の奥に潜り込んだクランプ可能
位置に位置する。

【００２８】ここで、第１のカム部５ｂおよび支持軸５
ａは度当たり１７に当接した以降の動きが規制される
が、ブラケット１２はこれら第１のカム部５ｂおよび支
持軸５ａに規制されることなく、付勢手段１９を押し縮
めながらさらに移動して第２のカム部材６ｃをカムフォ
ロワ４ｃに摺接させることが可能である（図４参照）。
この場合、クランプ部材４は第２のカム部材６ｃの引込
み用カムの作用によって下方に引込まれ、爪部４ａを被
クランプ段部８ａに引っ掛けるようにしてＦＯＵＰ２を
クランプし、ＦＯＵＰ２をスライドテーブル３の所定位
置に固定する。この後、スライドテーブル３を移動さ
せ、ポートドア１０に押し付けてロードポートとドッキ
ングさせる（図５参照）。

【００２９】以上のようなＦＯＵＰクランプ機構１によ
れば、ＦＯＵＰ２をスライドテーブル３上に押し付ける
ようにクランプすることによってこのスライドテーブル
３の所定位置に固定することが可能となり、ロードポー
トにドッキングさせた場合にＦＯＵＰ２がずれたり浮い
たり傾いたりすることを防止し、このロードポートとの
間の密着度を保つことができる。このため、ＦＯＵＰ２
内に収納された基板９を搬送する際における搬送経路の
クリーン度を保持することが可能となることから、作業
部屋全体を所定のクリーン度に維持する必要がなくな
り、その分のコストの削減を図ることが可能となる。

【００３０】しかも、本実施形態のＦＯＵＰクランプ機
構１では唯一の動作源であるアクチュエータ７によって
回動機構５および移動機構６を順次動作させているた
め、ＦＯＵＰ２をクランプするのに必要な機構が簡素化
され、必要な設置スペース（特に高さ）を抑えることが
可能となる。このため、ＳＥＭＩ規格によって定められ
ているクランプ形状（具体的にはＦＯＵＰ２の下部に設
けられたクランプ用凹部８の形状）を保ち、規定のクラ
ンプ位置やクランプ力を実現しつつ、ロードポートの他
の部位と干渉するのを防ぐことが可能となる。また、ス
ライドテーブル３の下部を下から包み覆うカバーの開口
部の開口面積を抑えることが可能となる。

【００３１】また、回動動作を完全に終了させた後に移
動動作させるようにした本実施形態のＦＯＵＰクランプ
機構１においては、クランプ用凹部８の被クランプ段部
８ａに対し爪部４ａを真上から真っ直ぐ下向きに押し付
けることができる。したがって、スクリューのようにク
ランプ部材を旋回させながら被クランプ段部に押し付け
るような動作をさせた場合に生じるおそれのある問題
（例えば爪部４ａや被クランプ段部８ａに擦り傷が生じ
たりこれに伴い塵埃が生じたりするような問題）がな
い。すなわち、本実施形態のＦＯＵＰクランプ機構１は
クリーンな環境が要求される基板搬送装置においてクリ
ーン度を維持する上で好適である。

【００３２】なお、上述の実施形態は本発明の好適な実
施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能で
ある。例えば、本実施形態では、アクチュエータ７によ
ってブラケット１２等を押し出す際の動きによってＦＯ
ＵＰクランプ機構１を動作させるようにしたが、これは
動作の一例に過ぎず、このようなものに限定されること
はない。例えば、第２のカム部材６ｃの傾きを逆にし、
度当たり１７の取付位置を変更する等により、逆にブラ
ケット１２を引込むようにした動きによってＦＯＵＰク
ランプ機構１を動作させることも可能である。

【００３３】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、請求項
１記載のＦＯＵＰクランプ機構によると、ＳＥＭＩの規
格化するクランプ用凹部を利用し、規定されるクランプ
力を確保した上でＦＯＵＰをクランプしてスライドテー
ブル上の所定位置に固定することができる。しかも、本
願発明にかかるＦＯＵＰクランプ機構では、クランプ部
材の回動と軸方向移動という一連の動作を唯一のアクチ
ュエータで実現することにより機構のコンパクト化を可
能としている。この場合、必要な設置スペース（特に高
さ）を抑えることが可能となるため、ロードポートの他
機能と干渉の可能性がある高さを抑えることが可能とな
る。また、スライドテーブル下部のカバー開口部の大き
さを抑えることによってクリーン度を保ちやすくなる。

【００３４】また、請求項２記載の発明によっても、請
求項１記載のＦＯＵＰクランプ機構と同様、規定される
クランプ力を確保した上でＦＯＵＰをクランプしてスラ
イドテーブル上の所定位置に固定することができるし、
一連の動作を唯一のアクチュエータで実現することによ
り機構のコンパクト化を図ることもできる。

