JP4833602B2 - 排ガスの処理方法 - Google Patents
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Description
本発明の排ガスの処理方法において、処理の対象となる排ガスは、例えば、水素、窒素、アルゴン、ヘリウム等をベースガスとし、ターシャリーブチルホスフィン、イソブチルホスフィン、トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン等の有機燐化合物、ターシャリーブチルアルシン、イソブチルアルシン、トリメチルアルシン、トリエチルアルシン等の有機砒素化合物を有害成分として含む排ガスである。尚、本発明においては、分解処理により、有機燐化合物はホスフィンと炭化水素に、有機砒素化合物はアルシンと炭化水素に分解される。
また、有機燐化合物及び/または有機砒素化合物を含む排ガスを連続して処理するために、これらを2ライン以上配置する構成とすることもできる。このような処理装置の配置により、ラインを順次切替えながら排ガスを浄化処理することが可能となる。
無機多孔質体として市販のシリカゲル(100〜200meshの球状粒子、比表面積400m2/g)を、側面にヒーターを備えた内径18mm、高さ400mmの加熱分解筒2に、充填長が200mmとなるように充填した。また、有効成分として酸化銅を90wt%以上、他の金属酸化物及びバインダーを10wt%以下の割合で含む浄化剤を、内径40mm、高さ300mmの浄化筒3に、充填長が100mmとなるように充填した。次に、加熱分解筒が上流側、浄化筒が下流側となるように配置するとともに、排ガス導入管1、処理後ガス排出管4、水蒸気含有ガス供給管5、酸素含有ガス供給管6、冷却器8等を結合して、図1に示すような処理装置を製作した。
シリカゲルの温度が350℃となるように加熱分解筒を昇温した。次に、有害成分としてターシャリーブチルホスフィン10000ppmを含む窒素ガスを、127ml/min(25℃)の流量で排ガス導入管から導入して、加熱分解筒でターシャリーブチルホスフィンをホスフィンと炭化水素に分解し、浄化筒でガス中のホスフィンを捕捉除去した。
尚、加熱分解筒から排出されたガスは、浄化筒に供給される前に50℃以下となるように冷却器により冷却した。
実施例1の浄化試験における有害成分をターシャリーブチルアルシンに替えたほかは実施例1と同様にして浄化試験を行なった。その結果を表1に示す。
実施例1における無機多孔質体を、各々市販の合成ゼオライト(細孔径10Å相当)、多孔質ガラス(100〜200meshの粒状、平均細孔径40Å、比表面積200m2/g)、粘土系多孔質体(平均50meshの粒状珪藻土、比表面積300m2/g)、活性炭(8〜30meshの粒状、比表面積1000m2/g)に替えたほかは実施例1と同様にして浄化試験を行なった。その結果を表1に示す。
(処理装置の製作)
有効成分として酸化銅を90wt%以上、他の金属酸化物及びバインダーを10wt%以下の割合で含む実施例1で使用した浄化剤と同様の浄化剤を、内径40mm、高さ300mmの浄化筒に、充填長が100mmとなるように充填した。次に、排ガス導入管、排出管、酸素含有ガス供給管等を結合して処理装置を製作した。
続いて、有害成分としてターシャリーブチルホスフィン10000ppmを含む窒素ガス、及び10000ppmの酸素を含む窒素ガスを、各々127ml/min(25℃)の流量で浄化筒に導入して浄化を行なった。この間、浄化筒から排出されたガスの一部を約5分間隔でサンプリングし、ターシャリーブチルホスフィンが検出されるまでの時間を測定し、浄化剤の浄化能力(浄化剤単位量当たりの有害成分の処理量)を求めた。また、浄化剤の発熱温度(到達最高温度−浄化開始直前の温度)を測定した。これらの結果を表1に示す。
比較例1の浄化試験における有害成分をターシャリーブチルアルシンに替えたほかは比較例1と同様にして浄化試験を行なった。その結果を表1に示す。
2 加熱分解筒
3 浄化筒
4 処理後ガス排出管
5 水蒸気含有ガス供給管
6 酸素含有ガス供給管
7 気体流量制御器
8 冷却器
Claims (5)
- 有害成分として有機燐化合物及び/または有機砒素化合物を含む排ガスを、加熱下、水蒸気の存在下で、シリカゲル、ゼオライト、多孔質ガラス、及び粘土系多孔質から選ばれ、かつ珪素を含む無機多孔質体と接触させて、該有害成分を、ホスフィン及び/またはアルシンと、炭化水素に分解することを特徴とする排ガスの処理方法。
- 有機燐化合物が、ターシャリーブチルホスフィン、イソブチルホスフィン、トリメチルホスフィン、またはトリエチルホスフィンである請求項1に記載の排ガスの処理方法。
- 有機砒素化合物が、ターシャリーブチルアルシン、イソブチルアルシン、トリメチルアルシン、またはトリエチルアルシンである請求項1に記載の排ガスの処理方法。
- さらに、分解により生成したホスフィン及び/またはアルシンと炭化水素を含むガスを、ホスフィン及び/またはアルシンの乾式浄化剤と接触させて該ガスからホスフィン及び/またはアルシンを除去する請求項1に記載の排ガスの処理方法。
- 流量コントロールされた酸素含有ガスを、ホスフィン及び/またはアルシンの乾式浄化剤に供給しながら浄化を行なう請求項4に記載の排ガスの処理方法。
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