JP2011121000A - ガス処理方法、ガス処理装置、およびガス処理剤 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フッ素含有化合物を含むガスを、炭酸カリウムが充填されたフッ素含有化合物反応容器中に加熱しつつ通気してフッ素含有化合物を分解する(フッ素含有化合物分解工程)。このような方法によれば、難分解性のフッ素含有化合物を含むガスを効率よく分解処理することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施形態では、反応塔にヒータを設けてガスの加熱を行ったが、例えば反応管を電気炉中に設置して加熱を行うことも可能である。
(2)フッ素含有化合物ガス処理剤は、炭酸カリウムの他に、SiF4の分解を阻害しない範囲で添加剤等を含んでいても構わない。
(3)上記実施形態では、SiF4の分解を例にとり説明したが、本発明によれば、四フッ化炭素、および六フッ化硫黄も同様に処理することができる。また、HFC(ハイドロフルオロカーボン)についても同様に処理可能である。
11…SiF4反応管(フッ素含有化合物反応容器)
15…発熱部(熱源)
Claims (4)
- フッ素含有化合物を含むガスの処理方法であって、
炭酸カリウムを含むフッ素含有化合物ガス処理剤を充填したフッ素含有化合物反応容器中に前記フッ素含有化合物を含むガスを加熱しつつ通気させて前記フッ素含有化合物を分解するフッ素含有化合物分解工程を含むガス処理方法。 - 前記フッ素含有化合物が、ケイ素、炭素、窒素、硫黄、アルミニウム、およびリンのうち少なくとも1つとフッ素とを含む化合物であり、
前記フッ素含有化合物分解工程において前記ガスを通気した後の前記フッ素含有化合物反応容器の内容物を水に溶解して前記フッ素含有化合物分解工程により得られた反応生成物を分離する分離工程を含む、請求項1に記載のガス処理方法。 - フッ素含有化合物を含むガスを処理するためのガス処理装置であって、
内部にガスを通気可能であり、かつ炭酸カリウムを含むフッ素含有化合物ガス処理剤が充填されたフッ素含有化合物反応容器と、
このフッ素含有化合物反応容器の内部に通気される前記ガスを加熱するための熱源と、
を備えるガス処理装置。 - 有効成分として炭酸カリウムを含む、フッ素含有化合物ガス処理剤。
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