【００３５】また、請求項３記載のＦＯＵＰクランプ機
構によると、アクチュエータの動作に応じて位置を変え
る第１のカム部材と、この第１のカム部材に追従してク
ランプ部材を回転させるカムフォロアとから回動機構を
構成し、クランプ部材に回動動作させることができる。

【００３６】請求項４記載のＦＯＵＰクランプ機構によ
ると、クランプ部材およびその先端部の爪部の回動角を
度当たりによって所定量に制限し、爪部を適正なクラン
プ可能位置で精度よく停止させることが容易となる。し
たがって、所望のクランプ力を確実に得られやすくなる
点で有利である。

【００３７】さらに請求項５記載のＦＯＵＰクランプ機
構によると、第１のカム部材が完全に停止した後で第２
のカム部材を作用させることが可能となることから、回
動動作を完全に終了させた後に移動動作させるという順
次動作が行いやすくなる。しかも、両カム部材が互いに
別個独立となることから、第１のカム部材の動作位置、
動作範囲等にかかわらず第２カム部材の動作位置、動作
範囲等を調整することができて便宜である。

【００３８】また、請求項６記載のＦＯＵＰクランプ機
構は、クランプ部材が挿入され、かつ回動可能な空間を
有するクランプ用凹部が形成されている場合にも適用可
能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＦＯＵＰクランプ機構を示す側面
図である。

【図２】ＦＯＵＰクランプ機構の部分平面図である。

【図３】ＦＯＵＰクランプ機構の底面図である。

【図４】ＦＯＵＰクランプ機構の図１とは反対側からの
側面図である。

【図５】基板搬送装置の全体の概略を示す側面図であ
る。

【図６】ＦＯＵＰの構造例を示す斜視図である。

【図７】クランプ用凹部の形状例を示す従来のＦＯＵＰ
の概略図と部分拡大図で、（Ａ）は側面からみた拡大
図、（Ｂ）は底面からみた拡大図を示す。

【符号の説明】

１ＦＯＵＰクランプ機構２ＦＯＵＰ３スライドテーブル４クランプ部材４ａ爪部５回動機構５ｂ第１のカム部材６移動機構６ｃ第２のカム部材７アクチュエータ８クランプ用凹部９基板１０ポートドア

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の基板を収納可能なＦＯＵＰが置載
されるスライドテーブルの所定位置に上記ＦＯＵＰをク
ランプして固定するＦＯＵＰクランプ機構において、上
記ＦＯＵＰをクランプして上記スライドテーブルに押さ
え付けるクランプ部材と、上記クランプ部材をクランプ
可能位置とこのクランプ可能位置から退避した非クラン
プ位置との間で回動させる第１のカム部材と、上記クラ
ンプ部材を上記クランプ可能位置にて上記ＦＯＵＰを押
さえ付けるように引込みクランプさせる第２のカム部材
と、上記第１のカム部材および上記第２のカム部材を順
次動作させる唯一の動作源であるアクチュエータとを備
えてなることを特徴とするＦＯＵＰクランプ機構。
【請求項２】複数の基板を収納可能なＦＯＵＰと、該
ＦＯＵＰを置載してポートドアに密着させロードポート
にドッキングさせるスライドテーブルと、爪部を上記Ｆ
ＯＵＰに引っ掛けることのできるクランプ可能位置とこ
のクランプ可能位置から退避した非クランプ位置との間
を回動可能かつクランプ可能位置で軸方向に移動して上
記爪部を上記ＦＯＵＰに引っ掛けるクランプ部材と、該
クランプ部材を回動させる回動機構と、上記クランプ部
材を軸方向に移動させる移動機構と、上記クランプ部材
を回動させてから移動させるようにこれら回動機構およ
び移動機構を順次動作させる唯一の動作源であるアクチ
ュエータとからなることを特徴とするＦＯＵＰクランプ
機構。
【請求項３】上記回動機構は、上記アクチュエータの
動作に応じて位置を変える第１のカム部材と、この第１
のカム部材に追従して上記クランプ部材を回転させるカ
ムフォロアとからなることを特徴とする請求項２記載の
ＦＯＵＰクランプ機構。
【請求項４】上記第１のカム部材の動作範囲を制限し
て上記クランプ部材の回動角を規制する度当たりを備え
ることを特徴とする請求項１または３記載のＦＯＵＰク
ランプ機構。
【請求項５】上記第２のカム部材の動きを上記第１の
カム部材の動きから独立させ、上記度当たりによって上
記第１のカム部材の動きが止められた後にこの第２のカ
ム部材が別個独立に動くことを可能としていることを特
徴とする請求項４記載のＦＯＵＰクランプ機構。
【請求項６】上記ＦＯＵＰには、上記クランプ部材が
挿入され、かつ回動可能な空間を有するクランプ用の溝
部が形成されていることを特徴とする請求項１から５の
いずれかに記載のＦＯＵＰクランプ機構。